JP5690312B2 - 局所精密空調装置 - Google Patents

Description

本発明は局所精密空調装置に関し、詳細には、内部の作業雰囲気を外部雰囲気から隔離した封じ込めを行う装置に関する。

医薬品、電子材料、半導体などの製造プロセスでは、特殊な環境条件が必要であり、しかも、危険物を取り扱うプロセスもある。

このようなプロセスでは、環境の維持および危険物の漏洩の防止のために封じ込めを行う必要があり、アイソレータやグローブボックスなどの、筐体の内外間で気密性の高い高気密装置を用いていた（特許文献１）。

特開２００４−３２１１１１号公報

しかし、従来の高気密装置の筐体は、その高気密性を確保するために全溶接で形成され、窓等のガラス部には、漏洩防止用の特殊な配慮が必要であるため、製造コストが高い。

しかも、重量も重く、メンテナンス性や作業性が悪いという問題もある。

本発明は上記事情に鑑みなされたものであって、製造コストが安価で、しかも重量が軽く、メンテナンス性や作業性に優れた局所精密空調装置を提供することを目的とする。

本発明に係る局所精密空調装置は、筐体と樹脂製シートとの２重構造で作業空間を外部空間から仕切り、この２重構造の仕切りによって作業空間と外部空間との間に形成された中間部分の雰囲気圧力を、作業空間の雰囲気圧力や外部空間の雰囲気圧力よりも低く調整することで、作業空間の内部の気体等を中間部分に流れ込ませたとしても、外部空間にまでは漏らさないようにしたものであり、これにより筐体を簡易な構造として、製造コストを安価で、しかも重量が軽く、メンテナンス性や作業性に優れたものとしたものである。

すなわち、本発明に係る局所精密空調装置は、枠状の骨格部材と樹脂製の板状部材とによって形成された、外部空間と閉じられた内部空間とを仕切る筐体と、前記内部空間に、前記内部空間よりも狭い作業空間を仕切る樹脂製シートと、外面が前記作業空間に露出し内面が前記外部空間に露出して前記作業空間と前記外部空間とを隔てるように、前記外部空間と前記作業空間との間を貫通して開口した作業孔に取り付けられた、前記内面の側から作業者が着用するハーフスーツと、前記作業孔と前記ハーフスーツとの間に、前記作業孔および前記ハーフスーツの全周に亘って密着して配置された中空環状の仕切り部材と、
前記仕切り部材の中空部分の雰囲気圧力をＰ５、前記外部空間における雰囲気圧力をＰ４、前記ハーフスーツの内面の側の雰囲気圧力をＰ１、前記作業空間の内部の雰囲気圧力をＰ２、前記外部空間と前記作業空間との間に形成された中間部分の雰囲気圧力をＰ３としたとき、これら各雰囲気圧力Ｐ１，Ｐ２，Ｐ３，Ｐ４，Ｐ５が下記式（１），（２），（３）を満たす大小関係となるように、雰囲気圧力Ｐ１，Ｐ２，Ｐ３，Ｐ５を調整する圧力調整装置と、を備えたことを特徴とする。
Ｐ１≧Ｐ４＞Ｐ３ （１）
Ｐ１＞Ｐ２＞Ｐ３ （２）
Ｐ５＞Ｐ１ （３）

本発明に係る局所精密空調装置によれば、低コストで、重量が軽く、良好なメンテナンス性や作業性を実現することができる。

本発明の一実施形態である局所精密空調装置示す模式図である。 仕切り部材と突起とをＯリングで締め付けて、ハーフスーツを作業孔に取り付けた状態を示す要部断面図である。 ２重構造のハーフスーツの例を示す要部断面図である。 仕切り部材を備えない構成でハーフスーツを作業孔に取り付けた状態を示す要部断面図であり、（ａ）は図１相当の１重構造のハーフスーツの場合、（ｂ）は図３相当の２重構造のハーフスーツの場合、をそれぞれ示す。 ハーフスーツを作業孔に固定する他の構成の例を示す要部断面図であり、（ａ）は作業孔に突起が取り付けられているものの例、（ｂ）は作業孔に突起が取り付けられていないものの例、をそれぞれ示す。

