JP5587662B2 - 研磨シートの製造方法 - Google Patents
研磨シートの製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5587662B2 JP5587662B2 JP2010106704A JP2010106704A JP5587662B2 JP 5587662 B2 JP5587662 B2 JP 5587662B2 JP 2010106704 A JP2010106704 A JP 2010106704A JP 2010106704 A JP2010106704 A JP 2010106704A JP 5587662 B2 JP5587662 B2 JP 5587662B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- polishing
- abrasive
- sheet
- base sheet
- dried
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Polishing Bodies And Polishing Tools (AREA)
Description
水 100g(80g)
発泡剤 5g
研磨材 300メッシュ〜4000メッシュ
溶剤 水とエタノール等量
着色料 微量
前記割合から適宜選定する。
2 処理層
3 研磨層
4 未塗布部
5 研磨シート
Claims (6)
- 表面に凹凸を有するベースシート上へ、接着剤の水性エマルジョン液を塗布して表面処理することにより、前記凹凸を均一平面にして前記ベースシートの上面を平滑な均一平面にし、該ベースシートを予備乾燥した後、本乾燥し、ついで前記ベースシート上へ研磨材と水及びエタノールとを混合してなるエマルジョン液を所定の塗布密度で塗布した後、乾燥して、前記研磨材と水及びエタノールとを混合してなるエマルジョン液が塗布、乾燥されたところに研磨面を形成することを特徴とした研磨シートの製造方法。
- 表面に凹凸を有するベースシート上へ接着剤、発泡剤及び水よりなる水性エマルジョン液を塗布して表面処理することにより、前記凹凸を均一平面にして前記ベースシートの上面を平滑な均一平面にした後、該ベースシートを90℃〜100℃で2分〜5分予備乾燥し、ついで120℃〜180℃で2〜3秒間本乾燥した後、前記乾燥済みのベースシート上へ、研磨材と、溶剤よりなるエマルジョン液を所定の塗布密度で塗布した後、乾燥して、前記研磨材と、溶剤よりなるエマルジョン液が塗布、乾燥されたところに研磨面を形成することを特徴とした研磨シートの製造方法。
- ベースシートは、1mm〜3mmのフェルト又は合成樹脂織布とし、接着剤は、アクリル系接着剤又はサクビ系接着剤とすることを特徴とした請求項1又は2記載の研磨シートの製造方法。
- 研磨材は、300メッシュ〜4000メッシュのホワイトアランダム、炭素粉、ダイア粉、グリーンアランダムとすることを特徴とした請求項1又は2記載の研磨シートの製造方法。
- 研磨面の面積は、全表面の50%〜90%とすることを特徴とした請求項1又は2記載の研磨シートの製造方法。
- 前記研磨面と前記研磨面が形成されていないところの段差である前記研磨面の厚さが0.5mm〜1mmであることを特徴とした請求項1又は2記載の研磨シートの製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010106704A JP5587662B2 (ja) | 2010-05-06 | 2010-05-06 | 研磨シートの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010106704A JP5587662B2 (ja) | 2010-05-06 | 2010-05-06 | 研磨シートの製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011235369A JP2011235369A (ja) | 2011-11-24 |
JP5587662B2 true JP5587662B2 (ja) | 2014-09-10 |
Family
ID=45323914
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010106704A Expired - Fee Related JP5587662B2 (ja) | 2010-05-06 | 2010-05-06 | 研磨シートの製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5587662B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN109374376A (zh) * | 2018-11-09 | 2019-02-22 | 上海市农业科学院 | 一种适于香菇菌褶担子细胞形态观察的切片制备方法 |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN104511846B (zh) * | 2013-11-19 | 2016-11-16 | 东莞金太阳研磨股份有限公司 | 一种薄膜砂纸的制备方法 |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001248079A (ja) * | 2000-02-29 | 2001-09-14 | Matsui Shikiso Chem Co Ltd | 新規な高品質壁紙及びその製造方法 |
JP2003048162A (ja) * | 2001-08-08 | 2003-02-18 | Dainippon Printing Co Ltd | パターン状の研磨層を有する研磨シート |
JP5248954B2 (ja) * | 2008-09-02 | 2013-07-31 | スリーエム イノベイティブ プロパティズ カンパニー | 抱接化合物を含む研磨材製品 |
-
2010
- 2010-05-06 JP JP2010106704A patent/JP5587662B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN109374376A (zh) * | 2018-11-09 | 2019-02-22 | 上海市农业科学院 | 一种适于香菇菌褶担子细胞形态观察的切片制备方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2011235369A (ja) | 2011-11-24 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
EP2292379B1 (en) | A method for cleaning a polished hard floor surface of stone or stone-like material | |
US10201886B2 (en) | Polishing pad and method for manufacturing the same | |
US6454644B1 (en) | Polisher and method for manufacturing same and polishing tool | |
TWI706829B (zh) | 雙面研磨裝置用的載體的製造方法及晶圓的雙面研磨方法 | |
CN102601747A (zh) | 一种研磨垫及其制备方法、使用方法 | |
JP5587662B2 (ja) | 研磨シートの製造方法 | |
US20110011007A1 (en) | Polishing material having polishing particles and method for making the same | |
JP2009136935A (ja) | 研磨パッド | |
CN209289053U (zh) | 一种结构型涂附磨具 | |
TW201805401A (zh) | 研磨體及其製造方法 | |
CN104139345B (zh) | 一种带有薄膜基的耐磨磨具及其制造方法 | |
US20080220701A1 (en) | Polishing Pad and Method for Making the Same | |
CN109366347A (zh) | 一种适用于硬脆材料精密研磨的研磨垫及其制备方法 | |
JP2010240790A (ja) | 保持パッド | |
JP6508003B2 (ja) | テンプレートアセンブリの製造方法及びこのテンプレートアセンブリを用いた研磨方法並びにテンプレートアセンブリ | |
JP2011148079A (ja) | 研磨シートの製造方法及び研磨シート | |
JPH11285963A (ja) | ウェーハ研磨用研磨布若しくは研磨定盤からなる研磨体及び該研磨体を用いたウェーハ研磨方法 | |
CN212420972U (zh) | 一种精密研磨的砂带卷 | |
CN105768367A (zh) | 一种制作格利特鞋底的方法、格利特鞋底以及鞋子 | |
KR101056801B1 (ko) | 알루미늄의 아노다이징 후 고광택 폴리싱 표면가공 방법 | |
CN106493893B (zh) | 聚乙烯醇凹凸海绵的制造方法 | |
JP2015188987A (ja) | 研磨パッド | |
TWI556960B (zh) | Production Method of EVA Chemical Mechanical Grinding Pad | |
CN109590917A (zh) | 一种基于立体结构技术的磨具 | |
JPH07100769A (ja) | 研磨シートおよびその製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20130507 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20140219 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20140304 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20140507 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20140527 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20140724 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5587662 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |