JP2002110576A - 熱処理装置及びその方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 熱処理装置を強制空冷するときに放出される
熱排気を空冷するにあたって、水冷について省エネルギ
ー化を図ると共に、冷却水の流れを止めたときのウォー
タハンマ現象を緩和すること。 【解決手段】 通水路に上流側から順に、熱排気を水冷
するための熱交換器と、当該冷却水の通水を停止するた
めの開閉手段を設ける。開閉手段は空気の圧力により弁
の開閉を調節するエアオペレートバルブを有し、例えば
開閉手段に制御部からの閉じ指令が送られると、エアオ
ペレートバルブを開状態に保つために空気供給源から送
られてきている加圧空気が遮断され、またスピードコン
トローラは予め設定された０．５秒以上の時間をかけて
徐々に弁が閉まるように前記エアオペレートバルブから
の空気の逃がし量を制御する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は半導体ウエハ等の半
導体基板に対して熱処理を行う熱処理装置及びその方法
に関する。

【０００２】

【従来の技術】半導体製造装置の一つに多数枚の半導体
ウエハ（以下ウエハという）を一括して処理する縦型熱
処理装置がある。この装置はウエハボートと呼ばれる保
持具に多数枚のウエハを棚状に保持させ、その後例えば
抵抗発熱体からなるヒータを備えた縦型の熱処理炉内に
前記保持具を例えば下方側から搬入し、処理雰囲気を所
定の温度の加熱雰囲気にして、熱処理を行うものであ
る。熱処理としては例えばＣＶＤ処理、拡散処理及び酸
化処理などが挙げられ、熱処理炉はＣＶＤ処理では例え
ば５００〜８００℃程度、酸化・拡散処理では例えば８
００℃以上に加熱される。

【０００３】ところでこの装置においては、例えば同一
の熱処理炉にて例えば１０００℃のプロセスを行った後
に、次は８００℃のプロセスを行うような場合や、或い
は例えば１０００℃のプロセスを行った後に７００℃程
度まで降温してウエハボートをアンロードする場合など
があり、このような場合にスループットを向上させるた
め、例えば図８に示すような空冷ユニットを利用する場
合がある。

【０００４】図中、１１は熱処理炉であり、その内部に
導入ファン１２から取りこんだ空気を流すことで炉内温
度を下げるように構成されている。前記熱処理炉１１か
ら排出される熱排気はかなりの高温であるため、先ず水
冷ダクト（第１の熱交換部）１３にて冷却され、更にユ
ニット内の熱交換器（第２の熱交換部）１４にて工場排
気側に放出可能な温度まで冷却され、排気ファン１５を
介して放出される。冷却ダクト１３及び熱交換器１４は
共に水冷式の冷却手段であり、夫々が冷却水の導入及び
排出を行う配管と接続されている。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】ところで上述装置にお
いては熱処理炉１１の強制冷却の有無に拘らず、常時水
冷ダクト１３及び熱交換器１４への冷却水の通水が行わ
れている。これは水の供給を止めた場合に圧力の高い水
流が急激に停止して行き場がなくなり、閉じられた水路
内を逆流しようとし次いで進行しようとするため、こう
したことが繰り返されることにより配管内の水圧が上昇
してしまう、いわゆるウォータハンマ現象が起こり、し
かも冷却水を冷却するチラーユニットは例えば工場内の
外に設けられていて配管が長くなっているため、すなわ
ち水の全重量が大きくなる為、非常に強いウォータハン
マ現象が生じてしまうからである。従って常時通水を行
うのは、係る現象により配管内の水圧が高くなり配管、
熱交換器１４或いはポンプなどの機器が破壊されてしま
うことを抑えるための必要な措置であった。

【０００６】しかしながら、実際のところ上述熱処理装
置における水冷に必要な時間は短いため、水が無駄に使
われているのが現状であり、冷却水使用量を抑えた省エ
ネルギー化の立場に立った運用が求められていた。