以下、本発明に係る局所精密空調装置の具体的な実施形態について図面を参照して詳細に説明する。

本発明の一実施形態に係る局所精密空調装置１００は、図１に示すように、枠状の骨格部材１１と透明な板状部材１２とによって形成された、外部空間Ｒ４と閉じられた内部空間Ｒｉｎ（後述する中間部分Ｒ３および作業空間Ｒ２）とを仕切る筐体１０と、内部空間Ｒｉｎに、内部空間Ｒｉｎよりも狭い作業空間Ｒ２を簡易に仕切る樹脂製シート２０と、外面３１が作業空間Ｒ２に露出し内面３２が外部空間Ｒ４に露出して作業空間Ｒ２と外部空間Ｒ４とを隔てるように、外部空間Ｒ４と作業空間Ｒ２との間を貫通して開口した作業孔１８に取り付けられた、内面３２の側から作業者が着用するハーフスーツ３０と、作業孔１８とハーフスーツ３０との間に、作業孔１８およびハーフスーツ３０の下端縁３３の全周に亘って密着して配置された略中空環状の仕切り部材４０と、仕切り部材４０の中空部分Ｒ５の雰囲気圧力をＰ５、外部空間Ｒ４における雰囲気圧力をＰ４、ハーフスーツ３０の内面３２の側の空間Ｒ１の雰囲気圧力をＰ１、作業空間Ｒ２の内部の雰囲気圧力をＰ２、外部空間Ｒ４と作業空間Ｒ２との間に形成された中間部分Ｒ３の雰囲気圧力をＰ３としたとき、これら各雰囲気圧力Ｐ１，Ｐ２，Ｐ３，Ｐ４，Ｐ５が下記式（１），（２），（３）を満たす大小関係となるように、雰囲気圧力Ｐ１，Ｐ２，Ｐ３，Ｐ５を調整する圧力調整装置５０と、を備えている。
Ｐ１≧Ｐ４＞Ｐ３ （１）
Ｐ１＞Ｐ２＞Ｐ３ （２）
Ｐ５＞Ｐ１ （３）

ここで、骨格部材１１は、外周輪郭の、主に辺に相当する部分に配置される骨組みとなる金属製の構造部材であり、それぞれは例えば断面の輪郭がＬ型形状や中空または中実の矩形形状の細長い部材であり、全体として枠（フレーム）状に形成されている。

この骨格部材１１が枠状に形成されている状態では、個々の細長い部材同士が、比較的簡易な溶接やろう付けやボルトおよびナット等で接合されることにより組み立てられている。

なお、骨格部材１１は、主に金属製であるが、例えば、アルミ合金などの軽量な素材で形成されている。

一方、板状部材１２は、骨格部材１１で縁取られた中空部分を塞ぐように形成された、例えばアクリル樹脂、塩化ビニル樹脂、ポリカーボネート樹脂等の樹脂製の透明な板状体である。

そして、骨格部材１１と板状部材１２とは、接着剤などの接着部材やボルトおよびナット、ビス等の締結部材によって接合されている。

これら骨格部材１１と板状部材１２とが接合されて、図示の上側部分においては、直方体箱状の筐体１０を構成している。

筐体１０によって仕切られた内部空間Ｒｉｎには作業台１５が配置されている。

また、板状部材１２の一部には、外部空間Ｒ４の側に開放可能の開閉扉１７が設けられていて、この開閉扉１７を開けた状態で、板状部材１２に形成された開口１６を介して、外部空間Ｒ４と内部空間Ｒｉｎとが連通し、一方、開閉扉１７を閉じた状態で、開口１６が開閉扉１７によって塞がれて、内部空間Ｒｉｎは外部空間Ｒ４から隔離される。

なお、開閉扉１７は筐体１０の本体から着脱可能に形成されていてもよい。

内部空間Ｒｉｎに設置された樹脂製シート２０は、例えば、塩化ビニル、フッ素樹脂（ポリテトラフルオロエチレン）などによって、例えば直方体状の空間（作業空間Ｒ２）を仕切るように形成されていて、筐体１０によって吊されるように支持されていてもよいし、筐体１０の骨格部材１１と同様の部材を作業台１５上に設定して、その部材によって支持されたものであってもよい。

樹脂製シート２０の下端部２１は、作業台１５上に被さるような長さに形成されていて、これにより、作業台１５と樹脂製シート２０により仕切って囲まれた作業空間Ｒ２が形成されている。

なお、樹脂製シート２０の下端部２１の浮き上がりを防止するために、その下端部２１にはおもり２９（ウェート）が載せられていて、これにより、下端部２１が作業台１５上に押し付けられて、下端部２１の浮き上がりが阻止されている。

