JP7129645B2 - Crimping method and crimping device - Google Patents

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Description

本発明は、基板に電子部品などの圧着対象物を圧着して表示パネルなどを生成するための圧着方法および圧着装置に関する。 The present invention relates to a crimping method and a crimping apparatus for crimping an object such as an electronic component onto a substrate to produce a display panel or the like.

携帯電話などに用いられる表示パネルを組み立てる工程においては、パネル本体を構成するガラス製の基板にドライバ用の電子部品が実装される。この実装作業は、基板の縁部の実装位置に接着テープを介して電子部品を搭載し、この電子部品を基板に対して押圧して圧着する工程を経て行われる。近年生産効率を向上させるため、上記作業を行う各ステーションにおいて同時に複数の基板を対象として作業が可能な圧着装置が用いられるようになっている(例えば特許文献1参照)。このような構成の圧着装置を用いることにより、基板への電子部品の実装と基板の搬送動作とを効率よく行うことができる。 In the process of assembling a display panel used in a mobile phone or the like, electronic parts for drivers are mounted on a substrate made of glass that constitutes the panel body. This mounting operation is carried out through a process of mounting an electronic component at a mounting position on the edge of the substrate via an adhesive tape and pressing the electronic component against the substrate for pressure bonding. In recent years, in order to improve production efficiency, crimping devices capable of working on a plurality of substrates at the same time have been used at each station performing the above work (see, for example, Patent Document 1). By using the crimping device having such a configuration, it is possible to efficiently mount the electronic component on the substrate and carry out the operation of transporting the substrate.

特開2005-129753号公報JP-A-2005-129753

しかしながら、複数の基板の生産条件を等しくすることが困難であるという課題がある。 However, there is a problem that it is difficult to equalize the production conditions for a plurality of substrates.

そこで、本開示は、複数の基板の生産条件を容易に等しくすることができる圧着方法などを提供する。 Accordingly, the present disclosure provides a crimping method and the like that can easily equalize the production conditions of a plurality of substrates.

なお、これらの包括的または具体的な態様は、システム、方法、集積回路、コンピュータプログラムまたはコンピュータ読み取り可能なCD-ROMなどの記録媒体で実現されてもよく、システム、方法、集積回路、コンピュータプログラムおよび記録媒体の任意な組み合わせで実現されてもよい。 In addition, these general or specific aspects may be realized by a system, method, integrated circuit, computer program, or a recording medium such as a computer-readable CD-ROM. and any combination of recording media.

本開示の一態様に係る圧着方法は、第1の基板の下面の一部に当接して前記第1の基板を保持するための第1の保持部と、第2の基板の下面の一部に当接して前記第2の基板を保持する第2の保持部とを備える圧着装置が、前記第1の基板および第2の基板のそれぞれに圧着対象物を圧着する圧着方法であって、前記第1の保持部および前記第2の保持部を含む保持機構を移動させて、前記第1の保持部に保持されている前記第1の基板の下面を、第1の下受部に支持させる第1の支持工程と、前記第1の基板の下面が前記第1の下受部に支持された状態に維持されるように、第1の吸引部に前記第1の基板を吸着させて、前記第1の保持部による前記第1の基板の保持を解除する第1の吸着工程と、前記第1の吸引部による吸着によって、前記第1の基板の下面が前記第1の下受部に支持されているときに、前記保持機構を移動させて、前記第2の保持部に保持されている前記第2の基板の下面を第2の下受部に支持させる第2の支持工程と、前記第1の吸引部によって吸着され、かつ、前記第1の下受部に支持されている前記第1の基板の上面に第1の圧着対象物を圧着し、前記第2の保持部に保持され、かつ、前記第2の下受部に支持されている前記第2の基板の上面に第2の圧着対象物を圧着する圧着工程と、を含む。 A crimping method according to an aspect of the present disclosure comprises: a first holding part for holding the first substrate in contact with a part of the lower surface of the first substrate; and a part of the lower surface of the second substrate. A crimping method for crimping an object to be crimped onto each of the first substrate and the second substrate, wherein a crimping device comprising a second holding portion that holds the second substrate in contact with the A holding mechanism including a first holding portion and a second holding portion is moved to support a lower surface of the first substrate held by the first holding portion on a first support portion. a first supporting step, in which the first substrate is attracted to a first suction portion so that the lower surface of the first substrate is maintained in a state of being supported by the first support portion; A first suction step of releasing the holding of the first substrate by the first holding portion and suction by the first suction portion cause the lower surface of the first substrate to adhere to the first lower receiving portion. a second supporting step of moving the holding mechanism while being supported to support the lower surface of the second substrate held by the second holding portion on the second lower receiving portion; A first object to be crimped is crimped onto the upper surface of the first substrate that is sucked by the first suction portion and supported by the first support portion, and is held by the second holding portion. and a crimping step of crimping a second crimping object to the upper surface of the second substrate supported by the second support portion.

本開示の圧着方法は、複数の基板の生産条件を容易に等しくすることができる。 The crimping method of the present disclosure can easily equalize the production conditions for multiple substrates.

図1は、実施の形態における表示パネル組立装置の平面図である。FIG. 1 is a plan view of a display panel assembly apparatus according to an embodiment. 図2は、実施の形態における表示パネル組立装置の作業対象となる表示パネルの平面図である。FIG. 2 is a plan view of a display panel to be worked by the display panel assembly apparatus according to the embodiment. 図3は、実施の形態における表示パネル組立装置に含まれる本圧着部の斜視図である。FIG. 3 is a perspective view of a main pressure-bonding part included in the display panel assembly apparatus according to the embodiment. 図4は、実施の形態における本圧着部に備えられている水平回転駆動機構の構成説明図である。FIG. 4 is a configuration explanatory diagram of a horizontal rotation drive mechanism provided in the main crimping portion in the embodiment. 図5は、実施の形態における下受部および吸引部の斜視図である。FIG. 5 is a perspective view of a support part and a suction part in the embodiment. 図6は、実施の形態の本圧着部における制御系の構成を示すブロック図である。FIG. 6 is a block diagram showing the configuration of a control system in the main crimping section of the embodiment. 図7Aは、実施の形態の圧着部による圧着動作の一例を示すフローチャートである。7A is a flowchart illustrating an example of a crimping operation by the crimping unit according to the embodiment; FIG. 図7Bは、実施の形態の圧着部による圧着動作の一例を示すフローチャートである。7B is a flowchart illustrating an example of a crimping operation by the crimping unit according to the embodiment; FIG. 図8は、実施の形態の圧着部による圧着動作の一例を説明するための図である。FIG. 8 is a diagram for explaining an example of a crimping operation by the crimping unit according to the embodiment; 図9は、実施の形態の圧着部による圧着動作の一例を説明するための図である。FIG. 9 is a diagram for explaining an example of a crimping operation by the crimping unit according to the embodiment; 図10は、実施の形態の圧着部による圧着動作の一例を説明するための図である。10A and 10B are diagrams for explaining an example of a crimping operation by the crimping unit according to the embodiment. FIG. 図11は、実施の形態における圧着装置の処理動作の一例を示すフローチャートである。FIG. 11 is a flow chart showing an example of the processing operation of the crimping device according to the embodiment. 図12は、実施の形態における圧着部の一部の他の構成例を示す図である。FIG. 12 is a diagram showing another configuration example of part of the crimping portion in the embodiment. 図13は、表示パネル組立装置の他の例を示す平面図である。FIG. 13 is a plan view showing another example of the display panel assembly device.

(本発明の基礎となった知見)
本発明者は、「背景技術」の欄において記載した上記特許文献1の圧着装置に関し、以下の問題が生じることを見出した。
(Knowledge on which the present invention is based)
The inventors of the present invention have found that the crimping device of Patent Document 1 described in the "Background Art" section has the following problems.

上記特許文献1の圧着装置のように、小型液晶パネル実装設備では、生産性を上げるために2枚の表示パネル(以下、単にパネルともいう)を擬似的に同時に搬送して生産している。なお、擬似的に同時とは、完全に同時ではなく、2枚のパネルのそれぞれに対して行われる搬送および生産などの処理のタイミングには差があるが、それらのタイミングが凡そ同じであることを意味する。また、それぞれ表示パネルを構成する2枚の基板に対して擬似的に同時に行われる電子部品などの圧着対象物の圧着を、以下、擬似同時圧着という。 Like the crimping device of Patent Document 1, in small liquid crystal panel mounting equipment, two display panels (hereinafter also simply referred to as panels) are conveyed and produced at the same time in a pseudo-simultaneous manner in order to increase productivity. Pseudo-simultaneously means that the timings of processing such as transportation and production performed on each of the two panels are different, but the timings are roughly the same. means In addition, quasi-simultaneous crimping of crimping objects such as electronic components on two substrates constituting a display panel will be hereinafter referred to as pseudo-simultaneous crimping.

このような上記特許文献1の圧着装置では、2枚の基板に対して擬似同時圧着を行うことによって、効率良く、かつ、高精度に圧着を行っている。 In the crimping device of Patent Document 1 described above, crimping is performed efficiently and with high precision by performing quasi-simultaneous crimping on two substrates.

しかし、このような上記特許文献1の圧着装置による圧着であっても、擬似同時圧着であるため、先に1枚目の基板に対する圧着が開始され、次に2枚目の基板の圧着が遅れて開始される。具体的には、上記特許文献1の圧着装置は、擬似同時圧着を行うときには、まず1枚目の基板を認識し、その基板の認識結果に基づいて、その1枚目の基板の位置の補正(すなわち位置合わせ)を行い、電子部品の圧着を行う。次に、圧着装置は、この1枚目の基板に対する圧着を行っているときに、つまり、1枚目の基板を圧着ツールと下受部との間に挟み込んだ状態で保持しているときに、2枚目の基板の位置の補正を行い、その2枚目の基板に対する部品の圧着を行う。つまり、1枚目の基板が圧着ツールで挟み込まれてその基板に対して加熱および加圧が開始されるタイミングと、2枚目の基板が圧着ツールで挟み込まれてその基板に対して加熱および加圧が開始されるタイミングとには、僅かな差がある。 However, even in the crimping by the crimping device of Patent Document 1, since it is a pseudo simultaneous crimping, the crimping of the first substrate is started first, and then the crimping of the second substrate is delayed. is started. Specifically, when the crimping device of Patent Document 1 performs pseudo simultaneous crimping, first, the first substrate is recognized, and based on the recognition result of the substrate, the position of the first substrate is corrected. (that is, alignment), and crimping of the electronic components. Next, while the crimping device is crimping the first substrate, that is, while holding the first substrate sandwiched between the crimping tool and the lower receiving portion, , the position of the second substrate is corrected, and the components are crimped onto the second substrate. In other words, the timing at which the first substrate is sandwiched between the crimping tools and the application of heat and pressure to the substrate is started, and the timing at which the second substrate is sandwiched by the crimping tools and the substrate is heated and pressurized. There is a slight difference from the timing when the pressure is started.

このような僅かなタイミングの差が、加熱時間および加圧時間などの生産条件の差となって現れ、2枚の基板に対して厳密に同一生産条件での生産をする必要がある場合には適さない。 Such a slight difference in timing appears as a difference in production conditions such as heating time and pressurizing time. Not suitable.

そこで、このような課題を解決するために、本開示の一態様に係る圧着方法は、第1の基板の下面の一部に当接して前記第1の基板を保持するための第1の保持部と、第2の基板の下面の一部に当接して前記第2の基板を保持する第2の保持部とを備える圧着装置が、前記第1の基板および第2の基板のそれぞれに圧着対象物を圧着する圧着方法であって、前記第1の保持部および前記第2の保持部を含む保持機構を移動させて、前記第1の保持部に保持されている前記第1の基板の下面を、第1の下受部に支持させる第1の支持工程と、前記第1の基板の下面が前記第1の下受部に支持された状態に維持されるように、第1の吸引部に前記第1の基板を吸着させて、前記第1の保持部による前記第1の基板の保持を解除する第1の吸着工程と、前記第1の吸引部による吸着によって、前記第1の基板の下面が前記第1の下受部に支持されているときに、前記保持機構を移動させて、前記第2の保持部に保持されている前記第2の基板の下面を第2の下受部に支持させる第2の支持工程と、前記第1の吸引部によって吸着され、かつ、前記第1の下受部に支持されている前記第1の基板の上面に第1の圧着対象物を圧着し、前記第2の保持部に保持され、かつ、前記第2の下受部に支持されている前記第2の基板の上面に第2の圧着対象物を圧着する圧着工程と、を含む。 Therefore, in order to solve such a problem, a crimping method according to an aspect of the present disclosure provides a first holding member for holding the first substrate in contact with a portion of the lower surface of the first substrate. and a second holding portion for holding the second substrate in contact with a portion of the lower surface of the second substrate, and presses the first substrate and the second substrate. A crimping method for crimping an object, wherein a holding mechanism including the first holding part and the second holding part is moved to move the first substrate held by the first holding part. a first supporting step of supporting the lower surface of the substrate on the first lower receiving portion; a first adsorption step of causing a portion to adsorb the first substrate to release the holding of the first substrate by the first holding portion; When the lower surface of the substrate is supported by the first lower receiving portion, the holding mechanism is moved to move the lower surface of the second substrate held by the second holding portion to the second lower surface. a second supporting step of causing a receiving portion to support the first crimping object on the upper surface of the first substrate sucked by the first suction portion and supported by the first lower receiving portion; and a crimping step of crimping a second object to be crimped onto the upper surface of the second substrate held by the second holding portion and supported by the second support portion; include.

例えば、保持機構が移動されるときには、第1の保持部と第2の保持部とが同時に移動する。したがって、第2の基板の位置決めを行ってその第2の基板を第2の下受部に支持させるときには、第1の下受部によって既に支持されて位置決めされている第1の基板の状態を維持しながら、第1の基板から第1の保持部を離す必要がある。しかし、上記特許文献1の圧着方法では、その第1の基板の状態の維持は、圧着ツールによる圧着によって行われている。つまり、圧着ツールが圧着対象物および第1の基板を下受部に押し付けることによって、既に位置決めされている第1の基板の状態が維持されている。その結果、第2の基板よりも第1の基板の方が先に圧着対象物の圧着が開始されてしまう。 For example, when the holding mechanism is moved, the first holding portion and the second holding portion move simultaneously. Therefore, when the second substrate is positioned and supported by the second lower receiving portion, the state of the first substrate already supported and positioned by the first lower receiving portion is changed. While maintaining, it is necessary to separate the first holding part from the first substrate. However, in the crimping method of Patent Document 1, the state of the first substrate is maintained by crimping with a crimping tool. That is, the crimping tool presses the object to be crimped and the first substrate against the lower receiving portion, thereby maintaining the state of the already positioned first substrate. As a result, the crimping of the object to be crimped starts earlier on the first substrate than on the second substrate.

これに対して、本開示の一態様に係る圧着方法では、第1の吸着工程と第2の支持工程とが行われる。したがって、第2の基板の位置決めを行うときには、既に位置決めされている第1の基板の状態の維持は、圧着ツールではなく、第1の吸引部による吸着によって行われる。そして、本開示の一態様に係る圧着方法の圧着工程では、第1の吸引部によって吸着され、かつ、第1の下受部に支持されている第1の基板の上面に対して、第1の圧着対象物が圧着される。また、第2の保持部に保持され、かつ、第2の下受部に支持されている第2の基板7Bの上面に、第2の圧着対象物が圧着される。つまり、本開示の一態様に係る圧着方法では、圧着を行うために、第1の基板および第2の基板が、第1の下受部および第2の下受部にそれぞれ支持されている状態は、第1の吸引部による吸着と第2の保持部による保持によって維持されている。したがって、第1の基板および第2基板に対応する2つの圧着ツールは、第1の基板および第2の基板のそれぞれに対して容易に同じ時間だけ圧着を行うことができる。その結果、2枚の基板の生産条件を容易に等しくすることができる。 In contrast, in the crimping method according to one aspect of the present disclosure, the first adsorption step and the second support step are performed. Therefore, when the second substrate is positioned, the state of the already positioned first substrate is maintained not by the crimping tool but by suction by the first suction unit. Then, in the crimping step of the crimping method according to one aspect of the present disclosure, the first of crimping objects are crimped. Also, the second object to be crimped is crimped onto the upper surface of the second substrate 7B held by the second holding portion and supported by the second support portion. That is, in the crimping method according to one aspect of the present disclosure, the first substrate and the second substrate are respectively supported by the first lower receiving portion and the second lower receiving portion in order to perform crimping. is maintained by suction by the first suction section and holding by the second holding section. Therefore, the two crimping tools corresponding to the first substrate and the second substrate can easily crimp the first substrate and the second substrate respectively for the same amount of time. As a result, the production conditions for the two substrates can be easily equalized.