【０００７】本発明はこのような事情に基づいてなされ
たものであり、その目的は強制空冷機能を備えた熱処理
装置において、熱排気を冷却するための冷却水を止めた
ときに通水路内で生じる衝撃（ウォータハンマ現象）を
緩和して、空冷時にのみ冷却水を通流することができる
ようにして冷却水の使用量を抑えることにある。

【０００８】

【課題を解決するための手段】請求項１の発明にかかる
熱処理装置は、被処理体を熱処理するための熱処理炉
と、この熱処理炉内を空冷して降温するための通気路を
備えた空冷手段と、前記通気路から放出される熱排気を
冷却するための水冷手段と、この水冷手段に冷却水を通
流するための通水路と、この通水路に介設され、通水路
を閉じ始めてから閉じ終わるまでの時間が０．５秒以上
かかるように構成された開閉手段と、前記処理容器の空
冷を行わないときに前記開閉手段を閉じるための信号を
出力する制御部と、を備えることを特徴とする。前記開
閉手段は、例えば空気の圧力により弁を閉じるエアオペ
レートバルブと、このエアオペレートバルブへ空気を供
給するための空気供給路と、この空気供給路に介設さ
れ、前記エアオペレートバルブに送る空気の流速を調節
するスピードコントローラと、を備えた構成とすること
ができる。

【０００９】この発明によれば、冷却水の通水路内で生
じる衝撃（ウォータハンマ現象）を緩和することができ
る。このため任意のタイミングで通水路を閉じることが
できるから、強制空冷を行う時だけ冷却水を通流すると
いうシーケンスを組むことができ、前記冷却水の使用量
を抑えることができる。

【００１０】また次の発明においても同様な効果が得ら
れる。即ち他の発明は、前記通水路を閉じるための開閉
手段と、前記通水路の途中に設けられ、前記開閉手段を
閉じたときの衝撃による水圧の上昇を緩和するために気
体を封入した容器からなる蓄圧器と、を備えた構成であ
る。

【００１１】更に他の発明は、被処理体を熱処理するた
めの熱処理炉と、この熱処理炉内を空冷して降温するた
めの通気路を備えた空冷手段と、前記通気路から放出さ
れる熱排気を冷却するための水冷手段と、この水冷手段
に冷却水を通流するための通水路と、この通水路におけ
る前記水冷手段の上流側及び下流側に夫々介設される第
１のバルブ及び第２のバルブと、冷却水の通流を停止す
る際に第１のバルブの弁を閉じ、これと同時またはすぐ
後に第２のバルブを閉じる制御を行う制御部と、を備え
た構成である。

【００１２】更にまた本発明は、方法についても成立す
るものであり、その方法は、被処理体を熱処理炉内に搬
入して熱処理を行う工程と、その後前記熱処理炉内に空
気を供給して空冷を行う工程と、前記熱処理炉から熱を
奪って昇温した熱排気を冷却するため、空冷開始時に水
冷手段に冷却水の通流を行う工程と、前記加熱炉の空冷
終了時に前記冷却水の通流路を０．５秒以上の時間をか
けて閉じる工程と、を有することを特徴とする。

【００１３】

【発明の実施の形態】図１は本発明に係る熱処理装置の
実施の形態の全体構成を示す概略説明図である。この熱
処理装置は縦型の熱処理炉２と、この熱処理炉２を空冷
するための冷却系とに大別することができるが、先ず熱
処理炉２側から説明を行う。図中２１は例えば二重管構
造をなす石英製の処理容器であり、下端に開口部２２が
形成されている。この処理容器２１は被処理体であるウ
エハＷの熱処理雰囲気を形成するものであり、このウエ
ハＷはウエハボート２３に棚状に保持されて、昇降自在
なボートエレベータ２４により前記開口部２２から処理
容器２１内に搬入される構成とされている。またボート
エレベータ２４の上方には蓋体２５が設けられており、
前記開口部２２を塞ぐことができるようになっている。

