KR20210018184A - 작업 후드 - Google Patents

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KR20210018184A
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다이스케 가쿠다
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타카시 킨바라
카즈히코 기타호라
켄 나가이
히로유키 이미아
타쿠야 하야시
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가부시키가이샤 에아렉크스
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Abstract

작업 박스 내에서 자유롭게 회전할 수 있으므로 작업 영역이 넓고, 또한, 작업 후드와 작업 박스와의 경계에 있는 씰 부분의 오염제거 작업을 간단히 행할 수 있는 작업 후드를 제공한다. 하프슈트 전체를 회전 자유롭게 지지하는 회전 지지체를 마련한다. 회전 지지체는, 기반부와 회전부와 베어링부와 씰 부재와 연통구멍을 가지고 있다. 기반부는 개구부 주위에 기밀적으로 또한 원고리모양으로 마련되고, 회전부는 하프슈트의 옷자락부를 고정해서 기반부 주위를 따라 베어링부를 거쳐 마련되어 있다. 씰 부재는, 기반부와 회전부가 형성하는 원고리모양의 간극에, 작업 박스와 외부 환경을 구분하도록 원고리모양으로 마련되어 있다. 연통구멍은, 씰 부재가 기반부, 회전부, 및 베어링부로 형성하는 원고리모양의 소공간측으로부터 외부 환경측으로 개구하도록 마련되고, 소공간의 내부에 오염제거 가스 등을 공급하는 공급 수단이나 소공간의 내부로부터 청정 공기 등을 흡인하는 흡인 수단과 연결되어 있다.

Description

작업 후드
본 발명은, 공기 청정도가 요구되는 환경에서의 작업에 사용되고, 작업자를 상기 환경으로부터 격리하기 위한 작업 후드에 관한 것이다.
의약품 등의 제조 단계 혹은 연구개발 단계의 작업에 있어서는, 무균실, 무진실 등 공기 청정도가 높은 환경이 요구된다. 또, 의약품을 무균 용기에 충전하는 작업 등은, 수작업에 의해서 행해지는 일도 많고, 작업자에 의한 작업 환경의 오염을 방지하기 위해서, 무균 상태 혹은 무진 상태로 관리된 작업 박스가 채용된다. 이와는 반대로, 인체에 유해한 물질 등을 취급하는 작업에 있어서는, 작업자를 보호하기 위해서 봉쇄 상태로 관리된 작업 박스가 채용된다. 이들 작업 박스에 있어서는, 작업자가 작업 박스의 외부로부터 글로브를 거쳐 작업을 행하는 글로브 박스 방식, 혹은, 작업자가 하프슈트 등의 작업 후드를 거쳐 상반신을 작업 박스 내로 돌출시켜서 작업을 행하는 작업 후드 방식이 채용된다.
글로브 박스 방식에 의한 작업은, 작업 박스의 일부 벽부를 투명한 유리 패널로 하고, 이 투명 벽부에 글로브를 장착하는 것에 의해, 작업자는, 작업 박스의 외부로부터 투명 벽부를 통해 작업 박스 내를 시각적으로 확인(視認)하면서 글로브를 거쳐 작업 박스 내에서의 작업을 행할 수가 있다. 그러나, 이 글로브 박스 방식에 의한 작업에서는, 작업 범위가 한정됨과 동시에, 글로브의 위치가 고정되어 있으므로 작업자의 팔 움직임이 규제되어 작업성이 충분하지 않다.
이에 반해, 하프슈트 등의 작업 후드 방식에 의한 작업에 있어서는, 작업자는, 작업 박스 밖에서부터 하프슈트를 착용한다. 이 하프슈트를 착용한 작업자는, 상반신을 작업 박스 내로 돌출시킨 상태에서 작업할 수 있으므로, 글로브를 거쳐 행하는 작업에 비해, 작업성이 한결(한층) 향상한다.
이와 같은 하프슈트를 거쳐 작업을 행하는 작업 박스로서는, 예를 들면, 하기 특허문헌 1에 있어서, 비통기성 및 유연성을 가지는 재료로 형성된 하프슈트를 무균실 내로 돌출하도록 해서 구비한 무균 충전 포장 장치가 제안되어 있다.
여기서, 상기 하프슈트는, 유연성의 재료, 예를 들면, 고무재, 염화 비닐 수지 등으로 형성되어 있어, 글로브 박스 방식에 비해 작업성이 크게 향상한다. 그렇지만, 이와 같은 유연성의 재료로 형성된 작업 후드에 있어서도, 예를 들면, 신체를 전후·좌우로 경사지게 하는 경우에는 어느 정도의 자유도를 가지지만, 신체를 회전시키는 경우의 자유도는 낮아, 한층 더 작업 효율의 향상이 요망되고 있었다.
그래서, 예를 들면, 하기 특허문헌 2에 있어서는, 작업 박스 내의 하프슈트 전체를 자유롭게 회전할 수 있는 작업 후드가 제안되어 있다. 이 작업 후드는, 주로 원자력 발전소 등에 있어서 경도(輕度)의 방사선에 오염된 폐기물을 수작업으로 구분하는 작업 등에 사용된다. 그 때문에, 회전하는 하프슈트와 작업 박스와의 경계에는 씰 부재가 부착되어, 작업 박스 내의 오염 물질로부터 작업자를 보호하고 있다.
일본공개특허공보 특개평11－208623호 일본공개특허공보 특개2001－074883호
한편, 의약품을 무균 용기에 충전하는 작업 등에 채용되는 작업 박스(주로 아이솔레이터)는, 내부의 무균, 무진 환경을 엄밀하게 유지하기 위해서 빈번하게 작업 박스 내부의 살균, 제균 혹은 제진(除塵) 등의 오염제거 작업을 행할 필요가 있다. 그러나, 통상의 오염제거 작업에 있어서는, 하프슈트와 작업 박스와의 경계에 있는 씰(seal) 부재의 맞닿음 부분(회전하는 하프슈트와 작업 박스 저벽부(底壁部)와의 맞닿음 부분)의 오염제거를 충분히 확보할 수 없다고 하는 문제가 있었다. 그 때문에, 지금까지 무균 환경의 작업 박스에는 회전하는 하프슈트의 채용이 되어 오고 있지 않았다.
그래서, 본 발명은, 상기의 여러 문제에 대처해서, 작업 박스 내에서 자유롭게 회전할 수 있으므로 작업 영역이 넓고, 또한, 작업 후드와 작업 박스와의 경계에 있는 씰 부분의 오염제거 작업을 간단히 행할 수 있는 작업 후드를 제공하는 것을 목적으로 한다.
상기 과제의 해결에 있어서, 본 발명자들은, 예의 연구의 결과, 하프슈트와 작업 박스와의 경계에 있는 씰 부재의 외부 환경측(작업 박스 내와는 반대의 작업자가 있는 영역)에 소공간(小空間)을 마련하고, 이 소공간을 이용해서 씰 부재에의 오염제거 가스의 토출·흡인을 병용했다. 이것에 의해, 씰 부재의 청정도를 충분히 유지할 수 있어, 본 발명의 목적을 달성할 수 있다는 것을 발견하고 본 발명의 완성에 이르렀다.
즉, 본 발명에 관계된 작업 후드는, 청구항 1의 기재에 의하면,
작업 박스(12)의 일부에 형성된 개구부(13a) 주위에 연결됨과 동시에, 상기 작업 박스의 내부로 돌출하는 중공모양(中空狀)의 하프슈트(21, 121, 221, 321)를 구비한 작업 후드(20, 120, 220, 320)로서,
상기 개구부 주위와 하프슈트의 옷자락부(hem part)(21a, 121a, 221a, 321a)의 연결 부분에는, 상기 하프슈트 전체를 회전 자유롭게 지지하는 원고리모양(圓環狀)의 회전 지지체(30, 130, 230, 330)가 마련되고,
상기 회전 지지체는, 기반부(31, 131, 231, 331)와 회전부(32, 132, 232, 332)와 베어링부(33, 133, 233, 333)와 씰 부재(34, 134, 234, 334)와 연통구멍(35, 135, 235, 335)을 가지고,
상기 기반부는, 상기 개구부 주위에 기밀적으로 또한 원고리모양으로 마련되고,
상기 회전부는, 상기 하프슈트의 옷자락부를 전주위(全周圍)에 걸쳐서 기밀적으로 고정함과 동시에 상기 기반부 주위를 따라 상기 베어링부를 거쳐 상기 기반부에 상대하도록 회전 자유롭게 원고리모양으로 마련되고,
상기 씰 부재는, 상기 기반부와 상기 회전부가 형성하는 원고리모양의 간극(間隙)(38, 138, 238, 338)에, 상기 작업 박스와 외부 환경을 구분하도록 상기 회전 지지체의 전주위에 걸쳐서 원고리모양으로 마련되고,
상기 연통구멍은, 상기 씰 부재가 상기 기반부, 상기 회전부, 및 상기 베어링부로 형성하는 원고리모양의 소공간(39, 139, 239, 339)에, 상기 소공간측으로부터 외부 환경측으로 개구하도록 마련되어 있고,
상기 연통구멍의 개구부에는, 상기 소공간의 내부에 청정 공기, 오염제거 가스 또는 오염제거 미스트를 공급하는 공급 수단(41), 및/또는, 상기 소공간의 내부로부터 청정 공기, 오염제거 가스 또는 오염제거 미스트를 흡인하는 흡인 수단(42)이 연결되어 있는 것을 특징으로 한다.