また、前記圧着工程では、前記第1の基板の上面に対する前記第1の圧着対象物の圧着の開始タイミングと、前記第2の基板の上面に対する前記第2の圧着対象物の圧着の開始タイミングとは、同時であってもよい。さらに、前記圧着工程では、前記第1の基板の上面に対する前記第1の圧着対象物の圧着の終了タイミングと、前記第2の基板の上面に対する前記第2の圧着対象物の圧着の終了タイミングとは、同時であってもよい。 Further, in the pressure bonding step, the timing of starting pressure bonding of the first pressure bonding object to the top surface of the first substrate and the timing of starting pressure bonding of the second pressure bonding object to the top surface of the second substrate. may be at the same time. Furthermore, in the pressure-bonding step, the pressure-bonding of the first pressure-bonding object to the top surface of the first substrate is completed, and the pressure-bonding of the second pressure-bonding object to the top surface of the second substrate is completed. may be at the same time.

これにより、第1の基板および第2の基板に対応する2つの圧着ツールの制御タイミングに差を設けることなく、第1の基板および第2の基板のそれぞれに対して簡単に同時圧着を行うことができる。 As a result, the first substrate and the second substrate can be easily crimped simultaneously without providing a difference in the control timing of the two crimping tools corresponding to the first substrate and the second substrate. can be done.

また、前記圧着装置が、さらに、前記保持機構に含まれる保持部として、第3の基板の下面の一部に当接して前記第3の基板を保持するための第3の保持部を備える場合には、前記圧着方法は、さらに、前記第1の吸着工程の開始後に、前記保持機構を移動させて、前記第3の保持部に保持されている前記第3の基板の下面を、第3の下受部に支持させる第3の支持工程と、前記第3の基板の下面が前記第3の下受部に支持された状態に維持されるように、第2の吸引部に前記第3の基板を吸着させて、前記第3の保持部による前記第3の基板の保持を解除する第2の吸着工程とを含み、前記第2の支持工程では、前記第1の吸引部および前記第2の吸引部による吸着によって、前記第1の基板の下面が前記第1の下受部に支持され、かつ、前記第3の基板の下面が前記第3の下受部に支持されているときに、前記保持機構を移動させて、前記第2の保持部に保持されている前記第2の基板の下面を前記第2の下受部に支持させ、前記圧着工程では、さらに、前記第2の吸引部によって吸着され、かつ、前記第3の下受部に支持されている前記第3の基板の上面に第3の圧着対象物を圧着してもよい。 Further, when the crimping device further includes a third holding portion for holding the third substrate by contacting a portion of the lower surface of the third substrate, as a holding portion included in the holding mechanism. In the above-mentioned pressure-bonding method, after the start of the first adsorption step, the holding mechanism is further moved to move the lower surface of the third substrate held by the third holding portion to a third holding portion. a third supporting step of supporting the lower receiving portion; and a second adsorption step of releasing the holding of the third substrate by the third holding portion by adsorbing the first substrate and releasing the holding of the third substrate by the third holding portion. When the lower surface of the first substrate is supported by the first lower receiving portion and the lower surface of the third substrate is supported by the third lower receiving portion by suction by the suction portion of 2. and moving the holding mechanism to cause the second lower support portion to support the lower surface of the second substrate held by the second holding portion. A third object to be crimped may be crimped onto the upper surface of the third substrate which is sucked by the suction portion and supported by the third lower receiving portion.

これにより、2枚だけでなく、3枚の基板のそれぞれに対して容易に同じ時間だけ圧着を行うことができる。その結果、3枚の基板の生産条件を容易に等しくすることができる。また、3個の圧着ツールによる圧着の開始タイミングを同時にしてもよく、3個の圧着ツールによる圧着の終了タイミングを同時にしてもよい。これにより、3個の圧着ツールの制御タイミングに差を設けることなく、3枚の基板のそれぞれに対して簡単に同時圧着を行うことができる。 As a result, not only two substrates but also three substrates can be easily crimped for the same amount of time. As a result, it is possible to easily equalize the production conditions for the three substrates. Also, the crimping by the three crimping tools may be started at the same time, and the crimping by the three crimping tools may be finished at the same time. As a result, simultaneous crimping can be easily performed on each of the three substrates without providing differences in the control timings of the three crimping tools.

また、本開示の一態様に係る部品実装装置は、N枚(Nは2以上の整数)の基板の下面の一部に当接して前記N枚の基板をそれぞれ保持するためのN個の保持部と、N個の下受部と、前記N個の保持部を含む保持機構を移動させて、前記N個の保持部に保持されている前記N枚の基板の下面を、前記N個の下受部にそれぞれ支持させる移動機構と、前記N個の保持部のうちの(N-1)個の保持部による保持が解除される場合に、前記(N-1)個の保持部に対応する(N-1)枚の基板のそれぞれを吸着する(N-1)個の吸引部と、前記N枚の基板のそれぞれの上面に圧着対象物を圧着するN個の圧着ツールとを備え、前記N個の圧着ツールによって圧着される前記N枚の基板のうちの(N-1)枚の基板は、前記(N-1)個の吸引部にそれぞれ吸着され、かつ、前記N個の下受部のうちの(N-1)個の下受部にそれぞれ支持され、前記N個の圧着ツールによって圧着される前記N枚の基板のうちの残りの1枚の基板は、前記N個の保持部のうちの残りの1個の保持部に保持され、かつ、前記N個の下受部のうちの残りの1個の下受部に支持されていてもよい。 Further, the component mounting apparatus according to an aspect of the present disclosure includes N holders for respectively holding the N substrates (N is an integer equal to or greater than 2) in contact with part of the lower surfaces of the substrates. lower surfaces of the N substrates held by the N holding portions by moving a holding mechanism including the portion, the N lower receiving portions, and the N holding portions; A moving mechanism for supporting each of the lower receiving portions, and corresponding to the (N-1) holding portions when the holding by the (N-1) holding portions out of the N holding portions is released. (N-1) suction units for sucking each of the (N-1) substrates to be pressed, and N crimping tools for crimping the crimping target on the upper surface of each of the N substrates, Of the N substrates crimped by the N crimping tools, (N−1) substrates are respectively sucked by the (N−1) suction units, and Among the N substrates supported by (N−1) lower receiving portions of the receiving portions and crimped by the N crimping tools, the remaining one substrate out of the N substrates is It may be held by the remaining one holding portion among the holding portions and supported by the remaining one lower receiving portion among the N number of lower receiving portions.

これにより、2枚または3枚だけでなく、N枚の基板のそれぞれに対して容易に同じ時間だけ圧着を行うことができる。その結果、N枚の基板の生産条件を容易に等しくすることができる。また、N個の圧着ツールによる圧着の開始タイミングを同時にしてもよく、N個の圧着ツールによる圧着の終了タイミングを同時にしてもよい。これにより、N個の圧着ツールの制御タイミングに差を設けることなく、N枚の基板のそれぞれに対して簡単に同時圧着を行うことができる。 As a result, not only two or three substrates but also N substrates can be easily crimped for the same amount of time. As a result, it is possible to easily equalize the production conditions for the N substrates. Also, the crimping by the N crimping tools may be started at the same time, and the crimping by the N crimping tools may be finished at the same time. As a result, simultaneous pressure bonding can be easily performed on each of the N substrates without providing differences in the control timings of the N pressure bonding tools.

以下、実施の形態について、図面を参照しながら具体的に説明する。 Hereinafter, embodiments will be specifically described with reference to the drawings.

なお、以下で説明する実施の形態は、いずれも包括的または具体的な例を示すものである。以下の実施の形態で示される数値、形状、材料、構成要素、構成要素の配置位置及び接続形態、ステップ、ステップの順序などは、一例であり、本発明を限定する主旨ではない。また、以下の実施の形態における構成要素のうち、最上位概念を示す独立請求項に記載されていない構成要素については、任意の構成要素として説明される。 It should be noted that the embodiments described below are all comprehensive or specific examples. Numerical values, shapes, materials, components, arrangement positions and connection forms of components, steps, order of steps, and the like shown in the following embodiments are examples and are not intended to limit the present invention. In addition, among the constituent elements in the following embodiments, constituent elements that are not described in independent claims representing the highest concept will be described as arbitrary constituent elements.

また、各図は、模式図であり、必ずしも厳密に図示されたものではない。また、各図において、同じ構成部材については同じ符号を付している。また、以下の実施の形態において、略同じなどの表現を用いている。例えば、略同じは、完全に同じであることを意味するだけでなく、実質的に同じである、すなわち、例えば数%程度の誤差を含むことも意味する。また、略同じは、本開示による効果を奏し得る範囲において同じという意味である。他の「略」を用いた表現についても同様である。 Each figure is a schematic diagram and is not necessarily strictly illustrated. Moreover, in each figure, the same code|symbol is attached|subjected about the same component. In addition, in the following embodiments, expressions such as “substantially the same” are used. For example, "substantially the same" means not only exactly the same, but also substantially the same, that is, including an error of, for example, several percent. Also, "substantially the same" means the same within the scope where the effects of the present disclosure can be achieved. The same applies to expressions using other "abbreviations".

(実施の形態)
図1は、本実施の形態における表示パネル組立装置の平面図である。また、図2は、本実施の形態における表示パネル組立装置によって組み立てられる表示パネルの平面図である。
(Embodiment)
FIG. 1 is a plan view of a display panel assembly apparatus according to this embodiment. Also, FIG. 2 is a plan view of a display panel assembled by the display panel assembly apparatus according to the present embodiment.

表示パネル組立装置は、ガラス基板(以下、単に「基板」と略称する)に接着テープを介してドライバ用の電子部品を圧着により実装することによって、表示パネルの組立を行う。図1において基台1上には、待機ステージ2、接着テープ貼付部3、仮圧着部4、本圧着部5および搬出ステージ6が横一列に配置されている。ここで、本実施の形態では、本圧着部5が、圧着対象物を基板に圧着する圧着装置である。なお、圧着対象物は、例えば電子部品であるが、電子部品以外の物であってもよい。また、本実施の形態では、基板7の搬送方向をX軸方向といい、水平面においてそのX軸方向と垂直な方向をY軸方向という。さらに、X軸方向およびY軸方向に直交する方向をZ軸方向という。 A display panel assembly apparatus assembles a display panel by mounting electronic components for a driver on a glass substrate (hereinafter simply referred to as "substrate") by pressure bonding via an adhesive tape. In FIG. 1, on a base 1, a waiting stage 2, an adhesive tape sticking section 3, a temporary pressure bonding section 4, a final pressure bonding section 5, and an unloading stage 6 are arranged in a horizontal row. Here, in the present embodiment, the main crimping unit 5 is a crimping device that crimps the crimping object to the substrate. The object to be crimped is, for example, an electronic component, but may be an object other than the electronic component. Further, in the present embodiment, the direction in which the substrate 7 is conveyed is called the X-axis direction, and the direction perpendicular to the X-axis direction on the horizontal plane is called the Y-axis direction. Furthermore, the direction orthogonal to the X-axis direction and the Y-axis direction is called the Z-axis direction.

待機ステージ2は、電子部品がボンディングされる基板7を2枚載置可能なパネル載置テーブル2aを備えている。2枚の基板7は、パネル載置テーブル2a上においてプリセンタ機構(図示せず)によって位置合わせされ、これにより2枚の基板7の相対位置が合わされる。 The standby stage 2 includes a panel mounting table 2a on which two substrates 7 to which electronic components are to be bonded can be mounted. The two substrates 7 are aligned on the panel mounting table 2a by a pre-centering mechanism (not shown), whereby the relative positions of the two substrates 7 are aligned.

図2に示すように、基板7は、表示パネルを構成するためのガラス基板を2枚重ね合わせた構成になっている。基板7の相直交する2つの縁部7aおよび7bは、ガラス基板の回路形成面が露呈した部品実装面となっている。縁部7aおよび7bに設けられた接続用端子には、ドライバ用の電子部品8が圧着により実装される。 As shown in FIG. 2, the substrate 7 has a structure in which two glass substrates for forming a display panel are superimposed. Two mutually orthogonal edge portions 7a and 7b of the substrate 7 serve as component mounting surfaces on which the circuit forming surface of the glass substrate is exposed. An electronic component 8 for a driver is mounted by crimping on the connection terminals provided on the edge portions 7a and 7b.

接着テープ貼付部3は、基板保持部30に保持された2枚の基板7に対して、電子部品接合用の接着テープを貼り付ける。接着テープは、例えば、ACF(Anisotropic conductive film)テープである。基板保持部30は、XYZθテーブル機構31を備えている。基板保持部30は、接着テープ貼り付けの際には、XYZθテーブル機構31を駆動して、2枚の基板7の縁部を、基板保持部30に隣接して設けられた第1の下受部33Aおよび第2の下受部33B上にそれぞれ位置させる。そして、接着テープ貼付部3は、2枚の基板7の縁部が、それらの基板7に対応する第1の下受部33Aおよび第2の下受部33Bによって下受けされた状態で、圧着機構32によって接着テープの貼り付けを行う。なお、圧着機構32は、テープ貼付ユニット32Aおよび32Bからなり、テープ貼付ユニット32Aおよび32Bのそれぞれが基板7に対する接着テープの貼り付けを行う。 The adhesive tape application unit 3 applies an adhesive tape for bonding electronic components to the two substrates 7 held by the substrate holding unit 30 . The adhesive tape is, for example, an ACF (Anisotropic conductive film) tape. The substrate holder 30 has an XYZθ table mechanism 31 . The substrate holding part 30 drives the XYZ.theta. Positioned on portion 33A and second support portion 33B respectively. Then, the adhesive tape application portion 3 is crimped in a state in which the edge portions of the two substrates 7 are supported by the first support portion 33A and the second support portion 33B corresponding to the substrates 7. A mechanism 32 applies the adhesive tape. The pressure bonding mechanism 32 is composed of tape applying units 32A and 32B, and each of the tape applying units 32A and 32B applies an adhesive tape to the substrate 7. As shown in FIG.

仮圧着部4は、接着テープ貼付部3にて接着テープが貼りつけられ、基板保持部40に保持された2枚の基板7に、ドライバ用の電子部品8を搭載して仮圧着する。基板保持部40は、XYZθテーブル機構41を備えている。基板保持部40は、電子部品8が搭載される際には、XYZθテーブル機構41を駆動して、2枚の基板7の縁部を、基板保持部40に隣接して設けられた下受部47上に順次位置させる。そして、仮圧着部4は、基板7の縁部が下受部47によって下受けされた状態で、電子部品搭載機構42によって電子部品8の搭載を行う。ここでは、仮圧着部4は、電子部品搭載機構42のインデックステーブル42aに設けられた保持ヘッド45を矢印方向に順次インデックス回転させることにより、電子部品供給部43から取り出された電子部品8を、下受部47上の圧着作業位置まで搬送する。 The temporary pressure-bonding portion 4 temporarily pressure-bonds the two substrates 7 to which the adhesive tape is applied by the adhesive tape applying portion 3 and the electronic component 8 for the driver is mounted on the two substrates 7 held by the substrate holding portion 40 . The substrate holder 40 has an XYZθ table mechanism 41 . When the electronic component 8 is mounted, the substrate holding portion 40 drives the XYZθ table mechanism 41 to hold the edge portions of the two substrates 7 against the support portion provided adjacent to the substrate holding portion 40 . 47 in sequence. The electronic component 8 is mounted on the temporary pressure-bonding portion 4 by the electronic component mounting mechanism 42 while the edge of the substrate 7 is supported by the lower receiving portion 47 . Here, the temporary crimping unit 4 sequentially index-rotates the holding head 45 provided on the index table 42a of the electronic component mounting mechanism 42 in the direction of the arrow, so that the electronic component 8 taken out from the electronic component supply unit 43 is It is conveyed to the crimping work position on the lower receiving portion 47 .

