JP7154442B2 - ヒートシンク及びヒートシンクの製造方法 - Google Patents

ヒートシンク及びヒートシンクの製造方法 Download PDF

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Description

本開示はヒートシンク及びヒートシンクの製造方法に関する。
ヒートシンクには、冷却対象の発熱体が接触する本体を冷媒で冷却することにより、発熱体を冷却する液冷式のものがある。このような液冷式のヒートシンクでは、冷媒を流すため、本体内部に流路が形成されている。
例えば、特許文献1には、本体内部に複数の螺旋状の流路が形成されたヒートシンクが開示されている。
特開2017-69518号公報
ヒートシンクでは、流路の内壁の面積が大きい程、流路を流れる冷媒に放熱しやすい。このため、放熱効率を高めるため、流路の内壁の面積を大きくすることが望ましい。
しかし、特許文献1に記載のヒートシンクでは、螺旋状の流路の中心軸が互いに平行かつ互いに離れて配置されている。このため、本体内部に流路を密に配置することが難しい。その結果、流路の内壁の面積を大きくして放熱効率を高めることが難しい。
本開示は上記の課題を解決するためになされたもので、放熱効率が高いヒートシンク及びヒートシンクの製造方法を提供することを目的とする。
上記の目的を達成するため、本開示に係るヒートシンクは、少なくとも一つの発熱体と接触する本体と、本体の内部に配置され、螺旋の形状に延在する、冷媒を流すための複数の流路と、を備える。複数の流路は、螺旋の中心軸が隣り合う状態に配列されている。また、複数の流路のうち、螺旋の中心軸が隣り合う流路同士は、互いに絡み合っている。
本開示の構成によれば、複数の流路のうち、螺旋の中心軸が隣り合う流路同士が互いに絡み合っているので、本体内部での流路の密度が高い。これにより、流路全体の表面積が大きい。その結果、ヒートシンクの放熱効率が高い。
本開示の実施の形態1に係るヒートシンクの斜視図 本開示の実施の形態1に係るヒートシンクの上面図 本開示の実施の形態1に係るヒートシンクの背面図 本開示の実施の形態1に係るヒートシンクの左側面図 本開示の実施の形態1に係るヒートシンクが備える円管群の斜視図 本開示の実施の形態1に係るヒートシンクが備える円管群の上面図 本開示の実施の形態1に係るヒートシンクが備える円管群の背面図 本開示の実施の形態1に係るヒートシンクが備える円管群の左側面図 本開示の実施の形態1に係るヒートシンクが備える円管群から円管を取り出した場合の、その円管の斜視図 本開示の実施の形態1に係るヒートシンクが備える円管群から円管を取り出した場合の、その円管の左端部分の拡大図 本開示の実施の形態1に係るヒートシンクが備える円管群から取り出した複数の円管をヒートシンクでの配列順で並べた場合の、それら円管の上面図 本開示の実施の形態1に係るヒートシンクが備える円管群から取り出した円管をヒートシンクでの配列順で並べた場合の、それら円管の左側面図 図6Bに示すVII領域にある円管の左端の拡大図 本開示の実施の形態1に係るヒートシンクに水が流されたときの、ヒートシンクの概念図 本開示の実施の形態1に係るヒートシンクの製造方法において、網状の円管群を鋳包む金型の概念図 本開示の実施の形態2に係るヒートシンクの背面図 図10に示すXI-XI切断線の断面図 本開示の実施の形態3に係るヒートシンクに使用される円管の斜視図 図12Aに示すXIIB領域の拡大図 本開示の実施の形態3に係るヒートシンクに使用される円管の変形例の斜視図 図13Aに示すXIIIB領域の拡大図 本開示の実施の形態4に係るヒートシンクの斜視図 本開示の実施の形態5に係るヒートシンクの部品構成図 図15に示すXVI領域の拡大図 本開示の実施の形態6に係るヒートシンクの斜視図 本開示の実施の形態6の変形例に係るヒートシンクの斜視図 本開示の実施の形態7に係るヒートシンクの左側面図 本開示の実施の形態7に係るヒートシンクの斜視図 実施の形態8に係るヒートシンクの製造方法で用いる治具の斜視図 図21AのXXIB-XXIB切断線に沿って治具を切断したときの斜視図 図21AのXXIC-XXIC切断線に沿って治具を切断したときの断面図 本開示の実施の形態8に係るヒートシンクの製造方法で用いる治具に円管を保持させたときの治具の斜視図 本開示の実施の形態8に係るヒートシンクの製造方法で用いる治具に円管に加えて別の円管を保持させたときの治具の斜視図 本開示の実施の形態8に係るヒートシンクの製造方法で用いる治具の上で別の円管を回転させて、円管の左端半分にその別の円管を絡ませたときの治具の斜視図 本開示の実施の形態8に係るヒートシンクの製造方法で用いる治具の上で別の円管をさらに回転させて、円管全体に別の円管を絡ませたときの治具の斜視図 本開示の実施の形態8に係るヒートシンクの製造方法で用いる治具の上で多数の円管を絡めて円管群を形成したときの治具の斜視図 本開示の実施の形態8に係るヒートシンクの製造方法が備える流路形成工程において、治具に保持される円管の斜視図 本開示の実施の形態8に係るヒートシンクの製造方法が備える流路形成工程において、別の円管を回転させて、円管の左端に別の円管の右端が絡められたときの円管の斜視図 本開示の実施の形態8に係るヒートシンクの製造方法が備える流路形成工程において、別の円管をさらに回転させて、円管の左端半分にその別の円管を絡ませたときの円管の斜視図 本開示の実施の形態8に係るヒートシンクの製造方法が備える流路形成工程において、別の円管をさらに回転させて、円管全体に別の円管を絡ませたときの円管の斜視図 本開示の実施の形態9に係るヒートシンクの製造方法において、円管群を本体の材料である金属材料で鋳込んで本体を作製したときの本体の斜視図 図24Aに示すXXIVB領域の拡大図 本開示の実施の形態9に係るヒートシンクの製造方法において、円管群を溶解させて円管群を除去したときの本体の斜視図 図25Aに示すXXVB領域の拡大図
以下、本開示の実施の形態に係るヒートシンク及びヒートシンクの製造方法について図面を参照して詳細に説明する。なお、図中、同一又は同等の部分には同一の符号を付す。図に示す直交座標系XYZにおいて、ヒートシンクが備える本体の発熱体との接触面を上に向け、本体に設けられた冷媒の供給口を左に、冷媒の排出口を右に向けた場合の、左右方向をX方向、上下方向をZ方向、Z軸とX軸とに直交する方向がY軸である。以下、適宜、この座標系を引用して説明する。
(実施の形態1)
実施の形態1に係るヒートシンクは、本体に冷媒を流すための流路が形成された液冷式のヒートシンクである。このヒートシンクでは、複数の円管で形成された網状の円管群が流路を形成している。まず、図1及び図2A-図2Cを参照して、ヒートシンクの全体の構成について説明する。続いて、図3-図7を参照して、網状の円管群の構成について説明する。
図1は、実施の形態1に係るヒートシンク1Aの斜視図である。図2A-図2Cは、ヒートシンク1Aの上面図、正面図及び右側面図である。なお、図1及び図2A-図2Cでは、理解を容易にするため、本体10Aを半透明で表示して、その内部の円管20Aも示している。
図1に示すように、ヒートシンク1Aは、冷却対象である発熱体2Aが搭載される本体10Aを備える。
発熱体2Aは、Si、SiC、GaN等で形成された半導体基板のチップを備えるパワー半導体素子である。発熱体2Aは、図1及び図2Aに示すように、上面視矩形の平板の形状に形成されている。これにより、発熱体2Aは、図2B及び図2Cに示すように、平らな下面5を有する。
本体10Aは、このような発熱体2Aを搭載するため、図1及び図2A-図2Cに示すように、直方体かつ板の形状に形成されている。そして、本体10Aが有する上面部11は、発熱体2Aの下面5よりも大きい。さらに、上面部11は、発熱体2Aとの接触性を高めるため、平らである。
上面部11は、発熱体2Aが搭載されることにより、発熱体2Aの下面5と接触する。これにより、本体10Aには、上面部11から発熱体2Aの熱が伝えられる。
本体10Aは、その発熱体2Aの熱をその内部に伝えるため、アルミニウム合金、銅合金等の熱伝導性が高い金属材料で形成されている。また、本体10Aは、その金属材料によって、中実に形成されている。これにより、本体10Aでは、発熱体2Aの熱が本体10A内部かつその全体に伝わる。そして、本体10Aは、その表面が接する空気に発熱体2Aから伝えられた熱を放つ。これにより、本体10Aは、発熱体2Aを冷却する。
なお、本体10Aは、金属材料で形成され、ブロックの形状に形成されていることから、金属ブロック又は、単にブロックともいう。
しかし、本体10Aが空気に放熱しても、発熱体2Aを十分に冷却できないことがある。例えば、発熱体2Aがシュリンクされたパワー半導体素子である場合、素子内の回路が密に配置されていることから、発熱体2Aが高温になりやすい。このような場合、空気に放熱しても、本体10Aは、発熱体2Aを十分に冷却できない。
そこで、本体10Aの内部には、放熱性を高めるため、冷媒を流すための複数の流路が形成されている。
詳細には、本体10Aには、放熱効率を高めるため、図1に示すように、複数の円管20Aが通されている。そして、これら円管20Aは、複数の流路を有する円管群200Aを形成している。
次に、図3-図7を参照して、円管群200Aの構成について説明する。
