JP2015144078A - 大気圧プラズマ発生装置 - Google Patents
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Abstract
Description
図1に、本発明の実施例の大気圧プラズマ発生装置10を示す。大気圧プラズマ発生装置10は、大気圧下でプラズマを発生させるための装置である。大気圧プラズマ発生装置10は、躯体20を有しており、躯体20は、第1躯体部22と第2躯体部24と第3躯体部26とによって構成されている。第1躯体部22には、圧縮ガス流路30と冷却ガス流路32と高温ガス流路34とが形成されている。圧縮ガス流路30の一端部は、第1躯体部22の上面に開口し、冷却ガス流路32および高温ガス流路34の一端部は、第1躯体部22の下面に開口する。また、圧縮ガス流路30、冷却ガス流路32および、高温ガス流路34の他端部は、第1躯体部22の内部に配設されたボルテックスチューブ36に接続されている。
大気圧プラズマ発生装置10は、上述した構成により、反応室70内に供給されたガスに、電圧を印加することで、ガスをプラズマ化させる。そして、吹出口78からプラズマを吹き出すことで、被処理体に対してプラズマ処理を施す。具体的に、大気圧プラズマ発生装置10によるプラズマの発生について以下に、詳しく説明する。
Claims (3)
- 処理ガスを冷却するガス冷却器と、
前記ガス冷却器によって冷却された処理ガスを加温するガス加温器と、
前記ガス加温器によって加温された処理ガスが吹き込まれる反応室と、
前記反応室内に吹き込まれた処理ガスをプラズマ化するプラズマ発生器と、
前記プラズマ発生器によって発生されたプラズマを前記反応室から吹き出すための吹出口と、
前記吹出口から吹き出されるプラズマの温度を測定する測定器と、
前記測定器によって測定されたプラズマの温度に基づいて、前記ガス加温器の作動を制御することで、前記反応室に吹き込まれる処理ガスの温度を調整する制御装置と
を備えることを特徴とする大気圧プラズマ発生装置。 - 前記ガス冷却器が、ボルテックスチューブであることを特徴とする請求項1に記載の大気圧プラズマ発生装置。
- 前記ガス加温器が、
前記ガス冷却器から排出される高温の処理ガスを利用して、前記ガス冷却器によって冷却された処理ガスを加温することを特徴とする請求項1または請求項2に記載の大気圧プラズマ発生装置。
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