JP7129895B2 - 被加工物の研削方法 - Google Patents
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Description
本発明の実施形態1に係る被加工物の研削方法を図面に基づいて説明する。図1は、実施形態1に係る被加工物の研削方法の加工対象の被加工物の一例を示す斜視図である。図2は、図1に示された被加工物の要部の断面図である。図3は、実施形態1に係る被加工物の研削方法において用いられる研削装置の構成例を示す斜視図である。
研削装置10は、図3に示すように、装置基台11と、チャックテーブル20と、研削ユニット30と、水平移動手段である加工送りユニット40と、鉛直方向移動手段である切り込み送りユニット50と、制御ユニット100とを備える。
次に、本明細書は、実施形態1に係る被加工物の研削方法を説明する。図4は、実施形態1に係る被加工物の研削方法の流れを示すフローチャートである。実施形態1に係る被加工物の研削方法は、図4に示すように、第1の研削ステップST1と、移動ステップST2と、第2の研削ステップST3と、第2の移動ステップST5とを備える。
図5は、図4に示された被加工物の研削方法の第1の研削ステップにおいて、研削砥石を第1の所定量研削する高さに位置付けた状態を模式的に示す側面図である。図6は、図4に示された被加工物の研削方法の第1の研削ステップにおいて、研削砥石が被加工物を研削している状態を模式的に示す側面図である。図7は、図4に示された被加工物の研削方法の第1の研削ステップ後の被加工物の要部の断面図である。図8は、図4に示された被加工物の研削方法の第1の研削ステップ後の被加工物の表面を模式的に示す平面図である。
図9は、図4に示された被加工物の研削方法の移動ステップを模式的に示す側面図である。図10は、図4に示された被加工物の研削方法の移動ステップ後の被加工物の要部の断面図である。
図11は、図4に示された被加工物の研削方法の第2の研削ステップにおいて、研削砥石を第1の所定量研削する高さに位置付けた状態を模式的に示す側面図である。図12は、図4に示された被加工物の研削方法の第2の研削ステップにおいて、研削砥石が被加工物を研削している状態を模式的に示す側面図である。図13は、図4に示された被加工物の研削方法の第2の研削ステップ後の被加工物の要部の断面図である。図14は、図4に示された被加工物の研削方法の第2の研削ステップ後の被加工物の表面を模式的に示す平面図である。
図15は、図4に示された被加工物の研削方法の第2の移動ステップ後の被加工物の要部の断面図である。第2の移動ステップST5は、第2の研削ステップST3の実施後に研削砥石31を被加工物1に接触しない高さに退避させた状態で、チャックテーブル20を加工域102から搬入出域101まで移動させるステップである。また、第2の移動ステップST5は、チャックテーブル20に保持した被加工物1をZ軸方向と平行な軸心回りに180度回転させるステップでもある。
図16は、図4に示された被加工物の研削方法の2回目の第1の研削ステップ後の被加工物の要部の断面図である。図17は、図4に示された被加工物の研削方法の2回目の移動ステップ後の被加工物の要部の断面図である。図18は、図4に示された被加工物の研削方法の2回目の第2の研削ステップ後の被加工物の要部の断面図である。
本発明の実施形態2に係る被加工物の研削方法を図面に基づいて説明する。図19は、実施形態2に係る被加工物の研削方法の流れを示すフローチャートである。図19は、実施形態1と同一部分に同一符号を付して説明を省略する。
本発明の実施形態3に係る被加工物の研削方法を図面に基づいて説明する。図20は、実施形態3に係る被加工物の研削方法において用いられる研削装置の構成例を示す斜視図である。なお、本明細書は、実施形態3の説明において、実施形態1と同一部分に同一符号を付して説明を省略する。
実施形態3に係る被加工物の研削方法において用いられる図20に示す研削装置10-3は、チャックテーブル20の保持面21がポーラスセラミックス等から構成され、チャックテーブル20の保持面21に吸引保持した被加工物1を加工域102に位置付け、被加工物1のチャックテーブル20の回転中心23(図20に示す)上の部分にスピンドル33により回転される研削砥石31を常に接触するように位置付けて、研削砥石31をZ軸方向に研削送りしながら被加工物1をインフィード研削する。
次に、本明細書は、実施形態3に係る被加工物の研削方法を説明する。図21は、実施形態3に係る被加工物の研削方法の流れを示すフローチャートである。実施形態3に係る被加工物の研削方法は、図21に示すように、第1の研削ステップST1-3と、逆転ステップST6と、第2の研削ステップST3-3と、第2の逆転ステップST7とを備える。
図22は、図21に示された被加工物の研削方法の第1の研削ステップを模式的に示す側面図である。図23は、図21に示された被加工物の研削方法の第1の研削ステップを模式的に示す平面図である。図24は、図21に示された被加工物の研削方法の第1の研削ステップ後の被加工物の要部の研削ホイールの周方向の断面図である。図25は、図21に示された被加工物の研削方法の第1の研削ステップ後の被加工物の表面を模式的に示す平面図である。