樹脂製シート２０の、筐体１０に形成された開口１６に対向する部分にも開口２２が形成されていて、この開口２２の周囲の樹脂製シート２０の部分には磁石２３が取り付けられている。

また、この開口２２を作業空間Ｒ２の側から塞ぐ、周縁部に磁石２３が取り付けられた扉２４が備えられていて、この扉２４の磁石２３を開口２２の周囲に設置された磁石２３に、互いの磁力で付着させることで、開口２２を扉２４で塞ぐことができ、扉２４で開口２２を塞いだ状態で、作業空間Ｒ２は中間部分Ｒ３から隔離される。

一方、扉２４の磁石２３を開口２２の周囲に設置された磁石２３から、作業空間Ｒ２の側に引き剥がした状態で、開口２２を介して、作業空間Ｒ２と中間部分Ｒ３とが連通する。

筐体１０は、その作業台１５も含めて、外部空間Ｒ４と作業空間Ｒ２とを通じさせる作業孔１８が開口していて、この作業孔１８には、作業孔１８に内接して、作業空間Ｒ２と外部空間Ｒ４とにそれぞれ突出する円筒状の突起１９（以下、円筒状突起１９という。）が取り付けられている。

なお、円筒状突起１９と作業台１５および筐体１０との間は高い気密性を有するように、溶接やシール材等によって接合されている。

仕切り部材４０は、円筒状突起１９のうち作業空間Ｒ２に突出した上側部分と、外部空間Ｒ４に突出した下側部分とにそれぞれ密着して、円筒状突起１９の全周に亘って形成されており、円筒状突起１９と仕切り部材４０とによって、内部に環状の中空の空間Ｒ５（以下、中空部分Ｒ５という）が形成されている。

ここで、ハーフスーツ３０の下端縁３３の全周が、この仕切り部材４０に溶着されることで、ハーフスーツ３０と仕切り部材４０とは一体化されている。

したがって、本実施形態においては、ハーフスーツ３０は作業孔１８に直接取り付けられているのではなく、仕切り部材４０を介して、間接的に作業孔１８に取り付けられていることになるが、仕切り部材４０を備えない実施形態として、後述する図４（ａ），（ｂ）に示すものを適用することもできる。

そして、ハーフスーツ３０の下端縁３３の全周が、この仕切り部材４０に溶着していることで、作業孔１８とハーフスーツ３０との間に仕切り部材４０が介在している状態となっており、ハーフスーツ３０の外面３１の側（作業空間Ｒ２）と内面３２の側（外部空間Ｒ４）とが作業孔１８を介して通じることはない。

なお、本実施形態の局所精密空調装置１００には、図２に示すように、自然長が円筒状突起１９の外周長よりも短く形成された環状の弾性部材であるＯリング４５（締付部材）が備えられていて、このＯリング４５が仕切り部材４０の外側から装着されることで、伸ばされたＯリング４５が自然長に戻るときの弾性力により、Ｏリング４５が仕切り部材４０を締め付け、仕切り部材４０は円筒状突起１９の外周面に押圧されて円筒状突起１９の外周面に密着されている。

仕切り部材４０と円筒状突起１９の下側部分との間も同様に、Ｏリング４５により仕切り部材４０は円筒状突起１９の外周面に密着されている。

これにより、中空部分Ｒ５も外部空間Ｒ４や作業空間Ｒ２とは隔てられた状態となる。

また、作業孔１８にハーフスーツ３０を取り付ける構成としては、上述したＯリング４５によって外側から締め付けるものに限定されるものではなく、後述する図５に示すように、作業孔１８にハーフスーツ３０を通して、ハーフスーツ３０の内面３２の側の空間Ｒ１から外側に向かって拡がる荷重を発生させる拡径部材４６を、作業孔１８通過したハーフスーツ３０の部分の内側に配置することで、ハーフスーツ３０を作業孔１８に押し付けて、ハーフスーツ３０を作業孔１８に直接取り付けるようにすることもできる。

この場合、図５（ａ）のように円筒状突起１９を備えていた構成の方が、拡径部材４６を配置する位置の自由度が高いため好ましいが、図５（ｂ）のように円筒状突起１９を備えていない構成を適用することもできる。

また、仕切り部材４０の内周面には、ハーフスーツ３０を内面３２の側から着用した作業者の胴体に、全周に亘って密着するため、ハーフスーツ３０の内面３２の側の空間Ｒ１は、その仕切り部材４０と作業者とが密着した部分より上方の範囲で閉じられた空間となり、この空間（以下、この空間を、ハーフスーツ３０の内面３２の側の空間Ｒ１とする。）も、中空部分Ｒ５から隔てられた状態となる。