本圧着部5は、2つの圧着部5Aおよび5Bを備えている。圧着部5Aおよび5Bは、基板保持部50および60のそれぞれに保持された2枚の基板7に仮圧着された電子部品8を、圧着機構52および62によって本圧着する。すなわち、圧着装置としての本圧着部5においては、基板7に接着テープを介して搭載された電子部品8が圧着対象物となっている。圧着機構52には、第1の下受部53Aおよび第2の下受部53Bが配設され、圧着機構62には、第3の下受部63Aおよび第4の下受部63Bが配設されている。本圧着の際には、圧着機構52および62は、第1のXYZθテーブル機構51および第2のXYZθテーブル機構61を駆動して、基板保持部50および60に保持された4枚の基板7の縁部を、それぞれの下受部53A、53B、63A、および63B上に移動させる。 The main crimping section 5 includes two crimping sections 5A and 5B. The crimping units 5A and 5B use the crimping mechanisms 52 and 62 to actually crimp the electronic components 8 temporarily crimped to the two substrates 7 held by the substrate holding units 50 and 60, respectively. That is, in the main crimping unit 5 as a crimping device, the electronic component 8 mounted on the substrate 7 via the adhesive tape is the object to be crimped. The crimping mechanism 52 is provided with a first lower receiving portion 53A and a second lower receiving portion 53B, and the crimping mechanism 62 is provided with a third lower receiving portion 63A and a fourth lower receiving portion 63B. It is During the main pressure bonding, the pressure bonding mechanisms 52 and 62 drive the first XYZ.theta. The rims are moved onto their respective supporters 53A, 53B, 63A and 63B.

搬出ステージ6は、パネル搬出テーブル6aを備えており、パネル搬出テーブル6aには、本圧着部5によって本圧着が行われた後の基板7が載置される。また、上述の各作業ステージの手前側には、基板搬送機構70が配設されている。基板搬送機構70は、スライドテーブル71上で基板搬送方向(図1において左右方向、すなわちX軸方向)に往復動する移動部材72に、複数の基板搬送ヘッドを配設した構造となっている。そして移動部材72が移動することにより、複数の基板搬送ヘッドによって各作業ステージ間で基板7を同時に搬送できる。 The carry-out stage 6 includes a panel carry-out table 6a, and the substrate 7 after the main pressure bonding by the main pressure bonding section 5 is placed on the panel carry-out table 6a. A substrate transfer mechanism 70 is arranged in front of each work stage described above. The substrate transport mechanism 70 has a structure in which a plurality of substrate transport heads are arranged on a moving member 72 that reciprocates on a slide table 71 in the substrate transport direction (horizontal direction in FIG. 1, that is, the X-axis direction). By moving the moving member 72, the substrate 7 can be simultaneously transported between the work stages by a plurality of substrate transport heads.

これらの基板搬送ヘッドのうち、第1の基板搬送ヘッド75および第2の基板搬送ヘッド76は、移動部材72に直接結合されている。第3の基板搬送ヘッド77および第4の基板搬送ヘッド78は、それぞれ第1の伸縮機構73および第2の伸縮機構74を介して移動部材72に結合されている。第1の基板搬送ヘッド75および第2の基板搬送ヘッド76は、待機ステージ2から接着テープ貼付部3へ、接着テープ貼付部3から仮圧着部4へ、それぞれ2枚の基板7を同時に搬送する。 Of these substrate transport heads, the first substrate transport head 75 and the second substrate transport head 76 are directly coupled to the moving member 72 . A third substrate transport head 77 and a fourth substrate transport head 78 are coupled to the moving member 72 via a first telescopic mechanism 73 and a second telescopic mechanism 74, respectively. The first substrate transport head 75 and the second substrate transport head 76 simultaneously transport two substrates 7 from the standby stage 2 to the adhesive tape applying section 3 and from the adhesive tape applying section 3 to the temporary pressure bonding section 4, respectively. .

第3の基板搬送ヘッド77および第4の基板搬送ヘッド78は、仮圧着部4から本圧着部5へ、本圧着部5から搬出ステージ6へそれぞれ2枚の基板7を同時に搬送する。このとき、第1の伸縮機構73のロッド73aを伸縮させることにより、第3の基板搬送ヘッド77によって本圧着部5へ基板7を搬送する際の搬送先を、基板保持部50および60のいずれかに切り換えることができる。また、第2の伸縮機構74のロッド74aを伸縮させることにより、第4の基板搬送ヘッド78によって本圧着部5から基板7を取り出す際の基板7の取り出し元を、基板保持部50および60のいずれかに切り換えることができる。 The third substrate transport head 77 and the fourth substrate transport head 78 simultaneously transport two substrates 7 from the temporary pressure bonding section 4 to the final pressure bonding section 5 and from the final pressure bonding section 5 to the unloading stage 6, respectively. At this time, by extending and contracting the rod 73 a of the first telescopic mechanism 73 , the transport destination when the substrate 7 is transported to the main pressure-bonding unit 5 by the third substrate transport head 77 can be selected from the substrate holding units 50 and 60 . You can switch between Further, by extending and retracting the rod 74 a of the second extension mechanism 74 , the substrate holding portions 50 and 60 can be selected as the substrate 7 picking-out source when the substrate 7 is taken out from the main pressure-bonding portion 5 by the fourth substrate conveying head 78 . You can switch to either.

図3は、本実施の形態における表示パネル組立装置に含まれる圧着装置である本圧着部5の斜視図である。 FIG. 3 is a perspective view of the main pressure-bonding unit 5, which is a pressure-bonding device included in the display panel assembly apparatus according to the present embodiment.

上述のように、本実施の形態における本圧着部5は、2つの圧着部5Aおよび5Bを備える。そして、圧着部5Aは、基板保持部50を備え、圧着部5Bは、基板保持部60を備える。 As described above, the main crimping portion 5 in this embodiment includes two crimping portions 5A and 5B. The crimping portion 5A has a substrate holding portion 50, and the crimping portion 5B has a substrate holding portion 60. As shown in FIG.

基板保持部50および60は、それぞれ第1のXYZθテーブル機構51および第2のXYZθテーブル機構61を備えている。第1のXYZθテーブル機構51は、下からXテーブル51X、Yテーブル51Y、Zテーブル51Zおよび水平回転駆動機構51θを順に段積みして構成されている。第2のXYZθテーブル機構61も同様に、Xテーブル61X、Yテーブル61Y、Zテーブル61Zおよび水平回転駆動機構61θを順に段積みして構成されている。Xテーブル51Xおよび61Xは、共通のガイドレール上に設けられている。 The substrate holders 50 and 60 have a first XYZθ table mechanism 51 and a second XYZθ table mechanism 61, respectively. The first XYZθ table mechanism 51 is configured by sequentially stacking an X table 51X, a Y table 51Y, a Z table 51Z, and a horizontal rotation driving mechanism 51θ from the bottom. Similarly, the second XYZθ table mechanism 61 is constructed by sequentially stacking an X table 61X, a Y table 61Y, a Z table 61Z and a horizontal rotation driving mechanism 61θ. The X tables 51X and 61X are provided on a common guide rail.

第1のXYZθテーブル機構51上には、基板保持部50の第1の保持部54Aおよび第2の保持部54Bが設けられている。同様に、第2のXYZθテーブル機構61上には、基板保持部60の第3の保持部64Aおよび第4の保持部64Bが設けられている。圧着部5Aは、第1のXYZθテーブル機構51を駆動することにより、第1の保持部54Aおよび第2の保持部54Bに保持された基板7の縁部を、後述する第1の圧着ツール52Aによる第1の圧着位置、および第2の圧着ツール52Bによる第2の圧着位置にそれぞれ移動させる。また、圧着部5Bは、第2のXYZθテーブル機構61を駆動することにより、第3の保持部64Aおよび第4の保持部64Bに保持された基板7の縁部を、後述する第3の圧着ツール62Aによる第3の圧着位置、および第4の圧着ツール62Bによる第4の圧着位置にそれぞれ移動させる。 A first holding portion 54A and a second holding portion 54B of the substrate holding portion 50 are provided on the first XYZθ table mechanism 51 . Similarly, on the second XYZθ table mechanism 61, a third holding portion 64A and a fourth holding portion 64B of the substrate holding portion 60 are provided. By driving the first XYZθ table mechanism 51, the crimping section 5A moves the edge of the substrate 7 held by the first holding section 54A and the second holding section 54B to a first crimping tool 52A described later. and to a second crimping position by a second crimping tool 52B, respectively. Further, the crimping section 5B drives the second XYZθ table mechanism 61 to press the edge of the substrate 7 held by the third holding section 64A and the fourth holding section 64B to the third crimping section described later. It is moved to a third crimping position by tool 62A and a fourth crimping position by fourth crimping tool 62B, respectively.

基板保持部50の後方(すなわちY軸方向の奥側)には、第1の下受部53Aおよび第2の下受部53Bが配設されている。第1の下受部53Aおよび第2の下受部53Bは、第1の保持部54Aおよび第2の保持部54Bに保持された2枚の基板7を、それぞれ下方から同一高さで支持する。つまり、第1の下受部53Aおよび第2の下受部53Bは、第1の圧着ツール52Aによる第1の圧着位置、および第2の圧着ツール52Bによる第2の圧着位置において、2枚の基板7を下方から支持する。また、基板保持部60の後方には、第3の下受部63Aおよび第4の下受部63Bが配設されている。第3の下受部63Aおよび第4の下受部63Bは、第3の保持部64Aおよび第4の保持部64Bに保持された2枚の基板7を、それぞれ下方から同一高さで支持する。つまり、第3の下受部63Aおよび第4の下受部63Bは、第3の圧着ツール62Aによる第3の圧着位置、および第4の圧着ツール62Bによる第4の圧着位置において、2枚の基板7を下方から同一高さで支持する。 A first lower receiving portion 53A and a second lower receiving portion 53B are arranged behind the substrate holding portion 50 (that is, on the back side in the Y-axis direction). The first support portion 53A and the second support portion 53B support the two substrates 7 held by the first holding portion 54A and the second holding portion 54B from below at the same height. . That is, the first lower receiving portion 53A and the second lower receiving portion 53B form two sheets at a first crimping position by the first crimping tool 52A and a second crimping position by the second crimping tool 52B. The substrate 7 is supported from below. A third lower receiving portion 63A and a fourth lower receiving portion 63B are arranged behind the substrate holding portion 60. As shown in FIG. The third support part 63A and the fourth support part 63B support the two substrates 7 held by the third support part 64A and the fourth support part 64B from below at the same height. . That is, the third lower receiving portion 63A and the fourth lower receiving portion 63B form two sheets at the third crimping position by the third crimping tool 62A and the fourth crimping position by the fourth crimping tool 62B. The substrate 7 is supported at the same height from below.

基板保持部50および60の上方には、基板認識カメラ56がX方向に移動可能に配設されている。基板認識カメラ56は、第1の保持部54A、第2の保持部54B、第3の保持部64A、および第4の保持部64B上の4枚の基板7を撮像する。この撮像により、本圧着部5は、4枚の基板7に設けられた認識マークを認識し、その4枚の基板7の位置を検出する。そして、本圧着部5は、この位置検出結果に基づいて、第1のXYZθテーブル機構51および第2のXYZθテーブル機構61を駆動することにより、第1の保持部54A、第2の保持部54B、第3の保持部64A、および第4の保持部64Bを水平方向に移動させる。その結果、保持されている4枚の基板7を第1の圧着位置、第2の圧着位置、第3の圧着位置、および第4の圧着位置に、それぞれ位置決めすることができる。 Above the substrate holders 50 and 60, a substrate recognition camera 56 is arranged so as to be movable in the X direction. The substrate recognition camera 56 images the four substrates 7 on the first holding portion 54A, the second holding portion 54B, the third holding portion 64A, and the fourth holding portion 64B. By this imaging, the main pressure-bonding unit 5 recognizes the recognition marks provided on the four substrates 7 and detects the positions of the four substrates 7 . Based on this position detection result, the main crimping section 5 drives the first XYZθ table mechanism 51 and the second XYZθ table mechanism 61, thereby forming the first holding portion 54A and the second holding portion 54B. , the third holding portion 64A, and the fourth holding portion 64B are moved in the horizontal direction. As a result, the held four substrates 7 can be positioned at the first, second, third, and fourth crimping positions, respectively.

第1の下受部53A、第2の下受部53B、第3の下受部63A、および第4の下受部63Bの上方には、それぞれ第1の圧着ツール52A、第2の圧着ツール52B、第3の圧着ツール62A、および第4の圧着ツール62Bが配設されている。本圧着部5は、仮圧着部4で電子部品8が接着テープ上に仮圧着された基板7の縁部を、その基板7に対応する圧着位置に位置決めする。そして、本圧着部5は、圧着ツールを基板7に対して下降させて押圧状態を所定の圧着時間保持する。これにより、電子部品8は基板7に接着テープを介して本圧着される。 A first crimping tool 52A, a second crimping tool 52A, and a second crimping tool 52A are provided above the first, second, 53B, 63A, and 63B, respectively. 52B, a third crimping tool 62A and a fourth crimping tool 62B are provided. The main pressure-bonding unit 5 positions the edge of the substrate 7 , the electronic component 8 of which has been temporarily pressure-bonded onto the adhesive tape by the temporary pressure-bonding unit 4 , at a pressure-bonding position corresponding to the substrate 7 . Then, the main crimping unit 5 lowers the crimping tool with respect to the substrate 7 and maintains the pressed state for a predetermined crimping time. As a result, the electronic component 8 is permanently pressure-bonded to the substrate 7 via the adhesive tape.

図4は、本実施の形態の圧着部5Aにおける水平回転駆動機構51θの構成説明図である。 FIG. 4 is a configuration explanatory diagram of the horizontal rotation driving mechanism 51θ in the crimping portion 5A of the present embodiment.

図4の(a)に示すように、第1の保持部54Aおよび第2の保持部54Bのそれぞれの回転軸に結合されたプーリ35には、水平回転駆動機構51θに配設されたモータ36から、ベルト38およびプーリ37を介して回転が伝達される。したがって、モータ36を駆動することにより、第1の保持部34Aおよび第2の保持部34Bは水平面内でθ回転する。これにより、第1の保持部34Aおよび第2の保持部34Bのそれぞれに保持された基板7を、水平面内で回転させることができる。 As shown in FIG. 4A, the pulleys 35 coupled to the rotation shafts of the first holding portion 54A and the second holding portion 54B are connected to the motor 36 provided in the horizontal rotation driving mechanism 51θ. , the rotation is transmitted via belt 38 and pulley 37 . Therefore, by driving the motor 36, the first holding portion 34A and the second holding portion 34B rotate by θ in the horizontal plane. Thereby, the substrate 7 held by each of the first holding portion 34A and the second holding portion 34B can be rotated in the horizontal plane.

図4の(b)に示すように、第1の保持部54Aおよび第2の保持部54Bの上面の高さ位置は同一ではない。つまり、第1の保持部54Aの上面よりも、第2の保持部54Bの上面の方が、ΔHだけ高い。このΔHは、保持対象の基板7の厚みtよりも大きく設定されている。したがって、第1の保持部34Aおよび第2の保持部34Bを回転させるときには、互いに隣接する2枚の基板7がそれぞれ異なる高さで回転する。 As shown in FIG. 4B, the height positions of the upper surfaces of the first holding portion 54A and the second holding portion 54B are not the same. That is, the upper surface of the second holding portion 54B is higher than the upper surface of the first holding portion 54A by ΔH. This ΔH is set larger than the thickness t of the substrate 7 to be held. Therefore, when the first holding portion 34A and the second holding portion 34B are rotated, the two substrates 7 adjacent to each other are rotated at different heights.

このように、2枚の基板7を異なる高さ位置で保持することにより、第1の保持部54および第2の保持部54Bの間隔が狭くても、2枚の隣り合う基板7をθ回転させたときに、これらの基板7において干渉が発生することを抑えることができる。その結果、圧着部5Aの基板搬送方向(すなわちX軸方向)の寸法をコンパクト化することができる。また、圧着部5Bも、圧着部5Aと同様に構成されている。 By holding the two substrates 7 at different height positions in this way, even if the distance between the first holding portion 54 and the second holding portion 54B is narrow, the two adjacent substrates 7 can be rotated by θ. It is possible to suppress the occurrence of interference in these substrates 7 when the substrates 7 are arranged in the same direction. As a result, the dimension of the crimping portion 5A in the board transfer direction (that is, the X-axis direction) can be made compact. Also, the crimping portion 5B is configured in the same manner as the crimping portion 5A.

