JP2008096167A - 静電気測定装置の設置構造 - Google Patents
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Abstract
【課題】液滴飛散雰囲気内における静電気測定に支障が生ずることのない静電気測定装置の設置構造を提供する。
【解決手段】表面電位計3、表面電位計3に接続したケーブル4およびケーブル4の先端に設けたプローブ5から成る静電気測定装置1の、表面電位計3を防滴カバー2の外部に設置し、ケーブル4およびプローブ5を防滴カバー2内の液滴飛散雰囲気A内に設置する静電気測定装置1の設置構造において、ケーブル4およびプローブ5を内包する防液チューブ6と、防液チューブ6の先端部に設けられ、防液チューブ6の軸心部にプローブ5を保持するスペーサ7と、を備え、プローブ5を飛散した液滴からプロテクトするように、防液チューブ6の先端をプローブ5先端より突出させた。
【選択図】図1
【解決手段】表面電位計3、表面電位計3に接続したケーブル4およびケーブル4の先端に設けたプローブ5から成る静電気測定装置1の、表面電位計3を防滴カバー2の外部に設置し、ケーブル4およびプローブ5を防滴カバー2内の液滴飛散雰囲気A内に設置する静電気測定装置1の設置構造において、ケーブル4およびプローブ5を内包する防液チューブ6と、防液チューブ6の先端部に設けられ、防液チューブ6の軸心部にプローブ5を保持するスペーサ7と、を備え、プローブ5を飛散した液滴からプロテクトするように、防液チューブ6の先端をプローブ5先端より突出させた。
【選択図】図1
Description
本発明は、表面電位計、表面電位計に接続したケーブルおよびケーブルの先端に設けたプローブから成る静電気測定装置の設置構造に関するものである。
従来、この種の静電気測定装置として、表面電位計(測定本体)と、表面電位計に接続したケーブルと、ケーブルの先端部に設けたプローブ(静電気測定ヘッド)と、を備えたものが知られている(特許文献1参照)。この静電気測定装置はドライな雰囲気中で使用することを前提とし、ウェハやガラスを対象とする半導体製造工程において、ウェハやガラスの表面に帯電し、回路の破壊等歩留まりの原因となる静電気の量を測定する。
特開平9−243692号公報
しかしながら、このような静電気測定装置では、ウェットな雰囲気中では静電気が発生しないとされているため(実際には、発生することが確認されている。)、ドライ環境のみを考慮して設計されている。そのため、液滴飛散雰囲気内に設置された状態で測定を行うと、ケーブルやプローブに液滴が付着し、誤作動やプローブに故障が発生する問題があった。
本発明は、液滴飛散雰囲気内における静電気測定に支障が生ずることのない静電気測定装置の設置構造を提供することを課題としている。
本発明の静電気測定装置の設置構造は、表面電位計、表面電位計に接続したケーブルおよびケーブルの先端に設けたプローブから成る静電気測定装置の、表面電位計を防滴カバーの外部に設置し、ケーブルおよびプローブを防滴カバー内の液滴飛散雰囲気内に設置する静電気測定装置の設置構造において、ケーブルおよびプローブを内包する防液チューブと、防液チューブの先端部に設けられ、防液チューブの軸心部にプローブを保持するスペーサと、を備え、プローブを飛散した液滴からプロテクトするように、防液チューブの先端をプローブ先端より突出させたことを特徴とする。
この構成によれば、飛散した液滴がケーブルおよびプローブに付着することを抑えることができる。そのため、静電気測定における誤検出、装置の誤作動を防止することができると共に、プローブの故障を防止することができる。
この場合、防液チューブの先端は、プローブの照射角近傍まで突出していることが好ましい。
この構成によれば、プローブによる静電気の測定を妨害することなく、液滴が防液チューブの先端部から入り込んで、プローブに付着するのを防止することができる。
上記静電気測定装置の設置構造において、防液チューブが、導電性材料で形成されていることが好ましい。
この構成によれば、防液チューブをアースすることにより、防液チューブに帯電した電荷を除去することができる。そのため、防液チューブの先端部がプローブの静電気検知範囲に入った場合にも、静電気の測定結果が、防液チューブの帯電による影響を受けることがなく、より正確な測定を行うことができる。
上記静電測定装置の設置構造において、防液チューブの先端部が、アースされた導電性の筒体で構成されていることが好ましい。
この構成によれば、防液チューブの先端部に帯電した電荷が除去されるため、防液チューブの先端部がプローブの静電気検知範囲に入った場合にも、静電気の測定結果が、防液チューブの先端部の帯電による影響を受けることがない。これにより、より正確な測定を行うことができる。
これらの場合、防液チューブには、気体供給手段に連なると共に、スペーサを通過してプローブの前方に飛散する液滴を吹き払うための気体を供給する気体供給チューブが接続されていることが好ましい。
この構成によれば、飛散した液滴が防液チューブの先端部から内部に入り込むことを防止することができる。そのため、プローブに液滴が付着するのを確実に防止することができる。
以下、添付図面を参照して、本発明の設置構造を適用した静電気測定装置について説明する。この静電気測定装置は、ワーク(ウェハ)の洗浄の際に、防滴カバーにより形成された液滴飛散雰囲気内において、ワークの表面における静電気量を測定するものである。なお、このような液滴飛散雰囲気では、静電気が発生しない(アースされてしまう)と考えられているが、洗浄液として使用する純水あるいは薬液によっては、静電気が発生することが確認されている。
図1に示すように、静電気測定装置1は、防滴カバー2で覆われた洗浄装置10に設置されており、防滴カバー2の外部に設置された表面電位計3と、基端が表面電位計3に接続されたケーブル4と、防滴カバー2の内部にあってワークWの上方に設置されると共に、ケーブル4の先端に接続されたプローブ5と、ケーブル4及びプローブ5を内包するように形成された防液チューブ6と、防液チューブ6の先端部に設けられ、プローブ5を保持するスペーサ7と、を備えている。
表面電位計3は、防滴カバー2の外部からケーブル4を介してプローブ5と接続され、静電気検出センサとなるプローブ5の検出結果を、ケーブル4を介して取得することにより、ワークWの表面に帯電した静電気量を測定する。また、表面電位計3は、正面側にディスプレイ31を有し、これにより、測定結果を表示する。
プローブ5は、ワークW表面の一定範囲内に帯電した静電気量を検出するものであり、ワークW表面に対し、一定の照射角(100〜110°)の静電気検知範囲Bを有している。プローブ5は、静電気検知範囲Bを遮るように接触したワークWの表面に対し、帯電した静電気量(電位)を検出する。なお、本実施形態においては、プローブ5が固定され、ワークW表面の一定範囲内に帯電した静電気量を測定しているが、プローブ5をXY方向に移動させるXY移動手段を備え、プローブ5をワークW表面上全体に走査させることで、ワークW表面全体の静電気量分布を測定しても良い。
スペーサ7は、アルミニウム等の金属によりドーナツ状に形成されている。また、スペーサ7の外周面は防液チューブ6の内面に接着等により固定される一方、内周面にプローブ5を固定している。これにより、防液チューブ6は、その先端部の内部にプローブ5をその軸心部に来るように保持している。
防液チューブ6は、導電性材料として、例えば、アルミニウムやステンレス等の金属パイプあるいは金属フレキシブルチューブで形成されている。また、防液チューブ6はケーブル4及びプローブ5を内蔵するように形成されており、これにより、飛散した液滴(洗浄液)がケーブル4及びプローブ5に付着せず、測定における誤検出、装置の誤作動等を防止している。さらに、防液チューブ6の先端部は、プローブ5の先端部から突出し、プローブ5の静電気検知範囲Bの近傍まで形成されており、これにより、プローブ5による測定を妨害することなく、防液チューブ6の先端部前方で飛散する液滴からプローブ5をプロテクトしている。またさらに、防液チューブ6はアースされており、帯電した電荷が除去される状態になされていることで、突出した防液チューブ6の先端がプローブ5の静電気検知範囲Bに入っていても、測定結果に影響を及ぼせないような構成に為されている。
次に、図2を参照して、本発明の第2実施形態に係る静電気測定装置1について、特に異なる部分を主に説明する。この実施形態において、防液チューブ6は、全体として液滴を通さないような樹脂系材料やゴム系材料で形成されており、例えば、ビニールホースで形成されている。
また、防液チューブ6の先端部には、アースされた導電性材料(例えば、アルミニウムやステンレス等)の筒体61が形成されている。なお、この筒体61を静電気検知範囲Bの円錐台形状に合わせて逆ロート状に形成しても良く、また、防液チューブの先端に当該筒体61を省略しても良く、すなわち、防液チューブ6の先端をプローブ5から突出する(静電気検知範囲Bの近傍まで)ように構成しても良い。しかしながら、本実施形態のように防液チューブ6の先端部にアースされた導電性材料の筒体61が形成されていることで、防液チューブ6の先端部に帯電した電荷が除去され、防液チューブ6の先端部がプローブ5の静電気検知範囲Bに入っていても、測定結果に影響を及ぼさないように構成されている。
また、防液チューブ6の先端部には、アースされた導電性材料(例えば、アルミニウムやステンレス等)の筒体61が形成されている。なお、この筒体61を静電気検知範囲Bの円錐台形状に合わせて逆ロート状に形成しても良く、また、防液チューブの先端に当該筒体61を省略しても良く、すなわち、防液チューブ6の先端をプローブ5から突出する(静電気検知範囲Bの近傍まで)ように構成しても良い。しかしながら、本実施形態のように防液チューブ6の先端部にアースされた導電性材料の筒体61が形成されていることで、防液チューブ6の先端部に帯電した電荷が除去され、防液チューブ6の先端部がプローブ5の静電気検知範囲Bに入っていても、測定結果に影響を及ぼさないように構成されている。