【００１４】処理容器２１の周囲にはこれを取り囲むよ
うに断熱体２６が設けられており、その内壁面には例え
ば抵抗加熱体からなるヒータ２７が設けられている。処
理容器２１と断熱体２６との間に形成される隙間２０は
前記処理容器２１を空冷するための通気路をなすもので
あり、後述する風路部材３１から供給される空気がこの
隙間２０を通って断熱体２６の天井部に形成される排気
孔２８へ流れるようになっている。

【００１５】次に冷却系について説明すると、熱処理炉
２の下部側には、先端が隙間２０の下部側に開口する風
路部材３１が設けられている。この風路部材３１は通気
量を調節するためのエアダンパ３２を備え、配管３ａを
介して接続される導入ファン３３から外気を取りこむと
共に前記隙間２０内に送風を行うように構成されてい
る。そして隙間２０の上部側に形成されている排気孔２
８は、配管３ｂを介して排気ファン３４に接続されてお
り、この配管３ｂの排気孔２８はエアシリンダ３５によ
り駆動されるシャッタ３５ａにより開閉されるように構
成されている。上述した導入ファン３３から排気ファン
３４に至る各部は熱処理炉２を空冷する空冷手段をなす
ものである。

【００１６】配管３ｂには熱処理炉２にて熱せられた高
温空気（熱排気）を水冷する第１の熱交換部である水冷
ダクト３６及び第２の熱交換部である熱交換器３７が介
設されている。水冷ダクト３６は本装置の作業者が配管
３ｂに触れたときに火傷しないようにするため、またク
リーンルームへの放熱量を少なくするためのものであ
り、熱処理炉２の近傍に設けられる。一方の熱交換器３
７は例えば上述した熱排気の大気への放出温度を低くす
るためのものであり、例えば上述した導入ファン３３及
び排気ファン３４と共に熱処理炉２から離れて設けられ
た冷却ユニット３内に設けられる。これら水冷ダクト３
６及び熱交換器３７は水冷手段をなすものである。

【００１７】この冷却ユニット３内に設けられる導入フ
ァン３３、排気ファン３４及び後述する開閉手段５と、
熱処理炉２側に設けられた既述のエアダンパ３２及びエ
アシリンダ３５とは制御部６と接続されており、制御部
６は所定のシーケンスプログラムにより各部の制御を行
うように構成されている。

【００１８】前記水冷ダクト３６及び熱交換器３７は、
通水路４１を流れる冷却水により熱排気を冷却するよう
に構成されており、以下にこの冷却水の水路に関して図
１及び図２を参照しながら説明する。通水路４１は図示
しない冷却水供給源に接続され、冷却ユニット３内にお
いてボールバルブＶ１が設けられ、このボールバルブＶ
１の下流側にて第１の分岐路４２及び第２の分岐路４３
に分岐している。第１の分岐路４２には流量計ｍ１及び
熱交換器３７が介設され、第２の分岐管４３には流量計
ｍ２及び水冷ダクト３６が介設されており、これら第１
の分岐路４２及び第２の分岐路４３は夫々の下流側にて
合流している。なお第１の分岐路４２における流量計ｍ
１と熱交換器３７との間にはドレイン管４４が分岐して
設けられており、このドレイン管４４は、逆止弁Ｖ３を
介して冷却ユニット３の外部側へと配管されている。

【００１９】上述した第１の分岐路４２と第２の分岐路
４３との合流点Ｘ１の下流側には、前記制御部６からの
閉信号に基づいて水路を閉じるように構成された開閉手
段５及びボールバルブＶ２が介設されており、通水路４
１はボールバルブＶ２の下流側にて冷却ユニット３の外
部へ冷却水を放出する構成となっている。