또, 본 발명은, 청구항 2의 기재에 의하면, 청구항 1에 기재된 작업 후드로서,
상기 베어링부는, 상기 개구부 주위에 대응하는 외경을 가지는 1개의 대형 베어링을 가지고,
상기 대형 베어링의 회전축이 상기 개구부의 개구면과 직교하도록 상기 베어링의 내륜(內輪)(33a, 133a, 233a)이 상기 기반부의 외주에 고정됨과 동시에, 상기 베어링의 외륜(外輪)(33b, 133b, 233b)이 상기 회전부의 내주에 고정되어 있는 것에 의해, 상기 회전부가 상기 기반부에 상대해서 회전하는 것을 특징으로 한다.
또, 본 발명은, 청구항 3의 기재에 의하면, 청구항 1에 기재된 작업 후드로서,
상기 베어링부는, 복수의 소형 베어링(333a)을 가지고,
상기 복수의 소형 베어링은, 상기 기반부의 외주에 원고리모양으로 배치됨과 동시에, 각각의 축부(333c)가 원고리 중심을 향해 설치되고,
상기 회전부의 원고리모양 주위가 각 소형 베어링의 외륜(333b)에 맞닿는 것에 의해, 상기 회전부가 상기 기반부에 상대해서 회전하는 것을 특징으로 한다.
또, 본 발명은, 청구항 4의 기재에 의하면, 청구항 1 내지 3 중 어느 한 항에 기재된 작업 후드로서,
상기 씰 부재(434)는, 상기 원고리모양의 간극을 형성하는 상기 기반부 또는 상기 회전부의 벽면(431c, 432c)의 어느 한쪽으로 돌출해서 마련(突設)됨과 동시에, 상기 씰 부재의 돌출 부분의 높이를 변화시키는 조절 기구(434a, 434b, 434c)를 구비하고,
상기 조절 기구의 작동에 의해, 상기 씰 부재의 돌출 선단부가 상대하는 상기 회전부 또는 상기 기반부의 벽면에 맞닿음(當接)가능하게 이동하는 것을 특징으로 한다.
또, 본 발명은, 청구항 5의 기재에 의하면, 청구항 1 내지 4 중 어느 한 항에 기재된 작업 후드로서,
상기 하프슈트를 고정한 상기 회전부를 상기 기반부에 상대해서 회전시키기 위한 구동 장치(50)를 구비하고,
상기 구동 장치는, 상기 기반부의 원고리모양의 내주면에 감입(嵌入)가능한 직경을 가지는 고정 원반부(51)와, 상기 회전부의 원고리모양의 내주면에 감입가능한 직경을 가지는 회전 원반부(52)와, 상기 고정 원반부와 회전 원반부와의 중심축을 관통하는 지축부(53)와, 상기 회전 원반부를 상기 고정 원반부에 상대해서 동심축 상에서 회전시키는 구동부(54)와, 상기 하프슈트를 부풀리기 위한 압축 공기 공급부(55)를 가지고,
상기 고정 원반부는, 원반모양(圓盤狀)의 외주면이 상기 기반부의 원고리모양의 내주면에 맞닿아서 고정되도록, 그의 외주면에 원고리모양의 제1의 팽창 패킹(51b)을 구비하고,
상기 회전 원반부는, 원반모양의 외주면이 상기 회전부의 원고리모양의 내주면에 맞닿아서 고정되도록, 그의 외주면에 원고리모양의 제2의 팽창 패킹(52b)을 구비하고,
상기 지축부는 이중관으로 이루어지고, 제1의 관(53a)이 상기 고정 원반부를 지지하고, 제2의 관이 상기 회전 원반부를 지지함과 동시에, 상기 제2의 관(53b)이 상기 구동부에 연동해서 상기 회전 원반부를 회전시키고,
상기 압축 공기 공급부는, 외부 환경에 있는 압축 공기 공급원으로부터 상기 지축부를 관통하는 공급 배관(55a)을 거쳐, 상기 회전부와 상기 회전 원반부로 밀폐된 상기 하프슈트의 내부에 압축 공기를 공급하는 것을 특징으로 한다.
상기 구성에 의하면, 본 발명에 관계된 작업 후드에는, 작업 박스의 일부에 형성된 개구부 주위와 하프슈트의 옷자락부와의 연결 부분에 원고리모양의 회전 지지체가 마련되어 있다. 이 회전 지지체는, 기반부와 회전부와 베어링부와 씰 부재와 연통구멍을 가지고 있다. 기반부는, 개구부 주위에 기밀적으로 또한 원고리모양으로 마련되어 있다. 한편, 회전부는, 기반부 주위를 따라 베어링부를 거쳐 회전 자유롭게 원고리모양으로 마련되어 있다. 또, 회전부에는, 하프슈트의 옷자락부가 전주위에 걸쳐서 기밀적으로 고정되어 있다. 이들에 의해, 회전 지지체가 하프슈트 전체를 회전 자유롭게 지지할 수 있으므로, 하프슈트를 착용한 작업자의 작업 영역이 넓어진다.
씰 부재는, 기반부와 회전부가 형성하는 원고리모양의 간극에, 작업 박스와 외부 환경을 구분하도록 회전 지지체의 전주위에 걸쳐서 원고리모양으로 마련되어 있다. 연통구멍은, 씰 부재가 기반부, 회전부, 및 베어링부로 형성하는 원고리모양의 소공간에, 상기 소공간측으로부터 외부 환경측으로 개구하도록 마련되어 있다. 이 연통구멍의 개구부에는, 소공간의 내부에 청정 공기, 오염제거 가스 또는 오염제거 미스트를 공급하는 공급 수단과 연결할 수가 있다. 이것에 의해, 오염제거 작업에 있어서, 작업 박스 내에 오염제거 가스나 오염제거 미스트를 공급함과 동시에, 이것에 병행해서 소공간 내에도 오염제거 가스나 오염제거 미스트를 공급할 수 있고, 씰 부재를 작업 박스측과 외부 환경측의 양쪽으로부터 오염제거할 수가 있다. 따라서, 작업 후드와 작업 박스와의 경계에 있는 씰 부재의 오염제거 작업을 간단하게 또한 완전하게 행할 수가 있다.
또, 연통구멍의 개구부에는, 소공간의 내부로부터 청정 공기, 오염제거 가스 또는 오염제거 미스트를 흡인하는 흡인 수단과 연결할 수가 있다. 이것에 의해, 오염제거 작업에 있어서의 오염제거 가스나 오염제거 미스트의 제거나 에어레이션(aeration)을 용이하게 행할 수가 있다. 따라서, 작업 후드와 작업 박스와의 경계에 있는 씰 부재의 오염제거 작업을 간단하게 또한 완전하게 행할 수가 있다. 또, 작업 박스를 무균 상태로 운전할 때에도, 흡인 수단에 의해 작업 박스 내의 청정 공기를 씰 부재 및 소공간을 거쳐 항상 흡인할 수 있으므로, 작업 박스의 내부의 청정 환경을 양호하게 유지할 수가 있다.
또, 상기 구성에 의하면, 회전 지지체의 베어링부는, 상기 개구부 주위에 대응하는 외경을 가지는 1개의 대형 베어링을 가지고 있어도 좋다. 이 경우, 베어링의 회전축이 상기 개구부의 개구면과 직교하도록 상기 베어링의 내륜이 기반부의 외주에 고정됨과 동시에, 상기 베어링의 외륜이 회전부의 내주에 고정되어 있다. 이것에 의해, 회전부가 기반부에 상대해서 회전할 수가 있다. 따라서, 회전 지지체가 하프슈트 전체를 회전 자유롭게 지지할 수 있으므로, 하프슈트를 착용한 작업자의 작업 영역이 넓어진다.
