JP7138334B2 - 作業フード - Google Patents
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Description
作業ボックス(12)の一部に形成された開口部(13a)の周囲に連結されると共に、当該作業ボックスの内部に突出する中空状のハーフスーツ(21、121、221、321、421)を備えた作業フード(20、120、220、320、420)であって、
前記開口部の周囲とハーフスーツの裾部(21a、121a、221a、321a、421a)との連結部分には、当該ハーフスーツ全体を回転自在に支持する円環状の回転支持体(30、130、230、330、430)が設けられ、
前記回転支持体は、基盤部(31、131、231、331、431)と回転部(32、132、232、332、432)とベアリング部(33、133、233、333、433)とシール部材(34、134、234、334、434)と連通孔(35、135、235、335、435)とを有し、
前記基盤部は、前記開口部の周囲に気密的且つ円環状に設けられ、
前記回転部は、前記ハーフスーツの裾部を全周囲に亘って気密的に固定すると共に前記基盤部の周囲に沿って前記ベアリング部を介して当該基盤部に相対するように回転自在に円環状に設けられ、
前記シール部材は、前記基盤部と前記回転部とが形成する円環状の間隙(38、138、238、338、438)に、前記作業ボックスと外部環境とを区分けするように前記回転支持体の全周囲に亘って円環状に設けられ、
前記連通孔は、前記シール部材が前記基盤部、前記回転部、及び前記ベアリング部とで形成する円環状の小空間(39、139、239、339、439)に、当該小空間側から外部環境側に開口するように設けられており、
当該連通孔の開口部には、前記小空間の内部に清浄空気、除染ガス又は除染ミストを供給する供給手段(41)、及び/又は、前記小空間の内部から清浄空気、除染ガス又は除染ミストを吸引する吸引手段(42)が連結していることを特徴とする。
前記ベアリング部は、1つのベアリングを有し、
前記ベアリングの回転軸が前記開口部の開口面と直交するように当該ベアリングの内輪(33a、133a、233a)が前記基盤部の外周に固定されると共に、当該ベアリングの外輪(33b、133b、233b)が前記回転部の内周に固定されていることにより、前記回転部が前記基盤部に相対して回転することを特徴とする。
前記ベアリング部は、複数のベアリング(333a)を有し、
前記複数のベアリングは、前記基盤部の外周に円環状に配されると共に、それぞれの軸部を円環中心に向けて設置され、
前記回転部の円環状の周囲が各ベアリングの外輪(333b)に当接することにより、前記回転部が前記基盤部に相対して回転することを特徴とする。
前記シール部材(434)は、前記円環状の間隙を形成する前記基盤部又は前記回転部の壁面(431c、432c)のいずれか一方に突設されると共に、当該シール部材の突出部分の高さを変化させる調節機構(434a、434b、434c)を具備し、
前記調節機構の作動により、前記シール部材の突出先端部が相対する前記回転部又は前記基盤部の壁面に当接可能に移動することを特徴とする。
前記ハーフスーツを固定した前記回転部を前記基盤部に相対して回転するための駆動装置(50)を備え、
前記駆動装置は、前記基盤部の円環状の内周面に嵌入可能な直径を有する固定円盤部(51)と、前記回転部の円環状の内周面に嵌入可能な直径を有する回転円盤部(52)と、当該固定円盤部と回転円盤部との中心軸を貫通する支軸部(53)と、前記回転円盤部を前記固定円盤部に相対して同心軸上で回転させる駆動部(54)と、前記ハーフスーツを膨らませるための圧縮空気供給部(55)とを有し、
前記固定円盤部は、円盤状の外周面が前記基盤部の円環状の内周面に当接して固定されるように、その外周面に円環状の第1の膨張パッキン(51b)を具備し、
前記回転円盤部は、円盤状の外周面が前記回転部の円環状の内周面に当接して固定されるように、その外周面に円環状の第2の膨張パッキン(52b)を具備し、
前記支軸部は二重管からなり、第1の管(53a)が前記固定円盤部を支持し、第2の管が前記回転円盤部を支持すると共に、当該第2の管(53b)が前記駆動部に連動して前記回転円盤部を回転させ、
前記圧縮空気供給部は、外部環境にある圧縮空気供給源から前記支軸部を貫通する供給配管(55a)を介して、前記回転部と前記回転円盤部とで密閉された前記ハーフスーツの内部に圧縮空気を供給することを特徴とする。
本発明に係る作業フードの第1実施形態を図面に基づいて説明する。図1は、作業フードを配備したアイソレーター装置を正面から見た断面概要図である。図2は、当該アイソレーター装置を上面から見た断面概要図(図1のA-A断面図)である。図1及び図2において、アイソレーター装置10は、床面上に載置される脚部11と、この脚部11の上に乗載される作業ボックス(チャンバー)12と、このチャンバー12の内部の底壁部13に形成された円形の開口部13aに連結され、チャンバー12の内部に突出する中空状のハーフスーツ21を備えた作業フード20とにより構成されている。図2において、作業フード20は、水平方向に任意の角度或いは360度に回転自在である。