なお、円筒状突起１９の外周面には、全周に亘る溝１９ａを形成するのが好ましく、この溝１９ａを形成したものでは、Ｏリング４５を、この溝１９ａの位置に対応して配置することで、Ｏリング４５およびＯリング４５が接する仕切り部材４０の部分が溝１９ａに嵌ってＯリング４５がその配置状態で安定し、Ｏリング４５が図示の鉛直方向に容易に位置ずれするのを防止することができる。

圧力調整装置５０は、作業空間Ｒ２での作業に適した気体Ｇを供給する送風機５１（給気装置）と、送風機５１で供給された気体Ｇの流量を開度で調整して作業空間Ｒ２に供給する流量調整弁５４と、気体Ｇの流量を開度で調整して仕切り部材４０の中空部分Ｒ５に供給する流量調整弁５５と、中間部分Ｒ３から気体Ｇを排出する排気ファン５２（排気装置）と、中間部分Ｒ３から排気ファン５２で排出する気体Ｇの流量を開度で調整する流量調整弁５６と、ハーフスーツ３０の内面３２の側の空間Ｒ１に新鮮な空気Ａを供給する送風機５３（給気装置）と、送風機５３で供給された空気Ａの流量を開度で調整してハーフスーツ３０の内面３２の側の空間Ｒ１に供給する流量調整弁５７と、外部空間Ｒ４の雰囲気圧力Ｐ４と中間部分Ｒ３の雰囲気圧力Ｐ３との圧力差ΔＰ１（＝Ｐ４−Ｐ３）を計測する差圧計５８と、中間部分Ｒ３の雰囲気圧力Ｐ３と作業空間Ｒ２の雰囲気圧力Ｐ２との圧力差ΔＰ２（＝Ｐ２−Ｐ３）を計測する差圧計５９とを備えている。

なお、圧力調整装置５０は、式（１），（２），（３）にしたがった、各流量調整弁５４，５５，５６，５７の開度による流量の調整によって、各空間Ｒ１，Ｒ２，Ｒ３，Ｒ５の雰囲気圧力Ｐ１，Ｐ２，Ｐ３，Ｐ５を調整している。

圧力調整装置５０による各空間Ｒ１，Ｒ２，Ｒ３，Ｒ５の雰囲気圧力Ｐ１，Ｐ２，Ｐ３，Ｐ５の調整に際して、特に空間Ｒ２，Ｒ３の雰囲気圧力Ｐ２，Ｐ３の調整は、差圧計５８，５９によってそれぞれ検出された圧力差ΔＰ１，ΔＰ２に基づいて、式（１），（２）を満たすように行われている。

以上のように構成された実施形態の局所精密空調装置１００によれば、外部空間Ｒ４と作業空間Ｒ２とは、筐体１０および樹脂製シート２０による２重構造で隔離されており、圧力調整装置５０による式（２）の条件により、作業空間Ｒ２の雰囲気圧力Ｐ２は、その２重構造のうちの中間部分Ｒ３の雰囲気圧力Ｐ３よりも高く調整されているため、作業空間Ｒ２の気体Ｇ等は、作業空間Ｒ２を仕切る樹脂製シート２０の下端部２１と作業台１５との間のわずかな隙間などから中間部分Ｒ３に流れ込むことはあっても、圧力調整装置５０による式（１）の条件により、中間部分Ｒ３の雰囲気圧力Ｐ３よりも高い雰囲気圧力Ｐ４の外部空間Ｒ４に漏れることはない。

したがって、筐体１０自体の気密性を、従来のように高度なものとする必要がない。

これにより、高度な気密性を確保するために筐体１０を全溶接で形成したり、開口１６と開閉扉１７との間や、骨格部材１１と板状部材１２との間などを、気体Ｇの漏洩防止用に特別な配慮を行う必要がなく、簡易なもので形成することができる。

よって、筐体１０の製造コストを安価なものとすることができるとともに、重量も軽くして、メンテナンス性や作業性にすぐれたものとすることができる。

なお、圧力調整装置５０による式（１）の条件により、２重構造のうちの中間部分Ｒ３の雰囲気圧力Ｐ３は、外部空間Ｒ４の雰囲気圧力Ｐ４よりも低いため、外部空間Ｒ４の空気等が、仮に簡易な構造の筐体１０の隙間等から中間部分Ｒ３に流れ込んだとしても、圧力調整装置５０による式（２）の条件により、中間部分Ｒ３の雰囲気圧力Ｐ３よりも高い雰囲気圧力Ｐ２の作業空間Ｒ２に、その外部空間Ｒ４から侵入した空気等が侵入するのを防止することができ、作業空間Ｒ２の環境を適切に維持することができる。