또, 상기 구성에 의하면, 회전 지지체의 베어링부는, 복수의 소형 베어링을 가지고 있어도 좋다. 이 경우, 복수의 소형 베어링은, 기반부의 외주에 원고리모양으로 배치됨과 동시에, 각각의 축부가 원고리 중심을 향해 설치되고, 회전부의 원고리모양 주위가 각 소형 베어링의 외륜에 맞닿는다. 이것에 의해, 회전부가 기반부에 상대해서 회전할 수가 있다. 따라서, 회전 지지체가 하프슈트 전체를 회전 자유롭게 지지할 수 있으므로, 하프슈트를 착용한 작업자의 작업 영역이 넓어진다.
또, 상기 구성에 의하면, 기반부와 회전부가 형성하는 원고리모양의 간극에 마련되어 있는 씰 부재는, 기반부 또는 회전부의 벽면의 어느 한쪽으로 돌출해서 마련되어 있다. 이 씰 부재는, 상기 씰 부재의 돌출 부분의 높이를 변화시키는 조절 기구를 구비하고 있어도 좋다. 이 조절 기구가 작동하는 것에 의해, 씰 부재의 높이가 변화해서 돌출 선단부가 상대하는 회전부 또는 기반부의 벽면에 맞닿음가능하게 이동할 수가 있다.
씰 부재의 돌출 선단부를 상대하는 벽면에 맞닿게 한 경우에는, 기반부와 회전부가 형성하는 원고리모양의 간극을 작업 박스측과 외부 환경측에 기밀적으로 격절(隔絶)할 수가 있다. 이것에 의해, 작업 박스 내부의 청정 환경을 양호하게 유지할 수가 있다. 한편, 씰 부재의 돌출 선단부를 상대하는 벽면에 맞닿게 하지 않고 약간(조금) 틈(隙間)을 남긴 경우에는, 회전부가 기반부에 상대해서 용이하게 회전함과 동시에, 작업 후드와 작업 박스와의 경계에 있는 씰 부재의 오염제거 작업을 간단하게 또한 완전하게 행할 수가 있다.
또, 상기 구성에 의하면, 본 발명에 관계된 작업 후드는, 하프슈트를 고정한 회전부를 기반부에 상대해서 회전시키기 위한 구동 장치를 구비하고 있어도 좋다. 이 구동 장치는, 고정 원반부와 회전 원반부와 지축부와 구동부와 압축 공기 공급부를 가지고 있다. 고정 원반부는, 기반부의 원고리모양의 내주면에 감입가능한 직경을 가지고 있고, 원반모양의 외주면이 기반부의 원고리모양의 내주면에 맞닿아서 고정되도록, 그의 외주면에 원고리모양의 제1의 팽창 패킹을 구비하고 있다. 회전 원반부는, 회전부의 원고리모양의 내주면에 감입가능한 직경을 가지고 있고, 원반모양의 외주면이 회전부의 원고리모양의 내주면에 맞닿아서 고정되도록, 그의 외주면에 원고리모양의 제2의 팽창 패킹을 구비하고 있다.
지축부는, 고정 원반부와 회전 원반부와의 중심축을 관통하는 이중관으로 이루어지고, 제1의 관이 고정 원반부를 지지하고, 제2의 관이 회전 원반부를 지지하고 있다. 또, 제2의 관은, 구동부에 연동해서 회전 원반부를 고정 원반부에 상대해서 동심축 상에서 회전시킨다. 압축 공기 공급부는, 외부 환경에 있는 압축 공기 공급원으로부터 지축부를 관통하는 공급 배관을 거쳐, 회전부와 회전 원반부로 밀폐된 하프슈트의 내부에 압축 공기를 공급해서 하프슈트를 부풀린다.
이들에 의해, 오염제거 작업에 있어서, 씰 부재가 기반부, 회전부, 및 베어링부로 형성하는 원고리모양의 소공간의 구석구석까지 청정 공기, 오염제거 가스 또는 오염제거 미스트를 널리 퍼지게 할 수가 있다. 또, 작업 후드와 작업 박스와의 경계에 있는 씰 부재를 회전시키면서 오염제거할 수가 있다. 따라서, 씰 부재의 오염제거 작업을 간단하게 또한 완전하게 행할 수가 있다.
또한, 상기 각 수단의 괄호 안의 부호는, 후술하는 각 실시형태에 기재된 구체적 수단과의 대응 관계를 나타내는 것이다.
도 1은 작업 후드를 배치한 아이솔레이터를 정면에서 본 단면 개요도이다.
도 2는 도 1의 아이솔레이터를 상면에서 본 단면 개요도(도 1의 A－A 단면도)이다.
도 3은 제1 실시형태에 있어서, 작업 후드가 가지는 회전 지지체의 구성을 도시하는 단면도(도 1의 B부분을 본 도 2의 C－C 단면도)이다.
도 4는 무균 환경에서의 작업 시의 작업 후드의 회전 지지체를 정면에서 본 단면 개요도이다.
도 5는 오염제거 작업 시의 작업 후드의 회전 지지체를 정면에서 본 단면 개요도이다.
도 6은 도 5와 다른 오염제거 작업 시의 작업 후드의 회전 지지체를 정면에서 본 단면 개요도이다.
도 7은 제2 실시형태에 있어서, 작업 후드가 가지는 회전 지지체의 구성을 도시하는 단면도(도 1의 B부분을 본 도 2의 C－C 단면도)이다.
도 8은 제2 실시형태에 있어서, 소공간과 연통구멍의 관계를 상면에서 본 단면 개요도이다.
도 9는 제3 실시형태에 있어서, 작업 후드가 가지는 회전 지지체의 구성을 도시하는 단면도(도 1의 B부분을 본 도 2의 C－C 단면도)이다.
도 10은 제4 실시형태에 있어서, 작업 후드가 가지는 회전 지지체의 구성을 도시하는 단면도(도 1의 B부분을 본 도 2의 C－C 단면도)이다.
도 11은 제5 실시형태에 있어서, 작업 후드가 가지는 회전 지지체의 구성을 도시하는 단면도(도 1의 B부분을 본 도 2의 C－C 단면도)이다.
도 12는 제6 실시형태에 있어서, 구동 장치를 장착한 작업 후드의 회전 지지체를 정면에서 본 단면 개요도이다.
이하, 본 발명에 관계된 작업 후드를 각 실시형태에 의해 설명한다. 또한, 본 발명은, 하기의 각 실시형태에만 한정되는 것은 아니다.
＜제1 실시형태＞
본 발명에 관계된 작업 후드의 제1 실시형태를 도면에 기초하여 설명한다. 도 1은, 작업 후드를 배치한 아이솔레이터 장치를 정면에서 본 단면 개요도이다. 도 2는, 상기 아이솔레이터 장치를 상면에서 본 단면 개요도(도 1의 A－A 단면도)이다. 도 1 및 도 2에 있어서, 아이솔레이터 장치(10)는, 마루면(床面) 상에 얹어놓이는 다리부(11)와, 이 다리부(11) 위에 실리는 작업 박스(챔버)(12)와, 이 챔버(12) 내부의 저벽부(13)에 형성된 원형의 개구부(13a)에 연결되고, 이 챔버(12)의 내부로 돌출하는 중공모양의 하프슈트(21)를 구비한 작업 후드(20)에 의해 구성되어 있다. 도 2에 있어서, 작업 후드(20)는, 수평 방향으로 임의의 각도 혹은 360도로 회전 자유롭다(자유롭게 회전한다).
다음에, 작업 후드(20)의 회전을 가능하게 하는 회전 지지체의 구성에 대해서 설명한다. 도 3은, 작업 후드(20)가 가지는 회전 지지체의 구성을 도시하는 단면도(도 1의 B부분을 본 도 2의 C－C 단면도)이다. 도 3에 있어서, 작업 후드(20)는, 원고리모양의 회전 지지체(30)에 의해서 챔버(12) 내부의 저벽부(13)에 형성된 원형의 개구부(13a) 주위에 연결되어 있다. 이 회전 지지체(30)는, 기반부(31)와 회전부(32)와 베어링부(33)와 씰 부재(34)와 연통구멍(35)을 가지고 있다.
