JP5270481B2 - 電極加工方法 - Google Patents
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Description
まず、実施の形態1について説明する。図3は、実施の形態1の電極加工方法を実現するための加工装置10の構成例を示す斜視図である。図3に示すように、実施の形態1の加工装置10は、装置ハウジング20を具備している。装置ハウジング20は、細長く延在する直方体形状の主部21と、この主部21の後端部(図3において右上端)に設けられ実質上鉛直に上方に延びる直立壁22とを有する。直立壁22の前面には、鉛直方向(上下方向)に延びる一対の案内レール221,221が設けられており、バイト加工手段としてのバイト加工ユニット30が鉛直方向に移動可能に装着されている。
つぎに、実施の形態2について説明する。実施の形態2の電極加工方法を実現するための加工装置は、実施の形態1で説明した加工装置10と同様の構成で実現できる。実施の形態2の加工装置は、実施の形態2の電極加工方法を実現するため、被加工物保持工程と、頭出し工程と、バリ取り工程とを行う。なお、以下では、加工装置を構成する各部に実施の形態1と同様の符号を付する。
つぎに、実施の形態3について説明する。図8は、実施の形態3の頭出し工程およびバリ取り加工における切れ刃332、チャックテーブル52およびチャックテーブル移動機構211bの動作について説明する説明図である。なお、切れ刃332は、実施の形態1と同様にバイト加工ユニット30が動作することで回転され、図8において、この切れ刃332の移動軌跡を一点鎖線で示している。
2 半導体チップ
3 電極
10 加工装置
20 装置ハウジング
211 チャックテーブル移動機構
30 バイト加工ユニット
32 スピンドルユニット
322 回転スピンドル
323 サーボモータ
33 バイト工具
332 切れ刃
40 加工ユニット送り機構
44 パルスモータ
50 チャックテーブル機構
52 チャックテーブル
53 吸引機構
61,62 カセット
70 位置決め手段
81 搬入手段
82 搬出手段
90 洗浄手段
100 搬出入手段
110 制御手段
E1 被加工物搬入出域
E2 被加工物加工域
Claims (2)
- 表面を露出させた状態で被加工物を保持する保持手段と、
前記保持手段を被加工物搬入出域と被加工物加工域との間で水平移動させる水平方向移動手段と、
前記被加工物加工域上方に配設され、切れ刃が配設されたバイト工具と、該バイト工具を鉛直方向を回転軸として回転可能に支持するスピンドルとを備えたバイト加工手段と、
前記バイト加工手段を鉛直方向に移動させる鉛直方向移動手段と、
を備えた加工装置を用い、前記被加工物の表面に該表面よりも突出して形成された複数の電極の高さを揃える電極加工方法であって、
前記鉛直方向移動手段によって前記バイト工具を頭出し高さ位置に移動させるとともに、前記スピンドルによって前記バイト工具を回転させた状態で前記保持手段を前記被加工物搬入出域から前記被加工物加工域へと水平移動させることにより、前記電極の一側面側から前記切れ刃を切り込ませ、反対側の他側面側へ切り抜けさせて前記電極の頭出し加工を行う頭出し工程と、
前記鉛直方向移動手段によって前記バイト工具をバリ取り高さ位置に移動させるとともに、前記スピンドルによって前記バイト工具を回転させた状態で前記保持手段を前記被加工物搬入出域から前記被加工物加工域へ水平移動させることにより、前記電極の前記他側面側から前記切れ刃を切り込ませ、前記一側面側へ切り抜けさせて前記頭出し工程で発生した前記電極のバリ取りを行うバリ取り工程と、
を含み、
前記バリ取り工程は、前記スピンドルを前記頭出し工程での回転方向と逆方向に回転させた状態で前記保持手段を前記被加工物搬入出域から前記被加工物加工域へ水平移動させることを特徴とする電極加工方法。 - 表面を露出させた状態で被加工物を保持する保持手段と、
前記保持手段を被加工物搬入出域と被加工物加工域との間で水平移動させる水平方向移動手段と、
前記被加工物加工域上方に配設され、切れ刃が配設されたバイト工具と、該バイト工具を鉛直方向を回転軸として回転可能に支持するスピンドルとを備えたバイト加工手段と、
前記バイト加工手段を鉛直方向に移動させる鉛直方向移動手段と、
を備えた加工装置を用い、前記被加工物の表面に該表面よりも突出して形成された複数の電極の高さを揃える電極加工方法であって、
前記鉛直方向移動手段によって前記バイト工具を頭出し高さ位置に移動させるとともに、前記スピンドルによって前記バイト工具を回転させた状態で前記保持手段を前記被加工物搬入出域から前記被加工物加工域へと水平移動させることにより、前記電極の一側面側から前記切れ刃を切り込ませ、反対側の他側面側へ切り抜けさせて前記電極の頭出し加工を行う頭出し工程と、
前記鉛直方向移動手段によって前記バイト工具をバリ取り高さ位置に移動させるとともに、前記スピンドルによって前記バイト工具を回転させた状態で前記保持手段を前記被加工物搬入出域から前記被加工物加工域へ水平移動させることにより、前記電極の前記他側面側から前記切れ刃を切り込ませ、前記一側面側へ切り抜けさせて前記頭出し工程で発生した前記電極のバリ取りを行うバリ取り工程と、
を含み、
前記バリ取り工程は、前記保持手段上で前記頭出し工程後の前記被加工物を180度回転させた後、前記保持手段を前記被加工物搬入出域から前記被加工物加工域へ水平移動させることを特徴とする電極加工方法。
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