図3は、ヒートシンク1Aが備える円管群200Aの斜視図である。図4A-図4Cは、その円管群200Aの上面図、背面図、左側面図である。図5Aは、円管群200Aから円管20Aを取り出した場合の、その円管20Aの斜視図である。図5Bは、その円管20Aの左端部分の拡大図である。図6Aと図6Bは、複数の円管20Aをヒートシンク1Aでの配列順で並べた場合の、それら円管20Aの上面図と左側面図である。図7は、図6Bに示すVII領域にある円管20A左端の拡大図である。なお、図5A及び図5Bでは、円管20A内部の形状について理解を容易にするため、図6A、図6Bに示す円管20Aを途中で切断した場合の、円管20Aを示している。
図3及び図4A-図4Cに示すように、円管群200Aは、管断面円形に形成され、互いに絡み合った複数の円管20Aによって形成されている。
円管20Aそれぞれは、本体10Aの熱が伝わりやすくするため、本体10Aと同様に、熱伝導性が高い金属材料で形成されている。そして、円管20Aそれぞれは、図5Aに示すように、螺旋状に屈曲しながら、左右方向、すなわち、X方向に延在している。換言すると、円管20Aは、中心軸Cの回りに、+X方向に向かうに従い時計回りに屈曲する螺旋の形状に曲げられている。
ここで、時計回りとは、-X側から+X側を視たときの時計回りのことである。また、螺旋とは、回転しながら回転面に垂直な方向へ移動する曲線のことである。螺旋とは、本明細書では、渦巻線を含まない弦巻線のことである。なお、円管20Aは、本明細書でいうところの金属管の一例である。
また、円管20Aのそれぞれの内部は、図5Bに示すように、空洞である。換言すると、円管20Aは、管壁面に囲まれた内部空間を有する。この円管20Aの内部空間には、冷媒が流され、流路として機能する。
このような円管20Aが、図3に示すように、前後方向に並べられている。そして、前後方向に隣り合う円管20Aは、上述した螺旋の位相がずれた状態で互いに絡み合っている。
詳細には、円管20Aを図3に示す絡み合った状態からほどいた状態にし、さらに、前後方向、すなわちY方向に配列する順序で円管20Aを並べると、図6A及び図6Bに示すように、隣り合う円管20A同士の位相は、180°近くずれている。すなわち、隣り合う円管20A同士は、YZ平面に平行な平面によって、あるX位置で円管20Aを区切った場合に、その平面での、中心軸Cに対する、円管20Aの位置が180°近くずれている。例えば、図6Aに示す矢印X1の位置では、最も-Yにある円管20Aが、中心軸Cに対して-Y方向に位置している。これに対して、その円管20Aと+Y側に隣り合う円管20Aは、中心軸Cに対して+Y方向に位置している。このように、Y方向に隣り合う円管20Aの位相は、180°近くずれている。
また、円管20Aは、図7に示すように、円管20Aそれ自体の外径をφ1、円管20Aが形成する螺旋の外径をφ2とする場合に、以下の式1-1を満たす形状に形成されている。
3φ1≦φ2・・・(式1-1)
円管20Aは、このような形状に形成されることにより、Y方向に隣り合う円管20Aに絡み合うことが可能である。また、円管20Aは、互いに絡み合っても干渉しにくい。そして、円管20A同士は、図4A及び図4Bに示すように、Y方向から互いに、また、螺旋の一周期毎に絡み合っている。
詳細には、円管20Aは、図示しないが、互いに中心軸Cが平行となる状態に配置されている。また、中心軸C同士は、図7に示す螺旋の外径φ2から円管20Aの外径φ1を減算した大きさとなる間隔で配置されている。そして、図6Aに示す、円管20Aの最も前方に屈曲した最前方部分Fが、その円管20Aと前方に隣り合う円管20Aの最も後方に屈曲した最後方部分Bに、前側から絡んでいる。また、円管20Aの最後方部分Bが、その円管20Aと後方に隣り合う円管20Aの最前方部分Fに、後側から絡んでいる。これにより、円管20A同士は、螺旋の一周期毎に絡み合っている。その結果、円管20Aは、図4A-図4Cに示すように、網状の円管群200Aを形成している。
円管20Aの左端と右端それぞれは、図3及び図4Aに示すように、開口している。これら左端、右端は、図示しない外部機器に接続されることにより、冷媒の供給を受ける供給口21、冷媒を排出する排出口22として機能する。これにより、円管20Aそれぞれは、冷媒が流れる流路として機能する。
また、円管20Aは、図3、図4A及び図4Bに示すように、左右方向に延在する。これにより、円管20Aは、上述した冷媒を供給口21から排出口22へ導く。さらに、円管20Aは、上述したように、前後方向に互いに絡み合っている。これにより、円管20Aの、本体10Aの上面視の密度、すなわち、流路の密集度が高められている。その結果、円管20Aの、本体10Aから冷媒への放熱効率が高められている。
なお、円管20Aは、図4A-図4C及び図7に示すように、円管20Aの外径をφ1、上述した螺旋の中心軸の長さをL、螺旋のピッチをP、螺旋の振幅をAとすると、以下の式2-1と式2-2を満たすことが望ましい。
P=4φ1(σ+1)・・・(式2-1)
A=φ1(σ+1)・・・(式2-2)
但し、σは、螺旋の中心軸が隣り合う円管20A同士の最小距離の程度を表す距離係数であり、σ<1を満たす係数である。また、tは、媒介変数であり、0≦t≦1満たす係数である。
さらに、螺旋の中心軸方向をX方向、螺旋の中心軸が隣り合う方向をY方向、X方向及びY方向に直交する方向をZ方向とする場合に、Y方向にn本目として配置された円管20Aの中心の軌跡は、弧度法を用いて表した場合に、以下の式2-3、式2-4及び、式2-5を満たすことが望ましい。
X=tL・・・(式2-3)
Y=Acos{360tL/P+180(n-1)}+A(n-1)・・(式2-4)
Z=Asin{360tL/P+180(n-1)}・・・(式2-5)
円管20Aが、式2-1、式2-2、式2-3、式2-4及び式2-5を満たす場合、円管20Aの外径を(σ+1)倍にした螺旋状の円管20Aがあると仮想した場合に、それら仮想された円管20Aが互いに重なり合わず、かつ互いに接する状態で、円管20Aが互いに絡み合う。換言すると、円管20Aは、隣り合う円管20A同士の最短距離、すなわち隙間がφ1σである最密状態で互いに絡み合う。このとき、円管20Aが形成する流路の密度が最も高い状態となるため、本体10Aの単位体積当たりの放熱面積が大きくなる。その結果、ヒートシンク1Aの放熱性能が高まる。従って、上記のように、円管20Aは、式2-1、式2-2、式2-3、式2-4及び、式2-5を満たす状態であることが望ましい。
なお、上述した隙間φ1σは、本体10Aを形成する材料、その製造方法によって規定される最小肉厚、本体10Aにおいて熱を拡散させる程度等の諸条件によって決定するとよい。
続いて、図8を参照して、ヒートシンク1Aの作用について説明する。以下の説明では、発熱体2Aであるパワー半導体に電力が供給され、発熱体2Aが発熱しているものとする。また、図示しない外部機器から、上述した供給口21へ冷媒として水が供給されているものとする。そして、その水が、排出口22から排出され、その図示しない外部機器へ戻るものとする。
図8は、ヒートシンク1Aに水が流されたときの、ヒートシンク1Aの概念図である。
発熱体2Aが発熱すると、その熱は、図8の矢印A1に示すように、本体10Aに伝わる。本体10Aは、熱伝導性の高い金属材料で形成されているので、伝わった熱は、本体10Aの内部かつ全体に伝わる。
一方、本体10Aには、複数の円管20Aが通されている。そして、それら円管20Aには、上述した水が流されている。
水は、円管20Aが上下方向かつ前後方向に屈曲する螺旋の形状を有するので、図8の矢印A2に示すように、螺旋の形状の経路で流れる。これにより、螺旋の径方向に向かう遠心力が水に働く。その結果、円管20Aの、螺旋の径方向にある内壁近傍の水の流速が大きい。これにより、温度境界層が薄くなる。ここで、温度境界層とは、円管20Aの内壁から円管20Aの内側に向かって、水の温度が大きく変化する層のことである。その結果、円管20Aの内壁まで伝わった熱が、水に伝わりやすくなり、本体10Aから水への熱伝導性が高まる。
また、水は、螺旋の形状を有する円管20Aそれぞれを流れる。その円管20Aの内壁と水の接触面積は、直線的に延在する円管を水が流れる場合よりも大きい。このため、水は、本体10Aに伝わった発熱体2Aの熱をより多く吸収する。換言すると、水は、円管20Aの内壁から放熱される放熱面積が大きいので、より多くの熱を吸収する。これにより、本体10Aに伝わった発熱体2Aの熱が水に放出されやすい。
さらに、円管20Aは、本体10Aの、前後方向全体にわたって複数個、並べられると共に、互いに絡み合っている。これにより、円管20Aは、前後方向に密集している。その結果、円管20Aを流れる水は、本体10Aの前後方向全体にわたる熱を吸収する。また、円管20Aが左右方向に延在するので、水は、左右方向全体にわたる熱も吸収する。このように、水は、本体10Aの全体に伝わった熱を吸収する。
水は、本体10Aから吸熱した後、上述した排出口22から排出される。これにより、水は、本体10Aの熱を外部に排出する。その結果、発熱体2Aが冷却される。
このように、ヒートシンク1Aでは、本体10Aから水への熱伝導性が高く、本体10Aの熱が水に放出されやすい。また、本体10A全体の熱が水に吸収される。その結果、ヒートシンク1Aの放熱性能が高い。すなわち、発熱体2Aを冷却する冷却性能が高い。
次に、図9を参照して、ヒートシンク1Aの製造方法について説明する。