기반부(31)는, 원통 부분(31a)과 그의 일단(一端)으로부터 법선 방향 외측으로 내민(돌출한) 원고리 판부분(31b)으로 이루어지는 L자 모양 단면을 가지는 고리모양(環狀) 구조물이다. 원고리 판부분(31b)은, 그의 내주가 원형이고, 챔버(12)의 원형 개구부(13a)의 내주에 겹치도록, 챔버(12)의 저벽부(13)에 볼트(36a)로 전둘레(全周)에 걸쳐서 기밀적으로 고정되어 있다. 원통 부분(31a)의 내주부는, 작업자가 상반신을 삽입하는 작업 후드(20)의 개구부를 형성한다. 한편, 원통 부분(31a)의 외주에는, 베어링부(33)의 내륜(33a)이 고정되어 있다. 또한, 본 제1 실시형태에 있어서는, 1개의 대형 볼베어링이 베어링부(33)를 구성한다.
회전부(32)는, 원통 부분(32a)과 그의 일단으로부터 법선 방향 내측으로 내민 원고리 판부분(32b)으로 이루어지는 역L자 모양 단면을 가지는 고리모양 구조물이다. 원통 부분(32a)은, 기반부(31)의 원통 부분(31a)의 외측에 동심축으로 되도록 배치되고, 그의 내주에는, 베어링부(33)의 외륜(33b)이 고정되어 있다. 한편, 원고리 판부분(32b)은, 그의 내주가 원형이고, 기반부(31)의 원통 부분(31a)의 내주에 겹치도록, 원통 부분(32a)의 상면에 볼트(36b)로 전둘레에 걸쳐서 기밀적으로 고정되어 있다. 또, 원통 부분(32a)과 원고리 판부분(32b)이 구성하는 회전부(32)의 외주 측면(회전부(32)의 외주 측면)에는, 유연성의 재료로 이루어지는 하프슈트(21)(도 1 참조)의 기단부(21a)가 2개의 O링(22)으로 기밀적으로 고정되어 있다.
이와 같이, 본 제1 실시형태에 있어서는, 회전 지지체(30)의 기반부(31)와 회전부(32)가 베어링부(33)(대형 볼베어링)를 거쳐 고정되어 있다. 이것에 의해, 회전 지지체(30)는, 챔버(12)의 저벽부(13)에 고정된 기반부(31)에 상대해서, 하프슈트(21)를 고정한 회전부(32)가 임의의 각도로부터 360도까지 자유롭게 회전할 수가 있다.
여기서, 베어링부(33)를 구성하는 대형 볼베어링에는, 기밀성이 있는 것을 사용해도 좋고, 혹은 기밀성이 없는 것을 사용해도 좋다. 기밀성이 없는 대형 볼베어링을 사용하는 경우에는, 기반부(31)의 원통 부분(31a)과 회전부(32)의 원고리 판부분(32b)과의 원고리모양의 간극(37)(도 3 참조)에 패킹을 사용하도록 해도 좋다. 또한, 본 제1 실시형태에 있어서는, 베어링부(33)에 기밀성이 있는 대형 볼베어링을 채용했다.
또 회전부(32)의 원통 부분(32a)의 하단면(下端面)(32c)과, 기반부(31)의 원고리 판부분(31b)의 상면(31c)이 형성하는 원고리모양의 간극(38)에는, 씰 부재(립 씰)(34)가 원통 부분(32a)의 하단면(32c)에 원고리모양으로 돌출해서 마련되어 있다. 또한, 립 씰(34)은, 합성 고무 등의 탄성체로 형성되어 있다. 이 립 씰(34)의 선단부는, 원고리 판부분(31b)의 상면(31c)과 약간 맞닿아 있어도 좋지만, 보다 바람직하게는 약간의 틈을 가지고 있는 것이 좋다. 이것에 의해, 립 씰(34)의 선단부에의 오염제거 가스의 공급이 용이해져, 씰 부분의 오염제거 효과가 보다 확실하게 된다.
도 3에 있어서, 립 씰(34)은, 기반부(31), 회전부(32), 및 베어링부(33)(대형 볼베어링)로 둘러싸인 원고리모양의 소공간(39)을 형성한다. 또, 이 소공간(39)으로부터는, 외부 환경에 개구하는 연통구멍(35)이 마련되어 있다. 이 연통구멍(35)은, 소공간(39)에 대해서 1개소만 마련해도 좋고, 혹은 원고리모양의 복수 개소에 마련하도록 해도 좋다. 또, 소공간(39)이 형성되는 방향은, 외부 환경에 해방되어 있으면 좋고 수직 방향, 수평 방향 등, 어떠한 방향이더라도 좋다. 또한, 본 제1 실시형태에 있어서는, 1개의 연통구멍(35)을 수직 방향으로 마련하고 있다. 이 연통구멍(35)은, 외부 환경에 배치한 오염제거 가스 공급 장치, 압축 공기 공급 장치, 및 진공 흡인 장치 등과 배관을 거쳐 연결되어 있다(후술한다).
여기서, 챔버(12) 내부의 무균 환경에서의 작업 및 오염제거 작업에 대해서 설명한다. 본 제1 실시형태에 있어서는, 챔버(12)의 내부에 회전 자유로운(回轉自在) 작업 후드(20)를 배치하고 있다. 따라서, 작업 후드(20)의 회전 부분, 특히 립 씰(34) 및 소공간(39) 부분의 구조가 복잡하고, 이 부분의 청정화의 유지 및 오염제거의 정밀도가 요구된다.
우선, 무균 환경에서의 작업에 대해서 설명한다. 도 4는, 무균 환경에서의 작업 시의 작업 후드의 회전 지지체를 정면에서 본 단면 개요도이다. 도 4에 있어서는, 오염제거 된 챔버(12)의 내부는, 외부 환경에 비해 양압(陽壓)으로 제어되고 있다. 도 4에서는, 양압 상태를 (＋)의 기호로 나타낸다. 또한, 챔버(12) 내부에의 청정 공기의 공급 장치 및 양압 제어 장치는 도시하고 있지 않다.
또, 연통구멍(35)의 외부 환경측의 개구부에는, 오염제거 가스 공급 장치(41)와 감압 흡인 장치(42)가 배관(43)으로 연결되어 있다. 배관(43)에는, 오염제거 가스 공급 장치(41)와 감압 흡인 장치(42)의 연통을 변경하는 삼방밸브(44)가 마련되어 있다. 본 제1 실시형태에 있어서는, 오염제거 가스로서 과산화 수소 가스를 채용했다. 또, 배관(43)의 감압 흡인 장치(42)와 삼방밸브(44) 사이에는, HEPA 필터(45)와 과산화 수소 분해용의 촉매 장치(46)가 마련되어 있다.
이와 같이 배관된 연통구멍(35)의 작용에 대해서 설명한다. 무균 환경에서의 작업 시에는, 삼방밸브(44)를 전환해서 연통구멍(35)과 감압 흡인 장치(42)가 배관(43)으로 연통되어 있다. 감압 흡인 장치(42)를 작동시키는 것에 의해, 챔버(12) 내부의 청정 공기는, 회전 지지체(30)의 기반부(31)와 회전부(32)의 간극을 통해, 립 씰(34)의 틈 및 소공간(39)을 경유하여 배관(43)으로부터 감압 흡인 장치(42)에 흡인된다(도면에서는 화살표로 나타낸다). 이 동안, 챔버(12) 내부의 양압 상태는, 청정 공기의 공급 장치 및 양압 제어 장치(어느것이나 도시하지 않음)에 의해서 제어되고 있다. 이것에 의해, 작업자(도시하지 않음)가 작업 후드(20)를 회전시켜서 작업을 행해도, 챔버(12) 내부의 무균 환경은 유지되고 있다.
다음에, 오염제거 작업에 대해서 설명한다. 도 5는, 오염제거 작업 시의 작업 후드의 회전 지지체를 정면에서 본 단면 개요도이다. 도 5에 있어서, 챔버(12)의 내부에는, 오염제거 가스(과산화 수소 가스)가 공급되고 있다. 도 5에서는, 오염제거 가스를 (H2O2)의 기호로 나타낸다. 또한, 챔버(12) 내부로의 오염제거 가스의 공급 장치 및 오염제거 가스 농도 제어 장치는 도시하고 있지 않다. 또, 연통구멍(35)의 외부 환경측의 개구부에는, 상술한 오염제거 가스 공급 장치(41), 감압 흡인 장치(42), 배관(43), 삼방밸브(44), HEPA 필터(45), 및 촉매 장치(46)가 연결되어 있다.
