JP7134215B2 - 静電感知システム及び静電感知アセンブリ - Google Patents
静電感知システム及び静電感知アセンブリ Download PDFInfo
- Publication number
- JP7134215B2 JP7134215B2 JP2020207415A JP2020207415A JP7134215B2 JP 7134215 B2 JP7134215 B2 JP 7134215B2 JP 2020207415 A JP2020207415 A JP 2020207415A JP 2020207415 A JP2020207415 A JP 2020207415A JP 7134215 B2 JP7134215 B2 JP 7134215B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- component
- electrostatic
- sensing
- fluid
- protective cover
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N27/00—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
- G01N27/60—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating electrostatic variables, e.g. electrographic flaw testing
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R29/00—Arrangements for measuring or indicating electric quantities not covered by groups G01R19/00 - G01R27/00
- G01R29/12—Measuring electrostatic fields or voltage-potential
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R29/00—Arrangements for measuring or indicating electric quantities not covered by groups G01R19/00 - G01R27/00
- G01R29/12—Measuring electrostatic fields or voltage-potential
- G01R29/14—Measuring field distribution
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R29/00—Arrangements for measuring or indicating electric quantities not covered by groups G01R19/00 - G01R27/00
- G01R29/24—Arrangements for measuring quantities of charge
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02H—EMERGENCY PROTECTIVE CIRCUIT ARRANGEMENTS
- H02H9/00—Emergency protective circuit arrangements for limiting excess current or voltage without disconnection
- H02H9/04—Emergency protective circuit arrangements for limiting excess current or voltage without disconnection responsive to excess voltage
- H02H9/045—Emergency protective circuit arrangements for limiting excess current or voltage without disconnection responsive to excess voltage adapted to a particular application and not provided for elsewhere
- H02H9/046—Emergency protective circuit arrangements for limiting excess current or voltage without disconnection responsive to excess voltage adapted to a particular application and not provided for elsewhere responsive to excess voltage appearing at terminals of integrated circuits
Landscapes
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Electrochemistry (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Electric Means (AREA)
- Measuring Volume Flow (AREA)
- Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)
- Measurement Of Current Or Voltage (AREA)
Description
本出願は、2019年12月30日付けで台湾特許庁に提出された特許出願No.108148274の出願日の利益を主張し、その内容のすべては、本出願に参照として含まれる。
Claims (11)
- 流体分配コンポーネント内の流体の静電情報を感知するように構成された静電感知システムであって、
前記静電感知システムは、静電感知アセンブリを含み、
前記静電感知アセンブリは、
前記流体分配コンポーネント内に部分的に配置されるように前記流体分配コンポーネントを介して配置されるよう構成された感知コンポーネントと、