【００２０】前記開閉手段５は、図示しない空気供給源
から延びる空気供給路５ａと、通水路４１に介設され、
空気の供給速度に応じて弁（図示せず）の閉速度がコン
トロールされるエアオペレートバルブ５１と、前記空気
供給源から供給される高圧空気を減圧するための圧力調
整部５２と、エアオペレートバルブ５１の閉動作時に使
用される図示しない空気放出弁及び圧力調整部５２によ
り減圧された空気の給断を行う開閉手段を備える電磁バ
ルブ５３と、前記エアオペレートバルブ５１に対する空
気の供給速度（流速）を調節し、これにより弁が所定の
速度（所要時間）で閉じるようにコントロールするつま
り空気の逃がし量を調整するスピードコントローラ５４
とから構成されており、例えばエアオペレートバルブ５
１の弁を閉じ始めてから閉じ終わるまでの時間は１秒程
度となるように設定されている。

【００２１】なおエアオペレートバルブ５１の図示しな
い弁は例えばバネよりなる図示しない付勢手段により閉
じる（冷却水が通流していない）方向に付勢されてお
り、エアオペレートバルブ５１に空気の供給が行われ
て、前記付勢手段の付勢する方向に抗して空気の圧力が
加わることで開くように構成されている。

【００２２】また空気供給路５ａにおけるスピードコン
トローラ５４が設けられている部位には、当該スピード
コントローラ５４を迂回する迂回路５ｂが設けられてお
り、逆止弁５５が介設されている。

【００２３】次に上述の装置による作用について説明す
る。例えば１００枚のウエハＷの載置されたウエハボー
ト２３を、ボートエレベータ２４により開口部２２から
処理容器２１内へ搬入し、この開口部を蓋体２５により
気密に封止する。次にヒータ２７により処理容器２１内
を例えば１０００℃まで昇温し、酸化処理を行う。

【００２４】このとき冷却ユニット３は稼動しておら
ず、熱処理である酸化処理が終了すると、制御部６は、
エアダンパ３２及びエアシリンダ３５に開信号を送って
これを開くと共に導入ファン３３及び排気ファン３４に
動作指令を送って作動させ、こうして導入ファン３３よ
り外気が取り込まれ、この空気（外気）が配管３ａから
隙間２０へと送り込まれる。この結果、空気が熱を奪っ
て熱処理炉２を冷却し、処理容器２１の温度が低下す
る。そして暖められた空気（熱排気）は排気孔２８から
配管３ｂ側へと流れ、既述のように一旦水冷ダクト３６
内を通って降温された後、冷却ユニット３内の熱交換器
３７へと送られて例えば大気へ放出可能な温度まで冷却
された後、排気ファン３４より例えば図示しない工場排
気路へと放出される。

【００２５】一方、強制空冷が行われていないときに
は、例えばバルブＶ１及びＶ２は開かれているため、通
水路４１、第１の分岐路４２及び熱交換器３７、第２の
分岐路４３及び水冷ダクト３６内には水（冷却水）が貯
留されているが、開閉手段５においては電磁バルブ５３
は閉じており、従ってエアオペレートバルブ５１は、図
示しない既述の付勢手段の付勢力により弁が閉じた状態
にあり、前記各水路に冷却水は通流していない。

【００２６】そして例えば強制空冷開始と同時に制御部
６から電磁バルブ５３へ開指令が発せられ、これにより
電磁バルブ５３が開いて下流側へ空気が送られ、エアオ
ペレートバルブ５１が開いて通水路４１内に冷却水が通
流する。図３はこのエアオペレートバルブ５１における
弁の開閉制御のタイミングを示すための説明図であり、
図中ｔ１時に開指令に基づいて電磁バルブ５３が開くと
上述したようにしてオペレートバルブ５１が一瞬で開
き、これにより通水路４１に冷却水が流れ、既述のよう
に当該冷却水によって水冷ダクト３６及び熱交換器３７
内を通る熱排気が冷却される。このとき流量計ｍ１及び
ｍ２により第１の分岐路４２及び第２の分岐路４３に流
れる冷却水の流量の監視が行われており、図示しない流
量調節手段により例えば第１の分岐路４２側には２４〜
２６リットル／分、第２の分岐路４３側には２〜３リッ
トル／分の流量で冷却水が流される。

