CN111918720B - 作业罩 - Google Patents
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Abstract
提供一种作业罩,由于能够在作业箱内自由旋转,因此作业区域宽,并且能够简单地进行处于作业罩与作业箱的边界的密封部分的除污作业。设置将半身衣整体旋转自如地支承的旋转支承体。旋转支承体具有基座部、旋转部、轴承部、密封部件及连通孔。基座部在开口部的周围气密且圆环状地设置,旋转部固定半身衣的下摆部并沿基座部的周围经由轴承部而设置。密封部件在基座部与旋转部形成的圆环状的间隙以将作业箱与外部环境分开的方式圆环状地设置。连通孔以从由密封部件与基座部、旋转部及轴承部形成的圆环状的小空间侧向外部环境侧开口的方式设置,与向小空间的内部供给除污气体等的供给装置、从小空间的内部吸引清洁空气等的吸引装置连结。
Description
技术领域
本发明涉及在对空气清洁度有要求的环境下的作业中使用的用于将操作者从该环境隔离的作业罩。
背景技术
在医药品等的制造阶段或研究开发阶段的作业中,要求无菌室、无尘室等空气清洁度高的环境。此外,将医药品充填于无菌容器的作业等也多通过手工作业来进行,为了防止因操作者造成的作业环境的污染,采用管理为无菌状态或无尘状态的作业箱。与之相反地,在处理对人体有害的物质等的作业中,为了保护操作者,采用管理为封入状态的作业箱。在这些作业箱中,采用操作者从作业箱的外部经由手套进行作业的手套箱方式,或操作者经由半身衣等的作业罩使上半身向作业箱内突出而进行作业的作业罩方式。
根据手套箱方式的作业使作业箱的一部分的壁部为透明的玻璃面板,并在该透明壁部安装手套,由此操作者能够一边从作业箱的外部透过透明壁部视觉确认作业箱内,一边经由手套进行在作业箱内的作业。然而,在根据该手套箱方式的作业中,作业范围被限定,并且由于手套的位置被固定,因此操作者的手臂的动作被限制,操作性不充分。
与此相对,在根据半身衣等的作业罩方式的作业中,操作者从作业箱外穿着半身衣。穿着了该半身衣的操作者能够在使上半身向作业箱内突出的状态下进行作业,因此与经由手套进行的作业相比,操作性进一步提高。
作为这样的经由半身衣进行作业的作业箱,例如,在下记专利文献1中,提出了将由具有非透气性及柔软性的材料形成的半身衣向无菌室内突出而设置的无菌充填包装装置。
此处,上述半身衣由柔软性的材料例如橡胶材料、氯乙烯树脂等形成,与手套箱方式相比操作性大幅提高。然而,在这样的由柔软性的材料形成的作业罩中,例如虽然在使身体向前后/左右倾斜的情况下具有某种程度的自由度,但在使身体旋转的情况的自由度低,从而希望进一步的操作效率的提高。
因此,例如,在下记专利文献2中提出了能够使作业箱内的半身衣整体自由地旋转的作业罩。该作业罩主要在原子能发电站等使用于通过手工作业对被轻度的放射线污染了的废弃物进行分类的作业等。因此,在旋转的半身衣与作业箱的边界安装有密封部件,以保护操作者免受作业箱内的污染物质的影响。
现有技术文献
专利文献
专利文献1:日本特开平11-208623号公报
专利文献2:日本特开2001-074883号公报
发明内容
发明要解决的课题
另一方面,将医药品充填于无菌容器的作业等所采用的作业箱(主要是隔离器)为了严密地维持内部的无菌、无尘环境,需要频繁地进行作业箱内部的杀菌、除菌或除尘等除污作业。然而,在通常的除污作业中,存在无法充分地确保处于半身衣与作业箱的边界的密封部件的抵接部分(旋转的半身衣与作业箱底壁部的抵接部分)的除污的问题。因此,至今在无菌环境的作业箱中未采用旋转的半身衣。
因此,本发明应对于上述的各问题,目的在于提供由于能够在作业箱内自由旋转而作业区域宽并且能够简单地进行处于作业罩与作业箱的边界的密封部分的除污作业。
用于解决课题的技术方案
在解决上述课题时,本发明的发明人锐意研究的结果,在处于半身衣与作业箱的边界的密封部件的外部环境侧(与作业箱内相反的操作者所在的区域)设置小空间,利用该小空间而并用了除污气体向密封部件的吐出/吸引。由此,发现了能够充分地维持密封部件的清洁度,并能够达成本发明的目的,从而完成本发明。
即,根据要求保护的技术方案1的记载,本发明的作业罩(20、120、220、320)具备与在作业箱(12)的一部分形成的开口部(13a)的周围连结并且向该作业箱的内部突出的中空状的半身衣(21、121、221、321),该作业罩的特征在于,
在上述开口部的周围与半身衣的下摆部(21a、121a、221a、321a)的连结部分设置有将该半身衣整体旋转自如地支承的圆环状的旋转支承体(30、130、230、330),
上述旋转支承体具有基座部(31、131、231、331)、旋转部(32、132、232、332)、轴承部(33、133、233、333)、密封部件(34、134、234、334)及连通孔(35、135、235、335),
上述基座部在上述开口部的周围气密且圆环状地设置,
上述旋转部以将上述半身衣的下摆部在整周上气密地固定并且沿上述基座部的周围经由上述轴承部与该基座部相对的方式旋转自如地圆环状地设置,