前記流体分配コンポーネント内に配置された感知コンポーネントの一部を囲むとともに、少なくとも一部が前記感知コンポーネントの上流側に配置されている保護カバーであって、前記保護カバーは、第1の環状体部分及び第2の環状体部分を含み、前記第1の環状体部分の第1の内面は、前記第2の環状体部分の第2の内面に対して角度を有し、前記角度は、90度より大きく270度より小さい前記保護カバーと、
前記感知コンポーネントに電気的に接続された信号増幅器と、
前記信号増幅器に電気的に接続されたアナログ/デジタル変換器と、
を含み、
前記保護カバーは、前記感知コンポーネントから離間した開口部を有し、
前記開口部は、前記流体が前記開口部に流入する方向である開口部方向に対向するように定義され、前記開口部方向は、前記流体の流れ方向と非平行である、
静電感知システム。 - 前記開口部方向が前記流れ方向に対して実質的に垂直である、請求項1に記載の静電感知システム。
- 前記流体分配コンポーネントは、内周面を有し、
前記感知コンポーネント及び前記保護カバーは、前記内周面から突出し、
前記保護カバーは、前記感知コンポーネントよりも前記内周面からさらに突出している、請求項1に記載の静電感知システム。 - 前記流体分配コンポーネントは、前記第1の環状体部分の第1の内面に対して実質的に垂直な内周面を有する、請求項1に記載の静電感知システム。
- 前記感知コンポーネントと前記開口部とは、前記感知コンポーネントの延在方向に沿った距離Dだけ離間しており、
前記開口部の直径と前記距離Dとの比が1/3以上1/1以下の範囲である、請求項1に記載の静電感知システム。 - 前記開口部の直径と前記距離Dとの比が1/2である、請求項5に記載の静電感知システム。
- 前記保護カバーが電気絶縁材料で構成されている、請求項1に記載の静電感知システム。
- 前記保護カバーがフッ素樹脂で構成されている、請求項7に記載の静電感知システム。
- 前記感知コンポーネントと前記信号増幅器とを電気的に接続する電気抵抗器をさらに備えている、請求項1に記載の静電感知システム。
- 前記信号増幅器は、前記感知コンポーネント及び前記アナログ/デジタル変換器に電気的に接続された電気抵抗器をさらに含む、請求項1に記載の静電感知システム。
- 流体分配コンポーネント内に部分的に配置されるように前記流体分配コンポーネントを介して配置されるよう構成された感知コンポーネントと、
前記流体分配コンポーネント内に配置された前記感知コンポーネントの一部を囲むとともに、少なくとも一部が前記感知コンポーネントの上流側に配置されている保護カバーであって、前記保護カバーは、第1の環状体部分及び第2の環状体部分を含み、前記第1の環状体部分の第1の内面は、前記第2の環状体部分の第2の内面に対して角度を有し、前記角度は、90度より大きく270度より小さい前記保護カバーと、
を含み、
前記保護カバーは、前記感知コンポーネントから離間した開口部を有している、静電感知アセンブリ。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
TW108148274 | 2019-12-30 | ||
TW108148274A TWI744760B (zh) | 2019-12-30 | 2019-12-30 | 靜電感測系統與靜電感測組件 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2021110732A JP2021110732A (ja) | 2021-08-02 |
JP7134215B2 true JP7134215B2 (ja) | 2022-09-09 |
Family
ID=76547134
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2020207415A Active JP7134215B2 (ja) | 2019-12-30 | 2020-12-15 | 静電感知システム及び静電感知アセンブリ |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US11913981B2 (ja) |
JP (1) | JP7134215B2 (ja) |
CN (1) | CN113125864A (ja) |
TW (1) | TWI744760B (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
TWI749572B (zh) * | 2020-06-02 | 2021-12-11 | 帆宣系統科技股份有限公司 | 主動流體靜電消除系統 |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4873489A (en) | 1988-03-02 | 1989-10-10 | Massachusetts Institute Of Technology | Method and apparatus for measurement of charge entrained in fluids |
JP2003303695A (ja) | 2002-04-09 | 2003-10-24 | Kasuga Electric Works Ltd | 帯電物体の帯電量自動制御方法及び装置 |
CN101216372A (zh) | 2008-01-11 | 2008-07-09 | 南京航空航天大学 | 航空发动机气路静电监测系统及模拟试验装置 |
JP5631633B2 (ja) | 2009-05-27 | 2014-11-26 | コミサリア ア レネルジー アトミック エ オ ゼネルジー アルテルナティブCommissariat Al’Energie Atomique Et Aux Energiesalternatives | 2−6族半導体材料をアニールするためのチャンバー、装置、及び、方法 |
US20160153819A1 (en) | 2013-06-26 | 2016-06-02 | Robert Bosch Gmbh | Sensor device for detecting at least one property of a fluid medium flowing in a channel |
JP6502017B2 (ja) | 2014-02-28 | 2019-04-17 | アサヒ飲料株式会社 | 茶飲料、茶風味増強剤及び茶風味増強方法 |
Family Cites Families (28)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS51130825A (en) * | 1975-05-12 | 1976-11-13 | Toshiba Corp | Charge quantity attenuator for transformer insulated oil |