図5は、圧着部5Aにおける第1の下受部53Aと第1の吸引部53Cとを示す図である。 FIG. 5 is a diagram showing the first support portion 53A and the first suction portion 53C in the crimping portion 5A.

本実施の形態における圧着部5Aは、基板7を吸着するための第1の吸引部53Cを備えている。第1の吸引部53Cには、バルブを介して真空源に接続される吸引孔53Dが形成されている。 The crimping portion 5A in the present embodiment includes a first suction portion 53C for sucking the substrate 7. As shown in FIG. A suction hole 53D connected to a vacuum source via a valve is formed in the first suction portion 53C.

ここで、第1の吸引部53Cの吸引孔53Dが形成されている面は、第1の下受部53Aの上面と略同じ高さである。さらに、第1の吸引部53Cは、図4の(a)に示すように、第1の保持部54Aと第1の下受部53Aとの間に配置されている。 Here, the surface on which the suction holes 53D of the first suction portion 53C are formed is substantially the same height as the upper surface of the first lower receiving portion 53A. Further, the first suction portion 53C is arranged between the first holding portion 54A and the first support portion 53A, as shown in FIG. 4(a).

したがって、第1の保持部54Aによって保持されている基板7の縁部の下面が、第1の下受部53Aによって支持される場合には、第1の吸引部53Cは、吸引孔53Dからの真空吸引によって、その基板7を吸着することができる。このように、第1の吸引部53Cによって吸着されている基板7は、第1の保持部54Aによる保持が解除されても、第1の下受部53Aによって支持された状態に維持される。つまり、第1の吸引部53Cは、第1の保持部54Aに代わって、基板7を第1の下受部53Aによって支持された状態に維持する。 Therefore, when the lower surface of the edge portion of the substrate 7 held by the first holding portion 54A is supported by the first lower receiving portion 53A, the first suction portion 53C is used for the suction from the suction hole 53D. The substrate 7 can be sucked by vacuum suction. In this manner, the substrate 7 sucked by the first suction portion 53C is maintained in a state of being supported by the first lower receiving portion 53A even when the holding by the first holding portion 54A is released. In other words, the first suction portion 53C maintains the state in which the substrate 7 is supported by the first lower receiving portion 53A instead of the first holding portion 54A.

なお、第1の吸引部53Cは、第1の下受部53Aに対して配置され、第2の下受部53Bに対しては配置されていなくてもよい。また、図3に示すように、圧着部5Bも、第1の吸引部53Cと同様の構成を有する第2の吸引部63Cを備えている。この第2の吸引部63Cは、第3の下受部63Aに対して配置され、第4の下受部63Bに対しては配置されていなくてもよい。 It should be noted that the first suction portion 53C may be arranged with respect to the first lower receiving portion 53A and may not be arranged with respect to the second lower receiving portion 53B. Further, as shown in FIG. 3, the crimping portion 5B also has a second suction portion 63C having the same configuration as the first suction portion 53C. The second suction portion 63C may be arranged with respect to the third lower receiving portion 63A and may not be arranged with respect to the fourth lower receiving portion 63B.

図6は、本実施の形態の圧着装置である本圧着部5における制御系の構成を示すブロック図である。 FIG. 6 is a block diagram showing the configuration of the control system in the main crimping section 5, which is the crimping device of the present embodiment.

本実施の形態における本圧着部5は、上述の各構成要素以外に、基板位置検出部86と、第1のバルブ87~第6のバルブ92と、真空源82と、制御部79とを備える。なお、制御部79および真空源82は、接着テープ貼付部3および仮圧着部4と共用されていてもよい。また、真空源82は、表示パネル組立装置による表示パネルの組み立てが行われているときには継続的に駆動している。 The main crimping unit 5 in the present embodiment includes a substrate position detection unit 86, a first valve 87 to a sixth valve 92, a vacuum source 82, and a control unit 79 in addition to the components described above. . Note that the controller 79 and the vacuum source 82 may be shared with the adhesive tape application section 3 and the temporary pressure bonding section 4 . Further, the vacuum source 82 is continuously driven while the display panel is being assembled by the display panel assembly apparatus.

基板位置検出部86は、基板認識カメラ56の観察結果を取得し、その観察結果を認識処理することにより、第1の保持部54A、第2の保持部54B、第3の保持部64Aおよび第4の保持部64Bのそれぞれに保持された基板7の位置を認識する。位置認識結果は、制御部79に伝達される。 The substrate position detection unit 86 acquires the observation result of the substrate recognition camera 56 and performs recognition processing on the observation result to obtain the first holding unit 54A, the second holding unit 54B, the third holding unit 64A and the third holding unit 64A. The position of the substrate 7 held by each of the four holding portions 64B is recognized. The position recognition result is transmitted to the control section 79 .

制御部79は、圧着機構52および62と、第1のXYZθテーブル機構51と、第2のXYZθテーブル機構61とを制御する。このとき、制御部79は、4枚の基板7のそれぞれの位置認識結果に基づいて、第1のXYZθテーブル機構51および第2のXYZθテーブル機構61を制御する。これにより、圧着機構52および62に対して、4枚の基板7を水平方向、高さ方向およびθ回転方向に位置合わせすることができる。すなわち、制御部79は、基板位置検出部86によって認識された基板7の位置に基づいて、少なくとも4枚の基板7のXY方向の位置を制御する。その制御によって、制御部79は、2枚の基板7を、圧着機構52の第1の圧着ツール52Aおよび第2の圧着ツール52Bに対して位置決めする。さらに、制御部79は、2枚の基板7を、圧着機構62の第3の圧着ツール62Aおよび第4の圧着ツール62Bに対して位置決めする。 The control unit 79 controls the crimping mechanisms 52 and 62 , the first XYZθ table mechanism 51 and the second XYZθ table mechanism 61 . At this time, the control unit 79 controls the first XYZθ table mechanism 51 and the second XYZθ table mechanism 61 based on the position recognition results of each of the four substrates 7 . Thereby, the four substrates 7 can be aligned in the horizontal direction, the height direction, and the θ rotation direction with respect to the crimping mechanisms 52 and 62 . That is, the control unit 79 controls the positions of at least four substrates 7 in the XY direction based on the positions of the substrates 7 recognized by the substrate position detection unit 86 . Under its control, the control section 79 positions the two substrates 7 with respect to the first crimping tool 52A and the second crimping tool 52B of the crimping mechanism 52 . Furthermore, the controller 79 positions the two substrates 7 with respect to the third crimping tool 62A and the fourth crimping tool 62B of the crimping mechanism 62 .

第1の保持部54Aの上面に形成されている吸引孔と、第2の保持部54Bの上面に形成されている吸引孔とは、それぞれ第1のバルブ87および第2のバルブ88を介して真空源82に接続されている。また、第3の保持部64Aの上面に形成されている吸引孔と、第4の保持部64Bの上面に形成されている吸引孔とは、それぞれ第3のバルブ89および第4のバルブ90を介して真空源82に接続されている。制御部79は、第1のバルブ87、第2のバルブ88、第3のバルブ89および第4のバルブ90のそれぞれの開閉を制御する。これにより、制御部79は、第1の保持部54A、第2の保持部54B、第3の保持部64A、および第4の保持部64Bのそれぞれの上面に、基板7を真空吸引によって保持させたり、その保持を解除させたりする。 The suction hole formed on the upper surface of the first holding portion 54A and the suction hole formed on the upper surface of the second holding portion 54B are connected via a first valve 87 and a second valve 88, respectively. It is connected to a vacuum source 82 . Further, the suction hole formed in the upper surface of the third holding portion 64A and the suction hole formed in the upper surface of the fourth holding portion 64B are connected to the third valve 89 and the fourth valve 90, respectively. It is connected to a vacuum source 82 via. The control unit 79 controls opening and closing of the first valve 87 , the second valve 88 , the third valve 89 and the fourth valve 90 . As a result, the controller 79 causes the substrate 7 to be held by vacuum suction on the upper surfaces of the first holding portion 54A, the second holding portion 54B, the third holding portion 64A, and the fourth holding portion 64B. or cancel its retention.

また、本実施の形態における本圧着部5は、第1の吸引部53Cによる基板7の吸着とその吸着の解除とを切り替えるための第5のバルブ91を備えている。この第5のバルブ91は、第1の吸引部53Cの吸引孔53Dと真空源82とのそれぞれに配管を介して接続されている。制御部79は、この第5のバルブ91の開閉を制御することによって、第1の吸引部53Cの上面に、基板7を真空吸引によって吸着させたり、その吸着を解除させたりする。 Further, the main pressure-bonding portion 5 in the present embodiment includes a fifth valve 91 for switching between suction of the substrate 7 by the first suction portion 53C and release of the suction. The fifth valve 91 is connected to the suction hole 53D of the first suction portion 53C and the vacuum source 82 via pipes. By controlling the opening and closing of the fifth valve 91, the control section 79 vacuum-sucks the substrate 7 onto the upper surface of the first suction section 53C, and releases the suction.

同様に、本実施の形態における本圧着部5は、第2の吸引部63Cによる基板7の吸着とその吸着の解除とを切り替えるための第6のバルブ92を備えている。この第6のバルブ92は、第2の吸引部63Cの吸引孔と真空源82とのそれぞれに配管を介して接続されている。制御部79は、この第6のバルブ92の開閉を制御することによって、第2の吸引部63Cの上面に、基板7を真空吸引によって吸着させたり、その吸着を解除させたりする。 Similarly, the main pressure-bonding section 5 in the present embodiment includes a sixth valve 92 for switching between suction of the substrate 7 by the second suction section 63C and release of the suction. The sixth valve 92 is connected to the suction hole of the second suction portion 63C and the vacuum source 82 via pipes. The control unit 79 controls the opening and closing of the sixth valve 92 to cause the substrate 7 to be attracted to the upper surface of the second suction unit 63C by vacuum suction, or to release the suction.

図7Aおよび図7Bは、本実施の形態における圧着部5Aによる圧着動作の一例を示すフローチャートである。図8、図9および図10は、その圧着部5Aによる圧着動作の一例を説明するための図である。なお、以下の説明では、基板保持部50に保持されている2枚の基板7をそれぞれ区別するために、その2枚の基板7をそれぞれ第1の基板7Aおよび第2の基板7Bと記述する。また、圧着部5Bについても、図7A~図10に示す例と同様の圧着動作を行う。 7A and 7B are flowcharts showing an example of the crimping operation by the crimping portion 5A according to the present embodiment. 8, 9 and 10 are diagrams for explaining an example of the crimping operation by the crimping portion 5A. In the following description, in order to distinguish between the two substrates 7 held by the substrate holding portion 50, the two substrates 7 are referred to as the first substrate 7A and the second substrate 7B, respectively. . Also, for the crimping portion 5B, the crimping operation similar to the examples shown in FIGS. 7A to 10 is performed.

まず、制御部79は、図7Aに示すように、第1の保持部54Aおよび第2の保持部54Bのそれぞれの吸着をONにする(ステップS101)。 First, as shown in FIG. 7A, the control unit 79 turns ON the adsorption of each of the first holding unit 54A and the second holding unit 54B (step S101).

次に、圧着部5Aは、第1の基板7Aと第2の基板7Bを基板認識カメラ56による観察位置へ移動させる(S102)。すなわち、圧着部5Aは、第1のXYZθテーブル機構51を駆動して第1の保持部54Aおよび第2の保持部54Bを移動させる。これにより、第1の下受部53Aと第1の圧着ツール52Aの間に第1の基板7Aが配置され、第2の下受部53Bと第2の圧着ツール52Bの間に第2の基板7Bが配置される。 Next, the crimping unit 5A moves the first substrate 7A and the second substrate 7B to observation positions by the substrate recognition camera 56 (S102). That is, the crimping section 5A drives the first XYZθ table mechanism 51 to move the first holding section 54A and the second holding section 54B. This places the first substrate 7A between the first lower receiving portion 53A and the first crimping tool 52A, and the second substrate between the second lower receiving portion 53B and the second crimping tool 52B. 7B is placed.

これらの第1の基板7Aおよび第2の基板7Bの移動では、Zテーブル制御高さとして、第1レベルが指令される。第1レベルは、第1の保持部54A(低い方の保持部)に保持された第1の基板7Aの下面を、第1の下受部53Aおよび第1の吸引部53Cの上面よりも高い位置に位置させる状態に対応したレベルである。これにより、図8の(a)に示すように、第1の基板7Aおよび第2の基板7Bは、第1の下受部53Aおよび第2の下受部53Bから離れて上方に位置する。なお、図8~図10において、第1の保持部54Aおよび第2の保持部54Bのそれぞれの内部に記載されている矢印は、基板7の吸着がその保持部によって行われていることを示す。 For movement of these first substrate 7A and second substrate 7B, the first level is commanded as the Z table control height. At the first level, the lower surface of the first substrate 7A held by the first holding portion 54A (lower holding portion) is higher than the upper surfaces of the first lower receiving portion 53A and the first suction portion 53C. It is a level corresponding to the state of being placed in a position. As a result, as shown in FIG. 8A, the first substrate 7A and the second substrate 7B are positioned above the first support portion 53A and the second support portion 53B. 8 to 10, the arrows written inside each of the first holding portion 54A and the second holding portion 54B indicate that the substrate 7 is sucked by the holding portion. .

なお、この状態においては、第1の基板7Aおよび第2の基板7Bのそれぞれの縁部7a(図2参照)側が、第1の下受部33Aおよび第2の下受部33B上に位置している。そして、第1の基板7Aおよび第2の基板7Bのそれぞれの縁部7aには、電子部品8が接着テープを介して搭載されている。 In this state, the edges 7a (see FIG. 2) of the first substrate 7A and the second substrate 7B are positioned on the first support portion 33A and the second support portion 33B. ing. An electronic component 8 is mounted on each edge 7a of the first substrate 7A and the second substrate 7B via an adhesive tape.

次いで、基板認識カメラ56は、第1の基板7Aと第2の基板7Bを観察する(S103)。そして、基板位置検出部86は、観察結果を認識処理することにより、第1の基板7Aと第2の基板7Bの位置を認識する。そして、制御部79は、位置認識結果に基づき第1のXYZθテーブル機構51を制御することにより、図8の(b)に示すように、第1の基板7Aを第1の圧着位置に位置決めする(S104)。 Next, the board recognition camera 56 observes the first board 7A and the second board 7B (S103). Then, the substrate position detection unit 86 recognizes the positions of the first substrate 7A and the second substrate 7B by performing recognition processing on the observation results. Then, the control unit 79 controls the first XYZθ table mechanism 51 based on the position recognition result to position the first substrate 7A at the first crimping position as shown in FIG. 8(b). (S104).

次いで、制御部79は、Zテーブル制御高さとして、第2レベルを指令する。これにより、制御部79は、第1の保持部54Aおよび第2の保持部54Bを下降させ、図8の(c)に示すように、第1の基板7Aを第1の下受部53A上に着地させる(S105)。このとき、第1の基板7Aの下面は、第1の下受部53Aによって支持される。つまり、制御部79は、第1の保持部54Aおよび第2の保持部54Bを含む保持機構を移動させて、第1の保持部54Aに保持されている第1の基板7Aの下面を、第1の下受部53Aに支持させる。 Next, the controller 79 commands the second level as the Z table control height. Thereby, the control section 79 lowers the first holding section 54A and the second holding section 54B, and as shown in FIG. (S105). At this time, the lower surface of the first substrate 7A is supported by the first support portion 53A. In other words, the controller 79 moves the holding mechanism including the first holding portion 54A and the second holding portion 54B to move the lower surface of the first substrate 7A held by the first holding portion 54A to the first holding portion 54A. It is supported by one lower receiving portion 53A.

ここで、制御部79は、第1の吸引部53Cの吸着をONにする(ステップS106)。さらに、制御部79は、第1の保持部54Aの吸着をOFFにする(ステップS107)。これにより、第1の基板7Aは、第1の保持部54Aによって保持されず、第1の下受部53A上に配置された状態で、第1の吸引部53Cによって保持される。つまり、制御部79は、第1の基板7Aの下面が第1の下受部53Aに支持された状態に維持されるように、第1の吸引部53Cに第1の基板7Aを吸着させて、第1の保持部54Aによる第1の基板7Aの保持を解除する。 Here, the control unit 79 turns ON the suction of the first suction unit 53C (step S106). Furthermore, the control unit 79 turns off the adsorption of the first holding unit 54A (step S107). As a result, the first substrate 7A is not held by the first holding portion 54A and is held by the first suction portion 53C while being placed on the first lower receiving portion 53A. That is, the control unit 79 causes the first suction unit 53C to suck the first substrate 7A so that the lower surface of the first substrate 7A is maintained in a state of being supported by the first lower receiving unit 53A. , the holding of the first substrate 7A by the first holding portion 54A is released.

