JP7431094B2 - 圧力センサ - Google Patents
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Description
図2において、圧力センサは、圧力が検出されるべき流体が導かれる配管に接続される継手部材30と、継手部材30のベースプレート28に連結され後述するセンサユニットを収容しセンサチップからの検出出力信号を所定の圧力測定装置に供給するセンサユニット収容部と、を含んで構成されている。
これにより、ハウジング12の内周面と放電用端子としての接地用端子40´ai(GND)との間の相互間距離L1が、ハウジング12の内周面と他の複数の端子40aiとの間の相互間距離L2よりも小となる。
12´P 張出部
13 液封室
14 ハーメチックガラス
16 センサチップ
17 電位調整部材
30 継手部材
32 ダイヤフラム
36、46 接続端子
40ai 入出力端子群
40ai(GND) 接地用端子
40´ai(GND) 接地用端子
46Ga 延在部
GND1 アース
Claims (9)
- 圧力伝達媒体が満たされ圧力を検出し検出出力信号を送出するセンサチップが配される液封室を形成する金属製のダイヤフラムを支持するとともに、前記センサチップに電気的に接続される入出力端子群を、絶縁部材を介して内側に支持する導電性ハウジングを含んでなるセンサユニットと、
前記センサチップの信号処理電子回路を迂回して形成され、前記入出力端子群のうち、他の端子よりも前記導電性ハウジングとの絶縁破壊電圧が低い放電用端子と、
前記入出力端子群と前記導電性ハウジングとの間に印加された静電気を前記導電性ハウジングに対し放電する放電部を介してアースに逃がす放電経路と、
を具備し、
前記導電性ハウジングと前記放電用端子との最小の距離は、前記導電性ハウジングと前記他の端子との最小の距離よりも小であるように構成される圧力センサ。 - 前記放電用端子が、前記入出力端子群のうちの接地用端子であることを特徴とする請求項1記載の圧力センサ。
- 前記放電用端子が、前記入出力端子群のうちの駆動電圧用端子であることを特徴とする請求項1記載の圧力センサ。
- 前記放電経路が、絶縁距離によって絶縁破壊電圧を低くしたことにより形成されることを特徴とする請求項1記載の圧力センサ。
- 前記液封室内における前記センサチップの一方の端面と前記ダイヤフラムとの間に配され、該センサチップの信号処理電子回路部に作用する電界を遮断し、前記センサチップの前記信号処理電子回路のグランド部と同一の電位とされる電位調整部材を、さらに備えることを特徴とする請求項1記載の圧力センサ。
- 前記放電部が、前記電位調整部材と前記ダイヤフラムとの間に前記圧力伝達媒体を介して形成されることを特徴とする請求項5記載の圧力センサ。
- 前記放電部が、前記導電性ハウジングの内側に配される接地用端子と前記導電性ハウジングとの間に形成されることを特徴とする請求項2記載の圧力センサ。
- 前記放電部が、前記導電性ハウジングの上端部の一部に形成される張出部と前記接地用端子との間に形成されることを特徴とする請求項2記載の圧力センサ。
- 前記放電部が、前記導電性ハウジングの上端面と接地用接続端子の延在部との間に形成されることを特徴とする請求項2記載の圧力センサ。
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