上述密封部件在上述基座部与上述旋转部形成的圆环状的间隙(38、138、238、338)以将上述作业箱与外部环境分开的方式在上述旋转支承体的整周上圆环状地设置,
上述连通孔在由上述密封部件与上述基座部、上述旋转部及上述轴承部形成的圆环状的小空间(39、139、239、339)以从该小空间侧向外部环境侧开口的方式设置,
在该连通孔的开口部连结有向上述小空间的内部供给清洁空气、除污气体或除污雾的供给装置(41)及/或从上述小空间的内部吸引清洁空气、除污气体或除污雾的吸引装置(42)。
此外,根据要求保护的技术方案2的记载,本发明在要求保护的技术方案1记载的作业罩的特征在于,
上述轴承部具有一个大型轴承,该大型轴承具有与上述开口部的周围对应的外径,
以上述大型轴承的旋转轴与上述开口部的开口面正交的方式在上述基座部的外周固定该轴承的内圈(33a、133a、233a)并且在上述旋转部的内周固定该轴承的外圈(33b、133b、233b),由此上述旋转部相对上述基座部旋转。
此外,根据要求保护的技术方案3的记载,本发明在要求保护的技术方案1记载的作业罩的基础上具有以下特征:
上述轴承部具有多个小型轴承(333a),
上述多个小型轴承圆环状地配置于上述基座部的外周,并且将各自的轴部(333c)朝向圆环中心设置,
上述旋转部的圆环状的周围与各小型轴承的外圈(333b)抵接,由此上述旋转部相对于上述基座部旋转。
此外,根据要求保护的技术方案4的记载,本发明在要求保护的技术方案1~3中的任一项记载的作业罩的基础上具有以下特征:
上述密封部件(434)具备向形成上述圆环状的间隙的上述基座部和上述旋转部的壁面(431c、432c)中的任一方突出设置,并且使该密封部件的突出部分的高度变化的调节机构(434a、434b、434c),
通过上述调节机构的动作,上述密封部件的突出前端部以能够与相对的上述旋转部或上述基座部的壁面抵接的方式移动。
此外,根据要求保护的技术方案5的记载,本发明在要求保护的技术方案1~4中任一项记载的作业罩的基础上具有以下特征:
该作业罩具备用于使固定有上述半身衣的上述旋转部相对于上述基座部旋转的驱动装置(50),
上述驱动装置具有:固定圆盘部(51),具有能够嵌入上述基座部的圆环状的内周面的直径;旋转圆盘部(52),具有能够嵌入上述旋转部的圆环状的内周面的直径;支轴部(53),贯通该固定圆盘部与旋转圆盘部的中心轴;驱动部(54),使上述旋转圆盘部相对于上述固定圆盘部在同心轴上旋转;及用于使上述半身衣膨胀的压缩空气供给部(55),
上述固定圆盘部在其外周面具备圆环状的第一膨胀衬垫(51b),以使得圆盘状的外周面与上述基座部的圆环状的内周面抵接而固定,
上述旋转圆盘部在其外周面具备圆环状的第二膨胀衬垫(52b),以使得圆盘状的外周面与上述旋转部的圆环状的内周面抵接而固定,
上述支轴部由双层管构成,第一管(53a)支承上述固定圆盘部,第二管支承上述旋转圆盘部,并且该第二管(53b)与上述驱动部连动而使上述旋转圆盘部旋转,
上述压缩空气供给部从处于外部环境的压缩空气供给源经由贯通上述支轴部的供给配管(55a)向由上述旋转部与上述旋转圆盘部封闭的上述半身衣的内部供给压缩空气。
发明效果
根据上述结构,在本发明的作业罩中,在在作业箱的一部分形成的开口部的周围与半身衣的下摆部的连结部分设置有圆环状的旋转支承体。该旋转支承体具有基座部、旋转部、轴承部、密封部件及连通孔。基座部气密且圆环状地设置于开口部的周围。另一方面,旋转部沿基座部的周围经由轴承部旋转自如地圆环状地设置。此外,半身衣的下摆部在整周上气密地固定于旋转部。由此,旋转支承体能够将半身衣整体旋转自如地支承,因此穿着有半身衣的操作者的作业区域变宽。
密封部件在基座部与旋转部形成的圆环状的间隙以将作业箱与外部环境分开的方式在旋转支承体的整周上圆环状地设置。连通孔在由密封部件与基座部、旋转部及轴承部形成的圆环状的小空间以从该小空间侧向外部环境侧开口的方式设置。在该连通孔的开口部能够与向小空间的内部供给清洁空气、除污气体或除污雾的供给装置连结。由此,在除污作业中,能够向作业箱内供给除污气体、除污雾,并且能够与之并行地向小空间内也供给除污气体、除污雾,从而能够从作业箱侧与外部环境侧双方对密封部件进行除污。因此,能够简单且完全地进行处于作业罩与作业箱的边界的密封部件的除污作业。
此外,在连通孔的开口部能够与从小空间的内部吸引清洁空气、除污气体或除污雾的吸引装置连结。由此,能够容易地进行除污作业中的除污气体、除污雾的除去、通风。因此,能够简单且完全地进行处于作业罩与作业箱的边界的密封部件的除污作业。进而,由于在无菌状态下运转作业箱时也能够通过吸引装置经由密封部件及小空间始终吸引作业箱内的清洁空气,因此能够良好地维持作业箱的内部的清洁环境。
此外,根据上述结构,旋转支承体的轴承部也可以具有一个大型轴承,该大型轴承具有与上述开口部的周围对应的外径。在该情况下,以轴承的旋转轴与上述开口部的开口面正交的方式在基座部的外周固定该轴承的内圈,并且在旋转部的内周固定该轴承的外圈。由此,旋转部能够相对于基座部旋转。因此,旋转支承体能够将半身衣整体旋转自如地支承,因此穿着有半身衣的操作者的作业区域变宽。