JPS5631633A (en) * | 1979-08-23 | 1981-03-31 | Mitsubishi Electric Corp | Monitor for flowing electric charge |
JPS5930491Y2 (ja) * | 1980-02-21 | 1984-08-31 | 株式会社東芝 | 変圧器絶縁油の電荷量測定装置 |
JPS6118880A (ja) | 1984-07-05 | 1986-01-27 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 静電気プロ−ブ |
US4947468A (en) * | 1989-03-20 | 1990-08-07 | Electric Power Research Institute, Inc. | Bypass tandem chamber charge density monitor |
GB9021830D0 (en) | 1990-10-08 | 1990-11-21 | Wiggins Teape Group Ltd | Electrokinetic potential measuring electrodes |
JP2518170B2 (ja) * | 1991-04-15 | 1996-07-24 | 株式会社村田製作所 | 静電センサ装置 |
GB2272976B (en) * | 1992-11-30 | 1996-06-05 | Stewart Hughes Ltd | A sensor |
JP2002005976A (ja) | 2000-06-23 | 2002-01-09 | Mitsubishi Electric Corp | 流動帯電測定装置及び流動帯電測定方法 |
JP3589449B2 (ja) * | 2001-02-26 | 2004-11-17 | 株式会社ユニレック | 静電容量センサ、管内流動判断装置、管内流動制御装置 |
AU2002357807A1 (en) * | 2001-12-10 | 2003-06-23 | Bae Systems Information And Electronic Systems Integration Inc. | Electric field sensor |
JP2003303693A (ja) * | 2002-04-09 | 2003-10-24 | Kajima Corp | 照明制御システム |
GB0301183D0 (en) | 2003-01-18 | 2003-02-19 | Rolls Royce Plc | Electrostatic sensors |
DE102005039915A1 (de) * | 2005-08-24 | 2007-03-08 | Robert Bosch Gmbh | Elektrostatischer Partikelsensor |
JP2008058141A (ja) * | 2006-08-31 | 2008-03-13 | Kasuga Electric Works Ltd | 防爆構造型静電気測定器 |
JP2008096167A (ja) * | 2006-10-06 | 2008-04-24 | Seiko Epson Corp | 静電気測定装置の設置構造 |
JP5669337B2 (ja) * | 2006-10-23 | 2015-02-12 | 株式会社Nttドコモ | 比吸収率を測定するためのシステム及び方法 |
US7518376B2 (en) * | 2007-02-16 | 2009-04-14 | Xerox Corporation | Electric field probe |
JP2009192414A (ja) * | 2008-02-15 | 2009-08-27 | Audio Technica Corp | 表面電位計 |
BR112013000679A2 (pt) | 2010-07-16 | 2016-05-31 | Univation Tech Llc | sistemas e métodos para medir acúmulo de partícula em superfícies de reator |
WO2013038624A1 (ja) * | 2011-09-13 | 2013-03-21 | 凸版印刷株式会社 | 静電容量式タッチパネルセンサー基板の製造方法、静電容量式タッチパネルセンサー基板および表示装置 |
US20150268027A1 (en) * | 2013-03-15 | 2015-09-24 | Medusa Scientific Llc | Electric field sensing and e field visualization |
JP6286430B2 (ja) * | 2013-07-30 | 2018-02-28 | 住友理工株式会社 | 入力状態検出装置 |
KR101461227B1 (ko) | 2014-07-11 | 2014-11-18 | 김광연 | 파이프 내면에 퇴적된 파우더의 두께를 측정하는 장치 및 방법 |
CN105807144B (zh) | 2014-12-31 | 2019-01-18 | 清华大学 | 静电计 |
CN105277804B (zh) | 2015-11-28 | 2019-01-22 | 沈阳华兴防爆器材有限公司 | 一种输送管道内部静电在线检测装置 |
CN108267648B (zh) * | 2016-12-30 | 2020-07-07 | 致茂电子(苏州)有限公司 | 具有静电防护功能的检测设备 |
JP6959633B2 (ja) | 2017-05-19 | 2021-11-02 | 長岡産業株式会社 | 電荷測定器、流体製造装置、流体の電荷量の測定方法及び流体の製造方法 |
-
2019
- 2019-12-30 TW TW108148274A patent/TWI744760B/zh active
-
2020
- 2020-02-07 CN CN202010082645.XA patent/CN113125864A/zh active Pending
- 2020-12-15 JP JP2020207415A patent/JP7134215B2/ja active Active
- 2020-12-21 US US17/129,675 patent/US11913981B2/en active Active
