JP7133724B2 - プラズマ発生装置、およびプラズマ処理方法 - Google Patents
プラズマ発生装置、およびプラズマ処理方法 Download PDFInfo
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Description
Claims (5)
- 処理ガスをプラズマ化させるための反応室が形成された装置本体と、
前記反応室に接続する少なくとも一つの排出通路と、
前記少なくとも一つの排出通路に接続する拡散室と、
前記拡散室に接続する複数の噴出通路であって、それら複数の噴出通路のうちの少なくとも一つの噴出通路の前記拡散室への開口にテーパ面が形成された前記反応室においてプラズマ化されたプラズマガスを噴出する複数の噴出通路と、
を備え、
前記複数の噴出通路の全ての噴出通路の前記拡散室への開口にテーパ面が形成されず、前記複数の噴出通路のうちの一部の噴出通路の前記拡散室への開口にテーパ面が形成されたプラズマ発生装置。 - 処理ガスをプラズマ化させるための反応室が形成された装置本体と、
前記装置本体に装着され、前記反応室においてプラズマ化されたプラズマガスを噴出するノズルと、
を備え、
前記装置本体は、
前記反応室においてプラズマ化されたプラズマガスを前記装置本体の外部に排出するための排出通路を有し、
前記ノズルは、
前記排出通路の前記装置本体の外壁面への開口を覆うように形成される拡散室と、
前記拡散室を経由してプラズマガスを噴出するための複数の噴出通路であって、それら複数の噴出通路のうちの1以上の噴出通路の前記拡散室への開口にテーパ面が形成された前記反応室においてプラズマ化されたプラズマガスを噴出する複数の噴出通路と、
を有し、
前記複数の噴出通路の全ての噴出通路の前記拡散室への開口にテーパ面が形成されず、前記複数の噴出通路のうちの一部の噴出通路の前記拡散室への開口にテーパ面が形成されたプラズマ発生装置。 - 前記ノズルに複数の噴出通路が1列に並んで形成されており、
前記テーパ面が、前記複数の噴出通路の1列に並ぶ方向での中央を中心として対称的に位置するように形成された請求項2に記載のプラズマ発生装置。 - 前記ノズルが、
前記装置本体に相対的に移動不能に装着された請求項2または請求項3に記載のプラズマ発生装置。 - 処理ガスをプラズマ化させるための反応室が形成された装置本体と、
前記装置本体に装着され、前記反応室においてプラズマ化されたプラズマガスを噴出するノズルと、
を備え、
前記装置本体は、
前記反応室においてプラズマ化されたプラズマガスを前記装置本体の外部に排出するための排出通路を有し、
前記ノズルは、
前記排出通路の前記装置本体の外壁面への開口を覆うように形成される拡散室と、
前記拡散室を経由してプラズマガスを噴出するための複数の噴出通路であって、それら複数の噴出通路のうちの1以上の噴出通路の前記拡散室への開口にテーパ面が形成された前記反応室においてプラズマ化されたプラズマガスを噴出する複数の噴出通路と、
を有し、
前記複数の噴出通路の全ての噴出通路の前記拡散室への開口にテーパ面が形成されず、前記複数の噴出通路のうちの一部の噴出通路の前記拡散室への開口にテーパ面が形成されたプラズマ発生装置において、
前記複数の噴出通路から噴出されるプラズマガスを被処理体に照射するプラズマ処理方法。
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