図26は、図21に示された被加工物の研削方法の逆転ステップを模式的に示す側面図である。逆転ステップST6は、第1の研削ステップST1-3の実施後に研削砥石31を被加工物1に接触しない高さに退避させた状態で、スピンドル33の回転方向を逆転させるステップである。
図27は、図21に示された被加工物の研削方法の第2の研削ステップを模式的に示す側面図である。図28は、図21に示された被加工物の研削方法の第2の研削ステップを模式的に示す平面図である。図29は、図21に示された被加工物の研削方法の第2の研削ステップ後の被加工物の要部の研削ホイールの周方向の断面図である。図30は、図21に示された被加工物の研削方法の第2の研削ステップ後の被加工物の表面を模式的に示す平面図である。
第2の逆転ステップST7は、第2の研削ステップST3-3の実施後に研削砥石31を被加工物1に接触しない高さに退避させた状態で、スピンドル33の回転方向を逆転させるステップである。第2の逆転ステップST7では、研削装置10-3は、研削ホイール32を第1の研削ステップST1後の高さから研削砥石31が被加工物1から離れる高さまで上昇させ、スピンドル33の軸心回りの回転方向を第2の研削ステップST3-3における他方向62から一方向61に逆転させる。被加工物の研削方法は、第1の研削ステップST1-3に戻る。
図31は、図21に示された被加工物の研削方法の2回目の第1の研削ステップ後の被加工物の要部の研削ホイールの周方向の断面図である。図32は、図21に示された被加工物の研削方法の2回目の第2の研削ステップ後の被加工物の要部の研削ホイールの周方向の断面図である。
1-1 一側面
1-2 他側面
10 研削装置(加工装置)
20 チャックテーブル
23 回転中心
31 研削砥石
33 スピンドル
40 加工送りユニット(水平移動手段)
50 切り込み送りユニット(鉛直移動手段)
101 搬入出域
102 加工域
201 第1の所定量(所定量)
202 第2の所定量(所定量)
ST1,ST1-3 第1の研削ステップ
ST2 移動ステップ
ST3,ST3-3 第2の研削ステップ
ST6 逆転ステップ
Claims (3)
- 搬入出域と加工域との間で水平移動する水平移動手段を備えたチャックテーブルと、回転可能なスピンドルの先端に保持され、該チャックテーブルに保持された被加工物を研削する研削砥石と、該スピンドルを鉛直方向に移動させる鉛直移動手段と、を備える加工装置によってクリープフィード研削する被加工物の研削方法であって、
該研削砥石を被加工物を所定量研削する高さに位置付けた後、該チャックテーブルを該搬入出域から該加工域へ水平方向に移動させることにより、回転する該研削砥石を被加工物の一側面側から反対側の他側面側へ抜けさせてクリープフィード研削する第1の研削ステップと、
該研削ステップの実施後に該研削砥石を被加工物に接触しない高さに退避させた状態で、該チャックテーブルを該加工域から該搬入出域まで移動させる移動ステップと、
該被加工物を180度回転させ、該研削砥石を被加工物を所定量研削する高さに位置付けた後、該チャックテーブルを該搬入出域から該加工域へ水平方向に移動させることにより、回転する該研削砥石を被加工物の一側面側から反対側の他側面側へ抜けさせてクリープフィード研削する第2の研削ステップと、
を少なくとも1回以上行うことを特徴とする被加工物の研削方法。 - 搬入出域と加工域との間で水平移動する水平移動手段を備えたチャックテーブルと、
該チャックテーブルに保持された被加工物を研削する回転可能なスピンドルの先端に保持される研削砥石と、該スピンドルを鉛直方向に移動させる鉛直移動手段と、を備える加工装置によってクリープフィード研削する被加工物の研削方法であって、
該研削砥石が被加工物を所定量研削する高さに位置付けられた状態で、該チャックテーブルを該搬入出域から該加工域へ水平方向に移動させることにより、回転する該研削砥石を被加工物の一側面側から反対側の他側面側へ抜けさせてクリープフィード研削する第1の研削ステップと、
該研削砥石が被加工物に接触しない高さに退避させた状態で、該チャックテーブルを該加工域から該搬入出域まで移動させる移動ステップと、
該研削砥石が被加工物を所定量研削する高さに位置付けられた状態で、スピンドルの回転方向を逆転させ、該チャックテーブルを該搬入出域から該加工域へ水平方向に移動させることにより、該研削砥石を被加工物の一側面側から反対側の他側面側へ抜けさせてクリープフィード研削する第2の研削ステップと、
を少なくとも1回以上行うことを特徴とする被加工物の研削方法。 - 回転可能なチャックテーブルに保持された被加工物を回転可能なスピンドルの先端に保持された研削砥石によってインフィード研削する被加工物の研削方法であって、
該チャックテーブルの回転中心に該研削砥石が常に接触するように位置づけ、該研削砥石を該チャックテーブルの保持面に対して垂直な方向に所定量研削送りしながら被加工物を薄化する被加工物の第1の研削ステップと、
該研削ステップの実施後に該研削砥石を被加工物に接触しない高さに退避させた状態で、該スピンドルの回転方向を逆転させる逆転ステップと、
該チャックテーブルの回転中心に該研削砥石が常に接触するように位置づけ、該研削砥石を該チャックテーブルの保持面に対して垂直な方向に所定量研削送りしながら被加工物を薄化する被加工物の第2の研削ステップと、
を少なくとも1回以上行うことを特徴とする被加工物の研削方法。
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