また、作業空間Ｒ２の気体Ｇ等が中間部分Ｒ３に流れ込むことは予め想定されていて、中間部分Ｒ３への流入があっても問題はないため、作業空間Ｒ２を仕切る樹脂製シート２０も、中間部分Ｒ３との間を高気密性を以て仕切るものである必要はなく、比較的簡易に仕切るものであれば足りる。

なお、骨格部材としてアルミニウム合金等を用いたものは、従来用いられていたＳＵＳ等の全溶接の筐体に比べて、素材でのコストも安価であり、素材での重量も軽量であり、好ましい。

したがって、２重構造の内側の仕切りに関しても、安価な樹脂製シート２０で簡易に仕切るものであればよいため、この観点においても、製造コストの低減や重量の軽量化を図ることができる。

ただし、本実施形態の局所精密空調装置１００にあっては、樹脂製シート２０の下端部２１が作業台１５から離れないように、この下端部２１の浮き上がりを阻止するおもり２９が巻き込まれて作業台１５上に固定されているため、作業空間Ｒ２の気体Ｇ等が中間部分Ｒ３に無制限に流れ込むのを防止している。

さらに、圧力調整装置５０による式（２）の条件を満たすような圧力の調整により、作業空間Ｒ２に露出した外面３１を有するハーフスーツ３０の内面３２の側の雰囲気圧力Ｐ１は、作業空間Ｒ２の雰囲気圧力Ｐ２よりも高く調整されているため、仮にハーフスーツ３０の一部に破れなど不測の事態が生じたとしても、作業空間Ｒ２の内部の気体Ｇ等がハーフスーツ３０の内面３２の側に流れ込むことはなく、したがって、ハーフスーツ３０を内面３２の側から着用する作業者に、作業空間Ｒ２の気体Ｇ等が接触するのを防止することができる。

また、ハーフスーツ３０の下端縁３３と作業空間Ｒ２に形成された作業孔１８（円筒状突起１９）との間に、全周に亘って密着して設けられた中空環状の仕切り部材４０の内部の雰囲気圧力Ｐ５は、圧力調整装置５０による式（３）の条件により、ハーフスーツ３０の内面３２の側の雰囲気圧力Ｐ１および作業空間Ｒ２の雰囲気圧力Ｐ２よりもそれぞれ高く調整されているため、作業空間Ｒ２の気体Ｇ等がハーフスーツ３０の下端縁３３と作業孔１８（円筒状突起１９）との間からハーフスーツ３０の内面３２の側の空間Ｒ１および外部空間Ｒ４に漏れることがない。

しかも、本実施形態の局所精密空調装置１００は、円筒状突起１９と仕切り部材４０との間に、全周に亘ってＯリング４５が設けられているため、円筒状突起１９と仕切り部材４０との間がＯリング４５で密着し、両者間の気密性を一層高めることができる。

なお、本実施形態の局所精密空調装置１００は、仕切り部材４０を円筒状突起１９の外周面に密着させるように仕切り部材４０の外周面の側から締め付ける締付部材として、環状の弾性部材であるＯリング４５を適用したものであるが、締付部材としては、上述したＯリング４５に限定されるものではなく、金属製や樹脂製のホースバンド（ネジで周長を短くして締め付けるタイプのものや弾性力で周長を短くして締め付けるワンタッチ式のものなど）等を適用することもできる。

本実施形態の局所精密空調装置１００は、ハーフスーツ３０の内面３２の側の空間Ｒ１の雰囲気圧力Ｐ１を、圧力調整装置５０による式（１），（２）の条件を満たす動作により、外部空間Ｒ４の雰囲気圧力Ｐ４よりも高く調整しているため、ハーフスーツ３０の内面３２の側の空間Ｒ１に外部空間Ｒ４の空気が侵入して内部で停滞することがなく、したがって、ハーフスーツ３０の内面３２の側の空間Ｒ１で必要とされる新鮮な空気Ａ等を十分に供給し続けることができる。