本発明に係る作業フードの第2実施形態を図面に基づいて説明する。本第2実施形態においては、小空間から外部環境に開口する連通孔の位置と個数が上記第1実施形態と異なっている。図7は、第2実施形態において、作業フードが有する回転支持体の構成を示す断面図(図1のB部分を見た図2のC-C断面図)である。また、図8は、第2実施形態において、小空間と連通孔との関係を上面から見た断面概要図である。
本発明に係る作業フードの第3実施形態を図面に基づいて説明する。本第3実施形態においては、回転支持体の回転部の構造が上記第1実施形態と異なっている。図9は、第3実施形態において、作業フードが有する回転支持体の構成を示す断面図(図1のB部分を見た図2のC-C断面図)である。
本発明に係る作業フードの第4実施形態を図面に基づいて説明する。本第4実施形態においては、ベアリング部の構造が上記第3実施形態と異なっている。図10は、第4実施形態において、作業フードが有する回転支持体の構成を示す断面図(図1のB部分を見た図2のC-C断面図)である。
本発明に係る作業フードの第5実施形態を図面に基づいて説明する。本第5実施形態においては、シール部材(リップシール)の突設位置及び機能が上記第1実施形態と異なっている。図11は、第5実施形態において、作業フードが有する回転支持体の構成を示す断面図(図1のB部分を見た図2のC-C断面図)である。
本発明に係る作業フードの第6実施形態を図面に基づいて説明する。本第6実施形態においては、チャンバー12の内部の除染作業においてハーフスーツを自動的に回転させる駆動装置を装着したものである。なお、駆動装置以外の部分の構成は、上記第1実施形態と同様である。図12は、第6実施形態において、駆動装置を装着した作業フードの回転支持体を正面から見た断面概要図である。
Claims (5)
- 作業ボックスの一部に形成された開口部の周囲に連結されると共に、当該作業ボックスの内部に突出する中空状のハーフスーツを備えた作業フードであって、
前記開口部の周囲とハーフスーツの裾部との連結部分には、当該ハーフスーツ全体を回転自在に支持する円環状の回転支持体が設けられ、
前記回転支持体は、基盤部と回転部とベアリング部とシール部材と連通孔とを有し、
前記基盤部は、前記開口部の周囲に気密的且つ円環状に設けられ、
前記回転部は、前記ハーフスーツの裾部を全周囲に亘って気密的に固定すると共に前記基盤部の周囲に沿って前記ベアリング部を介して当該基盤部に相対するように回転自在に円環状に設けられ、
前記シール部材は、前記基盤部と前記回転部とが形成する円環状の間隙に、前記作業ボックスと外部環境とを区分けするように前記回転支持体の全周囲に亘って円環状に設けられ、
前記連通孔は、前記シール部材が前記基盤部、前記回転部、及び前記ベアリング部とで形成する円環状の小空間に、当該小空間側から外部環境側に開口するように設けられており、
当該連通孔の開口部には、前記小空間の内部に清浄空気、除染ガス又は除染ミストを供給する供給手段、及び/又は、前記小空間の内部から清浄空気、除染ガス又は除染ミストを吸引する吸引手段が連結していることを特徴とする作業フード。 - 前記ベアリング部は、1つのベアリングを有し、
前記ベアリングの回転軸が前記開口部の開口面と直交するように当該ベアリングの内輪が前記基盤部の外周に固定されると共に、当該ベアリングの外輪が前記回転部の内周に固定されていることにより、前記回転部が前記基盤部に相対して回転することを特徴とする請求項1に記載の作業フード。 - 前記ベアリング部は、複数のベアリングを有し、
前記複数のベアリングは、前記基盤部の外周に円環状に配されると共に、それぞれの軸部を円環中心に向けて設置され、
前記回転部の円環状の周囲が各ベアリングの外輪に当接することにより、前記回転部が前記基盤部に相対して回転することを特徴とする請求項1に記載の作業フード。 - 前記シール部材は、前記円環状の間隙を形成する前記基盤部又は前記回転部の壁面のいずれか一方に突設されると共に、当該シール部材の突出部分の高さを変化させる調節機構を具備し、
前記調節機構の作動により、前記シール部材の突出先端部が相対する前記回転部又は前記基盤部の壁面に当接可能に移動することを特徴とする請求項1~3のいずれか1つに記載の作業フード。 - 前記ハーフスーツを固定した前記回転部を前記基盤部に相対して回転するための駆動装置を備え、
前記駆動装置は、前記基盤部の円環状の内周面に嵌入可能な直径を有する固定円盤部と、前記回転部の円環状の内周面に嵌入可能な直径を有する回転円盤部と、当該固定円盤部と回転円盤部との中心軸を貫通する支軸部と、前記回転円盤部を前記固定円盤部に相対して同心軸上で回転させる駆動部と、前記ハーフスーツを膨らませるための圧縮空気供給部とを有し、
前記固定円盤部は、円盤状の外周面が前記基盤部の円環状の内周面に当接して固定されるように、その外周面に円環状の第1の膨張パッキンを具備し、
前記回転円盤部は、円盤状の外周面が前記回転部の円環状の内周面に当接して固定されるように、その外周面に円環状の第2の膨張パッキンを具備し、
前記支軸部は二重管からなり、第1の管が前記固定円盤部を支持し、第2の管が前記回転円盤部を支持すると共に、当該第2の管が前記駆動部に連動して前記回転円盤部を回転させ、
前記圧縮空気供給部は、外部環境にある圧縮空気供給源から前記支軸部を貫通する供給配管を介して、前記回転部と前記回転円盤部とで密閉された前記ハーフスーツの内部に圧縮空気を供給することを特徴とする請求項1~4のいずれか1つに記載の作業フード。