此外,根据上述结构,旋转支承体的轴承部也可以具有多个小型轴承。在该情况下,多个小型轴承圆环状地配置于基座部的外周,并且将各自的轴部朝向圆环中心设置,旋转部的圆环状的周围与各小型轴承的外圈抵接。由此,旋转部能够相对于基座部旋转。因此,旋转支承体能够将半身衣整体旋转自如地支承,因此穿着有半身衣的操作者的作业区域变宽。
此外,根据上述结构,在基座部与旋转部形成的圆环状的间隙设置的密封部件向基座部和旋转部的壁面中的任一方突出设置。该密封部件也可以具备使该密封部件的突出部分的高度变化的调节机构。通过该调节机构动作,密封部件的高度发生变化而突出前端部能够以能够与相对的旋转部或基座部的壁面抵接的方式移动。
在使密封部件的突出前端部抵接于相对的壁面的情况下,能够将基座部与旋转部形成的圆环状的间隙在作业箱侧和外部环境侧气密地隔绝。由此,能够良好地维持作业箱的内部的清洁环境。另一方面,在不使密封部件的突出前端部与相对的壁面抵接而稍微残留有间隙的情况下,旋转部相对于基座部容易旋转,并且能够简单且完全地进行处于作业罩与作业箱的边界的密封部件的除污作业。
此外,根据上述结构,本发明的作业罩也可以具备用于将固定有半身衣的旋转部相对于基座部旋转的驱动装置。该驱动装置具有固定圆盘部、旋转圆盘部、支轴部、驱动部及压缩空气供给部。固定圆盘部具有能够嵌入基座部的圆环状的内周面的直径,在其外周面具备圆环状的第一膨胀衬垫,以圆盘状的外周面与基座部的圆环状的内周面抵接而固定。旋转圆盘部具有能够嵌入旋转部的圆环状的内周面的直径,在其外周面具备圆环状的第二膨胀衬垫,以圆盘状的外周面与旋转部的圆环状的内周面抵接而固定。
支轴部由贯通固定圆盘部与旋转圆盘部的中心轴的双层管构成,第一管支承固定圆盘部,第二管支承旋转圆盘部。此外,第二管与驱动部连动而使旋转圆盘部相对于固定圆盘部在同心轴上旋转。压缩空气供给部从处于外部环境的压缩空气供给源经由贯通支轴部的供给配管向由旋转部与旋转圆盘部密封的半身衣的内部供给压缩空气来使半身衣膨胀。
由此,在除污作业中,能够使清洁空气、除污气体或除污雾遍及至由密封部件与基座部、旋转部及轴承部形成的圆环状的小空间的各个角落。此外,能够一边使处于作业罩与作业箱的边界的密封部件旋转一边进行除污。从而,能够简单且完全地进行密封部件的除污作业。
另外,上述各装置的括弧内的标号表示与在后述的各实施方式记载的具体的装置的对应关系。
附图说明
图1是从正面观察配备有作业罩的隔离器的截面概要图。
图2是从上表面观察图1的隔离器的截面概要图(图1的A-A剖视图)。
图3是表示在第一实施方式中,作业罩具有的旋转支承体的结构的剖视图(观察图1的B部分时的图2的C-C剖视图)。
图4是从正面观察在无菌环境下作业时的作业罩的旋转支承体的截面概要图。
图5是从正面观察除污作业时的作业罩的旋转支承体的截面概要图。
图6是从正面观察与图5不同的除污作业时的作业罩的旋转支承体的截面概要图。
图7是表示在第二实施方式中,作业罩具有的旋转支承体的结构的剖视图(观察图1的B部分时的图2的C-C剖视图)。
图8是在第二实施方式中,从上表面观察小空间与连通孔的关系的截面概要图。
图9是表示在第三实施方式中,作业罩具有的旋转支承体的结构的剖视图(观察图1的B部分时的图2的C-C剖视图)。
图10是表示在第四实施方式中,作业罩具有的旋转支承体的结构的剖视图(观察图1的B部分时的图2的C-C剖视图)。
图11是表示在第五实施方式中,作业罩具有的旋转支承体的结构的剖视图(观察图1的B部分时的图2的C-C剖视图)。
图12是在第六实施方式中,从正面观察安装有驱动装置的作业罩的旋转支承体的截面概要图。
具体实施方式
以下,通过各实施方式对本发明的作业罩进行说明。另外,本发明不仅限定于下记的各实施方式。
<第一实施方式>
基于附图对本发明的作业罩的第一实施方式进行说明。图1是从正面观察配备有作业罩的隔离器装置的截面概要图。图2是从上表面观察图1的隔离器装置的截面概要图(图1的A-A剖视图)。在图1及图2中,隔离器装置10由载置在地面上的腿部11、乘载在该腿部11上的作业箱(腔室)12及具备中空状的半身衣21的作业罩20构成,该中空状的半身衣21与形成于该腔室12的内部的底壁部13的圆形的开口部13a连结并且向腔室12的内部突出。在图2中,作业罩20在水平方向上以任意的角度或360度自由旋转。
接下来,对能够使作业罩20旋转的旋转支承体的结构进行说明。图3是表示作业罩具有的旋转支承体的结构的剖视图(观察图1的B部分时的图2的C-C剖视图)。在图3中,作业罩20通过圆环状的旋转支承体30与形成于腔室12的内部的底壁部13的圆形的开口部13a的周围连结。该旋转支承体30具有基座部31、旋转部32、轴承部33、密封部件34及连通孔35。
基座部31是由圆筒部分31a与从其一端向法线方向外侧伸出的圆环板部分31b构成的具有L字状截面的环状构造物。圆环板部分31b的内周为圆形,以与腔室12的圆形的开口部13a的内周重叠的方式,通过螺栓36a在整周上气密地固定于腔室12的底壁部13。内筒部分31a的内周部形成供操作者伸入上半身的作业罩20的开口部。另一方面,在圆筒部分31a的外周固定有轴承部33的内圈33a。另外,在本第一实施方式中,一个大型滚珠轴承构成轴承部33。