図9は、ヒートシンク1Aの製造方法において、網状の円管群200Aを鋳包む金型90の概念図である。
まず、図6A及び図6Bに示す螺旋の形状を有する円管20Aを複数個、作製する。このとき、円管20Aは、後述する溶湯の金属材料と同じ融点又は、それよりも高い融点を有する金属材料で作製する。
続いて、作製した複数の円管20Aを上述した位置関係に配置する。これにより、図4A-図4Cに示す網状の円管群200Aを作製する。
なお、この複数の円管20Aを作製し、かつ複数の円管20Aから網状の円管群200Aを作製する工程は、本明細書でいうところの流路を形成する工程の一例である。また、この工程のことを本明細書では、流路形成工程という。
次に、図9に示すように、金型90に作製した網状の円管群200Aを入れる。
詳細には、金型90は、上に窪んだ凹部911を下面に有するプレート91と、下に窪んだ凹部921を上面に有し、プレート91と重ね合わせ可能なプレート92と、を備える。そして、プレート91と92が重ね合わされた状態で、凹部911、921は、上述した本体10Aと同じ大きさの直方体状かつ板状の空洞を形成する。
まず、そのプレート92の凹部921に網状の円管群200Aを載置し、続いて、プレート92にプレート91を重ね合わせることにより、凹部911、921が形成する空洞に網状の円管群200Aを入れる。このプレート91と92の重ね合わせでは、網状の円管群200Aが有する円管20Aの左右端の開口を中子93、94によって封じる。
次に、金型90内の凹部911、921が形成する空洞を溶湯で充填し、続いて、その溶湯を凝固させる。
詳細には、上述したアルミ合金、銅合金等の熱伝導性が高い金属材料を溶融して、溶湯を作製し、その溶湯を金型90に形成された湯口95から注入する。そして、金型90内の空洞を溶湯で満たす。
なお、溶湯の金属材料は、円管20Aが溶融することを防ぐため、円管20Aを形成する金属材料よりも融点が低いことが望ましい。
その後、金型90を冷却することにより、金型90内の溶湯を凝固させる。これにより、網状の円管群200Aが溶湯の金属材料によって鋳包まれる。その結果、本体10Aに網状の円管群200Aが通された形態のヒートシンク1Aが作製される。
なお、溶湯の原料となる金属材料は、本明細書でいうところの第一金属材料の一例である。円管20Aの原料となる金属材料は、本明細書でいうところの第二金属材料の一例である。また、この網状の円管群200Aを金属材料で鋳包む工程は、本明細書でいうところの複数の管を第一金属材料で鋳包む工程の一例である。
次に、金型90のプレート92からプレート91を取り外して、凹部921から完成したヒートシンク1Aを取り出す。また、中子93、94を円管20Aの左右端の開口から取り外す。そして、本体10Aの板面に発熱体2Aを搭載する。その結果、発熱体2Aを冷却することができるヒートシンク1Aが完成する。
なお、上述した複数の円管20Aを作製し、かつ複数の円管20Aから網状の円管群200Aを作製する工程は、例えば、作製時間が長くなるが、付加製造装置、より具体的には、3Dプリンタによって網状の円管群200Aを形成する工程であってもよい。
また、微小な直径の円管20Aの作製は難しいものの、ロストワックス鋳造法によって網状の円管群200Aが作製されてもよい。
以上のように、実施の形態1に係るヒートシンク1Aは、螺旋状に形成された円管20Aが絡み合った網状の円管群200Aを備える。このため、円管20Aに冷媒が流されるときに、その冷媒に熱が伝わりやすい。その結果、ヒートシンク1Aの放熱効率が高い。
複数の円管20Aは、螺旋の中心軸Cが互いに平行かつ隣り合っている。そして、隣り合った円管20Aは、螺旋の一周期毎に絡み合っている。このように、円管20Aが密に配置されているので、ヒートシンク1Aの放熱効率が高い。
(実施の形態2)
実施の形態1に係るヒートシンク1Aでは、本体10Aと円管20Aそれぞれを形成する金属材料の融点が同じであるか、或いは異なっている。従って、ヒートシンク1Aでは、本体10Aと円管20Aそれぞれの金属材料は異なっていてもよい。実施の形態2に係るヒートシンク1Bでは、本体10Bを形成する金属材料と円管20Bを形成する金属材料が異なっている。そして、この金属材料の組み合わせによる腐食を防止するため、円管20Bが鍍金されている。
以下、図10及び図11を参照して、実施の形態2に係るヒートシンク1Bについて説明する。実施の形態2では、実施の形態1と異なる構成を中心に説明する。
図10は、実施の形態2に係るヒートシンク1Bの背面図である。図11は、図10に示すXI-XI切断線の断面図である。なお、理解を容易にするため、図11では、円管20Bだけにハッチングを付している。また、螺旋形状に屈曲した円管20Bの外周OC、内周ICを点線で示している。
ヒートシンク1Bでは、本体10Bは、図10に示すように、供給流路31及び排出流路32を備える。
供給流路31は、左側面部12から本体10B内部に向かって延在し、円管20Bの左端につながっている。供給流路31は、外部機器が備える冷媒管が接続されることにより、冷媒管から供給される冷媒を円管20Bに導く。
また、排出流路32は、右側面部13から本体10B内部に向かって延在し、円管20Bの右端につながっている。排出流路32は、上記外部機器が備える冷媒管が接続されることにより、円管20B内の冷媒をその冷媒管へ排出する。
この本体10Bは、アルミニウム合金で形成されている。これに対して、円管20Bは、鉄鋼材料で形成されている。このため、ヒートシンク1Bに冷媒が供給された場合、その冷媒は、本体10Bに設けられた供給流路31と排出流路32でそれらの内壁の材料であるアルミニウム合金に接し、円管20Bでその内壁の材料である鉄鋼材料に接することになる。これらアルミニウム合金に含まれるアルミニウムと鉄鋼材料に含まれる鉄では、イオン化傾向が大きく異なる。このため、供給流路31と円管20Bの内壁の間と排出流路32と円管20Bの内壁の間とに電位差が生じてしまい、それらの間に電流が流れてしまう。その結果、供給流路31、排出流路32及び円管20Bの内壁が腐食することがある。
そこで、図11に示すように、円管20Bの内壁が鍍金されている。詳細には、円管20Bの内壁は、被覆膜23によって被覆されている。
被覆膜23は、亜鉛で形成されている。亜鉛は、円管20Bを形成する鉄よりも、本体10Bを形成するアルミニウムにイオン化傾向が近い。詳細には、円管20Bを形成する鉄は、本体10Bを形成するアルミニウムよりもイオン化傾向が大きい。そして、被腹膜23を形成する亜鉛は、本体10Bを形成するアルミニウムよりもイオン化傾向が大きく、かつ円管20Bを形成する鉄よりもイオン化傾向が小さい。その結果、被腹膜23を形成する亜鉛は、円管20Bを形成する鉄よりも本体10Bを形成するアルミニウムにイオン化傾向が近い。これにより、被覆膜23は、冷媒が流れたときの、本体10Bの供給流路31、排出流路32との電位差を小さくして、腐食を防いでいる。
続いて、ヒートシンク1Bの製造方法について説明する。
実施の形態1で説明した、螺旋の形状を有する円管20Bを作製した後、それら円管20Bを電気鍍金、溶融鍍金、蒸着鍍金などの方法によって、円管20Bの内壁を亜鉛で鍍金する。その後、鍍金された円管20Bを絡め合わせて、網状の円管群200Bを作製する。
なお、円管20Bの内壁を鍍金する亜鉛は、本明細書でいうところの第三金属材料の一例である。また、円管20Bの内壁を亜鉛で鍍金する工程は、本明細書でいうところの管の内壁を第三金属材料によって鍍金する工程の一例である。
網状の円管群200Bを作製した後、実施の形態1と同様にして、網状の円管群200Bをアルミニウム合金で鋳包む。これにより、本体10Bに網状の円管群200Bが通された形態のヒートシンク1Bが製造される。
続いて、本体10Bの板面に発熱体2Aを搭載する。これにより、発熱体2Aを冷却することができるヒートシンク1Bが完成する。
なお、被覆膜23が亜鉛で形成されているが、被覆膜23を形成する材料は、円管20Bを形成する材料よりも、本体10Bを形成する材料にイオン化傾向が近ければよい。このため、被覆膜23は、例えば、クロムで形成されていてもよい。また、本体10Bが銅合金、円管20Bがアルミニウム合金で形成されている場合、被覆膜23はチタンで形成されていてもよい。
また、上記の鍍金では、円管20Bの内壁を鍍金しているが、円管20Bの外壁も鍍金してよい。
以上のように、実施の形態2に係るヒートシンク1Bでは、被覆膜23が、円管20Bを形成する鉄よりも、本体10Bを形成するアルミニウムにイオン化傾向が近い亜鉛で形成されている。そして、被覆膜23は、円管20Bの内壁を被覆している。このため、冷媒が円管20Bに流されても、ヒートシンク1Bが腐食しにくい。
(実施の形態3)
実施の形態1及び2に係るヒートシンク1A、1Bでは、円管20A、20Bの内壁が管断面円形であり、滑らかである。しかし、ヒートシンク1A、1Bはこれに限定されない。実施の形態3に係るヒートシンクでは、円管20Cの内壁に突起24が形成されている。
以下、図12A、図12B、図13A及び図13Bを参照して、実施の形態3に係るヒートシンクについて説明する。実施の形態3では、実施の形態1及び2と異なる構成を中心に説明する。
図12Aは、実施の形態3に係るヒートシンクに使用される円管20Cの斜視図である。図12Bは、図12Aに示すXIIB領域の拡大図である。図13Aは、円管20Cの変形例の斜視図である。図13Bは、図13Aに示すXIIIB領域の拡大図である。なお、これらの図では、理解を容易にするため、ヒートシンクに使用される円管20Cを途中で切断した場合の、円管20Cを示している。
図12A及び図12Bに示すように、円管20Cの内壁には、管断面視で、円管の径方向に長手方向を向けた矩形状を有する突起24が設けられている。
突起24は、上記管断面の形状のまま、円管20Cが延在する方向へ延びている。円管20Cは、実施の形態1及び2で説明した円管20A、20Bと同様に、螺旋の形状に延在している。その結果、突起24は、図示しないが、螺旋の形状に形成されている。
突起24は、上述したように、円管20Cが延在する方向へ延びている。このため、突起24は、円管20Cに冷媒が流されたとき、その冷媒が流れる方向に延在する。これにより、突起24は、冷媒の、円管20C内周方向の流れを乱して、冷媒を攪拌する。その結果、突起24は、円管20Cの放熱性能を高める。また、突起24が設けられることにより、円管20Cの内壁表面積が拡大されて、円管20Cの放熱性能が高められている。
さらに、突起24は、管断面視矩形のコーナーが尖っている。詳細には、突起24の、管軸側にある先端のコーナーが丸められておらず、管断面視直角である。これにより、突起24は、実施の形態1で説明した温度境界層の発達を抑制する。その結果、突起24は、円管20Cの内壁まで伝わった熱を冷媒に伝熱しやすくする。
実施の形態3に係るヒートシンクの製造方法は、円管20Cに突起24を設けることを除いて、同じである。このため、実施の形態3では、ヒートシンクの製造方法の説明を省略する。
なお、上述した突起24のコーナーは、図13A及び図13Bに示すように、丸められていてもよい。詳細には、突起24のコーナーは、アール加工され、管断面視で曲線状に丸められてもよい。この場合、突起24は、円管20Cに冷媒が流されたときに、コーナーによる渦の発生を抑制することができる。その結果、突起24は、冷媒の圧力損失を小さくすることができる。
また、突起24が冷媒を攪拌すればよいので、突起24は、螺旋の中心軸Cに垂直に延在してもよい。また、突起24は、円管20Cの内壁の周方向に蛇行しながら円管20Cの延在方向に延在してもよい。
以上のように、実施の形態3に係るヒートシンクでは、円管20Cに突起24が設けられているので、円管20Cに冷媒が流されたときに、その冷媒が攪拌される。これにより、円管20Cの放熱性能が高い。その結果、ヒートシンクの放熱効率が高い。
(実施の形態4)
実施の形態1及び2に係るヒートシンク1A、1Bでは、円管20A、20Bの左端、右端が本体10A、10Bの左側面部12、右側面部13で開口し、冷媒の供給口21、排出口22として機能する。しかし、ヒートシンク1A、1Bはこれに限定されない。ヒートシンク1A、1Bに冷媒を分配、集約するヘッダが設けられてもよい。実施の形態4に係るヒートシンク1Dは、ヘッダを備える。
以下、図14を参照して、実施の形態4に係るヒートシンク1Dについて説明する。実施の形態4では、実施の形態1-3と異なる構成を中心に説明する。
図14は、実施の形態4に係るヒートシンク1Dの斜視図である。なお、図14では、理解を容易にするため、本体10Dを半透明に表示して、その内部の円管群200Dも示している。
図14に示すように、ヒートシンク1Dは、円管20Dそれぞれが有する供給口21をつなぐ入口ヘッダ41と、円管20Dそれぞれが有する排出口22をつなぐ出口ヘッダ42と、を備える。
入口ヘッダ41は、円筒状に形成され、本体10Dを前後方向に貫通する。そして、図示しないが、入口ヘッダ41の背面側は、封鎖されている。一方、入口ヘッダ41の正面側には、外部機器と接続され、冷媒を供給する入口パイプ43が圧入されている。
入口ヘッダ41の円筒軸は、円管20Dの円筒軸と直交している。その入口ヘッダ41の内周面には、円管20Dそれぞれが有する供給口21が開口している。すなわち、入口ヘッダ41の内部空間は、供給口21とつながっている。これにより、入口ヘッダ41は、入口パイプ43から冷媒が供給された場合に、その冷媒を円管20Dそれぞれの供給口21に分配する。
また、出口ヘッダ42も、入口ヘッダ41と同じく、円筒状に形成され、本体10Dを前後方向に貫通する。そして、出口ヘッダ42も、入口ヘッダ41と同じく、背面側が封鎖されている。また、出口ヘッダ42の正面側には、外部機器と接続され、冷媒を排出する出口パイプ44が圧入されている。
出口ヘッダ42の円筒軸は、円管20Dの円筒軸と直交している。そして、出口ヘッダ42の内周面には、円管20Dそれぞれが有する排出口22が開口している。すなわち、出口ヘッダ42の内部空間は、排出口22につながっている。これにより、出口ヘッダ42は、冷媒が円管20Dそれぞれに流された場合に、その冷媒を排出口22それぞれから集約する。
なお、入口ヘッダ41は、本明細書でいうところの第一ヘッダの一例である。また、出口ヘッダ42は、本明細書でいうところの第二ヘッダの一例である。
実施の形態4に係るヒートシンク1Dの製造方法は、(1)本体10Dの左右方向の長さを円管20Dよりも長く形成すること、(2)本体10Dの左端、右端の近傍に、上述した入口ヘッダ41と出口ヘッダ42を形成すること、(3)入口ヘッダ41と出口ヘッダ42に、入口パイプ43と出口パイプ44を圧入すること、を除いて、実施の形態1と同じである。このため、実施の形態4では、ヒートシンク1Dの製造方法の説明を省略する。
なお、入口ヘッダ41と出口ヘッダ42は、網状の円管群200Dを金属材料で鋳込むときに、円筒状の中子を用いることにより作製するとよい。
また、ヒートシンク1Dでは、入口パイプ43と出口パイプ44を入口ヘッダ41と出口ヘッダ42に圧入しているが、入口パイプ43と出口パイプ44を入口ヘッダ41と出口ヘッダ42に接続する手段は限定されない。例えば、入口パイプ43と出口パイプ44に雄ネジ部を形成し、かつ入口ヘッダ41と出口ヘッダ42に雌ネジ部を形成しておく。そして、入口ヘッダ41と出口ヘッダ42の雌ネジ部に、入口パイプ43と出口パイプ44の雄ネジ部を取り付けることにより、入口パイプ43と出口パイプ44を入口ヘッダ41と出口ヘッダ42に接続してもよい。
以上のように、実施の形態4に係るヒートシンク1Dは、本体10Dに入口ヘッダ41と出口ヘッダ42が設けられているので、冷媒の供給、排出が容易である。
また、入口ヘッダ41と出口ヘッダ42は、本体10Dに形成された空洞であり、本体10Dと一体である。このため、ヒートシンク1Dの構造が簡易である。
(実施の形態5)
実施の形態1では、ヒートシンク1Aが、網状の円管群200Aを金属材料で鋳込むことにより製造されている。しかし、ヒートシンク1Aの製造方法はこれに限定されない。実施の形態5に係るヒートシンク1Eは、板状体を重ね合わせることにより製造する。
以下、図15及び図16を参照して、実施の形態5に係るヒートシンク1Eについて説明する。実施の形態5では、実施の形態1-4と異なる構成を中心に説明する。
図15は、実施の形態5に係るヒートシンク1Eの部品構成図である。図16は、図15に示すXVI領域の拡大図である。なお、図15は、理解を容易にするため、ヒートシンク1Eを形成する複数の板状体50のうち、一部の板状体50だけを分解して、取り出したときの、ヒートシンク1Eを示している。
図15に示すように、ヒートシンク1Eは、多数の板状体50が重ね合わされることにより、形成されている。
板状体50は、実施の形態1で説明した本体10Aと同じく、アルミニウム合金、銅合金等の熱伝導性が高い金属材料で形成されている。そして、板状体50は、実施の形態1で説明した本体10Aの左右方向に垂直な断面の形状と同じ矩形の板面を有する。板状体50は、その板面の長手方向を前後方向に、短手方向を上下方向に向けている。
板状体50の板厚は、実施の形態1で説明した本体10Aの左右方向の長さを、比較的大きい整数で除算して得た大きさと同じである。そして、板状体50は、左右方向に重ね合わせることにより、積層体500を形成している。その積層体500は、板状体50を上述した整数個だけ重ね合わせることにより、実施の形態1の本体10Aと左右方向に同じ大きさとなる。板状体50は、上述したように、本体10Aの左右方向に垂直な断面の形状と同じである。このため、積層体500は、板状体50を上述した整数個だけ重ね合わせることにより、全体として実施の形態1の本体10Aと同じ外形となる。
また、板状体50には、その板面に扁平状に開口した複数の貫通孔51が設けられている。
貫通孔51の個数は、実施の形態1で説明した円管20Aの個数と同数である。また、それら貫通孔51の開口は、扁平状である。貫通孔51は、板状体50を、その板面に垂直に貫通する。そして、板状体50の貫通孔51それぞれは、その板状体50と左右方向に隣接する板状体50の貫通孔51とその開口の向きと位置がずれている。
この開口の向きと位置のずれについて詳細に説明すると、板状体50を左右方向に重ね合わせたときの、隣り合う板状体50同士が有する貫通孔51の中心が、実施の形態1で説明した螺旋を形成する位置に配置されている。その結果、上述したように、それら貫通孔51の位置がずれている。
また、貫通孔51の開口の短手方向は、上記螺旋の中心の方向に向いている。そして、隣り合う板状体50同士の貫通孔51の中心が上述した螺旋を形成する位置に配置されていることから、隣り合う板状体50同士で、貫通孔51の開口の向きがずれている。
このように、貫通孔51の開口の向きと位置がずれている。このため、板状体50が左右方向に重ね合わせられて積層体500が形成されると、貫通孔51全体は、実施の形態1で説明した円管20Aと同じく、螺旋形状の孔を形成する。
この螺旋形状の孔には、冷媒が供給される。これにより、貫通孔51それぞれは、冷媒の流路として機能する。
また、この螺旋形状の孔は、板状体50の板面に垂直な貫通孔51がつなぎ合わされることにより形成されている。これにより、貫通孔51同士の間に段差が形成されている。その結果、この螺旋形状の孔は、内壁が滑らかでなく、その段差によって、冷媒が流されたときのその冷媒を攪拌する。これにより、螺旋形状の孔の放熱性能が高い。その結果、ヒートシンク1Eの放熱効率が高い。
次に、実施の形態5に係るヒートシンク1Eの製造方法について説明する。
まず、上述した材料、形状の板状体50を用意する。続いて、板状体50に、上述した形状の貫通孔51を形成する。その数は、実施の形態1で説明した円管20Aと同数である。
この貫通孔51の形成では、上述した積層体500内のどの位置で重ねられる板状体50であるか否かに応じて、貫通孔51の位置、向きを変更する。このとき、貫通孔51は、レーザー加工、エッチング加工、切削加工等の各加工方法によって形成するとよい。また、プレス加工により、板状体50の形成と同時に貫通孔51の形成をしてもよい。
また、貫通孔51同士が近接して、貫通孔51間の強度が十分でない場合、貫通孔51同士をつなげてもよい。
なお、上述した貫通孔51を形成して、貫通孔51がある板状体50を形成する工程は、本明細書でいうところの板状体を形成する工程の一例である。
次に、貫通孔51が形成された板状体50を重ね合わせ、さらにそれら板状体50を接合する。例えば、ロウ付け、拡散接合、カシメ等によって重ね合わせた板状体50同士を接合する。これにより、螺旋状の複数の流路が絡み合ったヒートシンク1Eが製造される。
なお、この板状体50を重ね合わせて接合する工程は、本明細書でいうところのブロックを組み立てる工程の一例である。また、板状体50を重ね合わせて形成された積層体500は、本明細書でいうところのブロックの一例である。
続いて、図示しないが、積層体500の、板状体50の端面が向いた面に発熱体2Aを搭載する。これにより、発熱体2Aを冷却することができるヒートシンク1Eが完成する。
なお、貫通孔51は、板状体50の板面に垂直に延在する形状に形成されるが、貫通孔51は、板状体50の板面に斜めに延在する形状に形成されてもよい。
また、貫通孔51は、板状体50を貫通する方向に直線的であるが、貫通孔51は、貫通方向へ屈曲しながら延在する形状であってもよい。これにより、積層体500で隣り合う板状体50同士の間に、上述した段差がなく、上述した螺旋形状の孔の内壁が滑らかな形状であってもよい。
以上のように、実施の形態5に係るヒートシンク1Eは、貫通孔51が形成された板状体50を重ね合わせることにより、製造されているので、その製造が容易である。
例えば、実施の形態1では、網状の円管群200Aを形成することにより、ヒートシンク1Aの流路を形成するため、微細な形状の流路を形成する場合、その製造が難しいことがある。これに対して、実施の形態5では、板状体50に貫通孔51を開けることにより流路を形成するので、微細な形状の流路を形成する場合に、その製造が容易である。
(実施の形態6)
実施の形態1-5では、本体10A、10B、10Dの上面部11が平らである。すなわち、発熱体2Aを搭載する面が平らである。しかし、本体10A、10B、10Dの形状はこれに限定されない。本体10A、10B、10Dは、発熱体2Aの形状に沿った形状の搭載面を有してもよい。実施の形態6に係るヒートシンク1Fでは、本体10Fが湾曲している。
以下、図17を参照して、実施の形態6に係るヒートシンク1Fについて説明する。実施の形態6では、実施の形態1-5と異なる構成を中心に説明する。
図17は、実施の形態6に係るヒートシンク1Fの斜視図である。なお、図17では、理解を容易にするため、本体10Fを半透明に表示して、その内部の円管群200Fも示している。
図17に示すように、ヒートシンク1Fは、長手方向、すなわち前後方向に湾曲した板の形状の発熱体2Fを冷却するため、同方向に湾曲した本体10Fを備える。
本体10Fは、発熱体2Fよりも大きい、前後方向に湾曲した板の形状を有する。そして、その本体10Fの内部には、本体10Fと同方向に湾曲する円管群200Fが組み込まれている。
円管群200Fは、実施の形態1で説明した円管20Aと同形状の円管20Fが複数個組み合わされることにより、形成されている。円管群200Fでは、それら円管20Fが、本体10Fの板面の短手方向、すなわち、X方向に螺旋の中心軸Cを向けている。そして、それら円管20FはY方向に互いに隣り合うと共に、隣り合う円管20Fが互いに絡み合っている。
その円管20F同士の絡み合いは、隣り合う円管20FがZ方向にずれていることを除いて、実施の形態1と同様である。円管群200Fでは、-Y端にある円管20Fから本体10FのY方向中央まで、+Y方向に向かうに従い、+Y方向に隣り合う円管20Fが-Z方向へずれる。そして、本体10FのY方向中央から+Y端にある円管20Fまで、+Y方向に向かうに従い、+Y方向に隣り合う円管20Fが+Z方向へずれる。これにより、円管群200Fは、X方向に真っ直ぐに延在し、かつY方向に湾曲した網の形状を有する。その結果、円管群200Fは、本体10Fの内部で本体10Fの、発熱体2Fを搭載する上面部11に沿っている。これにより、円管群200Fには、発熱体2Fの熱が効果的に伝わる。その結果、発熱体2Fが高い効率で冷却される。
以上のように、実施の形態6に係るヒートシンク1Fでは、本体10Fが発熱体2Fの形状に沿って湾曲する搭載面を有し、円管群200Fがその搭載面に沿って湾曲する。このため、発熱体2Fの熱が本体10Fに伝わりやすく、また、その熱が円管群200Fに伝わりやすい。その結果、ヒートシンク1Fは、発熱体2Fが湾曲しているにもかかわらず、冷却性能が高い。
なお、上面部11は、湾曲している。上面部11は、本明細書でいうところの屈曲面の一例である。
(変形例)
実施の形態6では、発熱体2Fが湾曲した板の形状であることから、本体10Fが曲線状に曲がっているが、本体10Fは、鋭角又は鈍角に折れ曲がっていてもよい。
図18は、実施の形態6の変形例に係るヒートシンク1Gの斜視図である。なお、図18では、理解を容易にするため、図17と同様に、本体10Gを半透明に表示して、その内部の円管群200Gも示している。
ヒートシンク1Gは、前後方向に折れ曲がった板の形状に形成された本体10Gを有する。詳細には、本体10Gは、短手方向を前後方向に向けた、矩形かつ板の形状を有する前方板状部101と、その前方板状部101の後方に配置され、前方板状部101と隣接する後方板状部102とを有する。そして、後方板状部102の短手方向は、後に向かうに従い高くなる方向に向けられている。換言すると、後方板状部102の短手方向は、前方板状部101の短手方向に対して鋭角方向に向けられている。その結果、後方板状部102は、前方板状部101に対して鋭角に折れ曲がっている。
本体10Gの内部には、その本体10Gと同様に、前後方向に折り曲げられた円管群200Gが設けられている。詳細には、円管群200Gは、前方板状部101の板面に沿った網の形状の前方部と、その前方部に対して鋭角に折れ曲がった結果、後方板状部102の板面に沿った網の形状を有する後方部と、を備える。この折れ曲がり形状は、前方部の最後方、すなわち前方部の最も-Y側にある円管20Gに隣り合う、後方部の最も+Y側にある円管20Gが、-Y側かつ+Z側に隣り合うことにより、実現されている。円管群200Gには、円管群200Gがこのような形状を有することにより、前方板状部101と後方板状部102の熱が均等に伝わる。
一方、本体10Gには、冷却対象の複数個の発熱体2G、3Gが搭載されている。詳細には、前方板状部101の上に複数の発熱体2Gが配置されている。また、後方板状部102の上に1つの発熱体3Gが配置されている。このため、前方板状部101と後方板状部102には、複数の発熱体2Gと発熱体3Gが発する熱が伝わる。そして、それら前方板状部101と後方板状部102に伝わった熱は、上述したように円管群200Gへ均等に伝わる。その結果、円管群200Gに冷却水が流されると、発熱体2G、3Gは、その冷却水に冷却される。
このように、ヒートシンク1F,1Gでは、本体10F、10Gが、複数の発熱体2G、3Gを搭載するため、鋭角又は鈍角に折れ曲がっていてもよい。
(実施の形態7)
実施の形態1-6では、本体10A、10B、10D、10F、10Gの上面部11にだけ発熱体2A、2F、2G、3Gが搭載されている。しかし、発熱体2A、2F、2G、3Gが搭載される面はこれに限定されない。実施の形態7に係るヒートシンク1Hでは、本体10Hの板面の両面それぞれに発熱体2Hが配置されている。
以下、図19及び図20を参照して、実施の形態7に係るヒートシンク1Hについて説明する。実施の形態7では、実施の形態1-6と異なる構成を中心に説明する。
図19は、実施の形態7に係るヒートシンク1Hの左側面図である。図20は、ヒートシンク1Hの斜視図である。なお、図19及び図20では、理解を容易にするため、本体10Hを半透明に表示して、その内部の円管群200Hも示している。
図19及び図20に示すように、ヒートシンク1Hは、実施の形態1と同様に、板面を上に向けた板状かつ矩形状の本体10Hを有する。そして、本体10Hの内部には、実施の形態1と同様に、円管群200Hが配置されている。
円管群200Hは、本体10Hの短手方向、すなわち、X方向に螺旋の中心軸Cを向けた形状を有し、かつY方向に隣り合って互いに絡み合った複数の円管20Hを備える。さらに、円管群200Hは、上面部11と下面部14から均等な距離だけ離れた、本体10Hの内部に配置されている。このため、円管群200Hには、上面部11と下面部14から均等に熱が伝わる。
一方、上面部11と下面部14それぞれには、図19に示すように、複数の発熱体2Hが搭載されている。このため、上面部11と下面部14それぞれには、発熱体2Hが動作して発熱すると、それら発熱体2Hの熱が伝わる。その熱は、さらに円管群200Hに伝わる。その結果、その熱は、円管群200Hに流される冷却水に伝わって放出される。これにより、発熱体2Hは、円管群200Hの冷却水に冷却される。
以上のように、実施の形態7に係るヒートシンク1Hでは、本体10Hが備える上面部11と下面部14のそれぞれに発熱体2Hが搭載されている。そして、本体部10Hには、冷却水を流す円管群200Hが通されている。このため、ヒートシンク1Hは、上面部11と下面部14にある発熱体2Hを同時に冷却することができる。
なお、上面部11と下面部14は、本明細書でいうところの対向する2つの面の一例である。
(実施の形態8)
実施の形態1では、ヒートシンク1Aの製造方法が備える流路形成工程において、付加製造装置を用いて円管群200Aを作製することを例示しているが、流路形成工程はこれに限定されない。実施の形態8に係るヒートシンクの製造方法では、治具60を用いて螺旋状に屈曲させた円管20A同士を絡め合わせて、円管群200Aを形成する流路形成工程を備える。
以下、図21A-図21C、図22A-図22E及び図23A-図23Dを参照して、実施の形態8に係るヒートシンクの製造方法について説明する。実施の形態8では、実施の形態1-7と異なる構成を中心に説明する。
まず、図21A-図21Cを参照して流路形成工程で用いる治具60の構成について説明する。
図21Aは、実施の形態8に係るヒートシンクの製造方法で用いる治具60の斜視図である。図21Bは、図21AのXXIB-XXIB切断線に沿って治具60を切断したときの斜視図である。図21Cは、図21AのXXIC-XXIC切断線に沿って治具60を切断したときの断面図である。なお、図21Aと図21Bでは、治具60に形成された複数の窪み61と62を見分けるため、窪み61を白くし、窪み62をグレーにしている。
図21A及び図21Bに示すように、治具60は、板状に形成されている。そして、治具60の上面の側には、実施の形態1で説明した螺旋のピッチPで左右方向に配列された複数の窪み61と、ピッチPで左右方向に配列され、窪み61の列とピッチPの半分だけ左右方向にずれた複数の窪み62と、が形成されている。治具60では、それら窪み61の列と窪み62の列が交互に前後方向に並んでいる。
複数の窪み61は、図21Cに示すように、治具60の上面から、実施の形態1で説明した螺旋の振幅Aよりも円管20Aの外径φ1の半分だけ低い位置に螺旋の中心軸Cがある円管20Aの外形に沿う形状、位置に形成されている。換言すると、複数の窪み61は、その位置に配置された円管20Aの、治具60上面よりも下に位置する部分それぞれに嵌合する位置、形状に窪んでいる。これにより、複数の窪み61は、円管20Aが嵌められたときに円管20Aを保持する。
また、複数の窪み61は、円管20Aを治具60上で左右方向に移動させて嵌合させても保持可能とするため、上記の位置に配置された円管20Aが実際の長さの倍の長さであるとした場合に、その円管20Aの、治具60上面よりも下に位置する部分それぞれに嵌合可能な数だけ、形成されている。
これに対して、複数の窪み62は、図21Cには示さないが、(1)複数の窪み61とピッチPの半分だけ左右方向にずれていること、(2)複数の窪み61から前又は後方向に、実施の形態1で説明した中心軸C同士の間隔だけ、ずれていること、を除いて、複数の窪み61と同様の形状、位置に形成されている。また、窪み62の数も、窪み61と同様である。
窪み61と62は、このような形状、位置に形成されることにより、治具60の上面側に円管群200Aが載置されたときの、各円管20Aの下側部分をかたどっている。その結果、治具60は、窪み61と62に各円管20Aを嵌めることにより、円管群200Aでの円管20Aの位置を規定することができる。
続いて、図22A-図22E及び図23A-図23Dを参照して、治具60を用いた流路形成工程について説明する。なお、以下の説明では、理解を容易にするため、流路形成工程で絡め合わせる複数の円管20Aのうちの一つの円管の符号を20I、その円管に絡め合わせる、もう一つの円管の符号を20Jと記載する。また、作製される円管群の符号を200Iと記載する。
図22Aは、実施の形態8に係るヒートシンクの製造方法で用いる治具60に円管20Iを保持させたときの治具60の斜視図である。また、図22Bは、治具60に円管20Iに加えて別の円管20Jを保持させたときの治具60の斜視図である。図23Aは、同流路形成工程において、治具60に保持される円管20Iの斜視図である。なお、図23A-図23Dでは、円管20Iの状態を理解しやすくするため、円管20Iだけを示し、治具60を省略している。
まず、実施の形態1で説明した円管20Aを複数個用意する。そして、それら複数の円管20Aのうちの一つの円管20Iを、図22Aに示すように、治具60の後方かつ右側にある窪み61の列に嵌め合わせる。これにより、円管20Iは、治具60によって保持される。その結果、円管20Iは、図23Aに示す螺旋の中心軸Cを左右方向に向けた状態で、その位置が決められる。
続いて、図22Bに示すように、円管20Iとは別の円管20Jを、治具60の後方かつ右側にあり、上記の円管20Iが嵌め合わされた窪み61と前方向に隣り合う窪み62の列に嵌め合わせる。これにより、円管20Jも、治具60によって保持され、螺旋の中心軸Cを左右方向に向けた状態で、その位置が決められる。
なお、円管20Iを窪み61の列に嵌め合わせる工程と円管20Jを窪み62の列に嵌め合わせる工程のことを、本明細書では、円管位置決め工程という。
この状態で、円管20Jを時計回りに回転させる。ここで、時計回りとは、実施の形態1での説明と同じく、円管20Jの左側から右側を視たときの、すなわち-X側から+X側を視たときの時計回りのことである。
図23Bは、別の円管20Jを回転させて、円管20Iの左端に別の円管20Jの右端が絡められたときの円管20I、20Jの斜視図である。
円管20Jを時計回りに回転させると、円管20Jは、治具60の窪み62に嵌まったまま、窪み62に案内される。その結果、円管20Jは、右方向に移動する。窪み62は、ピッチPだけ右方向に移動する毎に、窪み61に嵌め合わされた円管20Iに絡まる位置に円管20Jを案内する。これにより、円管20Jは、円管20Iに絡まっていく。その結果、まず、図23Bに示すように、円管20Jの右端が円管20Iの左端に絡まる。
なお、円管20Iと20Jは、本明細書でいうところの第一の管と第二の管の一例である。また、円管20Jの右端を円管20Iの左端に絡める工程は、本明細書でいうところの第一の管と第二の管を配置する工程の一例である。本明細書では、この工程のことを、管配置工程ともいう。
図22Cは、治具60の上で別の円管20Jを回転させて、円管20Iの左端半分にその別の円管20Jを絡ませたときの治具60の斜視図である。図22Dは、治具60の上で別の円管20Jをさらに回転させて、円管20I全体に別の円管20Jを絡ませたときの治具60の斜視図である。
また、図23Cは、別の円管20Jをさらに回転させて、円管20Iの左端半分にその別の円管20Jを絡ませたときの円管20I、20Jの斜視図である。図23Dは、別の円管20Jをさらに回転させて、円管20I全体に別の円管20Jを絡ませたときの円管20I、20Jの斜視図である。
円管20Jを時計回りに回転させると、図23Bに示すように、円管20Jの右端が円管20Iの左端に絡まる。円管20Jをさらに回転させていくと、円管20Jがさらに円管20Iに絡んでいく。円管20Jは、図22C及び図23Cに示すように、円管20Iの左端半分に絡まり、その後、図22D及び図23Dに示すように、円管20Iの全体に絡まる。
なお、円管20Jを円管20Iの全体に絡める工程は、本明細書でいうところの第一の管を第二の管に絡め合わせる工程の一例である。また、この工程は、円管20Jを円管20Iに互い違いに組み合わせて一つの形に作り上げることなので、すなわち編むことなので、編み工程ともいう。
次に、上記円管20Jを嵌め合わせた窪み62の前側にある窪み61に、さらに別の円管20Aを嵌め合わせる。そして、上記の円管位置決め工程、管配置工程、編み工程を行って、その別の円管20Aを円管20J全体に絡める。これら工程を繰り返していく。
図22Eは、治具60の上で多数の円管20I、20Jを絡めて円管群200Iを形成したときの治具60の斜視図である。
上記の円管位置決め工程、管配置工程、編み工程を繰り返していくことにより、図22Eに示す円管群200Iを形成する。円管群200Iが形成されると、形成された円管群200Iを治具60から取り外す。
その後、治具60から取り外した円管群200Iを金属材料で鋳込む。これにより、ヒートシンク1Aが完成する。
以上のように、実施の形態8に係るヒートシンクの製造方法では、治具60を用いて流路形成工程を行う。その治具60は、複数の螺旋状の円管20I、20Jを螺旋の中心軸の周りに回転可能に保持すると共に、一方の円管20Iを固定したまま、他方の円管20Iを螺旋の中心軸の周りに回転させた場合に、一方の円管20Iに他方の円管20Iが絡め合う位置に、他方の円管20Iを案内する。このため、実施の形態8に係るヒートシンクの製造方法では、容易に円管20I、20J同士を絡ませて円管群200Iを作製することができる。
(実施の形態9)
実施の形態2に係るヒートシンク1Bの製造方法では、本体10Bと円管20Bを形成する金属材料が異なることに起因する腐食を防ぐため、円管20Bを鍍金する。しかし、本体10Bと円管20Bの形成材料が異なることに起因する腐食を防ぐための製造方法はこれに限定されない。実施の形態9に係るヒートシンク1Kの製造方法は、円管群200Kを本体10Kの材料である金属材料で鋳込んで本体10Kを作製した後、円管20Kを溶解させて円管20Kを除去する工程を備える。
以下、図24A、図24B、図25A及び、図25Bを参照して、実施の形態9に係るヒートシンク1Kの製造方法について説明する。実施の形態9では、実施の形態1-8と異なる構成を中心に説明する。
図24Aは、実施の形態9に係るヒートシンク1Kの製造方法において、円管群200Kを本体10Kの材料である金属材料で鋳込んで本体10Kを作製したときの本体10Kの斜視図である。図24Bは、図24Aに示すXXIVB領域の拡大図である。図25Aは、同製造方法において、円管群200Kを溶解させて円管群200Kを除去したときの本体10Kの斜視図である。図25Bは、図25Aに示すXXVB領域の拡大図である。なお、図24A、図24B、図25A及び、図25Bでは、理解を容易にするため、本体10Kを半透明に表示して、その内部の円管群200Kも示している。
ヒートシンク1Kの製造方法では、実施の形態1と同様の形状の円管20Kを特定の金属材料、例えば、鉄鋼材料で形成する。そして、形成された円管20Kを複数個用いて、円管20Kが絡み合った円管群200Kを形成する。続いて、その円管群200Kを、別の金属材料、例えば、アルミニウム合金で鋳込む。これにより、図24Aに示す本体10Kを作製する。
このような円管群200Kと本体10Kの金属材料が異なる場合に、それら金属材料のイオン化傾向が大きく異なると、実施の形態2で説明したように、円管群200Kと本体10Kの間に電位差が発生して電流が流れ、その結果、円管群200Kと本体10Kが腐食するおそれがある。
そこで、ヒートシンク1Kの製造方法では、作製された本体10Kの端面に露出した円管20Kの開口、すなわち、図24A及び図24Bに示す供給口21から、矢印A3で示すように、円管20Kを形成する金属材料を溶解させる溶解液、例えば、塩酸、硫酸、王水等を流し込む。これにより、円管20Kを形成する金属材料を溶解させる。
円管20Kを形成する金属材料が溶解されると、図25A及び図25Bに示すように、本体10Kから円管20Kが除去される。これにより、ヒートシンク1Kが完成する。
このような方法によって製造されるため、ヒートシンク1Kには、本体10Kを形成する金属材料と同材料で形成された内壁を有する流路70が形成される。また、本体10Kに流路70が絡まり合った流路群71が形成される。流路群71では、内壁が本体10Kと同じ金属材料で形成されているので、流路70と本体10Kの間で電位差が発生して電流が流れることがない。その結果、ヒートシンク1Kでは、電位差を要因とする腐食の発生が防止される。
なお、本体10Kを形成する金属材料は、本明細書でいうところの第一金属材料の一例である。また、円管20Kを形成する金属材料は、本明細書でいうところの第四金属材料の一例である。塩酸、硫酸、王水等は、本明細書でいうところの溶解液の一例である。
以上のように、実施の形態9に係るヒートシンク1Kの製造方法では、円管20Kを形成する金属材料を溶解させる溶解液を円管20Kに流し込んで、円管20Kを形成する金属材料を溶解させて、円管20Kを本体10Kから除去する工程を備える。このため、製造されたヒートシンク1Kでは、流路70の内壁と本体10Kを形成する材料が同じである。その結果、ヒートシンク1Kでは、流路70の内壁と本体10Kのイオン化傾向が異なる材料によって形成されていることに起因する腐食の発生を防止することができる。
以上、本開示の実施の形態に係る空気調和機のヒートシンク1A、1B、1D-1H及び1Kについて説明したが、ヒートシンク1A、1B、1D-1H及び1Kはこれに限定されない。例えば、実施の形態1-8では、冷媒の流路が円管20A-20D及び20F-20Jで形成されている。しかし、冷媒の流路は、これに限定されない。例えば、流路は、螺旋の形状に延在し、螺旋の中心軸が隣り合う流路同士が互いに絡み合っていればよい。従って、流路の断面形状、換言すると、管断面形状は任意である。例えば、流路は、管断面扁平の扁平管であってもよい。
また、流路は、管によって形成されているか否かを問わない。換言すると、本体10A、10B、10D、10F、10G、10H、10Kと別部材である必要はない。流路は、実施の形態5及び9のように、本体10A、10B、10D、10F、10G、10H、10Kに形成された流路であってもよい。
実施の形態1-9では、円管20A-20D及び20F-20Kの螺旋の中心軸Cが互いに平行である。換言すると、螺旋に形成された流路の、螺旋の中心軸は、互いに平行である。しかし、流路はこれに限定されない。例えば、円管20A-20D及び20F-20Kの螺旋が常螺旋でない場合、詳細には、円管20A-20D及び20F-20Kの螺旋が、螺旋の中心軸Cに沿って一方向に向かうに従い、螺旋の外径φ2が徐々に大きくなる形状である場合、円管20A-20D及び20F-20Kの螺旋の中心軸Cが、隣り合う円管20A-20D及び20F-20Kの螺旋の中心軸Cに対して傾いてもよい。
実施の形態1-9では、隣り合う円管20A-20D及び20F-20K同士が螺旋の一周期毎に絡み合っている。換言すると、隣り合う流路が螺旋の一周期毎に絡み合っている。しかし、流路はこれに限定されない。例えば、隣り合う流路は、二以上の整数の周期毎に絡み合ってもよい。この場合、隣り合う流路のうち、一方の流路の螺旋が、他方の流路が有する螺旋の周期を二以上の整数で乗じて得た周期であるとよい。その他、流路が螺旋の外径φ2が二以上の整数の周期毎に大きくなったり小さくなったりする場合、隣り合う流路は、その周期毎に絡み合ってもよい。
実施の形態1-9では、複数の円管20A-20D及び20F-20Kが、互いに絡み合うことにより、網状の円管群200A,200B,200D,200F-200I,200Kを形成しているが、これら円管群200A,200B,200D,200F-200I,200Kは、編み物状と称されてもよい。編むとは、細長い物を互い違いに組み合わせて一つの形に作り上げることをいうからである。
実施の形態2では、円管20Aの両端の延長先に、円管20Bの金属材料とイオン化傾向が大きく異なる金属材料で形成された供給流路31及び排出流路32が設けられている。しかし、ヒートシンク1A、1B、1D-1H及び1Kはこれに限定されない。ヒートシンク1A、1B、1D-1H及び1Kでは、流路の一部分が、流路の他の部分とイオン化傾向が異なる金属材料で形成されている場合、流路の一部分が、その一部分を形成する金属材料よりも、流路の他の部分を形成する金属材料にイオン化傾向が近い金属材料で被覆されているとよい。そして、ここでいう流路の一部分が円管20A-20D及び20F-20Kの内壁であってもよく、その場合、流路の他の部分がヘッダであってもよい。例えば、流路の一部分が円管20Aの内壁であり、流路の他の部分が実施の形態4の入口ヘッダ41、出口ヘッダ42であってもよい。この場合、円管20Aの内壁が、円管20Aを形成する金属材料よりも入口ヘッダ41、出口ヘッダ42を形成する金属材料にイオン化傾向が近い金属材料で被覆されているとよい。
実施の形態1-9では、ヒートシンク1A、1B、1D-1H及び1Kの、発熱体2A、2F、2G、2H、3Gが搭載される面が上に向けられているが、この向きは、実施の形態1-5を説明するための便宜的なものである。このため、ヒートシンク1A、1B、1D-1H及び1Kでは、発熱体2A、2F、2G、2H、3Gが搭載される面の向きは任意である。同様に、円管20A-20D及び20F-20K、貫通孔51が延在する向き、絡み合う方向も任意である。
実施の形態1-9では、冷却対象の発熱体2A、2F、2G、2H、3Gがパワー半導体素子であるが、ヒートシンク1A、1B、1D-1H及び1Kの冷却対象はこれに限定されない。冷却対象は、コンピュータの中央演算処理装置、発光ダイオード等の半導体素子であってもよい。また、冷却対象は、発熱する装置、機械、素子であればよい。
実施の形態1-9では、本体10A、10B、10D、10F、10G、10H、10Kは、冷却対象物である機器が備える部品とは別の部品であり、ヒートシンク1A、1B、1D-1H及び1K専用の部品である。しかし、本体10A、10B、10D、10F、10G、10H、10Kは、これに限定されない。本体10A、10B、10D、10F、10G、10H、10Kは、冷却対象となる機器、装置の部品として兼用されていてもよい。換言すると、本体10A、10B、10D、10F、10G、10H、10Kは、冷却対象となる機器、装置の部品としてそれら機器、装置に組み込まれていてもよい。例えば、本体10A、10B、10D、10F、10G、10H、10Kは、冷却対象となる機器に、筐体、基台等の部品として組み込まれていてもよい。実施の形態1で本体10Aのことをブロックともいうと説明しているが、より詳細には、本体10Aは、冷却対象となる発熱部品を支持するブロックとして、または発熱部品を収容する筐体の一部分を形成するブロックとして、機器に組み込まれていてもよい。
