JP2887744B2 - 静電気検知装置 - Google Patents
静電気検知装置Info
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- JP2887744B2 JP2887744B2 JP22131496A JP22131496A JP2887744B2 JP 2887744 B2 JP2887744 B2 JP 2887744B2 JP 22131496 A JP22131496 A JP 22131496A JP 22131496 A JP22131496 A JP 22131496A JP 2887744 B2 JP2887744 B2 JP 2887744B2
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、静電気を検出する
静電気検知装置に関する。
静電気検知装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】特公平７−１２９１号公報には、容器内
で流動する粉粒体の帯電電位を検出する装置が開示され
ている。この装置は、ガスで粉粒体を流動させる容器の
外面に電位センサを取り付け、この電位センサの検出部
を容器に設けられた窓孔に対向させ、この窓孔と電位セ
ンサとの間の板状の間隙にエアーを噴射して、垂直なエ
アーカーテンを形成するようにしたものである。
で流動する粉粒体の帯電電位を検出する装置が開示され
ている。この装置は、ガスで粉粒体を流動させる容器の
外面に電位センサを取り付け、この電位センサの検出部
を容器に設けられた窓孔に対向させ、この窓孔と電位セ
ンサとの間の板状の間隙にエアーを噴射して、垂直なエ
アーカーテンを形成するようにしたものである。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかし、この従来の装
置は、粉粒体が電位センサの検出部に接触するのをエア
ーカーテンにより防止しようとするものであるが、エア
ーカーテンは、容器の窓孔の背面に沿って流れるエアー
の層流であるため、容器からの粉粒体を逆に電位センサ
の検出部中に導入する事態も生じ、粉粒体が電位センサ
内に入り込んでセンサ本来の検出精度を保証できなくな
ってしまうことがあった。また、容器に窓孔を設けてそ
の外側に電位センサを取り付けるため、検出個所が限定
される問題点があった。
置は、粉粒体が電位センサの検出部に接触するのをエア
ーカーテンにより防止しようとするものであるが、エア
ーカーテンは、容器の窓孔の背面に沿って流れるエアー
の層流であるため、容器からの粉粒体を逆に電位センサ
の検出部中に導入する事態も生じ、粉粒体が電位センサ
内に入り込んでセンサ本来の検出精度を保証できなくな
ってしまうことがあった。また、容器に窓孔を設けてそ
の外側に電位センサを取り付けるため、検出個所が限定
される問題点があった。
【０００４】本発明の課題は、粉粒体等がセンサ内に入
り込むのを的確に防止して精度良く検出できるととも
に、検出個所が限定されなく、設置の取り扱いが容易な
静電気検知装置を提供することにある。
り込むのを的確に防止して精度良く検出できるととも
に、検出個所が限定されなく、設置の取り扱いが容易な
静電気検知装置を提供することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明による静電気検知
装置の特徴は、静電気検出電極及び検出回路を内蔵した
センサケースをプローブ内に収容して、センサケースの
先端部に設けられた検出孔をプローブの先端部に設けら
れた窓孔の近くに臨ませたこと、プローブの先端部の内
面とセンサケースの外面との間に、プローブの窓孔を開
口とする空隙を形成したこと、この空隙へプローブの内
側からエアー等の気体を供給して窓孔から噴出させる第
１の気体供給系と、センサケース内にエアー等の気体を
供給して検出孔から噴出させる第２の気体供給系とを設
けたことにある。
装置の特徴は、静電気検出電極及び検出回路を内蔵した
センサケースをプローブ内に収容して、センサケースの
先端部に設けられた検出孔をプローブの先端部に設けら
れた窓孔の近くに臨ませたこと、プローブの先端部の内
面とセンサケースの外面との間に、プローブの窓孔を開
口とする空隙を形成したこと、この空隙へプローブの内
側からエアー等の気体を供給して窓孔から噴出させる第
１の気体供給系と、センサケース内にエアー等の気体を
供給して検出孔から噴出させる第２の気体供給系とを設
けたことにある。