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4873489A (en) | 1988-03-02 | 1989-10-10 | Massachusetts Institute Of Technology | Method and apparatus for measurement of charge entrained in fluids |
JP2003303695A (ja) | 2002-04-09 | 2003-10-24 | Kasuga Electric Works Ltd | 帯電物体の帯電量自動制御方法及び装置 |
CN101216372A (zh) | 2008-01-11 | 2008-07-09 | 南京航空航天大学 | 航空发动机气路静电监测系统及模拟试验装置 |
JP5631633B2 (ja) | 2009-05-27 | 2014-11-26 | コミサリア ア レネルジー アトミック エ オ ゼネルジー アルテルナティブCommissariat Al’Energie Atomique Et Aux Energiesalternatives | 2−6族半導体材料をアニールするためのチャンバー、装置、及び、方法 |
US20160153819A1 (en) | 2013-06-26 | 2016-06-02 | Robert Bosch Gmbh | Sensor device for detecting at least one property of a fluid medium flowing in a channel |
JP6502017B2 (ja) | 2014-02-28 | 2019-04-17 | アサヒ飲料株式会社 | 茶飲料、茶風味増強剤及び茶風味増強方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2021110732A (ja) | 2021-08-02 |
CN113125864A (zh) | 2021-07-16 |
US11913981B2 (en) | 2024-02-27 |
TWI744760B (zh) | 2021-11-01 |
TW202125762A (zh) | 2021-07-01 |
US20210199704A1 (en) | 2021-07-01 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US7433167B2 (en) | Strike ring based electrostatic discharge protection | |
US5357397A (en) | Electric field emitter device for electrostatic discharge protection of integrated circuits | |
JP7134215B2 (ja) | 静電感知システム及び静電感知アセンブリ | |
US8373232B2 (en) | Device to detect and measure static electric charge | |
JP2006329929A (ja) | 半導体圧力センサ | |
JP5041511B2 (ja) | 半導体装置 | |
KR102194166B1 (ko) | 오일 충전된 패키징의 표면 전하 면역성을 위한 미세 전자기계 시스템 압력 센서 필드 쉴드 레이아웃 | |
WO2018001033A1 (zh) | 触控基板及其制作方法、触控屏 | |
KR102345694B1 (ko) | 가스 감지 센서 | |
US9790085B1 (en) | Actively preventing charge induced leakage of semiconductor devices | |
US9786654B1 (en) | Electrostatic discharge protection semiconductor device | |
JP2015072825A (ja) | プラズマ処理装置およびプラズマ処理方法 | |
US20090057795A1 (en) | Sensor chip having conductivity film | |
US20070278581A1 (en) | Semiconductor dual guardring arrangement | |
JP7209508B2 (ja) | プロセス装置 | |
US7622792B2 (en) | Semiconductor device and method of manufacturing the same | |
JP2010182923A (ja) | ウェーハハンドリングロボット装置 | |
WO2005083765A1 (ja) | 半導体装置 | |
JP2001060663A (ja) | 半導体集積回路装置 | |
JP2022050096A (ja) | 半導体装置及び電子機器 | |
JP7431094B2 (ja) | 圧力センサ | |
TWM564819U (zh) | 半導體製程設備 | |
JPH06275836A (ja) | Mos型制御パワー半導体素子 | |
TW201907540A (zh) | 靜電放電防護架構、積體電路以及用來保護積體電路之核心電路免受導電墊片所接收之靜電放電事件的傷害的方法 | |
TW202234514A (zh) | 電漿處理裝置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20201215 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20211223 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20220125 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20220421 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20220802 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20220830 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 7134215 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |