JP7136828B2 - 半導体構造、高電子移動度トランジスタ、および半導体構造の製造方法 - Google Patents
半導体構造、高電子移動度トランジスタ、および半導体構造の製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP7136828B2 JP7136828B2 JP2020043826A JP2020043826A JP7136828B2 JP 7136828 B2 JP7136828 B2 JP 7136828B2 JP 2020043826 A JP2020043826 A JP 2020043826A JP 2020043826 A JP2020043826 A JP 2020043826A JP 7136828 B2 JP7136828 B2 JP 7136828B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- dielectric material
- substrate
- top surface
- layer
- flowable dielectric
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Landscapes
- Junction Field-Effect Transistors (AREA)
- Insulated Gate Type Field-Effect Transistor (AREA)
Description
100、100’…基板構造
102…基板
102a、116a…上面
103…孔
104…欠陥
105…ピット
106…流動性誘電材料
107、108…リフロー保護層
108B…突出部
109…、GaN系半導体層
110…バッファー層
112…GaN半導体層
114…AlGaN半導体層
116、126…流動性誘電材料パッド層
117…分離構造
118…ソース/ドレイン電極;
120…ゲート電極
150…熱処理
160、170…平坦化プロセス
200…HEMT
D…深さ
W…幅
P…直径
T1、T2、T3、T4…厚さ
Claims (20)
- 上面からピットが露出している基板と、
前記ピット中に形成された流動性誘電材料パッド層であって、当該流動性誘電材料パッド層の上面が前記基板の前記上面よりも下に位置する第1部分と、当該流動性誘電材料パッド層の上面が前記基板の前記上面と同一平面上にある第2部分とを含む流動性誘電材料パッド層と、
前記基板および前記流動性誘電材料パッド層の前記上面上に形成されたリフロー保護層と、
前記基板上方に配置されたGaN系半導体層と、
を含む半導体構造。 - 前記流動性誘電材料パッド層の前記上面が凹形のプロファイルを有する請求項1に記載の半導体構造。
- 前記流動性誘電材料パッド層の厚さの前記ピットの深さに対する比率が0.15から0.8の範囲である請求項1に記載の半導体構造。
- 前記リフロー保護層の突出部が前記ピット中に延伸して前記ピットを充填する請求項1に記載の半導体構造。
- 前記リフロー保護層の前記突出部が前記流動性誘電材料パッド層の前記上面に直接に接触する請求項4に記載の半導体構造。
- 前記リフロー保護層の前記突出部の下面が前記流動性誘電材料パッド層の前記上面にコンフォーマルである請求項4に記載の半導体構造。
- 前記基板が、窒化アルミニウム基板、シリコンカーバイド基板、サファイア基板、またはこれらの組み合わせである請求項1に記載の半導体構造。
- 前記流動性誘電材料パッド層が、スピンオンガラス(SOG)、ほうりんけい酸ガラス(BPSG)、りんけい酸ガラス(PSG)、ほうけい酸ガラス(BSG)、フルオロケイ酸塩ガラス(FSG)、またはこれらの組み合わせを含む請求項1に記載の半導体構造。
- 前記リフロー保護層が酸化シリコン、窒化シリコン、酸窒化シリコン、シリコンカーバイド、またはこれらの組み合わせを含む請求項1に記載の半導体構造。
- 上面からピットが露出している窒化アルミニウム基板と、
前記ピット中に形成された流動性誘電材料パッド層であって、当該流動性誘電材料パッド層の上面が前記窒化アルミニウム基板の前記上面より下に位置する第1部分と、当該流動性誘電材料パッド層の上面が前記窒化アルミニウム基板の前記上面と同一平面上にある第2部分とを含む流動性誘電材料パッド層と、
前記窒化アルミニウム基板および前記流動性誘電材料パッド層の前記上面上に形成されたリフロー保護層と、
前記リフロー保護層上方に配置されたGaN半導体層と、
前記GaN半導体層上方に配置されたAlGaN半導体層と、
前記AlGaN半導体層上方に配置されたソース電極、ドレイン電極、およびゲート電極と、
を含む高電子移動度トランジスタ。 - 前記GaN半導体層の厚さが5μmから15μmの範囲である請求項10に記載の高電子移動度トランジスタ。
- 上面からピットが露出している基板を準備する工程と、
前記基板上に流動性誘電材料をコンフォーマルに形成する工程と、
熱処理を行って前記流動性誘電材料をピット中にリフローさせる工程と、
前記ピット以外の前記流動性誘電材料の部分を除去し、前記基板の前記上面を露出させて前記ピット中に流動性誘電材料パッド層を形成する工程であって、前記流動性誘電材料パッド層の上面が前記基板の前記上面よりも下に位置する、工程と、
前記基板および前記流動性誘電材料パッド層の前記上面上にリフロー保護層を形成する工程と、
GaN系半導体層を前記リフロー保護層上方に形成する工程と、
を含む半導体構造の製造方法。 - 前記基板が、窒化アルミニウム基板、シリコンカーバイド基板、サファイア基板、またはこれらの組み合わせである請求項12に記載の半導体構造の製造方法。
- 前記流動性誘電材料が、スピンオンガラス(SOG)、ほうりんけい酸ガラス(BPSG)、りんけい酸ガラス(PSG)、ほうけい酸ガラス(BSG)、フルオロケイ酸塩ガラス(FSG)、またはこれらの組み合わせを含む請求項12に記載の半導体構造の製造方法。
- 前記熱処理が300℃から800℃の範囲の温度で行われる請求項12に記載の半導体構造の製造方法。
- 前記リフロー保護層が酸化シリコン、窒化シリコン、酸窒化シリコン、シリコンカーバイド、またはこれらの組み合わせを含む請求項12に記載の半導体構造の製造方法。
- 前記リフロー保護層が、前記基板および前記流動性誘電材料パッド層の前記上面上に蒸着プロセスにコンフォーマルに蒸着される請求項12に記載の半導体構造の製造方法。
- 前記リフロー保護層が1000℃から1200℃の範囲のプロセス温度で蒸着される請求項17に記載の半導体構造の製造方法。
- 前記リフロー保護層を形成する工程が、プラズマ化学気相成長(PECVD)、低温化学気相成長(LPCVD)、またはこれらの組み合わせを含むプロセスによるものである請求項12に記載の半導体構造の製造方法。
- 前記GaN系半導体層が、前記熱処理の温度よりも高いプロセス温度で形成される請求項12に記載の半導体構造の製造方法。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
TW108110198A TWI706563B (zh) | 2019-03-25 | 2019-03-25 | 半導體結構、高電子遷移率電晶體及半導體結構的製造方法 |
TW108110198 | 2019-03-25 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2020161814A JP2020161814A (ja) | 2020-10-01 |
JP7136828B2 true JP7136828B2 (ja) | 2022-09-13 |
Family
ID=72640055
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2020043826A Active JP7136828B2 (ja) | 2019-03-25 | 2020-03-13 | 半導体構造、高電子移動度トランジスタ、および半導体構造の製造方法 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP7136828B2 (ja) |
TW (1) | TWI706563B (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
TWI768801B (zh) * | 2021-03-31 | 2022-06-21 | 世界先進積體電路股份有限公司 | 半導體結構及其製作方法 |
CN114574960B (zh) * | 2022-02-23 | 2023-03-28 | 江苏第三代半导体研究院有限公司 | 氮化物外延层结构、氮化物外延片及制备方法 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001097787A (ja) | 1999-10-01 | 2001-04-10 | Murata Mfg Co Ltd | 平坦化膜の形成方法、セラミック基板、および電子部品 |
JP2009283915A (ja) | 2008-05-09 | 2009-12-03 | Cree Inc | 浅いイオン注入された領域を含む半導体デバイスとその形成方法 |
WO2011108063A1 (ja) | 2010-03-01 | 2011-09-09 | 富士通株式会社 | 化合物半導体装置及びその製造方法 |
WO2017222873A1 (en) | 2016-06-24 | 2017-12-28 | Quora Technology, Inc. | Polycrystalline ceramic substrate and method of manufacture |
US20180204941A1 (en) | 2017-01-18 | 2018-07-19 | QROMIS, Inc. | Gallium nitride epitaxial structures for power devices |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9812562B1 (en) * | 2016-06-03 | 2017-11-07 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company Ltd. | Semiconductor structure, HEMT structure and method of forming the same |
-
2019
- 2019-03-25 TW TW108110198A patent/TWI706563B/zh active
-
2020
- 2020-03-13 JP JP2020043826A patent/JP7136828B2/ja active Active
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001097787A (ja) | 1999-10-01 | 2001-04-10 | Murata Mfg Co Ltd | 平坦化膜の形成方法、セラミック基板、および電子部品 |
JP2009283915A (ja) | 2008-05-09 | 2009-12-03 | Cree Inc | 浅いイオン注入された領域を含む半導体デバイスとその形成方法 |
WO2011108063A1 (ja) | 2010-03-01 | 2011-09-09 | 富士通株式会社 | 化合物半導体装置及びその製造方法 |
WO2017222873A1 (en) | 2016-06-24 | 2017-12-28 | Quora Technology, Inc. | Polycrystalline ceramic substrate and method of manufacture |
US20180204941A1 (en) | 2017-01-18 | 2018-07-19 | QROMIS, Inc. | Gallium nitride epitaxial structures for power devices |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2020161814A (ja) | 2020-10-01 |
TWI706563B (zh) | 2020-10-01 |
TW202036900A (zh) | 2020-10-01 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP7059257B2 (ja) | 加工基板と統合された電子パワーデバイス | |
TWI517383B (zh) | 在背側通孔中直接生長鑽石用於GaN高電子遷移率電晶體裝置 | |
CN103493206B (zh) | Iii-n器件结构和方法 | |
JP7195265B2 (ja) | 集積化クランプダイオードを有する横型高電子移動度トランジスタ | |
US20160204074A1 (en) | Dicing method for power transistors | |
JP6279164B1 (ja) | 半導体装置 | |
JP2006286954A (ja) | 半導体装置及びその製造方法 | |
JP7136828B2 (ja) | 半導体構造、高電子移動度トランジスタ、および半導体構造の製造方法 | |
JP2013123047A (ja) | エンハンスメントモードiii−窒化物デバイスおよびその製造方法 | |
JP7118069B2 (ja) | 縦型パワーデバイスのための方法およびシステム | |
US10453947B1 (en) | Semiconductor structure and high electron mobility transistor with a substrate having a pit, and methods for fabricating semiconductor structure | |
TW202040819A (zh) | 半導體結構 | |
TWI676237B (zh) | 半導體結構、高電子遷移率電晶體及半導體結構製造方法 | |
JP2011171639A (ja) | 半導体装置、半導体ウェハ、半導体装置の製造方法及び半導体ウェハの製造方法 | |
US10790143B1 (en) | Semiconductor structure, high electron mobility transistor, and method for fabricating semiconductor structure | |
JP5262201B2 (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
US11183563B2 (en) | Substrate structure and method for fabricating semiconductor structure including the substrate structure | |
TWI535007B (zh) | 半導體裝置與其之製造方法 | |
CN111785773A (zh) | 半导体结构、高电子迁移率晶体管及半导体结构制造方法 | |
CN111009580B (zh) | 高电子迁移率晶体管元件及其制造方法 | |
TWI732239B (zh) | 半導體結構及其形成方法 | |
CN110473919A (zh) | 半导体结构、高电子迁移率晶体管及半导体结构制造方法 | |
CN110783395B (zh) | 半导体结构 | |
TWI726744B (zh) | 半導體基板、半導體裝置、及半導體結構的形成方法 | |
CN113906571B (zh) | 半导体器件及其制造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20200313 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20210303 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20210309 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20210609 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20211026 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20220125 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20220419 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20220624 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20220823 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20220901 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 7136828 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |