KR20080098234A - 플라즈마 발생장치 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (10)
- 플라즈마 발생부;상기 플라즈마 발생부 하부에 위치하여 상기 플라즈마 발생부와 함께 플라즈마 챔버를 제공하고, 상하로 접합하는 상판구조 및 복수개의 소스가스 분사구를 포함하는 하판구조를 포함하며, 상기 상판구조 및 상기 하판구조는 소스가스 공급을 위한 소스가스 이동공간을 제공하고, 상기 상판구조 및 상기 하판구조 중 하나는 상하로 관통하는 복수개의 유도관을 제공하는 샤워 헤드;상기 상판구조 및 상기 하판구조 중 다른 하나와 상기 유도관 사이의 틈을 차단하는 차단부;상기 플라즈마 발생부로 반응가스를 공급하는 반응가스 공급부; 및상기 샤워 헤드 내의 상기 소스가스 이동공간으로 소스가스를 공급하는 소스가스 공급부;를 구비하는 플라즈마 발생장치.
- 제1항에 있어서,상기 플라즈마 발생부는 하부에 장착된 플라즈마 발생 전극을 포함하며, 상기 플라즈마 발생 전극은 복수개의 홀을 포함하며, 상기 반응가스 공급부는 상기 플라즈마 발생 전극의 상부로 반응가스를 공급하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 발생장치.
- 제1항에 있어서,상기 차단부는 상기 상판구조 및 상기 하판구조 중 다른 하나와 일체 또는 분리된 상태로 제공되는 것을 특징으로 하는 플라즈마 발생장치.
- 제1항에 있어서,상기 상판구조 및 상기 하판구조 중 다른 하나는 상기 유도관을 노출시키기 위한 관통홀을 포함하며, 상기 차단부는 상기 유도관의 주변에 별도로 장착되어 상기 유도관과 상기 관통홀 간의 틈을 차단하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 발생장치.
- 제1항에 있어서,상기 상판구조 및 상기 하판구조 중 다른 하나는 상기 유도관을 노출시키기 위한 관통홀을 포함하며, 상기 차단부는 상기 관통홀의 주변에 일체로 형성되어 상기 유도관의 주변을 감싸는 차단벽을 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 발생장치.
- 제5항에 있어서,상기 차단벽은 상기 유도관보다 짧게 또는 길게 형성된 것을 특징으로 하는 플라즈마 발생장치.
- 플라즈마 발생부;상기 플라즈마 발생부 하부에 위치하여 상기 플라즈마 발생부와 함께 플라즈마 챔버를 제공하고, 아래를 향하여 형성된 복수개의 유도관을 포함하는 상판구조 및 복수개의 소스가스 분사구를 포함하는 하판구조를 포함하며, 상기 상판구조 및 상기 하판구조는 소스가스 공급을 위한 소스가스 이동공간을 제공하고, 상기 하판구조는 상기 유도관의 외면을 감싸는 차단벽을 포함하는 샤워 헤드;상기 플라즈마 발생부로 반응가스를 공급하는 반응가스 공급부; 및상기 샤워 헤드 내의 상기 소스가스 이동공간으로 소스가스를 공급하는 소스가스 공급부;를 구비하는 플라즈마 발생장치.
- 제7항에 있어서,상기 플라즈마 발생부는 하부에 장착된 플라즈마 발생 전극을 포함하며, 상기 플라즈마 발생 전극은 복수개의 홀을 포함하며, 상기 반응가스 공급부는 상기 플라즈마 발생 전극의 상부로 반응가스를 공급하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 발생장치.
- 제7항에 있어서,상기 차단벽은 상기 유도관의 길이보다 길게 형성된 것을 특징으로 하는 플라즈마 발생장치.
- 제7항에 있어서,상기 차단벽은 상기 유도관의 길이보다 짧거나 동일하게 형성된 것을 특징으로 하는 플라즈마 발생장치.
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