이와 같이 배관된 연통구멍(35)의 작용에 대해서 설명한다. 오염제거 작업 시에는, 삼방밸브(44)를 전환해서 연통구멍(35)과 오염제거 가스 공급 장치(41)가 배관(43)으로 연통되어 있다. 오염제거 가스 공급 장치(41)를 작동시키는 것에 의해, 오염제거 가스(H2O2)는, 배관(43)과 연통구멍(35)으로부터 소공간(39)과 립 씰(34)에 공급되고, 립 씰(34)의 틈을 경유하여 회전 지지체(30)의 기반부(31)와 회전부(32)와의 간극을 통해 챔버(12)의 내부에 도입된다(도면에서는 화살표로 나타낸다). 또한, 본 제1 실시형태에 있어서는, 오염제거 가스 공급 장치(41)의 공급압을 챔버(12)의 내부압보다도 높게 제어하고 있다.
또, 오염제거 가스(H2O2)에 의한 오염제거 후의 에어레이션 시에는, 상술한 양압 제어의 경우와 마찬가지 경로를 경유하여, 챔버(12) 내부의 오염제거 가스(H2O2)의 제거 및 청정 공기에 의한 정상화를 감압 흡인 장치(42)에서 행하도록 한다. 이 때, 흡인되는 오염제거 가스(H2O2)는, 배관중의 촉매 장치(46)에 의해 분해된다. 이들에 의해, 구조가 복잡한 립 씰(34) 및 소공간(39) 부분의 오염제거의 정밀도가 달성된다. 또한, 에어레이션 시에는, 감압 흡인 장치(42)에 의해 챔버(12) 내부의 청정 공기의 흡인을 행하는 대신에, 오염제거 가스 공급 장치(41)를 청정한 압축 공기 공급 장치(도시하지 않는다) 대신에 오염제거 시와 마찬가지 경로로 챔버(12)의 내부에 청정 공기를 공급하도록 해도 좋다.
다음에, 상술한 오염제거 작업과는 다른 오염제거 작업에 대해서 설명한다. 도 6은, 도 5와 다른 오염제거 작업 시의 작업 후드의 회전 지지체를 정면에서 본 단면 개요도이다. 도 6에 있어서, 챔버(12)의 내부에는, 오염제거 가스(과산화 수소 가스)가 공급되고 있다. 도 6에서는, 오염제거 가스를 (H2O2)의 기호로 나타낸다. 또한, 챔버(12) 내부로의 오염제거 가스의 공급 장치 및 오염제거 가스 농도 제어 장치는 도시하고 있지 않다. 또, 연통구멍(35)의 외부 환경측의 개구부에는, 상술한 오염제거 가스 공급 장치(41), 감압 흡인 장치(42), 배관(43), 삼방밸브(44), HEPA 필터(45), 및 촉매 장치(46)가 연결되어 있다.
이와 같이 배관된 연통구멍(35)의 작용에 대해서 설명한다. 오염제거 작업 시에는, 삼방밸브(44)를 전환해서 연통구멍(35)과 감압 흡인 장치(42)가 배관(43)으로 연통되어 있다. 감압 흡인 장치(42)를 작동시키는 것에 의해, 챔버(12) 내부의 오염제거 가스(H2O2)는, 회전 지지체(30)의 기반부(31)와 회전부(32)와의 간극을 통해, 립 씰(34)의 틈 및 소공간(39)을 경유하여 배관(43)으로부터 감압 흡인 장치(42)에 흡인된다(도면에서는 화살표로 나타낸다). 이 동안, 챔버(12) 내부의 오염제거 가스(H2O2)의 농도는, 오염제거 가스의 공급 장치 및 오염제거 가스 농도 제어 장치(어느것이나 도시하지 않음)에 의해서 제어되고 있다.
이 때, 흡인되는 오염제거 가스(H2O2)는, 배관중의 촉매 장치(46)에 의해 분해된다. 또, 오염제거 가스(H2O2)에 의한 오염제거 후의 에어레이션 시에는, 오염제거의 경우와 마찬가지 경로를 경유하여, 챔버(12) 내부의 오염제거 가스(H2O2)의 제거 및 청정 공기에 의한 정상화를 감압 흡인 장치(42)에서 행하도록 한다. 이 때도, 배관중의 촉매 장치(46)에 의해 흡인되는 오염제거 가스(H2O2)의 분해가 이루어진다. 이들에 의해, 구조가 복잡한 립 씰(34) 및 소공간(39) 부분의 오염제거의 정밀도가 달성된다.
＜제2 실시형태＞
본 발명에 관계된 작업 후드의 제2 실시형태를 도면에 기초하여 설명한다. 본 제2 실시형태에 있어서는, 소공간으로부터 외부 환경에 개구하는 연통구멍의 위치와 개수가 상기 제1 실시형태와 다르다. 도 7은, 제2 실시형태에 있어서, 작업 후드가 가지는 회전 지지체의 구성을 도시하는 단면도(도 1의 B부분을 본 도 2의 C－C 단면도)이다. 또, 도 8은, 제2 실시형태에 있어서, 소공간과 연통구멍의 관계를 상면에서 본 단면 개요도이다.
도 7에 있어서, 작업 후드(120)는, 원고리모양의 회전 지지체(130)에 의해서 챔버(12) 내부의 저벽부(13)에 형성된 원형의 개구부(13a) 주위에 연결되어 있다. 이 회전 지지체(130)는, 기반부(131)와 회전부(132)와 베어링부(133)와 립 씰(134)과 연통구멍(135)을 가지고 있다. 또한, 기반부(131), 회전부(132), 베어링부(133), 및 립 씰(134)의 구성에 대해서는, 상기 제1 실시형태와 마찬가지이다.
도 7 및 도 8에 있어서, 립 씰(134)은, 기반부(131), 회전부(132), 및 베어링부(133)(대형 볼베어링)로 둘러싸인 원고리모양의 소공간(139)을 형성한다. 또, 이 소공간(139)에는, 외부 환경에 개구하는 연통구멍(135)이 마련되어 있다. 본 제2 실시형태에 있어서는, 원고리모양의 소공간(139)에 등간격으로 마련된 4개의 연통구멍(135)을 수평 방향으로 마련하고 있다. 또한, 4개의 연통구멍(135)은, 어느것이나 소공간(139)의 원고리 중심 방향으로부터 소정의 각도를 가지고 마련되어 있다(도 8 참조). 또, 4개의 연통구멍(135)은, 어느것이나 외부 환경에 배치한 오염제거 가스 공급 장치, 압축 공기 공급 장치, 및 진공 흡인 장치 등과 배관을 거쳐 연결되어 있다. 또한, 본 제2 실시형태에 있어서는, 챔버(12) 내부의 무균 환경에서의 작업 및 오염제거 작업의 조작은 상기 제1 실시형태와 마찬가지이다.
여기서, 연통구멍(135)을 수평 방향으로 4개 마련함과 동시에, 이들 연통구멍(135)을 소공간(139)의 원고리 중심 방향으로부터 소정의 각도를 갖고서 마련하는 이유에 대해서 설명한다. 오염제거 작업에 있어서, 4개의 연통구멍(135)으로부터 소공간(139)에 유입하는 오염제거 가스(H2O2)는, 소공간(139)의 내부를 일정 방향으로 흐른다(도 8에 있어서 시계방향). 이와 같이 해서, 소공간(139)에 유입한 오염제거 가스는, 소공간(139)의 각 벽면에 유동하면서 접촉하고, 립 씰(134)을 거쳐 챔버(12)의 내부에 도입되는, 이것에 의해, 구조가 복잡한 립 씰(134) 및 소공간(139) 부분의 오염제거가 보다 정밀도 좋게 달성된다.
또한, 소공간(139)을 구성하는 회전부(132)의 원통 부분(132a)에 복수의 저항판을 마련하도록 해도 좋다(도 8에는 도시하고 있지 않다). 이들 저항판에 4개의 연통구멍(135)으로부터 소공간(139)에 일정 방향으로 유입하는 오염제거 가스가 닿는(맞는) 것에 의해, 회전 지지체(130)의 회전부(132)가 기반부(131)에 상대해서 약간 회전하게 된다. 이것에 의해, 구조가 복잡한 립 씰(134) 및 소공간(139) 부분의 오염제거가 더욱더 정밀도 좋게 달성된다.
＜제3 실시형태＞
본 발명에 관계된 작업 후드의 제3 실시형태를 도면에 기초하여 설명한다. 본 제3 실시형태에 있어서는, 회전 지지체의 회전부의 구조가 상기 제1 실시형태와 다르다. 도 9는, 제3 실시형태에 있어서, 작업 후드가 가지는 회전 지지체의 구성을 도시하는 단면도(도 1의 B부분을 본 도 2의 C－C 단면도)이다.
도 9에 있어서, 작업 후드(220)는, 원고리모양의 회전 지지체(230)에 의해서 챔버(12) 내부의 저벽부(13)에 형성된 원형의 개구부(13a) 주위에 연결되어 있다. 이 회전 지지체(230)는, 기반부(231)와 회전부(232)와 베어링부(233)와 립 씰(234)과 연통구멍(235)을 가지고 있다. 또한, 기반부(231), 베어링부(233), 립 씰(234), 및 연통구멍(235)의 구성에 대해서는, 상기 제1 실시형태와 마찬가지이다.
도 9에 있어서, 회전부(232)는, 원통 부분(232a)과 그의 외주단으로부터 원통 축방향 상측으로 내민 원고리 판부분(232b)으로 이루어지는 L자 모양 단면을 가지는 고리모양 구조물이다. 원통 부분(232a)은, 기반부(231)의 원통 부분(231a)의 외측에 동심축으로 되도록 배치되고, 그의 내주에는, 베어링부(233)의 외륜(233b)이 고정되어 있다. 한편, 원고리 판부분(232b)은, 그의 외주가 원통형이고, 원통 부분(232a)의 외주에 겹치도록, 원통 부분(232a)의 상면에 볼트(236b)로 전둘레에 걸쳐서 기밀적으로 고정되어 있다. 또, 원고리 판부분(232b)의 외주 측면에는, 유연성의 재료로 이루어지는 하프슈트(221)의 기단부(221a)의 내면과 외면에 2개의 평(平)밴드(223)로 기밀적으로 고정되어 있다.
이와 같이, 본 제3 실시형태에 있어서는, 회전 지지체(230)의 기반부(231)와 회전부(232)가 베어링부(233)(대형 볼베어링)를 거쳐 고정되어 있다. 이것에 의해, 회전 지지체(230)는, 챔버(12)의 저벽부(13)에 고정된 기반부(231)에 상대해서, 하프슈트(221)를 고정한 회전부(232)가 임의의 각도로부터 360도까지 자유롭게 회전할 수가 있다.
또한, 연통구멍(135)은, 외부 환경에 배치한 오염제거 가스 공급 장치, 압축 공기 공급 장치, 및 진공 흡인 장치 등과 배관을 거쳐 연결되어 있다. 또한, 본 제3 실시형태에 있어서는, 챔버(12) 내부의 무균 환경에서의 작업 및 오염제거 작업의 조작은 상기 제1 실시형태와 마찬가지이다. 이것에 의해, 구조가 복잡한 립 씰(234) 및 소공간(239) 부분의 오염제거가 정밀도 좋게 달성된다.
＜제4 실시형태＞
본 발명에 관계된 작업 후드의 제4 실시형태를 도면에 기초하여 설명한다. 본 제4 실시형태에 있어서는, 베어링부의 구조가 상기 제3 실시형태와 다르다. 도 10은, 제4 실시형태에 있어서, 작업 후드가 가지는 회전 지지체의 구성을 도시하는 단면도(도 1의 B부분을 본 도 2의 C－C 단면도)이다.
도 10에 있어서, 작업 후드(320)는, 원고리모양의 회전 지지체(330)에 의해서 챔버(12) 내부의 저벽부(13)에 형성된 원형의 개구부(13a) 주위에 연결되어 있다. 이 회전 지지체(330)는, 기반부(331)와 회전부(332)와 베어링부(333)와 립 씰(334)과 연통구멍(335)을 가지고 있다. 또한, 기반부(331), 회전부(332), 립 씰(334), 및 연통구멍(335)의 구성에 대해서는, 상기 제3 실시형태와 마찬가지이다.
도 10에 있어서, 기반부(331)는, 원통 부분(331a)과 그의 일단으로부터 법선 방향 외측으로 내민 원고리 판부분(331b)으로 이루어지는 L자 모양 단면을 가지는 고리모양 구조물이다. 원고리 판부분(331b)은, 그의 내주가 원형이고, 챔버(12)의 원형 개구부(13a)의 내주에 겹치도록, 챔버(12)의 저벽부(13)에 볼트(336a)로 전둘레에 걸쳐서 기밀적으로 고정되어 있다. 원통 부분(331a)의 내주부는, 작업자가 상반신을 삽입하는 작업 후드(20)의 개구부를 형성한다.
한편, 원통 부분(331a)의 외주에는, 베어링부(333)가 고정되어 있다. 또한, 본 제4 실시형태에 있어서는, 복수의 소형 볼베어링(333a)이 베어링부(333)를 구성한다. 이들 소형 볼베어링(333a)은, 기반부(331)의 원통 부분(331a)의 외주에 원고리모양으로 배치됨과 동시에, 각 축부(333c)를 원고리 중심을 향해 등간격으로 고정되어 있다.
도 10에 있어서, 회전부(332)는, 원통 부분(332a)과 그의 외주단으로부터 원통 축방향 상측으로 내민 원고리 판부분(332b)으로 이루어지는 L자 모양 단면을 가지는 고리모양 구조물이다. 원통 부분(332a)은, 기반부(331)의 원통 부분(331a)의 외측에 동심축으로 되도록 배치되어 있다. 또, 원통 부분(332a)의 내주 상부에는, 차양(庇) 부분(332c)이 전둘레에 걸쳐서 형성되어 있다. 이 차양 부분(332c)은, 기반부(331)의 원통 부분(331a)의 외주에 등간격으로 고정된 복수의 소형 볼베어링(333a)의 외륜(333b)의 상부에 맞닿도록 배치되어 있다.
또한, 본 제4 실시형태에 있어서는, 베어링부(333)에 복수의 소형 볼베어링(333a)을 사용하므로, 기반부(331)의 원통 부분(331a)의 외주와 회전부(332)의 원통 부분(332a)의 내주 상부의 차양 부분(332c)과의 원고리모양의 간극(337)에 패킹을 사용하도록 해도 좋다.
한편, 원고리 판부분(332b)은, 그의 외주가 원통형이고, 원통 부분(332a)의 외주에 겹치도록, 원통 부분(332a)의 상면에 볼트(336b)로 전둘레에 걸쳐서 기밀적으로 고정되어 있다. 또, 원고리 판부분(332b)의 외주 측면에는, 유연성의 재료로 이루어지는 하프슈트(321)의 기단부(21a)의 내면과 외면에 2개의 평밴드(323)로 기밀적으로 고정되어 있다.
이와 같이, 본 제4 실시형태에 있어서는, 회전 지지체(330)의 기반부(331)와 회전부(332)가 베어링부(333)(복수의 소형 볼베어링(333a))를 거쳐 맞닿아 있다. 이것에 의해, 회전 지지체(330)는, 챔버(12)의 저벽부(13)에 고정된 기반부(331)에 상대해서, 하프슈트(321)를 고정한 회전부(332)가 임의의 각도로부터 360도까지 자유롭게 회전할 수가 있다.
또한, 연통구멍(335)은, 외부 환경에 배치한 오염제거 가스 공급 장치, 압축 공기 공급 장치, 및 진공 흡인 장치 등과 배관을 거쳐 연결되어 있다. 또한, 본 제4 실시형태에 있어서는, 챔버(12) 내부의 무균 환경에서의 작업 및 오염제거 작업의 조작은 상기 제1 실시형태와 마찬가지이다. 이것에 의해, 구조가 복잡한 립 씰(334)의 맞닿음 부분 및 소공간(339) 부분의 오염제거가 정밀도 좋게 달성된다.
＜제5 실시형태＞
본 발명에 관계된 작업 후드의 제5 실시형태를 도면에 기초하여 설명한다. 본 제5 실시형태에 있어서는, 씰 부재(립 씰)의 돌출마련 위치 및 기능이 상기 제1 실시형태와 다르다. 도 11은, 제5 실시형태에 있어서, 작업 후드가 가지는 회전 지지체의 구성을 도시하는 단면도(도 1의 B부분을 본 도 2의 C－C 단면도)이다.
도 11에 있어서, 회전 지지체(430)의 회전부(432)의 원통 부분(432a)의 하단면(432c)과, 기반부(431)의 원고리 판부분(31b)의 상면(31c)이 형성하는 원고리모양의 간극(438)에는, 씰 부재(립 씰)(434)가 원고리 판부분(431b)의 상면(431c)에 원고리모양으로 돌출해서 마련되어 있다. 립 씰(434)은, 합성 고무 등의 탄성체로 형성되어 있다. 또한, 기반부(431), 회전부(432), 베어링부(433), 및 연통구멍(435)의 구성에 대해서는, 상기 제1 실시형태와 마찬가지이다.
본 제5 실시형태에 관계된 립 씰(434)은, 상술한 바와 같이, 그 기능이 상기 제1 실시형태와 다르다. 본 제5 실시형태에 관계된 립 씰(434)의 기능은, 원고리 판부분(31b)의 상면(31c)으로부터 돌출하는 립 씰(434)의 돌출 부분의 높이를 변화시키는 것이다. 그 때문에, 립 씰(434)은, 원고리 판부분(31b)으로부터 상하 방향으로 슬라이딩(摺動)가능하게 매설됨과 동시에, 돌출 부분의 높이를 제어하는 조절 기구(434a, 434b, 434c)를 구비하고 있다.
조절 기구는, 립 씰(434)의 기단부(원고리 판부분(31b)의 내부에 매몰되어 있는 부분)에 밀폐된 공기실(434a)을 가지고 있다. 이 공기실(434a)은, 배관(434b)을 거쳐 외부 환경에 있는 펌프(434c)와 연통되어 있다. 펌프(434c)를 작동시켜, 공기실(434a)에 공기를 공급한 경우에는, 공기실(434a)이 팽창해서 립 씰(434)을 원고리 판부분(31b)의 상면(31c)으로부터 위쪽으로 밀어올린다. 한편, 펌프(434c)를 전환해서 작동시켜, 공기실(434a)의 공기를 배기한 경우에는, 공기실(434a)이 수축해서 립 씰(434)을 원고리 판부분(31b)의 상면(31c)으로부터 아래쪽으로 내리누른다.
이들에 의해, 챔버(12) 내부의 무균 환경에서의 작업, 또는 오염제거 작업의 각 조작에 맞추어 립 씰(434)의 돌출 부분의 높이를 조절할 수가 있다. 구체적으로는, 립 씰(434)의 돌출 선단부와, 이것에 상대하는 벽면(회전부(432)의 원통 부분(432a)의 하단면(432c))과의 거리를 제어하거나, 혹은 돌출 선단부와 벽면을 맞닿게 할 수가 있다.
예를 들면, 챔버(12) 내부의 무균 환경에서의 작업 시에는, 립 씰(434)의 돌출 선단부와 벽면 사이에 약간의 틈을 두거나, 약간 맞닿게 하는 것에 의해, 무균 상태의 유지와 작업 후드의 회전이 용이하게 된다. 한편, 오염제거 작업에 있어서 오염제거 가스의 공급이나 에어레이션 시에는, 립 씰(434)의 돌출 선단부와 벽면 사이에 틈을 두어 오염제거 가스나 에어레이션의 청정 공기가 통과하기 쉽게 되어, 씰 부분의 오염제거 효과가 보다 확실하게 된다.
또한, 본 제5 실시형태에 있어서는, 립 씰(434)의 돌출마련 위치는, 기반부(431)의 원고리 판부분(31b)의 상면(31c)으로 하지만, 이것에 한정되는 것은 아니고, 상기 제1 실시형태와 마찬가지로 회전부(432)의 원통 부분(432a)의 하단면(432c)에 돌출해서 마련하도록 해도 좋다. 또, 본 제5 실시형태에 있어서는, 조절 기구(434a, 434b, 434c)의 작용에 의해 립 씰(434)을 오르내리는 것이지만, 이것에 한정되는 것은 아니고, 씰 부재로서 공기압 등에 의한 팽창 패킹 등을 사용하여, 팽창 패킹 내의 공기압을 조절하는 것에 의해, 팽창 패킹과 상대하는 벽면과의 거리를 조절하도록 해도 좋다.
＜제6 실시형태＞
본 발명에 관계된 작업 후드의 제6 실시형태를 도면에 기초하여 설명한다. 본 제6 실시형태에 있어서는, 챔버(12) 내부의 오염제거 작업에 있어서 하프슈트를 자동적으로 회전시키는 구동 장치를 장착한 것이다. 또한, 구동 장치 이외의 부분의 구성은, 상기 제1 실시형태와 마찬가지이다. 도 12는, 제6 실시형태에 있어서, 구동 장치를 장착한 작업 후드의 회전 지지체를 정면에서 본 단면 개요도이다.
도 12에 있어서, 구동 장치(50)는, 챔버(12) 내부의 저벽부(13)에 형성된 원형의 개구부(13a)에 마련된 회전 지지체(30)의 내주부에 맞닿아서 고정되어 있다. 이 구동 장치(50)는, 고정 원반부(51)와 회전 원반부(52)와 지축부(53)와 구동 모터(54)와 압축 공기 공급 장치(55)를 가지고 있다.
고정 원반부(51)는, 회전 지지체(30)의 기반부(31)의 원고리모양의 내주면에 감입가능한 직경을 가지는 원반(51a)과, 그의 외주면에 원고리모양의 팽창 패킹(51b)을 구비하고 있다. 도 12에 있어서는, 팽창 패킹(51b)이 팽창해서 기반부(31)의 원고리모양의 내주면에 맞닿아서 기밀적으로 고정되어 있다. 또, 회전 원반부(52)는, 회전 지지체(30)의 회전부(32)의 원고리모양의 내주면에 감입가능한 직경을 가지는 원반(52a)과, 그의 외주면에 원고리모양의 팽창 패킹(52b)을 구비하고 있다. 도 12에 있어서는, 팽창 패킹(52b)이 팽창해서 회전부(32)의 원고리모양의 내주면에 맞닿아서 기밀적으로 고정되어 있다.
지축부(53)는 이중관(53a, 53b)으로 이루어지고, 고정 원반부(51)와 회전 원반부(52)와의 중심축을 관통함과 동시에, 외부관(53a)이 고정 원반부(51)를 지지하고, 내부관(53b)이 회전 원반부(52)를 지지하고 있다. 또, 내부관(53b)은, 고정 원반부(51)의 하면에 마련된 구동 모터(54)에 연동해서 회전 원반부(52)를 고정 원반부(51)에 상대해서 회전시킨다. 또, 압축 공기 공급 장치(55)는, 외부 환경에 있어 지축부(53)의 내부를 관통하는 공급 배관(55a)을 거쳐, 회전 원반부(52)에 고정된 하프슈트(21)의 내부에 압축 공기를 공급해서 상기 하프슈트(21)를 부풀린다.
이와 같이, 본 제6 실시형태에 있어서는, 회전 지지체(30)의 내주에 구동 장치(50)가 고정되어 있다. 이것에 의해, 회전 지지체(30)의 회전부(32)에 고정된 하프슈트(21)는, 부풀어 오른 상태에서 구동 모터(54)의 구동에 의해 챔버(12)의 저벽부(13)에 고정된 기반부(31)에 상대해서 회전할 수가 있다.
또한, 연통구멍(35)은, 외부 환경에 배치한 오염제거 가스 공급 장치, 압축 공기 공급 장치, 및 진공 흡인 장치 등과 배관을 거쳐 연결되어 있다. 또한, 본 제6 실시형태에 있어서는, 챔버(12) 내부의 오염제거 작업의 조작은 상기 제1 실시형태와 마찬가지이다. 이것에 의해, 구조가 복잡한 립 씰(34) 및 소공간(39) 부분의 오염제거가 보다 정밀도 좋게 달성된다.
따라서, 상기 각 실시형태에 있어서는, 작업 박스 내에서 자유롭게 회전할 수 있으므로 작업 영역이 넓고, 또한, 작업 후드와 작업 박스와의 경계에 있는 씰 부분의 오염제거 작업을 간단히 행할 수 있는 작업 후드를 제공할 수가 있다.
10…아이솔레이터 장치, 11…다리부, 12…작업 박스(챔버), 13…저벽부, 13a…개구부, 20, 120, 220, 320, 420…작업 후드, 21, 121, 221, 321, 421…하프슈트, 22, 122, 422…O링, 223, 323…평밴드, 30, 130, 230, 330, 430…회전 지지체, 31, 131, 231, 331, 431…기반부, 31a, 131a, 231a, 331a, 431a…원통 부분, 31b, 131b, 231b, 331b, 431b…원고리 판부분, 32, 132, 232, 332, 432…회전부, 32a, 132a, 232a, 332a, 432a…원통 부분, 32b, 132b, 232b, 332b, 432b…원고리 판부분, 33, 133, 233, 333, 433…베어링부, 333a…소형 베어링, 33a, 133a, 233a, 433a…내륜, 33b, 133b, 233b, 333b, 433b…외륜, 333c…축부, 34, 134, 234, 334, 434…씰 부재(립 씰), 434a…공기실, 434b…배관, 434c…펌프, 35, 135, 235, 335, 435…연통구멍, 36, 136, 236, 336, 436…볼트, 37, 38, 137, 138, 237, 238, 337, 338, 437, 438…간극, 39, 139, 239, 339, 439…소공간, 41…오염제거 가스 공급 장치, 42…감압 흡인 장치, 43…배관, 44…삼방밸브, 45…HEPA 필터, 46…촉매 장치, 50…구동 장치, 51…고정 원반부, 52…회전 원반부, 51a, 52a…원반, 51b, 52b…팽창 패킹, 53…지축부, 53a…외부관, 53b…내부관, 54…구동 모터, 55…압축 공기 공급 장치, 55a…공급 배관.