【００２７】そしてアンロード時の設定温度まで処理容
器２１が冷却された後、ｔ２の時点でウエハボート２３
のアンロードが開始され、同時に制御部６より電磁バル
ブ５３へ閉指令が発せられ、これによりエアオペレート
バルブ５１側への空気の供給が遮断されるため、既述の
ようにしてエアオペレートバルブ５１の閉じ動作が開始
する。このとき通水路４１内には冷却水が例えば０．５
ＭＰａ程度の高い水圧で流れており、エアオペレートバ
ルブ５１を急激に閉じると、「発明が解決しようとする
課題」でも述べたようにしてウォータハンマ現象が起こ
ってしまうため、スピードコントローラ５４では図中ｔ
に示すエアオペレートバルブ５１を閉じるために要する
時間が少なくとも０．５秒以上例えば１秒程度となるよ
うに設定されている。従って具体的には、先ず上述した
ようにｔ２時点で電磁バルブ５３を閉状態とすると、電
磁バルブ５３に設けられる図示しない空気放出弁から圧
力の高められていた空気がスピードコントローラ５４の
調整に応じた速度で徐々に放出されていき、これに伴う
管内の圧力低下に応じて徐々にエアオペレートバルブ５
１の弁が閉じてゆき、ｔ３時点即ち上記の設定時間が経
過した時点で通水路４１及び分岐管４２内の冷却水の流
れが停止する。

【００２８】このような実施の形態によれば、熱処理炉
２を空冷して暖められた熱排気を水冷するにあたって、
冷却水の通水路４１をエアオペレートバルブ５１により
約１秒かけて閉じるようにしているため、例えば０．５
ＭＰａ程度の高い水圧で冷却水を循環している状態で冷
却水の流れを止めてもその流れは徐々に止まるので配
管、配管機器及び水冷ダクト３６、熱交換器３７への水
の衝撃が緩和され、つまりウォータハンマ現象が緩和さ
れる。従って配管等を破損するおそれがないので、いわ
ば自由に通水路４１の流れを止めることができ、このた
め熱処理炉２を空冷しているとき（導入ファン３３及び
排気ファン３４を止めてしばらくした後も含む）だけ冷
却水を流すようにフローを組むことができ、省エネルギ
ー化に有効である。

【００２９】また、エアオペレートバルブ５１の閉じ動
作に要する時間は１秒でなくとも、後述の実施例からも
分かるように０．５秒以上であればよいので、開閉手段
５の構成は上述したエアオペレートバルブ５１を用いた
ものでなくとも、通水路４１の通水を０．５秒以上の任
意のタイミングで閉じることができるものであればよ
い。従って例えば図４に示すように開閉手段５の代わり
に、弁の閉じ動作を開始してから終了するまでに０．５
秒かかるウォータハンマ現象緩和型の電磁バルブ７１を
設けた構成としてもよい。

【００３０】更にまた、本実施の形態では例えば図５に
示すように例えば通水路４１における合流点Ｘ１と開閉
手段５との間に、図示するように例えば内部に窒素ガス
を封入した容器よりなる蓄圧器（アキュームレータ）８
１を設けるようにしてもよい。このような構成とする
と、開閉手段５の閉じ動作時に通水路４１内で水圧の上
昇した冷却水は一時的に前記アキュームレータ８１内に
流れ込み、窒素ガスが衝撃（ウォータハンマ現象）を緩
和する。従って配管等の破壊を回避することができる。

【００３１】この実施の形態では、先に述べてきた実施
の形態と異なりアキュムレータ８１によりウォータハン
マ現象に対する対策が施されているため、開閉手段５に
用いるバルブは必ずしもこれまで述べてきたようなエア
オペレートバルブやウォータハンマ現象緩和型の電磁バ
ルブである必要はなく、例えば急激に通水を停止するも
のであってもよい。

【００３２】更に本実施の形態は、通水路４１に二つの
バルブ９１、９２を設けるようにすることもできる。こ
の実施の形態は例えば図６に示すようにバルブ９１をバ
ルブＶ１と第１及び第２の分岐路４２，４３の分岐点と
の間に設けると共に、バルブ９２を合流点Ｘ１とバルブ
Ｖ２との間に設ける構成とし、バルブ９１及び９２を同
時に、或いは最初にバルブ９１を閉じてから例えば１０
秒後にバルブ９２を閉じるように制御する構成とするも
のである。このような構成によれば、バルブ９１を閉じ
ると、通水路４１のバルブ９１からバルブ９２に至る部
位でウォータハンマ現象が生じ得るが、この部位は距離
が短いため通水路４１が受ける衝撃は小さくて済む。ま
た、バルブ９１の上流側にウォータハンマ現象が生じた
としても、冷却水の供給源側にウォータハンマ現象に対
する対策が施されていれば問題はない。なおバルブ９２
はバルブ９１を閉じる際にバルブ９１の下流側にある冷
却水が流れ出て、水冷ダクト３６及び熱交換器３７の内
部が空になることを防ぐために設けられるものである。

【００３３】

【実施例】（実施例１）図７に示すような実験装置にお
けるＡ，Ｂで示す部位に、既述の電磁バルブ７１に相当
するウォータハンマ現象緩和型の電磁バルブ及び同じく
上述した開閉手段５に相当する構成のエアオペレートバ
ルブを介設した装置を夫々用意した。図中１０１は冷却
水供給源であり、冷却水供給源１０１から前記Ａ，Ｂの
部位を介して冷却水供給源１０１に戻るように配管され
る供給管１０２には上流側から順に、Ａの上流側にはボ
ールバルブ１０３、ポンプ１０４、圧力計Ｐ１が、Ｂの
下流側には圧力計Ｐ２、ボールバルブ１０５、流量計１
０６が介設されている。

【００３４】このような装置において、冷却水の流量を
２５リットル／分、水圧を０．５ＭＰａとし、各バルブ
の上流側の供給管１０２の長さを２０ｍ、３０ｍ、及び
４０ｍと変えた場合における閉弁時の各供給管１０２内
の水圧を測定したところ、瞬間最大水圧は前記電磁バル
ブを用いた装置には１．７〜１．９ＭＰａであり、前記
エアオペレートバルブを用いた装置ではいずれも１．２
ＭＰａであった。なおウォータハンマ現象に対する対策
を施していない場合における実験は、器具の危険性を考
慮して行っていない。

【００３５】この結果からエアオペレートバルブを用い
た装置に比べてウォータハンマ現象緩和型の電磁バルブ
を用いた装置の方が供給管１０２内の水圧が高くなる
が、いずれの場合も使用に耐え得る範囲内であることが
分かった。

【００３６】

【発明の効果】以上のように本発明によれば、強制空冷
機能を備えた熱処理装置において熱排気を冷却するため
の冷却水の通水路内で生じる衝撃（ウォータハンマ現
象）を緩和することができる。このため任意のタイミン
グで通水路を閉じることができるから、強制空冷を行う
時だけ冷却水を通流するというシーケンスを組むことが
でき、前記冷却水の使用量を抑えることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る熱処理装置の実施の形態を示す概
略説明図である。