【０００６】このような構造にすると、静電気を検出す
るセンサ全体をプローブで保護した状態で検出個所に設
置でき、その周囲の静電気を、プローブの先端の窓孔及
びセンサケースの先端の検出孔を通じて検出できる。ま
た、プローブ内でセンサケースの先端部の外周に沿った
気体流を形成して、プローブの先端の窓孔から気体を噴
出できると同時に、プローブ内でセンサケースの先端の
検出孔からも気体を噴出できるので、粉粒体等が検出孔
からセンサケース内に流入するのを的確に防止できる。
るセンサ全体をプローブで保護した状態で検出個所に設
置でき、その周囲の静電気を、プローブの先端の窓孔及
びセンサケースの先端の検出孔を通じて検出できる。ま
た、プローブ内でセンサケースの先端部の外周に沿った
気体流を形成して、プローブの先端の窓孔から気体を噴
出できると同時に、プローブ内でセンサケースの先端の
検出孔からも気体を噴出できるので、粉粒体等が検出孔
からセンサケース内に流入するのを的確に防止できる。
【０００７】プローブの先端部の内面に凹部を設け、こ
の凹部中にセンサケースの先端部を挿入してこれら凹部
とセンサケースの先端部との間に空隙を形成すると、セ
ンサケースの検出孔を、プローブの先端外面に可及的に
接近させて検出性能を確保できる。プローブの先端を金
属製カバーで閉じ、このカバーに窓孔と凹部を設ける
と、プローブ先端部の帯電による精度低下を防止でき
る。
の凹部中にセンサケースの先端部を挿入してこれら凹部
とセンサケースの先端部との間に空隙を形成すると、セ
ンサケースの検出孔を、プローブの先端外面に可及的に
接近させて検出性能を確保できる。プローブの先端を金
属製カバーで閉じ、このカバーに窓孔と凹部を設ける
と、プローブ先端部の帯電による精度低下を防止でき
る。
【０００８】
【発明の実施の形態】次に、本発明の実施の形態を図面
に基づいて詳述する。
に基づいて詳述する。
【０００９】本実施例の静電気検知装置は、図１に外観
を示すように、円筒形のプローブ１をフレックスパイプ
２の先端に接続ナット３により連結保持し、フレックス
パイプ２を屈曲させることにより、プローブ１を任意の
方向に指向させることができるようになっている。
を示すように、円筒形のプローブ１をフレックスパイプ
２の先端に接続ナット３により連結保持し、フレックス
パイプ２を屈曲させることにより、プローブ１を任意の
方向に指向させることができるようになっている。
【００１０】プローブ１は、図２に示すように、後筒４
と、これより小径でその先端部内に嵌合固定した前筒５
と、この前筒５の先端部内に嵌合固定してその先端開口
を閉じたカバー６とでプローブ本体７とし、このプロー
ブ本体７内にセンサ８を収容保持したものである。後筒
４、前筒５及びカバー６はいずれも金属製である。カバ
ー６には、その内面に円形の凹部９が設けられていると
ともに、この凹部９の中央から外面に開口する円形の窓
孔１０が設けられている。前筒５には中筒１１が設けら
れている。この中筒１１は鍔部１２により前筒５と一体
になっている。この鍔部１２の前面とカバー６の内面と
の間には空隙１３が形成されている。
と、これより小径でその先端部内に嵌合固定した前筒５
と、この前筒５の先端部内に嵌合固定してその先端開口
を閉じたカバー６とでプローブ本体７とし、このプロー
ブ本体７内にセンサ８を収容保持したものである。後筒
４、前筒５及びカバー６はいずれも金属製である。カバ
ー６には、その内面に円形の凹部９が設けられていると
ともに、この凹部９の中央から外面に開口する円形の窓
孔１０が設けられている。前筒５には中筒１１が設けら
れている。この中筒１１は鍔部１２により前筒５と一体
になっている。この鍔部１２の前面とカバー６の内面と
の間には空隙１３が形成されている。
【００１１】センサ８は、角筒状の金属製センサケース
１４内に静電気検出電極及び検出回路を内蔵した振動容
量型又はチョッパ型であり、公知のように、測定対象と
静電気検出電極との間の静電容量を、圧電音叉等の機械
的手段により周期的に変化させて静電気検出電極上に周
期的に変化する電荷を誘起させ、この電荷の移動によっ
て生ずる電流を検出回路で電圧に変換して信号を出力す
る。
１４内に静電気検出電極及び検出回路を内蔵した振動容
量型又はチョッパ型であり、公知のように、測定対象と
静電気検出電極との間の静電容量を、圧電音叉等の機械
的手段により周期的に変化させて静電気検出電極上に周
期的に変化する電荷を誘起させ、この電荷の移動によっ
て生ずる電流を検出回路で電圧に変換して信号を出力す
る。
【００１２】センサケース１４は、中筒１１中を貫通さ