旋转部32是由圆筒部分32a与从其一端向法线方向内侧伸出的圆环板部分32b构成的具有倒L字状截面的环状构造物。圆筒部分32a在基座部31的圆筒部分31a的外侧以呈同心轴的方式配置,在其内周固定有轴承部33的外圈33b。另一方面,圆环板部分32b的内周为圆形,以与基座部31的圆筒部分31a的内周重叠的方式,通过螺栓36b在整周上气密地固定于圆筒部分32a的上表面。此外,在圆筒部分32a与圆环板部分32b构成的旋转部32的外周侧面(旋转部32的外周侧面),通过两个O型环22气密地固定有由柔软性的材料构成的半身衣21(参照图1)的基端部21a。
这样,在本第一实施方式中,旋转支承体30的基座部31与旋转部32经由轴承部33(大型滚珠轴承)固定。由此,旋转支承体30能够相对于固定于腔室12的底壁部13的基座部31使固定有半身衣21的旋转部32从任意的角度自由地旋转至360度。
在此,对于构成轴承部33的大型滚珠轴承可以使用具有气密性的大型滚珠轴承,或者也可以使用不具有气密性的大型滚珠轴承。在使用不具有气密性的大型滚珠轴承的情况下,也可以在基座部31的圆筒部分31a与旋转部32的圆环板部分32b的圆环状的间隙37(参照图3)使用垫圈。需要说明的是,在本第一实施方式中,在轴承部33采用了具有气密性的大型滚珠轴承。
此外在旋转部32的圆筒部分32a的下端面32c与基座部31的圆环板部分31b的上表面31c形成的圆环状的间隙38,密封部件(唇形密封件)34圆环状地突出设置于圆筒部分32a的下端面32c。另外,唇形密封件34由合成橡胶等弹性体形成。虽然该唇形密封件34的前端部也可以与圆环板部分31b的上表面31c略微抵接,但更优选具有微小的间隙。由此,除污气体向唇形密封件34的前端部的供给变得容易,密封部分的除污效果变得更加可靠。
在图3中,唇形密封件34形成由唇形密封件34与基座部31、旋转部32及轴承部33(大型滚珠轴承)围成的圆环状的小空间39。此外,从该小空间39设置有向外部环境开口的连通孔35。该连通孔35也可以相对于小空间39仅设置一处,或者也可以设置在圆环状的多处。此外,形成小空间39的方向只要向外部环境释放即可,可以是垂直方向、水平方向等任意的方向。另外,在本第一实施方式中,在垂直方向上设置有一个连通孔35。该连通孔35经由配管与配置于外部环境的除污气体供给装置、压缩空气供给装置及真空吸引装置等连结(后文叙述)。
在此,对在腔室12的内部的无菌环境下的作业及除污作业进行说明。在本第一实施方式中,在腔室12的内部配备有旋转自如的作业罩20。因此,作业罩20的旋转部分,特别是唇形密封件34及小空间39的部分的构造复杂,要求该部分的清洁化的维持及除污的精度。
首先,对在无菌环境下的作业进行说明。图4是从正面观察在无菌环境下作业时的作业罩的旋转支承体的截面概要图。在图4中,除污后的腔室12的内部与外部环境相比被控制为正压。在图4中,利用(+)的记号表示正压状态。另外,向腔室12的内部的清洁空气的供给装置及正压控制装置未图示。
此外,在连通孔35的外部环境侧的开口部通过配管43连结有除污气体供给装置41与减压吸引装置42。在配管43设置有用于变更除污气体供给装置41与减压吸引装置42的连通的三通阀44。在本第一实施方式中,采用了过氧化氢气体作为除污气体。此外,在配管43的减压吸引装置42与三通阀44之间设置有HEPA过滤器45与过氧化氢分解用的催化剂装置46。
对这样安设管线的连通孔35的作用进行说明。在无菌环境下作业时,切换三通阀44而连通孔35与减压吸引装置42通过配管43连通。通过使减压吸引装置42动作,腔室12的内部的清洁空气通过旋转支承体30的基座部31与旋转部32的间隙并经过唇形密封件34的间隙及小空间39而从配管43被减压吸引装置42吸引(在图中用箭头表示)。在此期间,腔室12的内部的正压状态通过清洁空气的供给装置及正压控制装置(均未图示)来进行控制。由此,操作者(未图示)即使旋转作业罩20来进行作业也能够维持腔室12内部的无菌环境。
接下来,对于除污作业进行说明。图5是从正面观察除污作业时的作业罩的旋转支承体的截面概要图。在图5中,向腔室12的内部供给除污气体(过氧化氢气体)。在图5中,用(H2O2)的记号表示除污气体。另外,向腔室12的内部的除污气体的供给装置及除污气体浓度控制装置未图示。此外,在连通孔35的外部环境侧的开口部连结有上述的除污气体供给装置41、减压吸引装置42、配管43、三通阀44、HEPA过滤器45及催化剂装置46。
对这样安设管线的连通孔35的作用进行说明。在除污作业时,切换三通阀44而连通孔35与除污气体供给装置41通过配管43连通。通过使除污气体供给装置41动作,除污气体(H2O2)从配管43和连通孔35被供给至小空间39和唇形密封件34,并经过唇形密封件34的间隙、通过旋转支承体30的基座部31与旋转部32的间隙而被导入腔室12的内部(在图中用箭头表示)。另外,在本第一实施方式中,将除污气体供给装置41的供给压强控制得比腔室12的内部压强高。