次に、図3を参照して、本発明の第3実施形態に係る静電気測定装置1について、特に異なる部分を主に説明する。この実施形態において、静電気測定装置1は、更に、防液チューブ6に接続された圧縮空気供給機構9を有している。
圧縮空気供給機構9は、防滴カバー2の外部において、圧縮空気を供給する空気圧縮装置(気体供給手段)91と、空気圧縮装置91と防液チューブ6とを接続する気体供給チューブ92と、気体供給チューブ6に介設されたエアーオペレートバルブ93と、で構成されている。
気体供給チューブ92は、防液チューブ6に形成された供給口に気密に接続されている(実際には、継手を介して接続されている)。また、スペーサ7には、圧縮空気を通すように周方向に複数の開口部が形成されている。そのため、エアーオペレートバルブ93が開放されると、空気圧縮装置91から供給された圧縮空気は、気体供給チューブ92から防液チューブ6の内部に流れ、スペーサ7の開口部を通って、最終的に、防液チューブ6の先端部に達し、排出される。これにより、飛散した液滴が防液チューブ6の先端部から内部に入り込むことを防止することができ、プローブ5に液滴が付着することを確実に防止するのができる。なお、圧縮空気の風量は、圧縮空気と各部材との摩擦帯電による測定の誤検出を防止するため、好ましくはチューブ径を25mm前後とした場合に0.4〜0.6(L/min)とする。また、気体供給チューブ92を、防液チューブ6内を通すようにして設け、その先端をスペーサ7の前方に開放するようにしても良い。
なお、図3中では、防液チューブ6として第1実施形態に用いられたものを使用しているが、第2実施形態に用いられたものを使用しても良い。
これらの構成によれば、飛散した液滴がケーブル4およびプローブ5に付着することを抑えることができる。そのため、静電気測定における誤検出、装置の誤作動を防止することができると共に、プローブ5の故障を防止することができる。
1:静電気測定装置、 2:防滴カバー、 3:表面電位計、 4:ケーブル、 5:プローブ、 6:防液チューブ、 7:スペーサ、 61:筒体、 91:空気圧縮装置、 92:気体供給チューブ、 A:液滴飛散雰囲気、 B:静電気検知範囲
Claims (5)
- 表面電位計、前記表面電位計に接続したケーブルおよび前記ケーブルの先端に設けたプローブから成る静電気測定装置の、前記表面電位計を防滴カバーの外部に設置し、前記ケーブルおよび前記プローブを前記防滴カバー内の液滴飛散雰囲気内に設置する静電気測定装置の設置構造において、
前記ケーブルおよび前記プローブを内包する防液チューブと、
前記防液チューブの先端部に設けられ、前記防液チューブの軸心部に前記プローブを保持するスペーサと、を備え、
前記プローブを飛散した液滴からプロテクトするように、前記防液チューブの先端を前記プローブ先端より突出させたことを特徴とする静電気測定装置の設置構造。 - 前記防液チューブの先端は、前記プローブの照射角近傍まで突出していることを特徴とする請求項1に記載の静電気測定装置の設置構造。
- 前記防液チューブが、導電性材料で形成されていることを特徴とする請求項1または2に記載の静電気測定装置の設置構造。
- 前記防液チューブの先端部が、アースされた導電性の筒体で構成されていることを特徴とする請求項1または2に記載の静電気測定装置の設置構造。
- 前記防液チューブには、気体供給手段に連なると共に、前記スペーサを通過して前記プローブの前方に飛散する液滴を吹き払うための気体を供給する気体供給チューブが接続されていることを特徴とする請求項1ないし4のいずれかに記載の静電気測定装置の設置構造。
Priority Applications (1)
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JP2006275699A JP2008096167A (ja) | 2006-10-06 | 2006-10-06 | 静電気測定装置の設置構造 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9285409B2 (en) | 2012-11-20 | 2016-03-15 | Samsung Display Co., Ltd. | Apparatus for inspecting static electricity of substrate and method of manufacturing substrate |
JP2021110732A (ja) * | 2019-12-30 | 2021-08-02 | 財團法人工業技術研究院Industrial Technology Research Institute | 静電感知システム及び静電感知アセンブリ |
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2006
- 2006-10-06 JP JP2006275699A patent/JP2008096167A/ja active Pending
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