せて止め金具１５により中筒１１に固定されている。中
筒１１の前後端には、センサケース１４との間隙を前後
で閉じるパッキン１６が設けられている。センサケース
１４の先端部は、カバー６の凹部９中に突入して、この
凹部９の内面との間に空隙１７を形成している。この空
隙１７は、後端が上記空隙１３に連続し、また窓孔１０
によりカバー６外に開口している。センサケース１４の
先端には、カバー６の窓孔１０よりも小さい検出孔１８
（図３）が設けられている。この検出孔１８は窓孔１０
の近くに位置しており、センサ８による静電気の検出
は、これら検出孔１８及び窓孔１０を通じて行われる。
せて止め金具１５により中筒１１に固定されている。中
筒１１の前後端には、センサケース１４との間隙を前後
で閉じるパッキン１６が設けられている。センサケース
１４の先端部は、カバー６の凹部９中に突入して、この
凹部９の内面との間に空隙１７を形成している。この空
隙１７は、後端が上記空隙１３に連続し、また窓孔１０
によりカバー６外に開口している。センサケース１４の
先端には、カバー６の窓孔１０よりも小さい検出孔１８
（図３）が設けられている。この検出孔１８は窓孔１０
の近くに位置しており、センサ８による静電気の検出
は、これら検出孔１８及び窓孔１０を通じて行われる。
【００１３】センサケース１４の後端には共用ホース１
９が接続されている。この共用ホース１９は、図１に示
すようにフレックスパイプ２外において、分岐ジョイン
ト２０によりケーブル２１とエアーホース２２とに接続
され、センサケース１４内の検出回路を外部電気機器と
接続するための電気配線と、センサケース１４内にエア
ーを供給する配管とを兼ねている。
９が接続されている。この共用ホース１９は、図１に示
すようにフレックスパイプ２外において、分岐ジョイン
ト２０によりケーブル２１とエアーホース２２とに接続
され、センサケース１４内の検出回路を外部電気機器と
接続するための電気配線と、センサケース１４内にエア
ーを供給する配管とを兼ねている。
【００１４】また、図２に示すように、中筒１１の鍔部
１２には貫通孔２３が設けられ、この貫通孔２３に、エ
アー供給パイプ２４が先端部をねじ込んで接続されてい
る。このエアー供給パイプ２４には、フレックスパイプ
２内において、ソケット２５や継手２６や可撓性チュー
ブ２７等を介してエアーホース２８が接続されている。
このエアーホース２８は、図１に示すように、フレック
スパイプ２外において、分岐ジョイント２９により上記
エアーホース２２と共に共通エアーホース３０に接続さ
れており、エアーホース２２を通じてセンサケース１４
内にエアーが供給されると同時に、エアーホース２８及
び空隙１３・１７にもエアーが供給される。
１２には貫通孔２３が設けられ、この貫通孔２３に、エ
アー供給パイプ２４が先端部をねじ込んで接続されてい
る。このエアー供給パイプ２４には、フレックスパイプ
２内において、ソケット２５や継手２６や可撓性チュー
ブ２７等を介してエアーホース２８が接続されている。
このエアーホース２８は、図１に示すように、フレック
スパイプ２外において、分岐ジョイント２９により上記
エアーホース２２と共に共通エアーホース３０に接続さ
れており、エアーホース２２を通じてセンサケース１４
内にエアーが供給されると同時に、エアーホース２８及
び空隙１３・１７にもエアーが供給される。
【００１５】従って、センサケース１４の先端部の回り
の空隙１３・１７を通って窓孔１０からエアーが噴出さ
れると同時に、センサケース１４内に供給されたエアー
が検出孔１８から噴出される。この場合、窓孔１０から
の噴出圧よりも検出孔１８からの噴出圧の方が高くなる
ため、空隙１７に入ったエアーが検出孔１８へ逆流する
ことはない。
の空隙１３・１７を通って窓孔１０からエアーが噴出さ
れると同時に、センサケース１４内に供給されたエアー
が検出孔１８から噴出される。この場合、窓孔１０から
の噴出圧よりも検出孔１８からの噴出圧の方が高くなる
ため、空隙１７に入ったエアーが検出孔１８へ逆流する
ことはない。
【００１６】本実施例の静電気検知装置は上記のような
構造であるため、例えば粉粒体が流動する容器や管路の
側壁にプローブ１を取り付け、窓孔１０を容器や管路の
内部に指向させた場合には、センサ８で静電気を検出す
ることにより、粉粒体の静電気による側壁周囲の電界を
測定することができる。この場合、上記のようにプロー
ブ本体７の先端の窓孔１０からエアーが噴出されるの
で、プローブ本体７内に粉粒体や塵埃が流入するのを防
止（エアーパージ）できるとともに、これと同時にセン
サケース１４の先端の検出孔１８からもエアーが噴出さ
れるので、検出孔１８に対しては粉粒体や塵埃の流入を
二重に防止（二重にエアーパージ）できる。また、エア
ー供給パイプ２４から空隙１３に入ったエアーは、セン
サケース１４の先端部の回りの空隙１７を通ってから窓
孔１０より噴出されるので、センサケース１４の先端部
の外面への粉粒体や塵埃の付着も防止できる。
構造であるため、例えば粉粒体が流動する容器や管路の
側壁にプローブ１を取り付け、窓孔１０を容器や管路の
内部に指向させた場合には、センサ８で静電気を検出す
ることにより、粉粒体の静電気による側壁周囲の電界を
測定することができる。この場合、上記のようにプロー
ブ本体７の先端の窓孔１０からエアーが噴出されるの
で、プローブ本体７内に粉粒体や塵埃が流入するのを防
止（エアーパージ）できるとともに、これと同時にセン
サケース１４の先端の検出孔１８からもエアーが噴出さ
れるので、検出孔１８に対しては粉粒体や塵埃の流入を
二重に防止（二重にエアーパージ）できる。また、エア
ー供給パイプ２４から空隙１３に入ったエアーは、セン
サケース１４の先端部の回りの空隙１７を通ってから窓
孔１０より噴出されるので、センサケース１４の先端部
の外面への粉粒体や塵埃の付着も防止できる。
【００１７】また、特に図の例では、金属製カバー６に
凹部９を設け、この凹部９にセンサケース１４の先端部
を突入させて空隙１７を形成しているので、センサ８を
保護するためにプローブ本体７内に収容していても、検
出孔１８を窓孔１０に出来るだけ近づけてセンサ８の検
出性能を確保できる。
凹部９を設け、この凹部９にセンサケース１４の先端部
を突入させて空隙１７を形成しているので、センサ８を
保護するためにプローブ本体７内に収容していても、検
出孔１８を窓孔１０に出来るだけ近づけてセンサ８の検
出性能を確保できる。
【００１８】なお、以上の実施例では、プローブ１をフ
レックスパイプ２の先端に連結保持したが、プローブ１
を独立して支持できるようにしても良い。また、エアー
を使用できない環境下では、エアーに代えて窒素ガス等
のガスを噴射しても良い。本発明の静電気検知装置は、
粉粒体の静電気による電界を測定するのに好適ではある
が、流動物（固体・液体・気体の如何を問わない）自体
の静電気又はそれによる静電気を、その流入を防止しな
がら検出する場合に広範に使用でき、また測定しようと
する静電気の量が電位や電荷量等であっても、改造を要
することなく適用できる。
レックスパイプ２の先端に連結保持したが、プローブ１
を独立して支持できるようにしても良い。また、エアー
を使用できない環境下では、エアーに代えて窒素ガス等
のガスを噴射しても良い。本発明の静電気検知装置は、
粉粒体の静電気による電界を測定するのに好適ではある
が、流動物（固体・液体・気体の如何を問わない）自体
の静電気又はそれによる静電気を、その流入を防止しな
がら検出する場合に広範に使用でき、また測定しようと
する静電気の量が電位や電荷量等であっても、改造を要
することなく適用できる。
【００１９】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、次
のような効果がある。 静電気を検出するセンサ全体をプローブで保護した
状態で、任意の検出個所に設置でき、しかもその取り扱
いが容易である。 プローブ内でセンサケースの先端部の外周に沿った
気体流を形成して、プローブの先端の窓孔から気体を噴
出すると同時に、プローブ内でセンサケースの先端の検
出孔からも気体を噴出するので、粉粒体等が検出孔から
センサケース内に流入するのを的確に防止して、精度良
く検出できる。 センサケースの先端部の外面への粉粒体や塵埃の付
着も防止できる。
のような効果がある。 静電気を検出するセンサ全体をプローブで保護した
状態で、任意の検出個所に設置でき、しかもその取り扱
いが容易である。 プローブ内でセンサケースの先端部の外周に沿った
気体流を形成して、プローブの先端の窓孔から気体を噴
出すると同時に、プローブ内でセンサケースの先端の検
出孔からも気体を噴出するので、粉粒体等が検出孔から
センサケース内に流入するのを的確に防止して、精度良
く検出できる。 センサケースの先端部の外面への粉粒体や塵埃の付
着も防止できる。
【００２０】請求項２に係る発明によれば、上記の効果
に加え、センサケースの検出孔を、プローブの先端外面
に可及的に接近させて検出性能を確保できる。請求項３
に係る発明によれば、プローブ先端部の帯電による精度
低下を防止できる。
に加え、センサケースの検出孔を、プローブの先端外面