此外,在利用除污气体(H2O2)进行的除污之后的通风时,经过与上述的正压控制的情况相同的路径,通过减压吸引装置42进行腔室12的内部的除污气体(H2O2)的除去及清洁空气的正常化。此时,被吸引的除污气体(H2O2)被配管中的催化剂装置46分解。由此,实现构造复杂的唇形密封件34及小空间39的部分的除污的精度。另外,在通风时,也可以代替通过减压吸引装置42进行腔室12的内部的清洁空气的吸引,而将除污气体供给装置41变更为清洁的压缩空气供给装置(未图示)并利用与除污时相同的路径向腔室12的内部供给清洁空气。
接下来,对与上述的除污作业不同的除污作业进行说明。图6是从正面观察与图5不同的除污作业时的作业罩的旋转支承体的截面概要图。在图6中,向腔室12的内部供给除污气体(过氧化氢气体)。在图6中,用(H2O2)的记号来表示除污气体。另外,向腔室12的内部的除污气体的供给装置及除污气体浓度控制装置未图示。此外,在连通孔35的外部环境侧的开口部连结有上述的除污气体供给装置41、减压吸引装置42、配管43、三通阀44、HEPA过滤器45及催化剂装置46。
对这样安设管线的连通孔35的作用进行说明。在除污作业时,切换三通阀44而连通孔35与减压吸引装置42通过配管43连通。通过使减压吸引装置42动作,腔室12的内部的除污气体(H2O2)通过旋转支承体30的基座部31与旋转部32的间隙,经过唇形密封件34的间隙及小空间39而从配管43被减压吸引装置42吸引(图中用箭头表示)。在此期间,腔室12的内部的除污气体(H2O2)的浓度由除污气体的供给装置及除污气体浓度控制装置(均未图示)进行控制。
此时,被吸引的除污气体(H2O2)被配管中的催化剂装置46分解。此外,在利用除污气体(H2O2)进行的除污之后的通风时,经过与除污的情况相同的路径,通过减压吸引装置42进行腔室12的内部的除污气体(H2O2)的除去及清洁空气的正常化。此时也通过配管中的催化剂装置46完成被吸引的除污气体(H2O2)的分解。由此,实现构造复杂的唇形密封件34及小空间39的部分的除污的精度。
<第二实施方式>
基于附图对本发明的作业罩的第二实施方式进行说明。在本第二实施方式中,从小空间向外部环境开口的连通孔的位置和个数与上述第一实施方式不同。图7是表示在第二实施方式中,作业罩具有的旋转支承体的结构的剖视图(观察图1的B部分时的图2的C-C剖视图)。此外,图8是在第二实施方式中,从上表面观察小空间与连通孔的关系的截面概要图。
在图7中,作业罩120通过圆环状的旋转支承体130与形成于腔室12的内部的底壁部13的圆形的开口部13a的周围连结。该旋转支承体130具有基座部131、旋转部132、轴承部133、唇形密封件134及连通孔135。另外,关于基座部131、旋转部132、轴承部133及唇形密封件134的结构与上述第一实施方式相同。
在图7及图8中,唇形密封件134形成由唇形密封件134与基座部131、旋转部132及轴承部133(大型滚珠轴承)围成的圆环状的小空间139。此外,在该小空间139设置有向外部环境开口的连通孔135。在本第二实施方式中,在圆环状的小空间139沿水平方向设置有以等间隔设置的四个连通孔135。另外,四个连通孔135均从小空间139的圆环中心方向具有规定的角度而设置(参照图8)。此外,四个连通孔135均经由配管与配置于外部环境的除污气体供给装置、压缩空气供给装置及真空吸引装置等连结。另外,在本第二实施方式中,在腔室12的内部的无菌环境下的作业及除污作业的操作与上述第一实施方式相同。
在此,对在水平方向上设置四个连通孔135,并且从小空间139的圆环中心方向具有规定的角度而设置这些连通孔135的理由进行说明。在除污作业中,从四个连通孔135流入小空间139的除污气体(H2O2)在小空间139的内部向固定方向流动(在图8中为顺时针)。这样,流入小空间139的除污气体沿小空间139的各壁面流动并且与之接触,经由唇形密封件134被导入腔室12的内部,由此,更高精度地实现构造复杂的唇形密封件134及小空间139的部分的除污。
另外,也可以在构成小空间139的旋转部132的圆筒部分132a设置多个阻力板(在图8中未图示)。通过使从四个连通孔135沿固定方向流入小空间139的除污气体碰撞于这些阻力板,旋转支承体130的旋转部132会相对于基座部131略微旋转。由此,更高精度地实现构造复杂的唇形密封件134及小空间139的部分的除污。
<第三实施方式>
基于附图对本发明的作业罩的第三实施方式进行说明。在本第三实施方式中,旋转支承体的旋转部的构造与上述第一实施方式不同。图9是表示在第三实施方式中,作业罩具有的旋转支承体的结构的剖视图(观察图1的B部分时的图2的C-C剖视图)。
在图9中,作业罩220通过圆环状的旋转支承体230与形成于腔室12的内部的底壁部13的圆形的开口部13a的周围连结。该旋转支承体230具有基座部231、旋转部232、轴承部233、唇形密封件234及连通孔235。另外,基座部231、轴承部233、唇形密封件234及连通孔235的结构与上述第一实施方式相同。
在图9中,旋转部232是由圆筒部分232a与从其外周端向圆筒轴方向上侧伸出的圆环板部分232b构成的具有L字状剖面的环状构造物。圆筒部分232a在基座部231的圆筒部分231a的外侧以为同心轴的方式配置,在其内周固定有轴承部233的外圈233b。另一方面,圆环板部分232b的外周为圆筒形,通过螺栓236b以与圆筒部分232a的外周重叠的方式在整周上气密地固定于圆筒部分232a的上表面。此外,在圆环板部分232b的外周侧面,在由柔软性的材料构成的半身衣221的基端部221a的内表面和外表面通过两条平带223气密地固定。
这样,在本第三实施方式中,旋转支承体230的基座部231和旋转部232经由轴承部233(大型滚珠轴承)固定。由此,旋转支承体230相对于在腔室12的底壁部13固定的基座部231能够使固定有半身衣221的旋转部232从任意的角度自由地旋转到360度。
另外,连通孔135经由配管与配置于外部环境的除污气体供给装置、压缩空气供给装置及真空吸引装置等连结。另外,在本第三实施方式中,在腔室12的内部的无菌环境下的作业及除污作业的操作与上述第一实施方式相同。由此,高精度地实现构造复杂的唇形密封件234及小空间239的部分的除污。
<第四实施方式>
基于附图对本发明的作业罩的第四实施方式进行说明。在本第四实施方式中,轴承部的构造与上述第三实施方式不同。图10是表示在第四实施方式中,作业罩具有的旋转支承体的结构的剖视图(观察图1的B部分时的图2的C-C剖视图)。
在图10中,作业罩320通过圆环状的旋转支承体330与形成于腔室12的内部的底壁部13的圆形的开口部13a的周围连结。该旋转支承体330具有基座部331、旋转部332、轴承部333、唇形密封334及连通孔335。另外,基座部331、旋转部332、唇形密封334及连通孔335的结构与上述第三实施方式相同。
在图10中,基座部331是由圆筒部分331a与从其一端向法线方向外侧伸出的圆环板部分331b构成的具有L字状剖面的环状构造物。圆环板部分331b的内周为圆形,通过螺栓336a以与腔室12的圆形的开口部13a的内周重叠的方式在整周上气密地固定于腔室12的底壁部13。内筒部分331a的内周部形成供操作者伸入上半身的作业罩20的开口部。
另一方面,在圆筒部分331a的外周固定有轴承部333。另外,在本第四实施方式中,多个小型滚珠轴承333a构成轴承部333。这些小型滚珠轴承333a圆环状地配置于基座部331的圆筒部分331a的外周,并且将各轴部333c朝向圆环中心等间隔地固定。
在图10中,旋转部332是由圆筒部分332a与从其外周端向圆筒轴方向上侧伸出的圆环板部分332b构成的具有L字状剖面的环状构造物。圆筒部分332a在基座部331的圆筒部分331a的外侧以为同心轴的方式配置。此外,在圆筒部分332a的内周上部在整周上形成有檐部分332c。该檐部分332c以与等间隔地固定在基座部331的圆筒部分331a的外周的多个小型滚珠轴承333a的外圈333b的上部抵接的方式配置。
另外,在本第四实施方式中,由于在轴承部333使用多个小型滚珠轴承333a,因此在基座部331的圆筒部分331a的外周与旋转部332的圆筒部分332a的内周上部的檐部分332c的圆环状的间隙337也可以使用垫圈。
另一方面,圆环板部分332b的外周为圆筒形,以与圆筒部分332a的外周重叠的方式通过螺栓336b在整周上气密地固定于圆筒部分332a的上表面。此外,在圆环板部分332b的外周侧面,在由柔软性的材料构成的半身衣321的基端部21a的内表面和外表面通过两条平带323气密地固定。
这样,在本第四实施方式中,旋转支承体330的基座部331与旋转部332经由轴承部333(多个小型滚珠轴承333a)抵接。由此,旋转支承体330相对于在腔室12的底壁部13固定的基座部331能够使固定有半身衣321的旋转部332从任意的角度自由地旋转至360度。
另外,连通孔335经由配管与配置于外部环境的除污气体供给装置、压缩空气供给装置及真空吸引装置等连结。另外,在本第四实施方式中,在腔室12的内部的无菌环境下的作业及除污作业的操作与上述第一实施方式相同。由此,高精度地实现构造复杂的唇形密封件334的抵接部分及小空间339的部分的除污。
<第五实施方式>
基于附图对本发明的作业罩的第五实施方式进行说明。在本第五实施方式中,密封部件(唇形密封件)的突出设置位置及功能与上述第一实施方式不同。图11是表示在第五实施方式中,作业罩具有的旋转支承体的结构的剖视图(观察图1的B部分时的图2的C-C剖视图)。
在图11中,在旋转支承体430的旋转部432的圆筒部分432a的下端面432c与基座部431的圆环板部分31b的上表面31c形成的圆环状的间隙438,密封部件(唇形密封件)434圆环状地突出设置于圆环板部分431b的上表面431c。唇形密封件434由合成橡胶等弹性体形成。另外,基座部431、旋转部432、轴承部433及连通孔435的结构与上述第一实施方式相同。
如上所述,本第五实施方式的唇形密封件434的功能与上述第一实施方式不同。本第五实施方式的唇形密封件434的功能是使从圆环板部分31b的上表面31c突出的唇形密封件434的突出部分的高度变化。因此,唇形密封件434以能够从圆环板部分31b在上下方向上滑动的方式埋设并且具备对突出部分的高度进行控制的调节机构434a、434b、434c。
调节机构具有被唇形密封件434的基端部(埋没于圆环板部分31b的内部的部分)密封的空气室434a。该空气室434a经由配管434b、与处于外部环境的泵434c连通。在使泵434c动作并向空气室434a供给空气的情况下,空气室434a膨胀而将唇形密封件434从圆环板部分31b的上表面31c向上方推起。另一方面,在切换泵434c并使之动作,对空气室434a的空气进行排气的情况下,空气室434a收缩而将唇形密封件434从圆环板部分31b的上表面31c向下方推下。
由此,能够配合于在腔室12的内部的无菌环境下的作业或除污作业的各操作而对唇形密封件434的突出部分的高度进行调节。具体而言,能够对唇形密封件434的突出前端部与与之相对的壁面(旋转部432的圆筒部分432a的下端面432c)之间的距离进行控制,或使突出前端部与壁面抵接。
例如,在腔室12的内部的无菌环境下的作业时,通过在唇形密封件434的突出前端部与壁面之间开放微小的间隙,或使其略微抵接,无菌状态的维持和作业罩的旋转变得容易。另一方面,在除污作业中除污气体的供给、通风时,在唇形密封件434的突出前端部与壁面之间开放间隙从而除污气体、通风的清洁空气变得容易通过,密封部分的除污效果变得更加可靠。
另外,在本第五实施方式中,唇形密封件434的突出设置位置为基座部431的圆环板部分31b的上表面31c,但不限于此,也可以与上述第一实施方式相同地,突出设置于旋转部432的圆筒部分432a的下端面432c。此外,在本第五实施方式中,通过调节机构434a、434b、434c的作用来使唇形密封件434上下移动,但不限于此,也可以使用利用空气压强等的膨胀衬垫等作为密封部件,并通过调节膨胀衬垫内的空气压强来对膨胀衬垫与相对的壁面之间的距离进行调节。
<第六实施方式>
基于附图对本发明的作业罩的第六实施方式进行说明。在本第六实施方式中安装有在腔室12的内部的除污作业中使半身衣自动地旋转的驱动装置。另外,驱动装置以外的部分的结构与上述第一实施方式相同。图12是从正面观察在第六实施方式中,安装有驱动装置的作业罩的旋转支承体的截面概要图。
在图12中,驱动装置50与在形成于腔室12的内部的底壁部13的圆形的开口部13a设置的旋转支承体30的内周部抵接而固定。该驱动装置50具有固定圆盘部51、旋转圆盘部52、支轴部53、驱动电动机54及压缩空气供给装置55。
固定圆盘部51具备圆盘51a,该圆盘51a具有能够嵌入旋转支承体30的基座部31的圆环状的内周面的直径,并且在其外周面具备圆环状的膨胀衬垫51b。在图12中,膨胀衬垫51b膨胀并与基座部31的圆环状的内周面抵接而气密地固定。此外,旋转圆盘部52具备圆盘52a,该圆盘52a具有能够嵌入旋转支承体30的旋转部32的圆环状的内周面的直径;并且在其外周面具备圆环状的膨胀衬垫52b。在图12中,膨胀衬垫52b膨胀并与旋转部32的圆环状的内周面抵接而气密地固定。
支轴部53由双层管53a、53b构成,贯通固定圆盘部51和旋转圆盘部52的中心轴,并且外部管53a支承固定圆盘部51,内部管53b支承旋转圆盘部52。此外,内部管53b与设置于固定圆盘部51的下表面的驱动电动机54连动而使旋转圆盘部52相对于固定圆盘部51旋转。此外,压缩空气供给装置55经由处于外部环境且贯通支轴部53的内部的供给配管55a向固定于旋转圆盘部52的半身衣21的内部供给压缩空气而使该半身衣21膨胀。
这样,在本第六实施方式中,在旋转支承体30的内周固定有驱动装置50。由此,固定于旋转支承体30的旋转部32的半身衣21能够在膨胀的状态下通过驱动电动机54的驱动而相对于在腔室12的底壁部13固定的基座部31旋转。
另外,连通孔35经由配管与配置于外部环境的除污气体供给装置、压缩空气供给装置及真空吸引装置等连结。另外,在本第六实施方式中,腔室12的内部的除污作业的操作与上述第一实施方式相同。由此,更高精度地实现了构造复杂的唇形密封件34及小空间39的部分的除污。
因此,在上述各实施方式中提供了作业罩,该作业罩由于能够在作业箱内自由旋转,因此作业区域宽,并且能够简单地进行处于作业罩与作业箱的边界的密封部分的除污作业。
标号的说明
10…隔离器装置,11…腿部,12…作业箱(腔室),13…底壁部,13a…开口部,20、120、220、320、420…作业罩,21、121、221、321、421…半身衣,22、122、422…O型环,223、323…平带,30、130、230、330、430…旋转支承体,31、131、231、331、431…基座部,31a、131a、231a、331a、431a…圆筒部分,31b、131b、231b、331b、431b…圆环板部分,32、132、232、332、432…旋转部,32a、132a、232a、332a、432a…圆筒部分,32b、132b、232b、332b、432b…圆环板部分,33、133、233、333、433…轴承部,333a…小型轴承,33a、133a、233a、433a…内