JP7144582B2 - 搬送ハンドのセット及び搬送ロボット - Google Patents
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Description
本発明の実施の形態1を図面に基づいて説明する。以下の実施の形態でも、搬送対象の物品として板状物である基板100を例に説明する。以下の実施の形態では、第1基板格納部110に格納された基板100を試験装置200に搬送する基板搬送ロボットである搬送ロボット1を例に説明する。本明細書及び特許請求の範囲の書類中における基板100の幅方向は、基板100の板厚方向と直交する盤面の左右方向をいう。基板100の板厚方向は第1方向の一例であり、基板100の幅方向は第2方向の一例である。また、水平方向の面を「第1面」、垂直方向の面を「第2面」と表記する場合がある。
図1は、実施の形態1に係る搬送ロボット1を示す斜視図である。実施の形態1に係る搬送ロボット1は、基台2の鉛直方向に設けられた第1軸S1を中心に水平面内で回動する、第1アーム3(左腕)及び第2アーム4(右腕)を備える。第1アーム3及び第2アーム4はそれぞれ、第1リンク5、第2リンク6、第3リンク7及び第4リンク8を有している。第1リンク5は、第1軸S1を中心に水平面内で回動可能となっている。第2リンク6は、第2軸S2を中心に水平面内で回動可能となっている。第3リンク7は、第3軸S3を中心に垂直面内で回動可能となっている。第4リンク8は、第4軸S4を中心に揺動可能となっている。第1アーム3と第2アーム4とは、第1軸S1について同軸上で回動し、それぞれ独立した動作が可能となっている。第1アーム3の第1リンク5と第2アーム4の第1リンク5とは、第1軸S1方向にずらして配置されている。これにより、第1軸S1を中心とした回動時、第1アーム3と第2アーム4との干渉が抑えられるため、第1アーム3及び第2アーム4の回動範囲を大きくすることが可能になる。
図2は、図1に示す第1ハンド20を示す平面図である。図3は、図2に示す第1ハンド20の正面図である。図4は、図2に示す第1ハンド20の側面図である。図5は、図2に示すV-V矢視の断面図である。第1ハンド20の上下方向は、図3に示す正面視の状態における上下方向とする。
図6は、図1に示す第2ハンド50を示す平面図である。図7は、図6に示す第2ハンド50の側面図である。図8は、図6に示す第4把持部70の動作を示すVIII矢視の側面図である。
図9は、図2に示す第1ハンド20と図6に示す第2ハンド50とを用いて第1基板格納部110から基板100を搬送する前の状態を示す平面図である。図10は、図9に示す状態から基板100を引き出すために把持した状態を示す平面図である。図11は、図10に示す状態から基板100を所定位置まで引き出した状態を示す平面図である。図12は、図11に示すXII-XII矢視の断面図である。図13は、図11に示す第2ハンド50で基板100を幅方向から把持した状態を示す平面図である。
図14は、第2ハンド50で基板100を把持した状態の搬送ロボット1を示す平面図である。図15は、図14に示す搬送ロボット1で試験装置200に基板100を搬送する動作を示す平面図である。図16は、図15に示す搬送ロボット1で試験装置200の基板100を入れ替える状態を示す平面図である。図17は、図16に示す搬送ロボット1で試験装置200から外した基板100を第2基板格納部120に格納する前の状態を示す平面図である。
図18は、図17に示す基板100を第2ハンド50に持ち替える状態を示す平面図である。図19は、図18に示す第2ハンド50で基板100の向きを変更した状態を示す平面図である。図20は、図19に示すXX矢視の側面図である。図21は、図19に示す状態の基板100を第2基板格納部120に格納する状態と、格納した基板100を取り出す状態とを示す側面図である。
図22は、搬送ロボット1の第2ハンド50で基板100を引き出し、基板100の向きを変更して第1基板格納部110に格納する前の状態を示す平面図である。図23は、図22に示す第2ハンド50で第1基板格納部110に基板100を格納する前の状態を示す平面図である。図24は、図23に示す第2ハンド50で第1基板格納部110に基板100を格納する状態を示す平面図である。
図25は、図2に示す第1ハンド20の基板当接部35と第3把持部40との位置調節を可能とした例の平面図である。図26は、図25の側面図である。上記基板当接部35は、第1把持部30の両側方における基板当接部35の配置間隔を調節できるように構成することができる。このように構成すれば、基板100の大きさが変更されても、基板当接部35の配置間隔を基板100の大きさに応じて調節して適切に対応することができる。また、第3把持部40(第2把持部60も同様)も、基板100の大きさに応じて幅方向の把持間隔を調節できるように構成することができる。このように構成すれば、基板100の大きさが変更されても、基板100に応じた把持間隔に変更して適切に把持するようにできる。これらの間隔調節は、例えば、固定ボルト等(図示略)で本体側に固定する位置を変更できるようにすることで対応できる。