【図２】前記熱処理装置の冷却手段を説明するための説
明図である。

【図３】本実施の形態の作用を説明するための特性図で
ある。

【図４】本発明に係る熱処理装置の他の実施の形態にお
ける冷却手段を説明する説明図である。

【図５】本発明に係る熱処理装置の他の実施の形態にお
ける冷却手段を説明する説明図である。

【図６】本発明に係る熱処理装置の他の実施の形態にお
ける冷却手段を説明する説明図である。

【図７】本実施の形態に係る試験用の装置を表す説明図
である。

【図８】従来の熱処理装置を示す概略説明図である。

【符号の説明】

２ 熱処理炉 ２０ 隙間 ２１ 処理容器 ２６ 断熱体 ２７ ヒータ ３ 冷却ユニット ３ａ，３ｂ 配管 ３６ 水冷ダクト ３７ 熱交換器 ４１ 通水路 ４２ 第１の分岐路 ４３ 第２の分岐路 ５ 開閉手段 ５１ エアオペレートバルブ ５４ スピードコントローラ ６ 制御部

Claims (7)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 被処理体を熱処理するための熱処理炉
   と、 この熱処理炉内を空冷して降温するための通気路を備え
   た空冷手段と、 前記通気路から放出される熱排気を冷却するための水冷
   手段と、 この水冷手段に冷却水を通流するための通水路と、 この通水路に介設され、通水路を閉じ始めてから閉じ終
   わるまでの時間が０．５秒以上かかるように構成された
   開閉手段と、 前記処理容器の空冷を行わないときに前記開閉手段を閉
   じるための信号を出力する制御部と、を備えることを特
   徴とする熱処理装置。
2. 【請求項２】 開閉手段は、空気の圧力により弁を閉じ
   るエアオペレートバルブと、 このエアオペレートバルブへ空気を供給するための空気
   供給路と、 この空気供給路に介設され、前記エアオペレートバルブ
   に送る空気の流速を調節するスピードコントローラと、
   を備えたことを特徴とする請求項１記載の熱処理装置。
3. 【請求項３】 開閉手段は通水路における水冷手段の下
   流側に設けられていることを特徴とする請求項１または
   ２記載の熱処理装置。
4. 【請求項４】 被処理体を熱処理するための熱処理炉
   と、 この熱処理炉内を空冷して降温するための通気路を備え
   た空冷手段と、 前記通気路から放出される熱排気を冷却するための水冷
   手段と、 この水冷手段に冷却水を通流するための通水路と、 この通水路を閉じるための開閉手段と、 前記通水路の途中に設けられ、前記開閉手段を閉じたと
   きの衝撃による水圧の上昇を緩和するために気体を封入
   した容器からなる蓄圧器と、を備えることを特徴とする
   熱処理装置。
5. 【請求項５】 前記開閉手段は通水路における水冷手段
   の下流側に設けられ、前記蓄圧器は開閉手段の上流側に
   設けられることを特徴とする請求項４記載の熱処理装
   置。
6. 【請求項６】 被処理体を熱処理するための熱処理炉
   と、 この熱処理炉内を空冷して降温するための通気路を備え
   た空冷手段と、 前記通気路から放出される熱排気を冷却するための水冷
   手段と、 この水冷手段に冷却水を通流するための通水路と、 この通水路における前記水冷手段の上流側及び下流側に
   夫々介設される第１のバルブ及び第２のバルブと、 冷却水の通流を停止する際に第１のバルブの弁を閉じ、
   これと同時またはすぐ後に第２のバルブを閉じる制御を
   行う制御部と、を備えたことを特徴とする熱処理装置。
7. 【請求項７】 被処理体を熱処理炉内に搬入して熱処理
   を行う工程と、 その後前記熱処理炉内に空気を供給して空冷を行う工程
   と、 前記熱処理炉から熱を奪って昇温した熱排気を冷却する
   ため、空冷開始時に水冷手段に冷却水の通流を行う工程
   と、 前記加熱炉の空冷終了時に前記冷却水の通流路を０．５
   秒以上の時間をかけて閉じる工程と、を有することを特
   徴とする熱処理方法。