圈,33b、133b、233b、333b、433b…外圈,333c…轴部,34、134、234、334、434…密封部件(唇形密封件),434a…空气室,434b…配管,434c…泵,35、135、235、335、435…连通孔,36、136、236、336、436…螺栓,37、38、137、138、237、238、337、338、437、438…间隙,39、139、239、339、439…小空间,41…除污气体供给装置,42…减压吸引装置,43…配管,44…三通阀,45…HEPA过滤器,46…催化剂装置,50…驱动装置,51…固定圆盘部,52…旋转圆盘部,51a、52a…圆盘,51b、52b…膨胀衬垫,53…支轴部,53a…外部管,53b…内部管,54…驱动电动机,55…压缩空气供给装置,55a…供给配管。
Claims (6)
1.一种作业罩,具备与在作业箱的一部分形成的开口部的周围连结并且向该作业箱的内部突出的中空状的半身衣,其特征在于,
在所述开口部的周围与半身衣的下摆部的连结部分设置有将该半身衣整体旋转自如地支承的圆环状的旋转支承体,
所述旋转支承体具有基座部、旋转部、轴承部、密封部件及连通孔,
所述基座部在所述开口部的周围气密且圆环状地设置,
所述旋转部以将所述半身衣的下摆部在整周上气密地固定并且沿所述基座部的周围经由所述轴承部与该基座部相对的方式旋转自如地圆环状地设置,
所述密封部件在所述基座部与所述旋转部形成的圆环状的间隙以将所述作业箱与外部环境分开的方式在所述旋转支承体的整周上圆环状地设置,
所述连通孔在由所述密封部件与所述基座部、所述旋转部及所述轴承部形成的圆环状的小空间以从该小空间侧向外部环境侧开口的方式设置,
在该连通孔的开口部连结有向所述小空间的内部供给清洁空气、除污气体或除污雾的供给装置及/或从所述小空间的内部吸引清洁空气、除污气体或除污雾的吸引装置。
2.根据权利要求1所述的作业罩,其特征在于,
所述轴承部具有一个大型轴承,该大型轴承具有与所述开口部的周围对应的外径,
以所述大型轴承的旋转轴与所述开口部的开口面正交的方式在所述基座部的外周固定该轴承的内圈并且在所述旋转部的内周固定该轴承的外圈,由此所述旋转部相对于所述基座部旋转。
3.根据权利要求1所述的作业罩,其特征在于,
所述轴承部具有多个小型轴承,
所述多个小型轴承圆环状地配置于所述基座部的外周,并且各自的轴部朝向圆环中心设置,
所述旋转部的圆环状的周围与各小型轴承的外圈抵接,由此所述旋转部相对于所述基座部旋转。
4.根据权利要求1~3中任一项所述的作业罩,其特征在于,
所述密封部件具备向形成所述圆环状的间隙的所述基座部和所述旋转部的壁面中的任一方突出设置并且使该密封部件的突出部分的高度变化的调节机构,
通过所述调节机构的动作,所述密封部件的突出前端部以能够与相对的所述旋转部或所述基座部的壁面抵接的方式移动。
5.根据权利要求1~3中任一项所述的作业罩,其特征在于,
该作业罩具备用于使固定有所述半身衣的所述旋转部相对于所述基座部旋转的驱动装置,
所述驱动装置具有:固定圆盘部,具有能够嵌入所述基座部的圆环状的内周面的直径;旋转圆盘部,具有能够嵌入所述旋转部的圆环状的内周面的直径;支轴部,贯通该固定圆盘部与旋转圆盘部的中心轴;驱动部,使所述旋转圆盘部相对于所述固定圆盘部在同心轴上旋转;及用于使所述半身衣膨胀的压缩空气供给部,
所述固定圆盘部在其外周面具备圆环状的第一膨胀衬垫,以使得圆盘状的外周面与所述基座部的圆环状的内周面抵接而固定,
所述旋转圆盘部在其外周面具备圆环状的第二膨胀衬垫,以使得圆盘状的外周面与所述旋转部的圆环状的内周面抵接而固定,
所述支轴部由双层管构成,第一管支承所述固定圆盘部,第二管支承所述旋转圆盘部并且该第二管与所述驱动部连动而使所述旋转圆盘部旋转,
所述压缩空气供给部从处于外部环境的压缩空气供给源经由贯通所述支轴部的供给配管向由所述旋转部与所述旋转圆盘部密闭的所述半身衣的内部供给压缩空气。
6.根据权利要求4所述的作业罩,其特征在于,
该作业罩具备用于使固定有所述半身衣的所述旋转部相对于所述基座部旋转的驱动装置,
所述驱动装置具有:固定圆盘部,具有能够嵌入所述基座部的圆环状的内周面的直径;旋转圆盘部,具有能够嵌入所述旋转部的圆环状的内周面的直径;支轴部,贯通该固定圆盘部与旋转圆盘部的中心轴;驱动部,使所述旋转圆盘部相对于所述固定圆盘部在同心轴上旋转;及用于使所述半身衣膨胀的压缩空气供给部,
所述固定圆盘部在其外周面具备圆环状的第一膨胀衬垫,以使得圆盘状的外周面与所述基座部的圆环状的内周面抵接而固定,
所述旋转圆盘部在其外周面具备圆环状的第二膨胀衬垫,以使得圆盘状的外周面与所述旋转部的圆环状的内周面抵接而固定,
所述支轴部由双层管构成,第一管支承所述固定圆盘部,第二管支承所述旋转圆盘部并且该第二管与所述驱动部连动而使所述旋转圆盘部旋转,
所述压缩空气供给部从处于外部环境的压缩空气供给源经由贯通所述支轴部的供给配管向由所述旋转部与所述旋转圆盘部密闭的所述半身衣的内部供给压缩空气。
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