に可及的に接近させて検出性能を確保できる。請求項３
に係る発明によれば、プローブ先端部の帯電による精度
低下を防止できる。
【図１】本発明の一実施例の静電気検知装置の外観側面
図である。
図である。
【図２】同静電気検知装置の断面図である。
【図３】プローブの正面図である。
１ プローブ ２ フレックスパイプ ６ カバー ７ プローブ本体 ８ センサ ９ 凹部 １０ 窓孔 １３ 空隙 １４ センサケース １７ 空隙 １８ 検出孔 １９ 共用ホース ２２ エアーホース ２４ エアー供給パイプ ２８ エアーホース
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 鈴木 憲史 千葉県千葉市中央区仁戸名町480−158 (72)発明者 山田 敏雄 東京都台東区下谷２−24−１−801 (72)発明者 鈴木 輝夫 東京都江東区大島６−１−７−905 (72)発明者 伊藤 義弘 東京都練馬区北町３丁目10番18号 不二 パウダル株式会社 東京支店内 (56)参考文献 実開 昭63−25379（ＪＰ，Ｕ) 特公 平７−1291（ＪＰ，Ｂ２) 実公 平６−18362（ＪＰ，Ｙ２) (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) G01R 29/24 G01N 27/60
Claims (3)
- 【請求項１】静電気検出電極及び検出回路を内蔵したセ
ンサケースをプローブ内に収容して、センサケースの先
端部に設けられた検出孔をプローブの先端部に設けられ
た窓孔の近くに臨ませ、プローブの先端部の内面とセン
サケースの外面との間に、前記窓孔を開口とする空隙を
形成し、またこの空隙へプローブの内側からエアー等の
気体を供給して前記窓孔から噴出させる第１の気体供給
系と、前記センサケース内にエアー等の気体を供給して
前記検出孔から噴出させる第２の気体供給系とを設けた
ことを特徴とする静電気検知装置。 - 【請求項２】プローブの先端部の内面に凹部を設け、こ
の凹部中にセンサケースの先端部を挿入してこれら凹部
とセンサケースの先端部との間に空隙を形成したことを
特徴とする請求項１に記載の静電気検知装置。 - 【請求項３】プローブの先端を金属製カバーで閉じ、こ
のカバーに窓孔と凹部を設けたことを特徴とする請求項
２に記載の静電気検知装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22131496A JP2887744B2 (ja) | 1996-08-22 | 1996-08-22 | 静電気検知装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22131496A JP2887744B2 (ja) | 1996-08-22 | 1996-08-22 | 静電気検知装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1062471A JPH1062471A (ja) | 1998-03-06 |
| JP2887744B2 true JP2887744B2 (ja) | 1999-04-26 |
Family
ID=16764866
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22131496A Expired - Fee Related JP2887744B2 (ja) | 1996-08-22 | 1996-08-22 | 静電気検知装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2887744B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3240470B2 (ja) | 1998-04-16 | 2001-12-17 | 春日電機株式会社 | 静電気測定装置 |
| CN108982922B (zh) * | 2018-10-08 | 2024-04-30 | 华博研创电子科技(江苏)有限公司 | 一种用于晶圆生产环境的静电检测装置 |
-
1996
- 1996-08-22 JP JP22131496A patent/JP2887744B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH1062471A (ja) | 1998-03-06 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |