JP7152713B2 - 乾燥装置 - Google Patents
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Description
110:下カバー
120:天板
121,122,123,124: 排気口
130:側板
131:突起
150:内部ダクト
151,152:突起
153:仕切り板
153a:オリフィス
154:底板
154a:第1吸引孔
154b:第2吸引孔
155:流路
156:噴出口
161,162:スライドガイド
170:エア噴射室
180:エア吸引室
200:排気ダクト
210:上カバー
220:空気溜まり
310,320:端部カバー
500:乾燥装置
501:気体噴出ヘッド部
502a:第1吸気ヘッド部
502b:第2吸気ヘッド部
600:ブロア
700:HEPAフィルタ
800:ヒーターユニット
801:温度コントローラー
900:ガス分離ユニット
G:乾燥対象物
G1:被乾燥面
Claims (5)
- 乾燥対象物の被乾燥面に対向して配置され、前記被乾燥面を乾燥させる乾燥装置であって、
前記被乾燥面に対向配置されて、気体供給源から供給される気体を前記被乾燥面に向けて噴出する噴出口を有する気体噴出ヘッド部を有し、
前記気体噴出ヘッド部は、
前記気体供給源から供給される気体の前記噴出口に至る流路内に設けられ、前記流路内の気体の流れを遮る仕切り板を有し、
前記仕切り板には、オリフィスが形成され、
前記気体の前記オリフィスの前、中、後の絞り及び広がりによって当該気体を超音波振動させる構成とし、
前記流路内を流れて前記仕切り板の前記オリフィスを通過して超音波振動状態の気体が前記噴出口から噴出するようにした、乾燥装置。 - 前記オリフィスの開口最大幅は、前記噴出口の開口最大幅より小さい、請求項1記載の乾燥装置。
- 前記気体噴出ヘッド部の前記流路内に設けられた前記仕切り板の前記オリフィスの面と、前記噴出口の面とは平行である、請求項1または2記載の乾燥装置。
- 前記被乾燥面に対向配置されるとともに前記気体噴出ヘッド部に隣接して設けられ、吸引機構に結合される吸気ヘッド部を有し、
前記吸気ヘッド部は、
前記気体噴出ヘッド部の前記噴出口から噴出する気体に向けた方向に傾く吸引孔を有し、
前記吸引機構の吸気作用により、前記吸引孔を通して前記被乾燥面上の気体を吸引するようにした、請求項1乃至3のいずれかに記載の乾燥装置。 - 前記被乾燥面に対向配置されるとともに前記気体噴出ヘッド部を挟むように設けられ、それぞれ吸引機構に結合される第1吸気ヘッド部と第2吸気ヘッド部とを有し、
前記第1吸気ヘッド部は、
前記気体噴出ヘッド部の前記噴出口から噴出する気体に向けた方向に傾く第1吸引孔を有し、
前記第2吸気ヘッド部は、
前記第1吸引孔の傾きと逆方向であって、前記気体噴出ヘッド部の前記噴出口から噴出する気体に向けた方向に傾く第2吸引孔を有し、
前記吸引機構の吸気作用により、前記第1吸引孔及び前記第2吸引孔を通して前記被乾燥面上の気体を吸引するようにした、請求項1乃至3のいずれかに記載の乾燥装置。
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- 2018-07-11 JP JP2018131506A patent/JP7152713B2/ja active Active
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- 2019-07-04 CN CN201910598063.4A patent/CN110715507A/zh active Pending
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