以上のように、上記第1ハンド20及び第2ハンド50によれば、水平状態で格納された基板100を第1ハンド20によって位置決めをし、第1ハンド20で取り出す基板100を第2ハンド50によって下方から支持して水平方向に取り出すことができる。これにより、コンパクトな構成で基板100などの物品を試験装置200などの所定位置へ適切に搬送することが可能となる。
実施の形態2を図面に基づいて説明する。実施の形態2に係る搬送ロボット1Aでは、搬送ハンドの構成が実施の形態1と異なる。以下、実施の形態2について、実施の形態1と異なる点を中心に説明し、実施の形態1と同様の点の説明を適宜省略する。
図27は、実施の形態2に係る搬送ロボット1Aを示す斜視図である。図28は、実施の形態2に係る搬送ロボット1Aを示す平面図である。図27及び図28に示すように、実施の形態2に係る搬送ロボット1Aの構成は、搬送ハンド10Aを除き、実施の形態1に係る搬送ロボット1と同様である。搬送ロボット1Aは、第1アーム3と、第2アーム4と、制御装置9とを備える。第1アーム3及び第2アーム4は、第1軸S1を中心に水平面内で回動する、つまり同軸上で回動する。さらに、搬送ロボット1Aは、搬送ハンド10Aを、第1アーム3及び第2アーム4それぞれに備える。搬送ハンド10Aは、第1アーム3及び第2アーム4それぞれの第4リンク8の先端部に、第5軸S5(図1参照)を中心に水平方向の第1面内で回動可能に設けられている。
図29は、実施の形態2に係る搬送ハンド10Aを示す斜視図である。図29に示すように、搬送ハンド10Aは、ハンド本体11Aと、取付部12Aと、接続部13Aとを備える。ハンド本体11Aは、ベース11Aaと、第1把持部30Aと、第2把持部60Aとを有する。ベース11Aaは、アーム3又は4の第4リンク8(図28参照)から搬送ハンド10Aの長手方向D1aに延びる部材である。方向D1bは方向D1aと反対方向である。第2把持部60Aは、ベース11Aaの先端部に配置され、第1把持部30Aは、第2把持部60Aよりもベース11Aaの基部つまり第4リンク8に近い位置に配置されている。
搬送ロボット1Aの動作を説明する。図27~図29に示すように、搬送ロボット1Aは、制御装置9の制御に従って、以下に説明するように基板100の試験を行う。まず、制御装置9は、搬送ロボット1Aの右のアーム4を制御して、第1基板格納部110Aに格納される搬送対象の基板100に対する所定の位置に、アーム4の搬送ハンド10Aを移動させる。次いで、制御装置9は、押出シリンダ110Aaに搬送対象の基板100を押圧させることで、搬送ハンド10Aの第2把持部材61Aa及び61Abの間に、当該基板100を押し出させる。
搬送ハンド10Aによる基板100の第1基板格納部110Aからの引き出し動作の一例を図30~図43を参照しつつ説明する。
まず、試験装置200の基板載置部201の構成を説明する。図43及び図44はそれぞれ、実施の形態2に係る試験装置200の基板載置部201を示す側面図及び平面図である。図45は、基板載置部201に基板100を載置する際の第1把持部30Aの第2シリンダ33Abの状態を示す平面図である。
搬送ハンド10Aによる基板100の第1基板格納部110Bへの格納動作の一例を説明する。搬送ハンド10Aによる基板100の格納動作は、第1基板格納部110Aからの基板100の引き出し動作の逆の順序の動作と同様である。なお、制御装置9は、第1基板格納部110Bへの基板100の格納動作の間、第2接続部材13Abのフローティング機構をOFF状態に維持する。
以上のように、上記搬送ハンド10Aによれば、第1把持部30A及び第2把持部60Aを備える1つのハンド本体11Aによって、水平状態で格納された基板100を、第1把持部30Aを用いてスライド移動させて引き出した後、第2把持部60Aを用いて基板100を把持し搬送することができる。これにより、コンパクトな構成で基板100等の物品を試験装置200等の所定位置へ適切に搬送することが可能となる。
以上、本発明の実施の形態の例について説明したが、本発明は、上記実施の形態に限定されない。すなわち、本発明の範囲内で種々の変形及び改良が可能である。例えば、各種変形を実施の形態に施したもの、及び、異なる実施の形態における構成要素を組み合わせて構築される形態も、本発明の範囲内に含まれる。
3 第1アーム
4 第2アーム
9 制御装置
10,10A 搬送ハンド
11A ハンド本体
12A 取付部
13A 接続部
20 第1ハンド
21 第1ハンド本体
22 第1取付部
30,30A 第1把持部
31,31Aa,31Ab 第1把持部材
33A 第2アクチュエータ(スライドアクチュエータ)
33Aa 第1シリンダ
33Ab 第2シリンダ
35 基板当接部
38 支持部
40 第3把持部
50 第2ハンド
51 第2ハンド本体
52 第2取付部
60,60A 第2把持部
61,61Aa,61Ab 第2把持部材
61a 突出部(支持部)
63Aa,63Ab 第3アクチュエータ63(把持アクチュエータ)
65Aa,65Ab ガイド部
70 第4把持部
100 基板(物品)
Claims (11)
- 物品を把持して搬送する搬送ハンドのセットであって、
第1アームに取り付けられる第1取付部を有し、第1面内で回動可能な第1ハンド本体と、前記第1ハンド本体に備えられ、前記物品の端部を厚さ方向である第1方向で把持する第1把持部と、前記第1把持部の両側方における前記物品の幅寸法内で側面の少なくとも2箇所に当接させる当接部と、前記物品を第3方向で両側部から把持する第3把持部と、を有する第1ハンドと、
第2アームに取り付けられる第2取付部を有し、前記第1面内で回動可能な第2ハンド本体と、前記第2ハンド本体に備えられ、前記物品を幅方向である第2方向で両側部から把持する第2把持部と、を有する第2ハンドと、を備える
搬送ハンドのセット。 - 前記第2把持部は、前記第1ハンドの前記第1把持部で把持した前記物品を両側部から把持するように構成されている、
請求項1に記載の搬送ハンドのセット。 - 前記第2把持部は、前記第1ハンドの前記第1把持部で把持して前記第1面内で移動させる前記物品を下方から支持する支持部を有している、
請求項1又は2に記載の搬送ハンドのセット。 - 前記第2ハンドは、前記物品を厚さ方向である第4方向で把持し、前記物品の姿勢を前記第1面内と直交する第2面内に変更する第4把持部をさらに備えている、
請求項1~3のいずれか1項に記載の搬送ハンドのセット。 - 前記第1ハンド本体はL字状に形成され、L字状の一方に前記当接部と前記第1把持部とが備えられ、L字状の他方に前記第3把持部が備えられている、
請求項1~4のいずれか1項に記載の搬送ハンドのセット。 - 前記第1ハンド本体は、下面に前記第3把持部が配置され、上面に前記物品を下方から支持する支持部が配置されている、
請求項5に記載の搬送ハンドのセット。 - 前記第2ハンド本体はL字状に形成され、L字状の一方に前記第2把持部が備えられ、L字状の他方に前記第4把持部が備えられている、
請求項4に記載の搬送ハンドのセット。 - 前記当接部は、前記第1把持部の両側方における配置間隔を調節できるように構成されている、
請求項1~7のいずれか1項に記載の搬送ハンドのセット。 - 前記第2把持部及び前記第3把持部は、前記物品の把持間隔を調節できるように構成されている、
請求項1~8のいずれか1項に記載の搬送ハンドのセット。 - 請求項1~9のいずれか1項に記載の搬送ハンドのセットと、
前記第1ハンドが取り付けられた前記第1アームと、
前記第2ハンドが取り付けられた前記第2アームと、
前記第1アームの動作と前記第2アームの動作とを制御する制御装置とを備えている、
搬送ロボット。 - 前記第1アーム及び前記第2アームは、同軸上で回動するように構成される、
請求項10に記載の搬送ロボット。
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Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003034428A (ja) | 2001-07-18 | 2003-02-07 | Canon Inc | 基板搬送装置および姿勢変換装置 |
JP2009241197A (ja) | 2008-03-31 | 2009-10-22 | Ngk Insulators Ltd | セラミックス柱状体用移載装置及びセラミックス柱状体の移載方法 |
JP2012084825A (ja) | 2010-10-11 | 2012-04-26 | Siti Inc | 基板搬送装置および基板搬送システム |
JP2012196768A (ja) | 2012-07-25 | 2012-10-18 | Yaskawa Electric Corp | ハンドリングシステムおよびハンドリング方法 |
JP2017149572A (ja) | 2016-02-26 | 2017-08-31 | 花王株式会社 | 整列搬送装置 |
JP2017209768A (ja) | 2016-05-27 | 2017-11-30 | アズビル株式会社 | ワーク把持装置およびワーク把持方法 |
JP2017226062A (ja) | 2016-06-24 | 2017-12-28 | 川崎重工業株式会社 | ロボット、搬送装置及びハーネス付コネクタの搬送方法 |
Family Cites Families (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0669675B2 (ja) * | 1990-11-05 | 1994-09-07 | タツモ株式会社 | マスクなどの搬送に使用される把持装置 |
JPH04244393A (ja) * | 1991-01-30 | 1992-09-01 | Fuji Electric Co Ltd | ロボットハンドおよびワーク把持方法 |
JPH0871962A (ja) * | 1994-09-06 | 1996-03-19 | Amada Co Ltd | 搬送ロボット |
JPH10286790A (ja) * | 1997-04-10 | 1998-10-27 | Matsushita Electric Works Ltd | ワーク搬送ハンド |
JP3488393B2 (ja) * | 1999-02-24 | 2004-01-19 | 平田機工株式会社 | 多関節ロボット装置 |
WO2008150484A1 (en) * | 2007-05-31 | 2008-12-11 | Applied Materials, Inc. | Methods and apparatus for extending the reach of a dual scara robot linkage |
KR102427795B1 (ko) * | 2010-11-10 | 2022-08-01 | 브룩스 오토메이션 인코퍼레이티드 | 기판 처리 장치 및 기판 운송 장치 |
JP5459268B2 (ja) * | 2011-06-15 | 2014-04-02 | 株式会社安川電機 | 基板搬送用ハンドおよび基板搬送用ハンドを備えた基板搬送装置 |
JP5351946B2 (ja) * | 2011-08-10 | 2013-11-27 | 株式会社安川電機 | 梱包装置 |
JP2013086241A (ja) * | 2011-10-21 | 2013-05-13 | Ihi Corp | チャック装置およびチャック方法 |
JP2014065093A (ja) * | 2012-09-25 | 2014-04-17 | Toyota Industries Corp | ロボットハンド |
JP6630050B2 (ja) * | 2015-03-13 | 2020-01-15 | 川崎重工業株式会社 | ロボット、ロボットの制御方法、ワークの取付方法及びワークの搬送方法 |
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-
2021
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Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003034428A (ja) | 2001-07-18 | 2003-02-07 | Canon Inc | 基板搬送装置および姿勢変換装置 |
JP2009241197A (ja) | 2008-03-31 | 2009-10-22 | Ngk Insulators Ltd | セラミックス柱状体用移載装置及びセラミックス柱状体の移載方法 |
JP2012084825A (ja) | 2010-10-11 | 2012-04-26 | Siti Inc | 基板搬送装置および基板搬送システム |
JP2012196768A (ja) | 2012-07-25 | 2012-10-18 | Yaskawa Electric Corp | ハンドリングシステムおよびハンドリング方法 |
JP2017149572A (ja) | 2016-02-26 | 2017-08-31 | 花王株式会社 | 整列搬送装置 |
JP2017209768A (ja) | 2016-05-27 | 2017-11-30 | アズビル株式会社 | ワーク把持装置およびワーク把持方法 |
JP2017226062A (ja) | 2016-06-24 | 2017-12-28 | 川崎重工業株式会社 | ロボット、搬送装置及びハーネス付コネクタの搬送方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
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