本開示は、本開示の広義の精神と範囲を逸脱することなく、様々な実施形態及び変形が可能とされるものである。また、上述した実施形態は、本開示を説明するためのものであり、本開示の範囲を限定するものではない。つまり、本開示の範囲は、実施形態ではなく、請求の範囲によって示される。そして、請求の範囲内及びそれと同等の開示の意義の範囲内で施される様々な変形が、本開示の範囲内とみなされる。
本出願は、2019年12月6日に出願された日本国特許出願特願2019-221661号に基づく。本明細書中に日本国特許出願特願2019-221661号の明細書、特許請求の範囲、図面全体を参照として取り込むものとする。
1A,1B,1D-1H,1K ヒートシンク、2A,2F,2G,2H,3G 発熱体、5 下面、10A、10B,10D,10F,10G,10H,10K 本体、11 上面部、12 左側面部、13 右側面部、14 下面部、20A-20D,20F-20K 円管、21 供給口、22 排出口、23 被覆膜、24 突起、31 供給流路、32 排出流路、41 入口ヘッダ、42 出口ヘッダ、43 入口パイプ、44 出口パイプ、50 板状体、51 貫通孔、60 治具、61,62 窪み、70 流路、71 流路群、90 金型、91,92 プレート、93,94 中子、95 湯口、101 前方板状部、102 後方板状部、200A,200B,200D,200F-200I,200K 円管群、500 積層体、911,921 凹部、A 振幅、A1,A2 矢印、B 最後方部分、C 中心軸、F 最前方部分、IC 内周、L 長さ、OC 外周、P ピッチ、φ1,φ2 外径。

Claims (20)

  1. 少なくとも一つの発熱体と接触する本体と、
    前記本体の内部に配置され、螺旋の形状に延在する、冷媒を流すための複数の流路と、
    を備え、
    前記複数の流路は、前記螺旋の中心軸が隣り合う状態に配列され、
    前記複数の流路のうち、前記螺旋の中心軸が隣り合う前記流路同士は、互いに絡み合っている、
    ヒートシンク。
  2. 前記複数の流路は、互いに絡み合うことにより網状又は編み物状である、
    請求項1に記載のヒートシンク。
  3. 前記螺旋の中心軸は、互いに平行であり、
    前記螺旋の中心軸が隣り合う前記流路は、前記螺旋の整数周期毎に絡み合っている、
    請求項1又は2に記載のヒートシンク。
  4. 前記流路は、中心が前記螺旋に沿う形状に屈曲する円管の形状を有し、
    前記円管の外径をφ1、前記螺旋の中心軸の長さをL、前記螺旋のピッチをP、前記螺旋の振幅をAとし、前記螺旋の中心軸が隣り合う前記円管同士の最小距離の程度を表す距離係数をσ、媒介変数をtとし、さらに、σとtは、σ<1、0≦t≦1の係数であり、かつ前記螺旋の中心軸方向をX方向、前記螺旋の中心軸が隣り合う方向をY方向、前記X方向及び前記Y方向に直交する方向をZ方向とする場合に、
    前記螺旋のピッチと前記螺旋の振幅は、式1及び式2を満たし、
    前記Y方向にn本目にある前記円管の中心の軌跡は、弧度法を用いて表した場合に、式3、式4及び式5で表される、
    請求項1から3のいずれか1項に記載のヒートシンク。
    P=4φ1(σ+1)・・・(式1)
    A=φ1(σ+1)・・・(式2)
    X=tL・・・(式3)
    Y=Acos{360tL/P+180(n-1)}+A(n-1)・・(式4)
    Z=Asin{360tL/P+180(n-1)}・・・(式5)
  5. 前記本体は、前記少なくとも一つの発熱体が接する屈曲面を有し、
    前記流路は、屈曲し、前記屈曲面に沿って配置されている、
    請求項1から4のいずれか1項に記載のヒートシンク。
  6. 前記少なくとも一つの発熱体は、複数個、存在し、
    前記本体は、互いに対向し、それぞれが前記発熱体と接触する2つの面を有する、
    請求項1から5のいずれか1項に記載のヒートシンク。
  7. 前記本体は、螺旋の形状に屈曲する金属管が通された金属ブロックであり、
    前記流路は、前記金属管の管壁面に囲まれた内部空間である、
    請求項1から6のいずれか1項に記載のヒートシンク。
  8. 前記本体は、第一金属材料で形成され、
    前記金属管は、前記第一金属材料よりもイオン化傾向が大きい第二金属材料で形成され、
    前記金属管は、前記第一金属材料よりもイオン化傾向が大きく、かつ前記第二金属材料よりもイオン化傾向が小さいことにより、前記第二金属材料よりも前記第一金属材料にイオン化傾向が近い第三金属材料によって形成され、前記金属管の内壁を被覆する被覆膜を有する、
    請求項7に記載のヒートシンク。
  9. 前記流路は、流路内に向かって突出する突起を有する、
    請求項1から8のいずれか1項に記載のヒートシンク。
  10. 前記突起は、前記冷媒を流す方向に向かって延在する、
    請求項9に記載のヒートシンク。
  11. 前記突起は、前記冷媒を流す方向に垂直な断面において、コーナーが尖った矩形の形状である、
    請求項9又は10に記載のヒートシンク。
  12. 前記突起は、前記冷媒を流す方向に垂直な断面において、コーナーが丸められた矩形の形状である、
    請求項9又は10に記載のヒートシンク。
  13. 前記流路の、前記冷媒が供給される側の端部が接続され、前記冷媒を前記流路に分配する第一ヘッダと、
    前記流路の、前記冷媒が排出される側の端部が接続され、前記流路から前記冷媒を集約する第二ヘッダと、
    を備える、
    請求項1から12のいずれか1項に記載のヒートシンク。
  14. 螺旋の形状に屈曲し、前記螺旋の中心軸が隣り合う状態に配列された複数の管であって、前記複数の管のうちの前記螺旋の中心軸が隣り合う管同士が互いに絡み合った前記複数の管を形成することにより、冷媒を流す流路を形成する工程と、
    前記流路を形成する工程で形成された前記複数の管を第一金属材料で鋳包む工程と、
    を備えるヒートシンクの製造方法。
  15. 前記流路を形成する工程は、
    前記複数の管のうちの一つの管である第一の管が有する一方の端部に、前記複数の管のうちのもう一つの管である第二の管が有する他方の端部を絡める、前記第一の管と前記第二の管を配置する工程と、
    前記第一の管と前記第二の管を配置する工程の後に、前記第一の管を保持した状態で、前記第二の管を前記螺旋の中心軸の周りに回転させながら、前記第二の管の前記他方の端部を、前記第一の管が有する、前記一方の端部と反対の側にある他方の端部と並ぶ位置まで、前記第一の管の前記他方の端部の側へ移動させることにより、前記第一の管を前記第二の管に絡め合わせる工程と、
    を有する、
    請求項14に記載のヒートシンクの製造方法。
  16. 前記流路を形成する工程では、前記螺旋の中心軸を互いに平行にし、前記螺旋の中心軸が隣り合う前記複数の管を、前記螺旋の整数周期毎に絡み合わせる、
    請求項14又は15に記載のヒートシンクの製造方法。
  17. 前記流路を形成する工程では、付加製造装置によって前記複数の管を形成する、
    請求項14から16のいずれか1項に記載のヒートシンクの製造方法。
  18. 前記流路を形成する工程では、前記複数の管を第二金属材料で形成し、
    前記ヒートシンクの製造方法は、
    前記複数の管を第一金属材料で鋳包む工程の前に、前記複数の管の内壁を、前記第二金属材料よりも前記第一金属材料にイオン化傾向が近い第三金属材料で鍍金する工程をさらに備える、
    請求項14から17のいずれか1項のヒートシンクの製造方法。
  19. 前記流路を形成する工程では、前記複数の管を第四金属材料で形成し、
    前記ヒートシンクの製造方法は、
    前記複数の管を第一金属材料で鋳包む工程の後に,前記複数の管の内部に前記第四金属材料を溶解させる溶解液を流し込み、前記溶解液が前記複数の管を形成する前記第四金属材料を溶解させることにより、前記複数の管を第一金属材料で鋳包む工程で鋳込まれた前記複数の管を前記第一金属材料から除く工程をさらに備える、
    請求項14から17のいずれか1項のヒートシンクの製造方法。
  20. ブロックと、ブロックの内部に形成され、螺旋の形状に延在すると共に、該螺旋の中心軸が隣り合う状態で配列された複数の流路であって、該複数の流路のうち、前記螺旋の中心軸が隣り合う流路同士が互いに絡み合った該複数の流路と、を備えるヒートシンクの製造方法であって、
    前記螺旋の中心軸に垂直な板面を有し、前記複数の流路の一部分が形成された複数の板状体を形成する工程と、
    前記複数の板状体を重ね合わせることにより、前記複数の流路を有する前記ブロックを組み立てる工程と、
    を備えるヒートシンクの製造方法。
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