そして、制御部79は、Zテーブル制御高さとして、第3レベルを指令する。これにより、制御部79は、図9の(a)に示すように、第1の基板7Aを第1の吸引部53Cに保持させながら、第1の保持部54Aおよび第2の保持部54Bを下向させる。その結果、第1のXYZθテーブル機構51は、第2の保持部54Bに保持されている第2の基板7Bを水平移動させることが可能な状態となる。この後、制御部79は、第2の基板7Bを第2の圧着位置に位置決めする(ステップS109)。なお、図9および図10において、第1の吸引部53Cの内部に記載されている矢印は、基板7の吸着が第1の吸引部53Cによって行われていることを示す。 Then, the control unit 79 commands the third level as the Z table control height. As a result, as shown in FIG. 9A, the controller 79 causes the first holding portion 54A and the second holding portion 54B to be held while causing the first suction portion 53C to hold the first substrate 7A. downwards. As a result, the first XYZθ table mechanism 51 becomes capable of horizontally moving the second substrate 7B held by the second holding portion 54B. After that, the controller 79 positions the second substrate 7B at the second crimping position (step S109). 9 and 10, an arrow inside the first suction section 53C indicates that the substrate 7 is sucked by the first suction section 53C.

そして、制御部79は、Zテーブル制御高さとして第4レベルを指令する。これにより、図9の(b)に示すように、制御部79は、第2の基板7Bを第2の下受部53B上に着地させる(ステップS110)。つまり、制御部79は、第1の吸引部53Cによる吸着によって、第1の基板7Aの下面が第1の下受部53Aに支持されているときに、保持機構を移動させて、第2の保持部54Bに保持されている第2の基板7Bの下面を第2の下受部53Bに支持させる。 Then, the control unit 79 commands the fourth level as the Z table control height. As a result, as shown in FIG. 9B, the control section 79 causes the second substrate 7B to land on the second support section 53B (step S110). That is, when the lower surface of the first substrate 7A is supported by the first lower receiving portion 53A by suction by the first suction portion 53C, the control portion 79 moves the holding mechanism to move the second substrate 7A. The lower surface of the second substrate 7B held by the holding portion 54B is supported by the second lower receiving portion 53B.

そして、制御部79は、図9の(c)に示すように、第1の圧着ツール52Aおよび第2の圧着ツール52Bを下降させる。これにより、制御部79は、第1の圧着ツール52Aによって圧着対象物である電子部品8を加圧して第1の基板7Aに圧着し、第2の圧着ツール52Bによって圧着対象物である電子部品8を加圧して第2の基板7Bに圧着する(ステップS111)。つまり、制御部79は、第1の吸引部53Cによって吸着され、かつ、第1の下受部53Aに支持されている第1の基板7Aの上面に第1の圧着対象物を圧着し、第2の保持部54Bに保持され、かつ、第2の下受部53Bに支持されている第2の基板7Bの上面に第2の圧着対象物を圧着する。このような、第1の基板7Aに対する圧着と、第2の基板7Bに対する圧着とは、同時に行われる。言い換えれば、第1の基板7Aの上面に対する第1の圧着対象物の圧着の開始タイミングと、第2の基板7Bの上面に対する第2の圧着対象物の圧着の開始タイミングとは、同時である。したがって、ステップS111では、第1の基板7Aおよび第2の基板7Bに対する同時圧着が開始される。 Then, the controller 79 lowers the first crimping tool 52A and the second crimping tool 52B as shown in FIG. 9(c). As a result, the control unit 79 presses the electronic component 8, which is the object to be crimped, with the first crimping tool 52A to crimp it onto the first substrate 7A, and presses the electronic component, which is the object to be crimped, by the second crimping tool 52B. 8 is pressurized and bonded to the second substrate 7B (step S111). That is, the control unit 79 presses the first crimping object onto the upper surface of the first substrate 7A that is sucked by the first suction portion 53C and supported by the first support portion 53A, A second object to be crimped is crimped onto the upper surface of the second substrate 7B held by the second holding portion 54B and supported by the second support portion 53B. Such pressure bonding to the first substrate 7A and pressure bonding to the second substrate 7B are performed simultaneously. In other words, the start timing of crimping the first crimping object to the upper surface of the first substrate 7A and the start timing of crimping the second crimping object to the upper surface of the second substrate 7B are simultaneous. Therefore, in step S111, simultaneous pressure bonding to the first substrate 7A and the second substrate 7B is started.

同時圧着が開始されると、制御部79は、圧着時間を計時し、所定の圧着時間が経過したか否かを判定する(ステップS112)。ここで、制御部79は、所定の圧着時間が経過したと判定すると(ステップS112のYes)、図10の(a)に示すように、第1の圧着ツール52Aおよび第2の圧着ツール52Bを上昇させる(ステップS113)。このステップS113では、第1の基板7Aの上面に対する第1の圧着対象物の圧着の終了タイミングと、第2の基板7Bの上面に対する第2の圧着対象物の圧着の終了タイミングとは、同時である。したがって、ステップS113では、ステップS111で開始された同時圧着が終了する。 When the simultaneous crimping is started, the control unit 79 counts the crimping time and determines whether or not a predetermined crimping time has passed (step S112). Here, when the controller 79 determines that the predetermined crimping time has passed (Yes in step S112), the first crimping tool 52A and the second crimping tool 52B are moved as shown in FIG. Raise (step S113). In this step S113, the end timing of crimping the first crimping object to the upper surface of the first substrate 7A and the end timing of crimping the second crimping object to the upper surface of the second substrate 7B are simultaneous. be. Accordingly, in step S113, the simultaneous pressure bonding started in step S111 ends.

次に、制御部79は、Zテーブル制御高さとして第2レベルを指令する。これにより、制御部79は、図10の(b)に示すように、第1の保持部54Aおよび第2の保持部54Bを上昇させて、第1の保持部54Aの上面を第1の基板7Aの下面に当接させる(ステップS114)。 Next, the controller 79 commands the second level as the Z table control height. As a result, the controller 79 raises the first holding portion 54A and the second holding portion 54B, as shown in FIG. It is brought into contact with the lower surface of 7A (step S114).

次に、制御部79は、第1の吸引部53Cの吸着をOFFにする(ステップS115)。すなわち、制御部79は、第1の吸引部53Cによる第1の基板7Aの吸着を解除する。さらに、制御部79は、第1の保持部54Aの吸着をONにする(ステップS116)。これにより、第1の基板7Aは、第1の吸引部53Cによって保持されず、第1の下受部53Aの上面に支持された状態で、第1の保持部54Aによって保持される。つまり、第1の保持部54Aが、第1の吸引部53Cに代わって、第1の基板7Aを保持する。 Next, the control unit 79 turns off the suction of the first suction unit 53C (step S115). That is, the control unit 79 releases the suction of the first substrate 7A by the first suction unit 53C. Furthermore, the control unit 79 turns ON the adsorption of the first holding unit 54A (step S116). As a result, the first substrate 7A is not held by the first suction portion 53C, but is held by the first holding portion 54A while being supported on the upper surface of the first lower receiving portion 53A. That is, the first holding portion 54A holds the first substrate 7A instead of the first suction portion 53C.

そして、制御部79は、Zテーブル制御高さとして第1レベルを指令する。これにより、図10の(c)に示すように、第1の保持部54Aおよび第2の保持部54Bは上昇し、第1の基板7Aおよび第2の基板7Bは、それぞれの下受部から離れる(ステップS117)。 Then, the control unit 79 commands the first level as the Z table control height. As a result, as shown in (c) of FIG. 10, the first holding portion 54A and the second holding portion 54B are lifted, and the first substrate 7A and the second substrate 7B are separated from the respective support portions. Leave (step S117).

この後、制御部79は、第1の保持部54Aと第2の保持部54Bを90°回転させる。これにより、第1の基板7Aおよび第2の基板7Bのいずれにおいても、既に電子部品8の本圧着作業が完了した縁部7a側に直交する縁部7b側(図2参照)が、第1の下受部53Aおよび第2の下受部53B上のそれぞれの圧着位置に位置する。 After that, the control section 79 rotates the first holding section 54A and the second holding section 54B by 90°. As a result, in both the first board 7A and the second board 7B, the side of the edge 7b (see FIG. 2) orthogonal to the side of the edge 7a on which the main pressure-bonding operation of the electronic component 8 has already been completed is the first substrate. are located in respective crimping positions on the lower receiving portion 53A and the second lower receiving portion 53B.

そしてこの後、制御部79は、ステップS104~S117と同じ動作を実行する。すなわち、制御部79は、第1の基板7Aおよび第2の基板7Bのそれぞれの縁部7bに対して、縁部7aに対する圧着動作のときと同様の順序で、ステップS104~S117の処理を実行する。このとき、基板位置認識を改めて行う必要がある場合には、制御部79は、ステップS102~S103の動作を再度実行する。 After that, the control section 79 performs the same operations as in steps S104 to S117. That is, the control unit 79 performs the processes of steps S104 to S117 on the edge portions 7b of the first substrate 7A and the second substrate 7B in the same order as the crimping operation on the edge portion 7a. do. At this time, if board position recognition needs to be performed again, the control unit 79 performs the operations of steps S102 and S103 again.

そして全ての動作が完了すると、制御部79は、第1の保持部54Aと第2の保持部54Bを90°逆方向に回転する。これにより、第1の基板7Aおよび第2の基板7Bの向きは、搬入時と同じ向きに戻され、これらの基板7は、この状態で第4の基板搬送ヘッド78によって搬出ステージ6へ搬送される。 When all the operations are completed, the control section 79 rotates the first holding section 54A and the second holding section 54B by 90 degrees in opposite directions. As a result, the orientations of the first substrate 7A and the second substrate 7B are returned to the same directions as when they were loaded, and these substrates 7 are transported to the unloading stage 6 by the fourth substrate transport head 78 in this state. be.

なお、制御部79は、上述のような基板7の吸着をONとOFFとに切り替えるときには、図6に示す第1のバルブ87~第6のバルブ92のそれぞれの開閉を制御している。つまり、制御部79は、第1のバルブ87~第6のバルブ92のそれぞれの開閉を制御することによって、第1の保持部54A、第2の保持部54B、および第1の吸引部53Cのそれぞれによる基板7の吸着をONとOFFとに切り替えている。 Note that the control unit 79 controls the opening and closing of each of the first valve 87 to the sixth valve 92 shown in FIG. 6 when switching the attraction of the substrate 7 between ON and OFF as described above. In other words, the control unit 79 controls the opening and closing of the first valve 87 to the sixth valve 92, thereby controlling the opening and closing of the first holding unit 54A, the second holding unit 54B, and the first suction unit 53C. The adsorption of the substrate 7 by each is switched between ON and OFF.

以上のように、本実施の形態における本圧着部5の圧着部5Aおよび圧着部5Bは、それぞれ2枚の基板7に対して圧着対象物を同時に圧着することができる圧着装置である。例えば、圧着部5Aは、第1の基板7Aの下面の一部に当接してその第1の基板7Aを保持するための第1の保持部54Aと、第2の基板7Bの下面の一部に当接してその第2の基板7Bを保持する第2の保持部54Bとを備える圧着装置である。そして、このような圧着部5Aによって行われる圧着方法、すなわち、第1の基板7Aおよび第2の基板7Bのそれぞれに圧着対象物を圧着する圧着方法は、以下の図11に示すステップS11~S14の工程を含む。 As described above, the crimping portion 5A and the crimping portion 5B of the main crimping portion 5 in the present embodiment are crimping devices capable of simultaneously crimping objects to be crimped onto two substrates 7, respectively. For example, the crimping portion 5A includes a first holding portion 54A for contacting and holding a portion of the lower surface of the first substrate 7A and a portion of the lower surface of the second substrate 7B. and a second holding portion 54B for holding the second substrate 7B in contact with the second substrate 7B. Then, the crimping method performed by the crimping unit 5A, that is, the crimping method for crimping the crimping object to each of the first substrate 7A and the second substrate 7B is performed in steps S11 to S14 shown in FIG. 11 below. including the steps of

図11は、実施の形態における圧着装置である圧着部5Aの処理動作の一例を示すフローチャートである。なお、この図11は、図7に示す各工程のうち、同時圧着を行うための主要な工程を示すフローチャートである。 FIG. 11 is a flow chart showing an example of the processing operation of the crimping section 5A, which is the crimping device according to the embodiment. Note that FIG. 11 is a flow chart showing main steps for carrying out simultaneous pressure bonding among the steps shown in FIG.

上述のように、本実施の形態における圧着方法は、ステップS11~S14の工程を含む。ステップS11は、第1の保持部54Aおよび第2の保持部54Bを含む保持機構を移動させて、第1の保持部54Aに保持されている第1の基板7Aの下面を、第1の下受部53Aに支持させる第1の支持工程である。 As described above, the crimping method according to the present embodiment includes steps S11 to S14. A step S11 moves the holding mechanism including the first holding portion 54A and the second holding portion 54B to move the lower surface of the first substrate 7A held by the first holding portion 54A to the first lower surface. This is the first supporting step of supporting the receiving portion 53A.

ステップS12は、第1の基板7Aの下面が第1の下受部53Aに支持された状態に維持されるように、第1の吸引部53Cに第1の基板7Aを吸着させて、第1の保持部54Aによる第1の基板7Aの保持を解除する第1の吸着工程である。 In step S12, the first substrate 7A is attracted to the first suction portion 53C so that the lower surface of the first substrate 7A is maintained in a state supported by the first support portion 53A. This is the first adsorption step of releasing the holding of the first substrate 7A by the holding portion 54A.

ステップS13は、第1の吸引部53Cによる吸着によって、第1の基板7Aの下面が第1の下受部53Aに支持されているときに、その保持機構を移動させて、第2の保持部54Bに保持されている第2の基板7Bの下面を第2の下受部53Bに支持させる第2の支持工程である。 In step S13, when the lower surface of the first substrate 7A is supported by the first lower support portion 53A by suction by the first suction portion 53C, the holding mechanism is moved to move the second holding portion. This is a second supporting step of supporting the lower surface of the second substrate 7B held by 54B on the second support portion 53B.

ステップS14は、第1の吸引部53Cによって吸着され、かつ、第1の下受部53Aに支持されている第1の基板7Aの上面に第1の圧着対象物を圧着し、第2の保持部54Bに保持され、かつ、第2の下受部53Bに支持されている第2の基板7Bの上面に第2の圧着対象物を圧着する圧着工程である。 A step S14 presses the first crimping object onto the upper surface of the first substrate 7A which is sucked by the first suction portion 53C and supported by the first support portion 53A, and performs the second holding. This is a crimping step of crimping the second crimping object onto the upper surface of the second substrate 7B held by the portion 54B and supported by the second support portion 53B.

また、本実施の形態における圧着装置である圧着部5Aは、第1の保持部54Aおよび第2の保持部54Bと、第1のXYZθテーブル機構51と、第1の吸引部53Cと、第1の下受部53Aおよび第2の下受部53Bと、第1の圧着ツール52Aおよび第2の圧着ツール52Bと、制御部79とを備える。第1の保持部54Aは、第1の基板7Aの下面の一部に当接してその第1の基板7Aを保持するための構成要素である。第2の保持部54Bは、第2の基板7Bの下面の一部に当接して第2の基板7Bを保持する構成要素である。第1のXYZθテーブル機構51は、第1の保持部54Aおよび第2の保持部54Bを含む保持機構を移動させる移動機構である。第1の吸引部53Cは、第1の基板7Aを吸着するための構成要素である。そして、制御部79は、第1の保持部54Aおよび第2の保持部54Bと、第1のXYZθテーブル機構51と、第1の吸引部53Cと、第1の下受部53Aおよび第2の下受部53Bと、第1の圧着ツール52Aおよび第2の圧着ツール52Bとを制御する。これらの制御によって、制御部79は、図11に示すステップS11~S14の工程を実行する。 Further, the crimping portion 5A, which is the crimping device in the present embodiment, includes a first holding portion 54A and a second holding portion 54B, a first XYZθ table mechanism 51, a first suction portion 53C, a first 53A and 53B, a first crimping tool 52A and a second crimping tool 52B, and a controller 79. The first holding portion 54A is a component for holding the first substrate 7A in contact with a portion of the lower surface of the first substrate 7A. The second holding portion 54B is a component that holds the second substrate 7B in contact with a part of the lower surface of the second substrate 7B. The first XYZθ table mechanism 51 is a moving mechanism that moves a holding mechanism including the first holding portion 54A and the second holding portion 54B. The first suction part 53C is a component for sucking the first substrate 7A. The control unit 79 controls the first holding portion 54A and the second holding portion 54B, the first XYZθ table mechanism 51, the first suction portion 53C, the first support portion 53A and the second holding portion 53A. It controls the undercarriage 53B and the first crimping tool 52A and the second crimping tool 52B. By these controls, the control section 79 executes steps S11 to S14 shown in FIG.

ここで、保持機構が移動されるときには、第1の保持部54Aと第2の保持部54Bとが同時に移動する。したがって、第2の基板7Bの位置決めを行って第2の基板7Bを第2の下受部53Bに支持させるときには、第1の下受部53Aによって既に支持されて位置決めされている第1の基板7Aの状態を維持しながら、第1の基板7Aから第1の保持部54Aを離す必要がある。しかし、従来、その第1の基板7Aの状態の維持は、圧着ツールによる圧着によって行われている。つまり、圧着ツールが圧着対象物および第1の基板7Aを下受部に押し付けることによって、既に位置決めされている第1の基板7Aの状態が維持されている。その結果、第2の基板7Bよりも第1の基板7Aの方が先に圧着対象物の圧着が開始されてしまう。 Here, when the holding mechanism is moved, the first holding portion 54A and the second holding portion 54B are moved simultaneously. Therefore, when positioning the second substrate 7B and supporting the second substrate 7B on the second lower receiving portion 53B, the first substrate already supported and positioned by the first lower receiving portion 53A is positioned. It is necessary to separate the first holding portion 54A from the first substrate 7A while maintaining the state of 7A. However, conventionally, the state of the first substrate 7A is maintained by crimping with a crimping tool. That is, the crimping tool presses the object to be crimped and the first substrate 7A against the lower receiving portion, thereby maintaining the already positioned first substrate 7A. As a result, the crimping of the object to be crimped starts on the first substrate 7A earlier than on the second substrate 7B.

これに対して、本実施の形態における圧着方法では、ステップS12の第1の吸着工程とステップS13の第2の支持工程とが行われる。つまり、第1の基板7Aの下面が第1の下受部53Aに支持された状態に維持されるように、第1の基板7Aが第1の吸引部53Cに吸着され、第1の保持部54Aによる第1の基板7Aの保持が解除される。そして、第1の吸引部53Cによる吸着によって、第1の基板7Aの下面が第1の下受部53Aに支持されているときに、保持機構が移動して、第2の保持部54Bに保持されている第2の基板7Bが第2の下受部53Bに支持される。したがって、第2の基板7Bの位置決めを行うときには、既に位置決めされている第1の基板7Aの状態の維持は、第1の圧着ツール52Aではなく、第1の吸引部53Cによる吸着によって行われる。 On the other hand, in the crimping method according to the present embodiment, the first adsorption step of step S12 and the second support step of step S13 are performed. That is, the first substrate 7A is sucked by the first suction portion 53C so that the lower surface of the first substrate 7A is maintained in a state of being supported by the first lower receiving portion 53A, and the first holding portion The holding of the first substrate 7A by 54A is released. Then, when the lower surface of the first substrate 7A is supported by the first lower receiving portion 53A by suction by the first suction portion 53C, the holding mechanism moves and is held by the second holding portion 54B. The second substrate 7B is supported by the second support portion 53B. Therefore, when positioning the second substrate 7B, the state of the already positioned first substrate 7A is maintained not by the first crimping tool 52A but by suction by the first suction portion 53C.

そして、本実施の形態における圧着方法では、第2の基板7Bの位置決めが行われてその第2の基板7Bが第2の下受部53Bに支持された後には、第1の圧着ツール52Aおよび第2の圧着ツール52Bによる圧着が行われる。このとき、第1の吸引部53Cによって吸着され、かつ、第1の下受部53Aに支持されている第1の基板7Aの上面に、第1の圧着ツール52Aが第1の圧着対象物を圧着する。また、第2の保持部54Bに保持され、かつ、第2の下受部53Bに支持されている第2の基板7Bの上面に、第2の圧着ツール52Bが第2の圧着対象物を圧着する。つまり、本実施の形態における圧着方法では、第1の基板7Aおよび第2の基板7Bが、第1の下受部53Aおよび第2の下受部53Bにそれぞれ支持されている状態は、第1の吸引部53Cによる吸着と第2の保持部54Bによる保持によって維持されている。したがって、第1の圧着ツール52Aと第2の圧着ツール52Bとは、第1の基板7Aおよび第2の基板7Bのそれぞれに対して容易に同じ時間だけ圧着を行うことができる。その結果、2枚の基板7の生産条件を容易に等しくすることができる。 In the crimping method according to the present embodiment, after the second substrate 7B is positioned and supported by the second lower receiving portion 53B, the first crimping tool 52A and the Crimping is performed by the second crimping tool 52B. At this time, the first crimping tool 52A presses the first crimping object onto the upper surface of the first substrate 7A which is sucked by the first suction portion 53C and supported by the first support portion 53A. crimp. Further, the second crimping tool 52B crimps the second crimping object onto the upper surface of the second substrate 7B held by the second holding portion 54B and supported by the second support portion 53B. do. That is, in the crimping method according to the present embodiment, the state in which the first substrate 7A and the second substrate 7B are respectively supported by the first support portion 53A and the second support portion 53B is the first is maintained by suction by the suction portion 53C and holding by the second holding portion 54B. Therefore, the first crimping tool 52A and the second crimping tool 52B can easily crimp the first substrate 7A and the second substrate 7B for the same amount of time. As a result, the production conditions for the two substrates 7 can be easily made equal.

また、本実施の形態では、第1の基板7Aの上面に対する第1の圧着対象物の圧着の開始タイミングと、第2の基板7Bの上面に対する第2の圧着対象物の圧着の開始タイミングとを、同時にしてもよい。また、第1の基板7Aの上面に対する第1の圧着対象物の圧着の終了タイミングと、第2の基板7Bの上面に対する第2の圧着対象物の圧着の終了タイミングとは、同時であってもよい。 Further, in the present embodiment, the start timing of crimping the first crimping object to the upper surface of the first substrate 7A and the start timing of crimping the second crimping object to the upper surface of the second substrate 7B are set as follows. , can be done at the same time. Further, the end timing of crimping the first crimping object to the upper surface of the first substrate 7A and the end timing of crimping the second crimping object to the upper surface of the second substrate 7B may be simultaneous. good.

これにより、第1の圧着ツール52Aと第2の圧着ツール52Bとの制御タイミングに差を設けることなく、第1の基板7Aおよび第2の基板7Bのそれぞれに対して簡単に同時圧着を行うことができる。 As a result, the first substrate 7A and the second substrate 7B can be easily crimped simultaneously without providing a difference in control timing between the first crimping tool 52A and the second crimping tool 52B. can be done.

ここで、本実施の形態における圧着部5Aおよび5Bのそれぞれは、2枚の基板7に対する圧着を行うが、3枚以上の基板7に対して圧着を行ってもよい。つまり、圧着装置は、さらに、上述の保持機構に含まれる保持部として、第3の基板7の下面の一部に当接してその第3の基板7を保持するための第3の保持部を備えてもよい。この場合、本実施の形態における圧着方法は、さらに、第3の支持工程と、第2の吸着工程とを含む。第3の支持工程では、制御部79は、第1の吸着工程(ステップS12)の開始後に、その保持機構を移動させて、第3の保持部に保持されている第3の基板7の下面を、第3の下受部に支持させる。第2の吸着工程では、制御部79は、第3の基板7の下面が第3の下受部に支持された状態に維持されるように、第2の吸引部に第3の基板7を吸着させて、第3の保持部による第3の基板7の保持を解除する。そして、第2の支持工程(ステップS13)では、第1の吸引部53Cおよび第2の吸引部による吸着によって、第1の基板7Aの下面が第1の下受部53Aに支持され、かつ、第3の基板7の下面が第3の下受部に支持されているときに、制御部79が、保持機構を移動させて、第2の保持部54Bに保持されている第2の基板7Bの下面を第2の下受部53Bに支持させる。また、圧着工程(ステップS14)では、さらに、制御部79は、第2の吸引部によって吸着され、かつ、第3の下受部に支持されている第3の基板7の上面への第3の圧着対象物の圧着を、第3の圧着ツールに実行させる。 Here, each of the crimping portions 5A and 5B in the present embodiment crimps two substrates 7, but may crimp three or more substrates 7. FIG. In other words, the crimping device further includes a third holding portion for holding the third substrate 7 in contact with a portion of the lower surface of the third substrate 7 as a holding portion included in the holding mechanism described above. You may prepare. In this case, the crimping method according to the present embodiment further includes a third supporting step and a second adsorption step. In the third supporting step, the control unit 79 moves the holding mechanism after the first adsorption step (step S12) starts to move the lower surface of the third substrate 7 held by the third holding unit. is supported by the third support portion. In the second suction step, the control unit 79 holds the third substrate 7 to the second suction unit so that the lower surface of the third substrate 7 is supported by the third support portion. Then, the third substrate 7 is released from being held by the third holding portion. Then, in the second supporting step (step S13), the lower surface of the first substrate 7A is supported by the first lower receiving portion 53A by suction by the first suction portion 53C and the second suction portion, and When the lower surface of the third substrate 7 is supported by the third lower receiving portion, the control section 79 moves the holding mechanism to remove the second substrate 7B held by the second holding portion 54B. is supported by the second lower receiving portion 53B. Further, in the crimping step (step S14), the control unit 79 further causes the third substrate 7, which is sucked by the second suction unit and supported by the third support unit, to be pressed onto the upper surface of the third substrate 7. crimping the object to be crimped by a third crimping tool.

これにより、上述と同様、3枚の基板7のそれぞれに対して容易に同じ時間だけ圧着を行うことができる。その結果、3枚の基板7の生産条件を容易に等しくすることができる。また、3個の圧着ツールによる圧着の開始タイミングを同時にしてもよく、3個の圧着ツールによる圧着の終了タイミングを同時にしてもよい。これにより、3個の圧着ツールの制御を簡単にしながら、3枚の基板7のそれぞれに対して同時圧着を行うことができる。 As a result, as in the case described above, each of the three substrates 7 can be easily crimped for the same amount of time. As a result, the production conditions for the three substrates 7 can be easily equalized. Also, the crimping by the three crimping tools may be started at the same time, and the crimping by the three crimping tools may be finished at the same time. This makes it possible to simultaneously crimp each of the three substrates 7 while simplifying the control of the three crimping tools.

図12は、圧着部5Aの一部の他の構成例を示す図である。この図12によって示される圧着部5Aは、3枚の基板7のそれぞれに対して同時圧着を行うことができる構成を有する。 FIG. 12 is a diagram showing another configuration example of part of the crimping portion 5A. The crimping portion 5A shown in FIG. 12 has a configuration capable of simultaneously crimping each of the three substrates 7 .

具体的には、圧着部5Aは、第1の圧着ツール52Aおよび第2の圧着ツール52Bだけでなく、上記第3の圧着ツールに相当する圧着ツール52Cを備える。この圧着ツール52Cは、第1の圧着ツール52Aと第2の圧着ツール52Bとの間に配置されている。 Specifically, the crimping section 5A includes not only a first crimping tool 52A and a second crimping tool 52B, but also a crimping tool 52C corresponding to the third crimping tool. This crimping tool 52C is positioned between the first crimping tool 52A and the second crimping tool 52B.

さらに、圧着部5Aは、第1の下受部53Aおよび第2の下受部53Bだけでなく、上記第3の下受部に相当する下受部53Eを備える。この下受部53Eは、第1の下受部53Aと第2の下受部53Bとの間に配置されている。 Furthermore, the crimping portion 5A includes not only the first and second support portions 53A and 53B, but also a support portion 53E corresponding to the third support portion. The lower receiving portion 53E is arranged between the first lower receiving portion 53A and the second lower receiving portion 53B.

さらに、圧着部5Aは、第1の吸引部53Cだけでなく、上記第2の吸引部に相当する吸引部53Fを備える。吸引部53Fは、第1の吸引部53CとX軸方向に沿って並び、かつ、下受部53Eに対して取り付けられている。 Furthermore, the crimping portion 5A includes not only the first suction portion 53C but also a suction portion 53F corresponding to the second suction portion. The suction portion 53F is aligned with the first suction portion 53C along the X-axis direction and attached to the lower receiving portion 53E.

さらに、圧着部5Aは、第1の保持部54Aおよび第2の保持部54Bだけでなく、上記第3の保持部に相当する保持部54Cを備える。この保持部54Cは、水平回転駆動機構51θの上における、第1の保持部54Aと第2の保持部54Bとの間に配置されている。 Further, the crimping portion 5A includes not only the first holding portion 54A and the second holding portion 54B, but also the holding portion 54C corresponding to the third holding portion. The holding portion 54C is arranged between the first holding portion 54A and the second holding portion 54B on the horizontal rotation drive mechanism 51θ.

このような圧着部5Aは、圧着工程(ステップS14)では、第1の吸引部53Cによって吸着され、かつ、第1の下受部53Aに支持されている基板7の上面に圧着対象物を圧着し、第2の保持部54Bに保持され、かつ、第2の下受部53Bに支持されている基板7の上面に圧着対象物を圧着する。このとき、圧着部5Aは、さらに、吸引部53Fによって吸着され、かつ、下受部53Eに支持されている基板7の上面に圧着対象物を圧着する。これにより、3枚の基板7のそれぞれに対して容易に同じ時間だけ圧着を行うことができる。 In the crimping step (step S14), such a crimping portion 5A is sucked by the first suction portion 53C and crimps the object to be crimped onto the upper surface of the substrate 7 supported by the first support portion 53A. Then, the object to be crimped is crimped onto the upper surface of the substrate 7 held by the second holding portion 54B and supported by the second support portion 53B. At this time, the crimping portion 5A further crimps the object to be crimped onto the upper surface of the substrate 7 which is sucked by the suction portion 53F and supported by the lower receiving portion 53E. As a result, each of the three substrates 7 can be easily crimped for the same amount of time.

また、圧着部5Aおよび5Bなどの圧着装置は、N(Nは2以上の整数)個の保持部と、N個の下受部と、移動機構と、(N-1)個の吸引部と、N個の圧着ツールとを備えてもよい。N個の保持部は、N枚の基板7の下面の一部に当接してそのN枚の基板7をそれぞれ保持するための構成要素である。移動機構は、そのN個の保持部を含む保持機構を移動させて、そのN個の保持部に保持されているN枚の基板7の下面を、N個の下受部にそれぞれ支持させる構成要素である。(N-1)個の吸引部は、N個の保持部のうちの(N-1)個の保持部による保持が解除される場合に、その(N-1)個の保持部に対応する(N-1)枚の基板7のそれぞれを吸着する構成要素である。N個の圧着ツールは、N枚の基板7のそれぞれの上面に圧着対象物を圧着するツールである。そして、そのN個の圧着ツールによって圧着されるN枚の基板7のうちの(N-1)枚の基板7は、(N-1)個の吸引部にそれぞれ吸着され、かつ、N個の下受部のうちの(N-1)個の下受部にそれぞれ支持されている。そして、そのN個の圧着ツールによって圧着されるN枚の基板7のうちの残りの1枚の基板7は、N個の保持部のうちの残りの1個の保持部に保持され、かつ、N個の下受部のうちの残りの1個の下受部に支持されている。 In addition, the crimping device such as the crimping portions 5A and 5B includes N (N is an integer equal to or greater than 2) holding portions, N lower receiving portions, a moving mechanism, and (N−1) suction portions. , N crimping tools. The N holding portions are components for holding the N substrates 7 by contacting portions of the lower surfaces of the N substrates 7 . The moving mechanism moves the holding mechanism including the N holders to support the lower surfaces of the N substrates 7 held by the N holders on the N lower receiving parts. is an element. The (N−1) suction units correspond to the (N−1) holding units when the holding by the (N−1) holding units out of the N holding units is released. It is a component that adsorbs each of the (N−1) substrates 7 . The N crimping tools are tools for crimping objects to be crimped onto the upper surfaces of the N substrates 7 . Of the N substrates 7 crimped by the N crimping tools, (N−1) substrates 7 are respectively sucked by (N−1) suction units, and N It is supported by (N-1) lower receiving portions among the lower receiving portions. The remaining one substrate 7 out of the N substrates 7 crimped by the N crimping tools is held by the remaining one holding portion out of the N holding portions, and It is supported by the remaining one of the N lower receiving portions.

これにより、上述と同様、N枚の基板7のそれぞれに対して容易に同じ時間だけ圧着を行うことができる。その結果、N枚の基板7の生産条件を容易に等しくすることができる。また、N個の圧着ツールによる圧着の開始タイミングを同時にしてもよく、N個の圧着ツールによる圧着の終了タイミングを同時にしてもよい。これにより、N個の圧着ツールの制御を簡単にしながら、N枚の基板7のそれぞれに対して同時圧着を行うことができる。 As a result, similarly to the above, each of the N substrates 7 can be easily crimped for the same amount of time. As a result, the production conditions for the N substrates 7 can be easily equalized. Also, the crimping by the N crimping tools may be started at the same time, and the crimping by the N crimping tools may be finished at the same time. This makes it possible to simultaneously crimp each of the N substrates 7 while simplifying the control of the N crimping tools.

以上、本開示の一態様に係る圧着方法について、実施の形態に基づいて説明したが、本開示は、この実施の形態に限定されるものではない。本開示の趣旨を逸脱しない限り、当業者が思いつく各種変形を本実施の形態に施したものも、本開示の範囲内に含まれてもよい。 The crimping method according to one aspect of the present disclosure has been described above based on the embodiment, but the present disclosure is not limited to this embodiment. As long as they do not deviate from the gist of the present disclosure, various modifications conceived by those skilled in the art may also be included within the scope of the present disclosure.

例えば、本実施の形態における本圧着部5は、圧着部5Aおよび5Bを備えているが、これらの圧着部のうちの何れか1つだけを備えていてもよく、3つ以上の圧着部を備えていてもよい。 For example, the main crimping portion 5 in the present embodiment includes the crimping portions 5A and 5B, but may include only one of these crimping portions, or three or more crimping portions. may be provided.

また、本実施の形態における本圧着部5では、第1の吸引部53Cが、第1の下受部53Aと第1の保持部54Aとの間に配置され、第2の吸引部63Cが、第3の下受部63Aと第3の保持部64Aとの間に配置されている。しかし、第1の吸引部53Cおよび第2の吸引部63Cはそれぞれ、上述のように配置されていなくてもよい。つまり、第1の吸引部53Cは、基板7が第1の下受部53Aによって支持されている状態が、第1の吸引部53Cによる基板7の吸着によって維持されれば、どのような位置に配置されていてもよい。同様に、第2の吸引部63Cは、基板7が第3の下受部63Aによって支持されている状態が、第2の吸引部63Cによる基板7の吸着によって維持されれば、どのような位置に配置されていてもよい。 Further, in the main crimping portion 5 in the present embodiment, the first suction portion 53C is arranged between the first support portion 53A and the first holding portion 54A, and the second suction portion 63C is It is arranged between the third support portion 63A and the third holding portion 64A. However, the first suction portion 53C and the second suction portion 63C do not have to be arranged as described above. In other words, the first suction portion 53C can be placed at any position if the state in which the substrate 7 is supported by the first lower receiving portion 53A is maintained by suction of the substrate 7 by the first suction portion 53C. may be placed. Similarly, the second suction portion 63C can be positioned at any position as long as the state in which the substrate 7 is supported by the third lower receiving portion 63A is maintained by suction of the substrate 7 by the second suction portion 63C. may be placed in

また、本実施の形態における第1の吸引部53Cおよび第2の吸引部63Cには、XY平面において四角形の吸引孔が形成されているが、この吸引孔の形状はどのような形状であってもよい。また、1つの吸引孔だけでなく、複数の吸引孔が第1の吸引部53Cおよび第2の吸引部63Cのそれぞれに形成されていてもよい。 Further, the first suction portion 53C and the second suction portion 63C in the present embodiment are formed with rectangular suction holes in the XY plane. good too. Moreover, not only one suction hole but also a plurality of suction holes may be formed in each of the first suction portion 53C and the second suction portion 63C.

また、上記実施の形態における図1に示す表示パネル組立装置は、いわゆるロータリー型の仮圧着部4を備えているが、いわゆる固定型の仮圧着部を備えていてもよい。 Further, although the display panel assembly apparatus shown in FIG. 1 in the above embodiment includes a so-called rotary type temporary pressure bonding section 4, it may be provided with a so-called fixed type temporary pressure bonding section.

つまり、仮圧着部4は、図1に示すように、電子部品搭載機構42のインデックステーブル42aに設けられた保持ヘッド45を順次インデックス回転させるロータリー型に構成されている。このインデックス回転によって、電子部品供給部43から取り出された電子部品8が、下受部47上の圧着作業位置まで搬送される。 That is, as shown in FIG. 1, the temporary pressure-bonding unit 4 is configured as a rotary type in which the holding head 45 provided on the index table 42a of the electronic component mounting mechanism 42 is sequentially index-rotated. By this index rotation, the electronic component 8 taken out from the electronic component supply section 43 is transported to the crimping work position on the lower receiving section 47 .

しかし、本実施の形態における表示パネル組立装置は、このようなインデックス回転を行うことがない固定型の仮圧着部を備えていてもよい。 However, the display panel assembling apparatus in the present embodiment may be provided with a fixed temporary pressure-bonding section that does not perform such index rotation.

図13は、表示パネル組立装置の他の例を示す平面図である。 FIG. 13 is a plan view showing another example of the display panel assembly device.

表示パネル組立装置は、左方基台111a、中央基台111bおよび右方基台111cからなる基台111を備える。これらの3つの基台は、オペレータOPから見た左右方向(図13における紙面左右方向、すなわちX軸方向)の左側から、左方基台111a、中央基台111b、右方基台111cの順に配置されている。左方基台111aには搬入基板載置部121が備えられ、中央基台111bには部品実装実行部122が備えられ、右方基台111cには搬出基板載置部123が備えられている。基板7は、X軸方向を左側から右側に、すなわち搬入基板載置部121、部品実装実行部122、搬出基板載置部123の順に流れて順次作業が施される。 The display panel assembly apparatus includes a base 111 consisting of a left base 111a, a center base 111b and a right base 111c. These three bases are arranged in the order of the left base 111a, the center base 111b, and the right base 111c from the left side in the left-right direction viewed from the operator OP (the left-right direction of the paper surface in FIG. 13, that is, the X-axis direction). are placed. The left base 111a is provided with a carry-in board placement section 121, the center base 111b is provided with a component mounting execution section 122, and the right base 111c is provided with a carry-out board placement section 123. . The board 7 is processed in order from the left side to the right side in the X-axis direction, that is, the carry-in board placement section 121, the component mounting execution section 122, and the carry-out board placement section 123. As shown in FIG.

搬入基板載置部121は、2つの基板載置ステージ121sを有している。これらの2つの基板載置ステージ121sには、表示パネル組立装置の上流工程側から送られてきた2枚の基板7が載置される。 The carry-in substrate platform 121 has two substrate platform stages 121s. Two substrates 7 sent from the upstream process side of the display panel assembly apparatus are placed on these two substrate placement stages 121s.

搬出基板載置部123は、2つの基板載置ステージ123sを有している。これらの2つの基板載置ステージ123sには、部品実装実行部122によって電子部品8の圧着作業が終了した2枚の基板7が載置される。 The carry-out substrate platform 123 has two substrate platform stages 123s. Two substrates 7 on which the electronic components 8 have been crimped by the component mounting execution unit 122 are placed on these two substrate placement stages 123s.

部品実装実行部122は、ACF貼着作業部122aと、部品搭載作業部122bと、部品圧着作業部122cと、部品圧着作業部122dとを備える。 The component mounting executing section 122 includes an ACF attaching working section 122a, a component mounting working section 122b, a component crimping working section 122c, and a component crimping working section 122d.

ここで、中央基台111bには、第1のベース部131および第2のベース部132が配置されている。第1のベース部131には、2つの基板搭載ステージ136を有する左方基板移送部133Lが設けられている。また、第2のベース部132には、それぞれ2つの基板搭載ステージ153を有する中央基板移送部133Cと右方基板移送部133Rとが設けられている。左方基板移送部133Lは、2つの基板搭載ステージ136のそれぞれに保持された基板7をACF貼着作業部122aの作業位置に移動させる。中央基板移送部133Cは、2つの基板搭載ステージ153のそれぞれに保持された基板7を、部品搭載作業部122bの作業位置と、部品圧着作業部122cの作業位置とに移動させる。右方基板移送部133Rは、2つの基板搭載ステージ153のそれぞれに保持された基板7を、部品搭載作業部122bの作業位置と、部品圧着作業部122dの作業位置とに移動させる。 Here, a first base portion 131 and a second base portion 132 are arranged on the central base 111b. A left substrate transfer section 133L having two substrate mounting stages 136 is provided on the first base section 131 . Further, the second base portion 132 is provided with a central substrate transfer portion 133C and a right substrate transfer portion 133R each having two substrate mounting stages 153 . The left substrate transfer section 133L moves the substrates 7 respectively held by the two substrate mounting stages 136 to the working position of the ACF bonding working section 122a. The central board transfer section 133C moves the board 7 held by each of the two board mounting stages 153 to the working position of the component mounting working section 122b and the working position of the component crimping working section 122c. The right board transfer section 133R moves the board 7 held by each of the two board mounting stages 153 to the working position of the component mounting working section 122b and the working position of the component crimping working section 122d.

また、基台111には、移動ベース181が配置されている。この移動ベース181上には、左方基板移載部182aと、中央基板移載部182bと、右方基板移載部182cとが設けられている。これらの左方基板移載部182a、中央基板移載部182b、および右方基板移載部182cによって、2つの基板7は移送される。つまり、2つの基板7は、搬入基板載置部121から、左方基板移送部133Lに移送され、左方基板移送部133Lから、中央基板移送部133Cまたは右方基板移送部133Rに移送される。さらに、2つの基板7は、中央基板移送部133Cまたは右方基板移送部133Rから、搬出基板載置部123に移送される。 A moving base 181 is arranged on the base 111 . On this moving base 181, a left substrate transfer section 182a, a central substrate transfer section 182b, and a right substrate transfer section 182c are provided. The two substrates 7 are transferred by the left substrate transfer section 182a, the central substrate transfer section 182b, and the right substrate transfer section 182c. That is, the two substrates 7 are transferred from the carry-in substrate placement portion 121 to the left substrate transfer portion 133L, and transferred from the left substrate transfer portion 133L to the central substrate transfer portion 133C or the right substrate transfer portion 133R. . Further, the two substrates 7 are transferred to the unloading substrate placement portion 123 from the central substrate transfer portion 133C or the right substrate transfer portion 133R.

ACF貼着作業部122aは、左方基板移送部133Lの2つの基板搭載ステージ136のそれぞれに保持され、作業位置に配置されている基板7の縁部に接着テープ(具体的にはACFテープ)を貼着する。 The ACF sticking working part 122a is held by each of the two substrate mounting stages 136 of the left substrate transfer part 133L, and applies an adhesive tape (specifically, an ACF tape) to the edge of the substrate 7 placed at the working position. affixed.

部品搭載作業部122bは、上記実施の形態における仮圧着部4に相当する部品実装装置であって、基板7への電子部品8の搭載作業を行う。つまり、部品搭載作業部122bは、基板7への電子部品8の仮圧着を行う。具体的には、部品搭載作業部122bは、中央基板移送部133Cまたは右方基板移送部133Rの2つの基板搭載ステージ153のそれぞれに保持され、部品搭載作業部122bの作業位置に配置されている基板7の縁部に、接着テープを介して、電子部品8を搭載する。より具体的には、部品搭載作業部122bは、基板搭載ステージ153に保持され、かつ、バックアップステージ164に下方から支持されている基板7の縁部に、接着テープを介して電子部品8を搭載する。 The component mounting work unit 122b is a component mounting device corresponding to the temporary crimping unit 4 in the above-described embodiment, and performs the work of mounting the electronic component 8 on the substrate 7. FIG. In other words, the component mounting work section 122b temporarily crimps the electronic component 8 onto the board 7 . Specifically, the component mounting work section 122b is held by each of the two board mounting stages 153, the central board transfer section 133C and the right board transfer section 133R, and is arranged at the work position of the component mounting work section 122b. An electronic component 8 is mounted on the edge of the substrate 7 via an adhesive tape. More specifically, the component mounting work unit 122b mounts the electronic component 8 via an adhesive tape on the edge of the substrate 7 held by the substrate mounting stage 153 and supported from below by the backup stage 164. do.

ここで、上述の部品搭載作業部122bは、電子部品8を仮圧着するための搭載ヘッド163を備えている。この部品搭載作業部122bは、上記実施の形態における仮圧着部4とは異なり、電子部品8を仮圧着するときには、その搭載ヘッド163をインデックス回転させることなく、搭載ヘッド移動機構162によってX軸方向およびY軸方向に移動させる。具体的には、搭載ヘッド163は、中央基台111bの後方にある部品供給部161に移動し、その部品供給部161から供給される電子部品8を上方から吸着する。次に、搭載ヘッド163は、バックアップステージ164に支持されている基板7の上方に、電子部品8を吸着した状態で移動し、降下することによって、電子部品8をその基板7に仮圧着する。 Here, the component mounting work section 122b described above has a mounting head 163 for temporarily pressure-bonding the electronic component 8. As shown in FIG. Unlike the temporary pressure-bonding unit 4 in the above-described embodiment, this component mounting working unit 122b is moved by the mounting head moving mechanism 162 in the X-axis direction without index-rotating the mounting head 163 when temporarily pressure-bonding the electronic component 8 . and move in the Y-axis direction. Specifically, the mounting head 163 moves to the component supply section 161 behind the central base 111b and picks up the electronic component 8 supplied from the component supply section 161 from above. Next, the mounting head 163 moves above the substrate 7 supported by the backup stage 164 while sucking the electronic component 8 , and descends to temporarily press the electronic component 8 onto the substrate 7 .

部品圧着作業部122cおよび122dはそれぞれ、部品搭載作業部122bによって電子部品8の搭載作業が行われた基板7に、その電子部品8を圧着する。つまり、部品圧着作業部122cおよび122dはそれぞれ、基板7への電子部品8の本圧着を行う。具体的には、部品圧着作業部122cは、中央基板移送部133Cの2つの基板搭載ステージ153のそれぞれに保持され、部品圧着作業部122cの作業位置に配置されている基板7に電子部品8を圧着する。同様に、部品圧着作業部122dは、右方基板移送部133Rの2つの基板搭載ステージ153のそれぞれに保持され、部品圧着作業部122dの作業位置に配置されている基板7に電子部品8を圧着する。このとき、部品圧着作業部122cおよび122dはそれぞれ、上記実施の形態における圧着部5Aおよび5Bのように、2枚の基板7に対して同時圧着を行う。これにより、2枚の基板のそれぞれに対して容易に同じ時間だけ圧着を行うことができるため、2枚の基板の生産条件を容易に等しくすることができる。 The component crimping working units 122c and 122d respectively crimp the electronic component 8 onto the board 7 on which the electronic component 8 has been mounted by the component mounting working unit 122b. In other words, the component pressure-bonding working units 122c and 122d perform the final pressure-bonding of the electronic component 8 onto the substrate 7, respectively. Specifically, the component crimping working section 122c is held by each of the two board mounting stages 153 of the central board transfer section 133C, and places the electronic component 8 on the board 7 arranged at the working position of the component crimping working section 122c. crimp. Similarly, the component crimping working section 122d is held by each of the two board mounting stages 153 of the right board transfer section 133R, and crimps the electronic component 8 onto the board 7 placed at the working position of the component crimping working section 122d. do. At this time, the component crimping working units 122c and 122d perform simultaneous crimping on the two substrates 7, respectively, like the crimping units 5A and 5B in the above embodiment. As a result, pressure bonding can be easily performed for the same amount of time on each of the two substrates, so that the production conditions for the two substrates can be easily equalized.

このように、本開示における圧着装置および圧着方法は、図1に示すロータリー型の仮圧着部4を備えた表示パネル組立装置に限定されることなく、どのようなタイプの表示パネル組立装置にも適用することができる。 Thus, the crimping device and crimping method in the present disclosure are not limited to the display panel assembling device provided with the rotary type temporary crimping part 4 shown in FIG. can be applied.

また、上記実施の形態において、制御部79は、専用のハードウェアで構成されるか、制御部79に適したソフトウェアプログラムを実行することによって実現されてもよい。制御部79は、CPU(Central Processing Unit)またはプロセッサなどのプログラム実行部が、ハードディスクまたは半導体メモリなどの記録媒体に記録されたソフトウェアプログラムを読み出して実行することによって実現されてもよい。ここで、上記実施の形態の制御部79などを実現するソフトウェアは、図7A、図7B、および図11のうちの何れかのフローチャートに含まれる各ステップをコンピュータに実行させる。 Further, in the above-described embodiment, the control unit 79 may be configured by dedicated hardware, or realized by executing a software program suitable for the control unit 79 . Control unit 79 may be implemented by a program execution unit such as a CPU (Central Processing Unit) or processor reading and executing a software program recorded in a recording medium such as a hard disk or semiconductor memory. Here, the software that implements the control unit 79 and the like of the above embodiment causes the computer to execute each step included in any one of the flowcharts of FIGS. 7A, 7B, and 11. FIG.

本開示の圧着方法は、複数の基板の生産条件を容易に等しくすることができるという効果を有し、ガラス基板に電子部品を圧着により実装して表示パネルを組み立てる装置等に利用可能である。 The crimping method of the present disclosure has the effect of easily equalizing the production conditions of a plurality of substrates, and can be used for devices that assemble display panels by mounting electronic components on glass substrates by crimping.

3 接着テープ貼付部
4 仮圧着部
5 本圧着部
5A、5B 圧着部
7 基板
7A 第1の基板
7B 第2の基板
52A 第1の圧着ツール
52B 第2の圧着ツール
50、60 基板保持部
51 第1のXYZθテーブル機構
52A 第1の圧着ツール
52B 第2の圧着ツール
53A 第1の下受部
53B 第2の下受部
53C 第1の吸引部
54A 第1の保持部
54B 第2の保持部
79 制御部
3 Adhesive tape applying part 4 Temporary pressure bonding part 5 Main pressure bonding part 5A, 5B Pressure bonding part 7 Substrate 7A First substrate 7B Second substrate 52A First pressure bonding tool 52B Second pressure bonding tool 50, 60 Substrate holding part 51 Second 1 XYZθ table mechanism 52A First crimping tool 52B Second crimping tool 53A First lower receiving part 53B Second lower receiving part 53C First suction part 54A First holding part 54B Second holding part 79 control unit

Claims (9)

第1の基板の下面の一部に当接して前記第1の基板を保持するための第1の保持部と、第2の基板の下面の一部に当接して前記第2の基板を保持する第2の保持部とを備える圧着装置が、前記第1の基板および第2の基板のそれぞれに圧着対象物を圧着する圧着方法であって、
前記第1の保持部および前記第2の保持部を含む保持機構を移動させて、前記第1の保持部に保持されている前記第1の基板の下面を、第1の下受部に支持させる第1の支持工程と、
前記第1の基板の下面が前記第1の下受部に支持された状態に維持されるように、第1の吸引部に前記第1の基板を吸着させて、前記第1の保持部による前記第1の基板の保持を解除する第1の吸着工程と、
前記第1の吸引部による吸着によって、前記第1の基板の下面が前記第1の下受部に支持されているときに、前記保持機構を移動させて、前記第2の保持部に保持されている前記第2の基板の下面を第2の下受部に支持させる第2の支持工程と、
前記第1の吸引部によって吸着され、かつ、前記第1の下受部に支持されている前記第1の基板の上面に第1の圧着対象物を圧着し、前記第2の保持部に保持され、かつ、前記第2の下受部に支持されている前記第2の基板の上面に第2の圧着対象物を圧着する圧着工程と、
を含む圧着方法。
a first holding portion for holding the first substrate in contact with a portion of the lower surface of the first substrate; and a portion of the lower surface of the second substrate in contact with the second substrate to hold the second substrate. A crimping method for crimping an object to be crimped onto each of the first substrate and the second substrate, wherein
A holding mechanism including the first holding portion and the second holding portion is moved to support the lower surface of the first substrate held by the first holding portion on the first lower receiving portion. a first supporting step that causes
The first substrate is attracted to the first suction portion so that the lower surface of the first substrate is maintained in a state of being supported by the first lower receiving portion, and the first holding portion holds the first substrate. a first adsorption step of releasing the holding of the first substrate;
When the lower surface of the first substrate is supported by the first support portion by suction by the first suction portion, the holding mechanism is moved to be held by the second holding portion. a second supporting step of supporting the lower surface of the second substrate on the second support portion;
A first object to be crimped is crimped onto the upper surface of the first substrate that is sucked by the first suction portion and supported by the first support portion, and is held by the second holding portion. a crimping step of crimping a second crimping target onto the upper surface of the second substrate supported by the second support portion;
Crimp method including.
前記圧着工程では、
前記第1の基板の上面に対する前記第1の圧着対象物の圧着の開始タイミングと、前記第2の基板の上面に対する前記第2の圧着対象物の圧着の開始タイミングとは、同時である、
請求項1に記載の圧着方法。
In the crimping step,
The start timing of crimping the first crimping object to the upper surface of the first substrate and the start timing of crimping the second crimping object to the upper surface of the second substrate are simultaneous.
The crimping method according to claim 1.
前記圧着工程では、
前記第1の基板の上面に対する前記第1の圧着対象物の圧着の終了タイミングと、前記第2の基板の上面に対する前記第2の圧着対象物の圧着の終了タイミングとは、同時である、
請求項1または2に記載の圧着方法。
In the crimping step,
The end timing of crimping the first crimping object to the upper surface of the first substrate and the end timing of crimping the second crimping object to the upper surface of the second substrate are simultaneous.
The crimping method according to claim 1 or 2.
前記圧着装置が、さらに、前記保持機構に含まれる保持部として、第3の基板の下面の一部に当接して前記第3の基板を保持するための第3の保持部を備える場合には、
前記圧着方法は、さらに、
前記第1の吸着工程の開始後に、前記保持機構を移動させて、前記第3の保持部に保持されている前記第3の基板の下面を、第3の下受部に支持させる第3の支持工程と、
前記第3の基板の下面が前記第3の下受部に支持された状態に維持されるように、第2の吸引部に前記第3の基板を吸着させて、前記第3の保持部による前記第3の基板の保持を解除する第2の吸着工程とを含み、
前記第2の支持工程では、
前記第1の吸引部および前記第2の吸引部による吸着によって、前記第1の基板の下面が前記第1の下受部に支持され、かつ、前記第3の基板の下面が前記第3の下受部に支持されているときに、前記保持機構を移動させて、前記第2の保持部に保持されている前記第2の基板の下面を前記第2の下受部に支持させ、
前記圧着工程では、さらに、
前記第2の吸引部によって吸着され、かつ、前記第3の下受部に支持されている前記第3の基板の上面に第3の圧着対象物を圧着する
請求項1~3の何れか1項に記載の圧着方法。
When the crimping device further includes a third holding portion for holding the third substrate by contacting a part of the lower surface of the third substrate as a holding portion included in the holding mechanism ,
The crimping method further comprises:
After the first adsorption step is started, the holding mechanism is moved to support the lower surface of the third substrate held by the third holding portion on the third lower receiving portion. a supporting step;
The third substrate is attracted to the second suction portion so that the lower surface of the third substrate is maintained in a state of being supported by the third lower receiving portion. and a second adsorption step of releasing the holding of the third substrate,
In the second supporting step,
By suction by the first suction portion and the second suction portion, the lower surface of the first substrate is supported by the first support portion, and the lower surface of the third substrate is supported by the third substrate. moving the holding mechanism while being supported by the lower receiving portion to support the lower surface of the second substrate held by the second holding portion on the second lower receiving portion;
Further, in the crimping step,
A third object to be crimped is crimped onto an upper surface of the third substrate that is sucked by the second suction portion and supported by the third support portion. The crimping method described in the section.
第1の基板の下面の一部に当接して前記第1の基板を保持するための第1の保持部と、
第2の基板の下面の一部に当接して前記第2の基板を保持する第2の保持部と、
前記第1の保持部および前記第2の保持部を含む保持機構を移動させる移動機構と、
前記第1の基板を吸着するための第1の吸引部と、
第1の下受部および第2の下受部と、
第1の圧着ツールおよび第2の圧着ツールと、
制御部とを備え、
前記制御部は、
前記移動機構に前記保持機構を移動させて、前記第1の保持部に保持されている前記第1の基板の下面を、前記第1の下受部に支持させる第1の支持ステップと、
前記第1の基板の下面が前記第1の下受部に支持された状態に維持されるように、前記第1の吸引部に前記第1の基板を吸着させて、前記第1の保持部による前記第1の基板の保持を解除する第1の吸着ステップと、
前記第1の吸引部による吸着によって、前記第1の基板の下面が前記第1の下受部に支持されているときに、前記移動機構に前記保持機構を移動させて、前記第2の保持部に保持されている前記第2の基板の下面を前記第2の下受部に支持させる第2の支持ステップと、
前記第1の吸引部によって吸着され、かつ、前記第1の下受部に支持されている前記第1の基板の上面への第1の圧着対象物の圧着を、前記第1の圧着ツールに実行させ、前記第2の保持部に保持され、かつ、前記第2の下受部に支持されている前記第2の基板の上面への第2の圧着対象物の圧着を、前記第2の圧着ツールに実行させる圧着ステップと、を行う
圧着装置。
a first holding portion for holding the first substrate in contact with a portion of the lower surface of the first substrate;
a second holding part that holds the second substrate in contact with a portion of the lower surface of the second substrate;
a moving mechanism for moving a holding mechanism including the first holding portion and the second holding portion;
a first suction unit for sucking the first substrate;
a first support portion and a second support portion;
a first crimping tool and a second crimping tool;
and a control unit,
The control unit
a first supporting step of causing the moving mechanism to move the holding mechanism to support the lower surface of the first substrate held by the first holding portion on the first lower receiving portion;
The first holding portion causes the first suction portion to suck the first substrate so that the lower surface of the first substrate is maintained in a state of being supported by the first lower receiving portion. a first adsorption step of releasing the holding of the first substrate by
When the lower surface of the first substrate is supported by the first lower receiving portion by suction by the first suction portion, the holding mechanism is moved by the moving mechanism to perform the second holding. a second supporting step of supporting the lower surface of the second substrate held by the portion on the second support portion;
The first crimping tool is used to crimp the first crimping object onto the upper surface of the first substrate which is sucked by the first suction portion and supported by the first support portion. and performing crimping of a second crimping object onto the upper surface of the second substrate held by the second holding portion and supported by the second support portion. a crimping device that performs a crimping step that causes a crimping tool to perform;
前記圧着ステップでは、
前記第1の基板の上面に対する前記第1の圧着対象物の圧着の開始タイミングと、前記第2の基板の上面に対する前記第2の圧着対象物の圧着の開始タイミングとは、同時である、
請求項5に記載の圧着装置。
In the crimping step,
The start timing of crimping the first crimping object to the upper surface of the first substrate and the start timing of crimping the second crimping object to the upper surface of the second substrate are simultaneous.
A crimping device according to claim 5 .
前記第1の基板の上面に対する前記第1の圧着対象物の圧着の終了タイミングと、前記第2の基板の上面に対する前記第2の圧着対象物の圧着の終了タイミングとは、同時である、
請求項5または6に記載の圧着装置。
The end timing of crimping the first crimping object to the upper surface of the first substrate and the end timing of crimping the second crimping object to the upper surface of the second substrate are simultaneous.
The crimping device according to claim 5 or 6.
前記圧着装置は、さらに、
前記保持機構に含まれる保持部であって、第3の基板の下面の一部に当接して前記第3の基板を保持するための第3の保持部と、
前記第3の基板を吸着するための第2の吸引部と、
第3の下受部と、
第3の圧着ツールとを備え、
前記制御部は、さらに、
前記第1の吸着ステップの開始後に、前記移動機構に前記保持機構を移動させて、前記第3の保持部に保持されている前記第3の基板の下面を、前記第3の下受部に支持させる第3の支持ステップと、
前記第3の基板の下面が前記第3の下受部に支持された状態に維持されるように、第2の吸引部に前記第3の基板を吸着させて、前記第3の保持部による前記第3の基板の保持を解除する第2の吸着ステップとを行い、
前記第2の支持ステップでは、
前記第1の吸引部および前記第2の吸引部による吸着によって、前記第1の基板の下面が前記第1の下受部に支持され、かつ、前記第3の基板の下面が前記第3の下受部に支持されているときに、前記移動機構に前記保持機構を移動させて、前記第2の保持部に保持されている前記第2の基板の下面を前記第2の下受部に支持させ、
前記圧着ステップでは、さらに、
前記第3の下受部に支持されている前記第3の基板の上面への第3の圧着対象物の圧着を、前記第3の圧着ツールに実行させる
請求項5~7の何れか1項に記載の圧着装置。
The crimping device further comprises:
a third holding portion included in the holding mechanism, the holding portion contacting a part of the lower surface of the third substrate to hold the third substrate;
a second suction unit for sucking the third substrate;
a third support portion;
a third crimping tool;
The control unit further
After the first suction step is started, the holding mechanism is moved by the moving mechanism to move the lower surface of the third substrate held by the third holding portion to the third lower receiving portion. a third supporting step of providing support;
The third substrate is attracted to the second suction portion so that the lower surface of the third substrate is maintained in a state of being supported by the third lower receiving portion. performing a second adsorption step of releasing the holding of the third substrate;
In the second supporting step,
By suction by the first suction portion and the second suction portion, the lower surface of the first substrate is supported by the first support portion, and the lower surface of the third substrate is supported by the third substrate. While being supported by the lower receiving portion, the holding mechanism is moved by the moving mechanism to move the lower surface of the second substrate held by the second holding portion to the second lower receiving portion. to support
The crimping step further includes:
Any one of claims 5 to 7, wherein the third crimping tool crimps a third crimping object onto the upper surface of the third substrate supported by the third under-supporting portion. Crimping device according to.
N枚(Nは2以上の整数)の基板の下面の一部に当接して前記N枚の基板をそれぞれ保持するためのN個の保持部と、
N個の下受部と、
前記N個の保持部を含む保持機構を移動させて、前記N個の保持部に保持されている前記N枚の基板の下面を、前記N個の下受部にそれぞれ支持させる移動機構と、
前記N個の保持部のうちの(N-1)個の保持部による保持が解除される場合に、前記(N-1)個の保持部に対応する(N-1)枚の基板のそれぞれを吸着する(N-1)個の吸引部と、
前記N枚の基板のそれぞれの上面に圧着対象物を圧着するN個の圧着ツールとを備え、
前記N個の圧着ツールによって圧着される前記N枚の基板のうちの(N-1)枚の基板は、前記(N-1)個の吸引部にそれぞれ吸着され、かつ、前記N個の下受部のうちの(N-1)個の下受部にそれぞれ支持され、
前記N個の圧着ツールによって圧着される前記N枚の基板のうちの残りの1枚の基板は、前記N個の保持部のうちの残りの1個の保持部に保持され、かつ、前記N個の下受部のうちの残りの1個の下受部に支持されている
圧着装置。
N holders for respectively holding the N substrates (N is an integer equal to or greater than 2) in contact with portions of the lower surfaces of the substrates;
N lower receiving portions;
a moving mechanism that moves a holding mechanism including the N holders to support the lower surfaces of the N substrates held by the N holders on the N lower receiving parts;
each of (N-1) substrates corresponding to the (N-1) holding portions when the holding by the (N-1) holding portions out of the N holding portions is released; (N−1) suction units for sucking
N crimping tools for crimping objects to be crimped onto the upper surfaces of the N substrates;
Of the N substrates crimped by the N crimping tools, (N−1) substrates are respectively sucked by the (N−1) suction units, and supported by (N−1) lower receiving portions of the receiving portions,
The remaining one substrate among the N substrates to be crimped by the N crimping tools is held by the remaining one holding portion among the N holding portions, and a crimping device supported on a remaining one of the sub-supports;
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