JP7220968B2 - 塗工部周縁処理装置 - Google Patents
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Landscapes
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- Drying Of Solid Materials (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
Description
11 :塗工部
11a :周縁部
20 :減圧室
21 :下部ヒーター
22 :上部ヒーター
23 :天井部
23a :監視窓
30 :回転装置
31 :回転軸
32 :回転テーブル
40 :移動装置
41 :検知用カメラ(位置検知手段)
42 :制御装置
43 :移動装置
44 :切欠き
H :加熱体
H2 :第2加熱体
Claims (4)
- 塗液が塗工された基板の表面における塗工部の周縁部を乾燥させる塗工部周縁処理装置において、前記の基板における塗工部の周縁部が回転テーブルよりも外側に飛び出すようにして、前記の基板を回転テーブルの上に載置させると共に、前記の回転テーブルよりも外側に飛び出した位置にある前記の塗工部の周縁部を加熱させる加熱体を、少なくとも前記の基板の下側に基板と接触しないように配置させ、前記の回転テーブルにより前記の基板を回転させると共に、回転テーブルよりも外側に飛び出した位置にある前記の塗工部の周縁部を、前記の加熱体により加熱させて乾燥させるにあたり、前記の回転テーブルにより前記の基板を回転させながら、回転テーブルよりも外側に飛び出した前記の塗工部の周縁部の位置に対応するようにして、前記の加熱体を回転テーブルの中心に対して近接・離間する方向に移動させる移動装置を設けたことを特徴とする塗工部周縁処理装置。
- 請求項1に記載の塗工部周縁処理装置において、前記の回転テーブルよりも外側に飛び出した前記の塗工部の周縁部の位置を検知する位置検知手段を設け、前記の位置検知手段によって検知された塗工部の周縁部の位置に基づいて、前記の移動装置によって前記の加熱体を移動させることを特徴とする塗工部周縁処理装置。
- 請求項1に記載の塗工部周縁処理装置において、前記の回転テーブルよりも外側に飛び出した位置にある前記の塗工部の周縁部を加熱させる第2加熱体を、前記の基板と接触しないようにして、基板の上側に配置させたことを特徴とする塗工部周縁処理装置。
- 請求項1~請求項3の何れか1項に記載の基板周縁処理装置において、前記の回転テーブルにより前記の基板を回転させると共に、回転テーブルよりも外側に飛び出した位置にある前記の塗工部の周縁部を前記の加熱体により加熱させて、前記の基板における塗工部の周縁部を乾燥させる操作を減圧室内で行うことを特徴とする塗工部周縁処理装置。
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