Claims (5)

  1. 작업 박스의 일부에 형성된 개구부 주위에 연결됨과 동시에, 상기 작업 박스의 내부로 돌출하는 중공모양의 하프슈트를 구비한 작업 후드로서,
    상기 개구부 주위와 하프슈트의 옷자락부(hem part)와의 연결 부분에는, 상기 하프슈트 전체를 회전 자유롭게 지지하는 원고리모양의 회전 지지체가 마련되고,
    상기 회전 지지체는, 기반부와 회전부와 베어링부와 씰(seal) 부재와 연통구멍을 가지고,
    상기 기반부는, 상기 개구부 주위에 기밀적으로 또한 원고리모양으로 마련되고,
    상기 회전부는, 상기 하프슈트의 옷자락부를 전주위(全周圍)에 걸쳐서 기밀적으로 고정함과 동시에 상기 기반부 주위를 따라 상기 베어링부를 거쳐 상기 기반부에 상대하도록 회전 자유롭게 원고리모양으로 마련되고,
    상기 씰 부재는, 상기 기반부와 상기 회전부가 형성하는 원고리모양의 간극(間隙)에, 상기 작업 박스와 외부 환경을 구분하도록 상기 회전 지지체의 전주위에 걸쳐서 원고리모양으로 마련되고,
    상기 연통구멍은, 상기 씰 부재가 상기 기반부, 상기 회전부, 및 상기 베어링부로 형성하는 원고리모양의 소공간에, 상기 소공간측으로부터 외부 환경측으로 개구하도록 마련되어 있고,
    상기 연통구멍의 개구부에는, 상기 소공간의 내부에 청정 공기, 오염제거(除染) 가스 또는 오염제거 미스트를 공급하는 공급 수단, 및/또는, 상기 소공간의 내부로부터 청정 공기, 오염제거 가스 또는 오염제거 미스트를 흡인하는 흡인 수단이 연결되어 있는 것을 특징으로 하는 작업 후드.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 베어링부는, 상기 개구부 주위에 대응하는 외경을 가지는 1개의 대형 베어링을 가지고,
    상기 대형 베어링의 회전축이 상기 개구부의 개구면과 직교하도록 상기 베어링의 내륜(內輪)이 상기 기반부의 외주에 고정됨과 동시에, 상기 베어링의 외륜(外輪)이 상기 회전부의 내주에 고정되어 있는 것에 의해, 상기 회전부가 상기 기반부에 상대해서 회전하는 것을 특징으로 하는 작업 후드.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 베어링부는, 복수의 소형 베어링을 가지고,
    상기 복수의 소형 베어링은, 상기 기반부의 외주에 원고리모양으로 배치됨과 동시에, 각각의 축부가 원고리 중심을 향해 설치되고,
    상기 회전부의 원고리모양 주위가 각 소형 베어링의 외륜에 맞닿는 것에 의해, 상기 회전부가 상기 기반부에 상대해서 회전하는 것을 특징으로 하는 작업 후드.
  4. 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 씰 부재는, 상기 원고리모양의 간극을 형성하는 상기 기반부 또는 상기 회전부의 벽면의 어느 한쪽으로 돌출해서 마련(突設)됨과 동시에, 상기 씰 부재의 돌출 부분의 높이를 변화시키는 조절 기구를 구비하고,
    상기 조절 기구의 작동에 의해, 상기 씰 부재의 돌출 선단부가 상대하는 상기 회전부 또는 상기 기반부의 벽면에 맞닿음(當接)가능하게 이동하는 것을 특징으로 하는 작업 후드.
  5. 제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 하프슈트를 고정한 상기 회전부를 상기 기반부에 상대해서 회전시키기 위한 구동 장치를 구비하고,
    상기 구동 장치는, 상기 기반부의 원고리모양의 내주면에 감입(嵌入)가능한 직경을 가지는 고정 원반부와, 상기 회전부의 원고리모양의 내주면에 감입가능한 직경을 가지는 회전 원반부와, 상기 고정 원반부와 회전 원반부와의 중심축을 관통하는 지축부와, 상기 회전 원반부를 상기 고정 원반부에 상대해서 동심축 상에서 회전시키는 구동부와, 상기 하프슈트를 부풀리기 위한 압축 공기 공급부를 가지고,
    상기 고정 원반부는, 원반모양의 외주면이 상기 기반부의 원고리모양의 내주면에 맞닿아서 고정되도록, 그의 외주면에 원고리모양의 제1의 팽창 패킹을 구비하고,
    상기 회전 원반부는, 원반모양의 외주면이 상기 회전부의 원고리모양의 내주면에 맞닿아서 고정되도록, 그의 외주면에 원고리모양의 제2의 팽창 패킹을 구비하고,
    상기 지축부는 이중관으로 이루어지고, 제1의 관이 상기 고정 원반부를 지지하고, 제2의 관이 상기 회전 원반부를 지지함과 동시에, 상기 제2의 관이 상기 구동부에 연동해서 상기 회전 원반부를 회전시키고,
    상기 압축 공기 공급부는, 외부 환경에 있는 압축 공기 공급원으로부터 상기 지축부를 관통하는 공급 배관을 거쳐, 상기 회전부와 상기 회전 원반부로 밀폐된 상기 하프슈트의 내부에 압축 공기를 공급하는 것을 특징으로 하는 작업 후드.
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Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN113976191B (zh) * 2021-12-27 2022-03-15 苏州英特模汽车科技有限公司 一种环境舱及其排气口设备

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5257957A (en) * 1992-10-16 1993-11-02 Diccianni Anthony M Facility for providing a sealed work area to handle, manipulate and formulate materials
JPH11208623A (ja) 1998-01-28 1999-08-03 Fujimori Kogyo Kk 無菌充填包装装置
JP2001074883A (ja) 1999-09-08 2001-03-23 Mitsubishi Materials Corp 作業フード
JP2006006282A (ja) * 2004-06-29 2006-01-12 Shibuya Kogyo Co Ltd 観察システム
JP2014057922A (ja) * 2012-09-18 2014-04-03 Shinryo Corp 局所精密空調装置
JP2017133899A (ja) * 2016-01-27 2017-08-03 株式会社エアレックス 気密性検査装置

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3337279A (en) * 1965-01-12 1967-08-22 Reinhardt Gustav Gas purged dry box glove
US3907389A (en) * 1973-12-12 1975-09-23 Marion E Cox Glove box chamber
JPS54105700A (en) * 1978-02-06 1979-08-18 Jgc Corp Glove box with half body suit
WO1998050134A1 (en) * 1997-05-09 1998-11-12 Szatmary Michael A Isolation chamber air curtain apparatus
JP3683744B2 (ja) * 1999-06-04 2005-08-17 株式会社エアレックス アイソレータ装置の清浄維持装置
US9055799B2 (en) * 2006-10-04 2015-06-16 Elizabeth E. Cohn Isolation box for protecting reading material
JP6017999B2 (ja) * 2013-03-15 2016-11-02 株式会社Ｓｃｒｅｅｎホールディングス 基板処理装置

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5257957A (en) * 1992-10-16 1993-11-02 Diccianni Anthony M Facility for providing a sealed work area to handle, manipulate and formulate materials
JPH11208623A (ja) 1998-01-28 1999-08-03 Fujimori Kogyo Kk 無菌充填包装装置
JP2001074883A (ja) 1999-09-08 2001-03-23 Mitsubishi Materials Corp 作業フード
JP2006006282A (ja) * 2004-06-29 2006-01-12 Shibuya Kogyo Co Ltd 観察システム
JP2014057922A (ja) * 2012-09-18 2014-04-03 Shinryo Corp 局所精密空調装置
JP2017133899A (ja) * 2016-01-27 2017-08-03 株式会社エアレックス 気密性検査装置

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