Priority Applications (6)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018110247A JP7138334B2 (ja) | 2018-06-08 | 2018-06-08 | 作業フード |
EP19815807.3A EP3804854A4 (en) | 2018-06-08 | 2019-04-23 | WORK HOOD |
KR1020207026201A KR102562646B1 (ko) | 2018-06-08 | 2019-04-23 | 작업 후드 |
US17/047,330 US11698199B2 (en) | 2018-06-08 | 2019-04-23 | Work hood |
CN201980022864.4A CN111918720B (zh) | 2018-06-08 | 2019-04-23 | 作业罩 |
PCT/JP2019/017303 WO2019235093A1 (ja) | 2018-06-08 | 2019-04-23 | 作業フード |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018110247A JP7138334B2 (ja) | 2018-06-08 | 2018-06-08 | 作業フード |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2019211191A JP2019211191A (ja) | 2019-12-12 |
JP7138334B2 true JP7138334B2 (ja) | 2022-09-16 |
Family
ID=68769600
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018110247A Active JP7138334B2 (ja) | 2018-06-08 | 2018-06-08 | 作業フード |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US11698199B2 (ja) |
EP (1) | EP3804854A4 (ja) |
JP (1) | JP7138334B2 (ja) |
KR (1) | KR102562646B1 (ja) |
CN (1) | CN111918720B (ja) |
WO (1) | WO2019235093A1 (ja) |
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- 2019-04-23 KR KR1020207026201A patent/KR102562646B1/ko active IP Right Grant
- 2019-04-23 WO PCT/JP2019/017303 patent/WO2019235093A1/ja unknown
- 2019-04-23 CN CN201980022864.4A patent/CN111918720B/zh active Active
- 2019-04-23 EP EP19815807.3A patent/EP3804854A4/en active Pending
- 2019-04-23 US US17/047,330 patent/US11698199B2/en active Active
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JP2000346418A (ja) | 1999-06-04 | 2000-12-15 | Earekkusu:Kk | アイソレータ装置の清浄維持装置 |
JP2001074883A (ja) | 1999-09-08 | 2001-03-23 | Mitsubishi Materials Corp | 作業フード |
JP2014057922A (ja) | 2012-09-18 | 2014-04-03 | Shinryo Corp | 局所精密空調装置 |
JP2017133899A (ja) | 2016-01-27 | 2017-08-03 | 株式会社エアレックス | 気密性検査装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20210164672A1 (en) | 2021-06-03 |
CN111918720A (zh) | 2020-11-10 |
KR20210018184A (ko) | 2021-02-17 |
KR102562646B1 (ko) | 2023-08-01 |
CN111918720B (zh) | 2022-08-05 |
EP3804854A4 (en) | 2022-03-02 |
US11698199B2 (en) | 2023-07-11 |
JP2019211191A (ja) | 2019-12-12 |
WO2019235093A1 (ja) | 2019-12-12 |
EP3804854A1 (en) | 2021-04-14 |
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