また、本実施形態の局所精密空調装置１００は、圧力調整装置５０が、流量調整弁５４，５５，５６，５７の開度による流量の調整のみで、各空間Ｒ１，Ｒ２，Ｒ３，Ｒ５の雰囲気圧力Ｐ１，Ｐ２，Ｐ３，Ｐ５を調整するものであったが、本発明に係る局所精密空調装置はこの形態に限定されるものではなく、送風機５１，５３および排気ファン５２の動作量を調整して雰囲気圧力Ｐ１，Ｐ２，Ｐ３，Ｐ５を調整するものであってもよいし、送風機５１，５３および排気ファン５２の動作量の調整に加えて、各流量調整弁５４，５５，５６，５７の開度の調整を総合的に制御することで、雰囲気圧力Ｐ１，Ｐ２，Ｐ３，Ｐ５を調整するものであってもよい。

なお、上述した送風機５１，５３および排気ファン５２の動作量の調整や、各流量調整弁５４，５５，５６，５７の開度の調整は、圧力調整装置５０の構成部品として独立した、図示を略した制御装置による制御で行われるものであってもよい。

さらに、本実施形態の局所精密空調装置１００は、樹脂製シート２０の一部に開口２２が形成され、この開口２２を塞ぐ扉２４が、樹脂製シート２０に対して、磁石２３により着脱自在に設けられていて、この開口２２に対向する筐体１０の部分にも開口１６が形成され、この開口１６は開閉扉１７によって開閉されるため、外部空間Ｒ４から作業空間Ｒ２に、または作業空間Ｒ２から外部空間Ｒ４に、機器等を移動させるに際して、両扉１７，２４を交互に開閉することで、作業空間Ｒ２と外部空間Ｒ４とが連通するのを防止することができる。

すなわち、外部空間Ｒ４から作業空間Ｒ２に機器等を搬入するに際しては、外部空間Ｒ４の側から開閉扉１７を開けて、外部空間Ｒ４から開口１６を通して中間部分Ｒ３に機器等を搬入し、その後、開閉扉１７を閉じて中間部分Ｒ３と外部空間Ｒ４とを隔離し、次いで、作業空間Ｒ２の側から扉２４を開けて、中間部分Ｒ３から開口２２を通して作業空間Ｒ２に機器等を搬入し、その後、扉２４を閉じて中間部分Ｒ３と作業空間Ｒ２とを隔離する。

これにより、外部空間Ｒ４から作業空間Ｒ２に機器等を搬入するに際して、作業空間Ｒ２と外部空間Ｒ４とが連通するのを防止することができる。

同様に、作業空間Ｒ２から外部空間Ｒ４に機器等を搬出するに際しては、作業空間Ｒ２の側から扉２４を開けて、作業空間Ｒ２から開口２２を通して中間部分Ｒ３に機器等を搬出し、その後、扉２４を閉じて中間部分Ｒ３と作業空間Ｒ２とを隔離し、次いで、外部空間Ｒ４の側から開閉扉１７を開けて、中間部分Ｒ３から開口１６を通して外部空間Ｒ４に機器等を搬出し、その後、開閉扉１７を閉じて中間部分Ｒ３と外部空間Ｒ４とを隔離する。

これにより、作業空間Ｒ２から外部空間Ｒ４に機器等を搬出するに際して、作業空間Ｒ２と外部空間Ｒ４とが連通するのを防止することができる。

なお、作業空間Ｒ２と中間部分Ｒ３とを仕切る樹脂製シート２０の開口２２を開閉する扉２４は、樹脂製シート２０に対して完全に脱着するものでなくてもよく、例えば扉２４の上縁部は開口２２の上方の樹脂製シート２０の部分に付着されていて、扉２４は上縁部が支持された状態で自重により垂れ下がって開口２２を塞ぎ、扉２４の下縁部と開口の下方の樹脂製シート２０の部分にそれぞれ磁石２３，２３を取り付けておくことで、自重で垂れ下がった扉２４の下縁部の磁石２３が、開口２２の下方の樹脂製シート２０の部分の磁石２３に磁力で付着し、扉２４が開口２２を閉じた状態とすることができる。

一方、扉２４の下縁部の磁石２３を、開口２２の下方の樹脂製シート２０の部分の磁石２３から引き剥がして下縁部を上方にめくり上げることで、扉２４が開口２２を開放させた状態とすることができる。

このように、扉２４の上縁部を開口の上方の樹脂製シート２０の部分に付着して支持させた構成によれば、扉２４を開口２２に対して着脱操作するよりも簡単に開閉操作することができる。

なお、本発明に係る局所精密空調装置としては、ハーフスーツ３０を、図３に示すように、内面側の部材３２ａと外面側の部材３１ａとによって２重に形成して、内面側の部材３２ａと外面側の部材３１ａとの間に緩衝空間Ｒ６が形成されたものとし、この緩衝空間Ｒ６の内部の雰囲気圧力をＰ６としたとき、圧力調整装置５０が、雰囲気圧力Ｐ６を、下記式（４）を満たす大小関係となるように調整するものとしてもよい。
Ｐ６＞Ｐ１ （４）

ここで、緩衝空間Ｒ６を雰囲気圧力Ｐ６に調整する圧力調整装置５０は、送風機５３と、送風機５３で供給された空気Ａの流量を開度で調整して緩衝空間Ｒ６に供給する流量調整弁５７′とにより構成され、送風機５３は、ハーフスーツ３０の内面３２の側の空間（内面側の部材３２ａの内側の空間）Ｒ１に新鮮な空気Ａを供給する送風機５３が兼ねている。

この場合、内面側の部材３２ａに孔を形成して、緩衝空間Ｒ６からハーフスーツ３０の内面側の部材３２ａの内側の空間Ｒ１に対して空気Ａを流入させることにより、空間Ｒ１に空気Ａを直接供給する空気供給系統（送風機５３から流量調整弁５７を通過する空気供給系統）を備えなくてもよい。

このように、ハーフスーツ３０を２重に形成して、緩衝空間Ｒ６の雰囲気圧力Ｐ６を、ハーフスーツ３０の内面３２の側の空間Ｒ１の雰囲気圧力Ｐ１よりも高く設定することにより、ハーフスーツ３０を着用した作業者の手先まで新鮮な空気Ａが行き渡るため、ハーフスーツ３０内での作業環境が向上する。

また、例えば、ハーフスーツ３０が破損するような不測の事態が生じても、ハーフスーツ３０が２重に形成されていることで、その２重のハーフスーツ３０の双方が同時に破れにくくなり、作業空間Ｒ２における気体Ｇがハーフスーツ３０の内側の空間Ｒ１に流入しにくくすることができる。

上述した実施形態の局所精密空調装置１００は、ハーフスーツ３０が仕切り部材部材４０を介して円筒状突起１９に取り付けられたものであるが、本発明に係る局所精密空調装置は、仕切り部材４０を備えずに、ハーフスーツ３０が作業孔１８または円筒状突起１９に直接取り付けられたものであってもよい。この場合、式（３）の条件は不要である。

すなわち、例えば、図４（ａ），（ｂ）に示すように、ハーフスーツ３０の下端縁３３から少し上方の部分が、外側からＯリング４５を装着されることで、伸ばされたＯリング４５が自然長に戻るときの弾性力により、Ｏリング４５がハーフスーツ３０の下端縁３３から少し上方の部分を締め付け、そのハーフスーツ３０の下端縁３３から少し上方の部分は円筒状突起１９の外周面に押圧されて円筒状突起１９の外周面に密着されて、ハーフスーツ３０は円筒状突起１９に直接取り付けられている。

そして、このように構成された局所精密空調装置によっても、上述した実施形態の局所精密空調装置１００と同様の作用、効果（式（３）に関する効果を除く）を得ることができる。

なお、この構成の局所精密空調装置は、仕切り部材４０が備えられていないことにより、圧力調整装置５０も、仕切り部材４０の内部の中空部分Ｒ５の雰囲気圧力Ｐ５を調整するための流量調整弁５５を備えていない。

上述した各実施形態の局所精密空調装置１００は、作業孔１８に嵌め合わされた円筒状突起１９に、ハーフスーツ３０が、直接または仕切り部材４０を介して間接的に、取り付けられた構成であるが、本発明に係る局所精密空調装置は、上述した実施形態のように、円筒状突起１９にハーフスーツ３０が取り付けられたものに限定されず、例えば図５に示すように、ハーフスーツ３０が、円筒状突起１９ではなく作業孔１８に取り付けられた構成のものであってもよい。

すなわち、図５に示した実施形態は、作業孔１８にハーフスーツ３０を通して、ハーフスーツ３０の内面３２の側の空間Ｒ１から外側に向かって拡がる拡径部材４６を、作業孔１８通過したハーフスーツ３０の部分の内側に配置したものである。

この構成の局所精密空調装置によれば、拡径部材４６を拡げて周長を伸ばすことにより、拡径部材４６の直径が大きくなり、拡径部材４６の外側の面がハーフスーツ３０を作業孔１８に押し付けて、ハーフスーツ３０を作業孔１８に密着させて、作業孔１８に直接取り付けることができる。

本実施形態においては、作業孔１８の縁に断面輪郭が円形である円筒状突起１９が設けられているが、この円筒状突起１９に代えて、断面輪郭が楕円形となる楕円筒状の突起や断面輪郭が矩形となる角筒状の突起など各種の筒状の突起が設けられたものであってもよい。なお、筒状の突起は、その断面輪郭形状が作業孔１８の縁の形状に合うものであることが好ましいが、作業孔１８の縁の形状に合うものに限定されるものではない。

１０ 筐体
１８ 作業孔
２０ 樹脂製シート
３０ ハーフスーツ
３１ 外面
３２ 内面
３３ 下端縁
４０ 仕切り部材
５０ 圧力調整装置
１００ 局所精密空調装置
Ａ 空気
Ｇ 気体
Ｐ１，Ｐ２，Ｐ３，Ｐ４，Ｐ５ 雰囲気圧力
Ｒ１ ハーフスーツの内面の側の空間
Ｒ２ 作業空間
Ｒ３ 中間部分
Ｒ４ 外部空間
Ｒ５ 中空部分

Claims (6)

1. 枠状の骨格部材と樹脂製の板状部材とによって形成された、外部空間と閉じられた内部空間とを仕切る筐体と、
   前記内部空間に、前記内部空間よりも狭い作業空間を仕切る樹脂製シートと、
   外面が前記作業空間に露出し内面が前記外部空間に露出して前記作業空間と前記外部空間とを隔てるように、前記外部空間と前記作業空間との間を貫通して開口した作業孔に取り付けられた、前記内面の側から作業者が着用するハーフスーツと、
   前記作業孔と前記ハーフスーツとの間に、前記作業孔および前記ハーフスーツの全周に亘って密着して配置された中空環状の仕切り部材と、
   前記仕切り部材の中空部分の雰囲気圧力をＰ５、前記外部空間における雰囲気圧力をＰ４、前記ハーフスーツの内面の側の雰囲気圧力をＰ１、前記作業空間の内部の雰囲気圧力をＰ２、前記外部空間と前記作業空間との間に形成された中間部分の雰囲気圧力をＰ３としたとき、これら各雰囲気圧力Ｐ１，Ｐ２，Ｐ３，Ｐ４，Ｐ５が下記式（１），（２），（３）を満たす大小関係となるように、雰囲気圧力Ｐ１，Ｐ２，Ｐ３，Ｐ５を調整する圧力調整装置と、を備えたことを特徴とする局所精密空調装置。
   Ｐ１≧Ｐ４＞Ｐ３ （１）
   Ｐ１＞Ｐ２＞Ｐ３ （２）
   Ｐ５＞Ｐ１ （３）
2. 前記作業孔には、少なくとも前記作業空間に突出する筒状の突起が形成され、
   前記仕切り部材を前記筒状の突起の外周面に密着させるように前記仕切り部材の外周面の側から締め付ける締付部材を備えたことを特徴とする請求項１に記載の局所精密空調装置。
3. 前記圧力調整装置は、前記作業空間の内部と前記仕切り部材の中空部分と前記ハーフスーツの内面の側とにそれぞれ気体を供給する給気装置および流量調整弁と、前記中間部分から気体を排出する排気装置および流量調整弁とを備えたものであることを特徴とする請求項１または２に記載の局所精密空調装置。
4. 前記ハーフスーツは内面側の部材と外面側の部材とによって２重に形成されたものであり、前記内面側の部材と前記外面側の部材との間には緩衝空間が形成され、
   前記緩衝空間の内部の雰囲気圧力をＰ６としたとき、前記圧力調整装置は、前記雰囲気圧力Ｐ６を、下記式（４）を満たす大小関係となるように調整するものであることを特徴とする請求項１から３のうちいずれか１項に記載の局所精密空調装置。
   Ｐ６＞Ｐ１ （４）
5. 前記樹脂製シートの下端部に、前記下端部の浮き上がりを阻止するウェートが設けられていることを特徴とする請求項１から４のうちいずれか１項に記載の局所精密空調装置。
6. 前記樹脂製シートの一部に開口が形成され、前記開口を塞ぐ扉が、前記樹脂製シートに対して、磁石により着脱自在に設けられたことを特徴とする請求項１から５のうちいずれか１項に記載の局所精密空調装置。