JP3711802B2

JP3711802B2 - Pallet for conveyance, conveyance apparatus provided with this pallet for conveyance, and work fixing method

Info

Publication number: JP3711802B2
Application number: JP26118799A
Authority: JP
Inventors: 隆幸丸山
Original assignee: Seiko Epson Corp
Current assignee: Seiko Epson Corp
Priority date: 1999-09-14
Filing date: 1999-09-14
Publication date: 2005-11-02
Anticipated expiration: 2019-09-14
Also published as: JP2001087973A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ワークを搬送するための搬送用パレット、この搬送用パレットを備える搬送装置及びワーク固定方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
図１５は、従来のパレット１０１の構成例を示す斜視図である。
【０００３】
パレット１０１は、所定の搬送装置によって搬送される搬送用パレットである。パレット１０１は、例えばワーク３をワーク配置面７ａに配置する。パレット１０１は、例えば第１部材１０７、第２部材８、第１の支柱１２、第２の支柱１３、第３の支柱１４、第４の支柱１５、治具位置決めピン２２及び少なくとも１つのワーク位置決めピン２６を有する。
【０００４】
第２部材８は、例えば平板状であって、その平面部分に穴が形成されている基礎部分である。第２部材８は、パレット１０１が所定の搬送装置によって搬送される際に、搬送装置に設けられたプーリ等と当接する部分である。従って、搬送装置は、例えばプーリ式のベルトコンベアによってパレット１０１を搬送する。第２部材８のほぼ四隅には、第２部材８を支えるための４本の支柱、第１の支柱１２、第２の支柱１３、第３の支柱１４及び第４の支柱１５が設けられている。第１の支柱１２、第２の支柱１３、第３の支柱１４及び第４の支柱１５は、それぞれ第１部材１０７と第２部材８とを接続している。第２部材８における第２支柱１３近傍には、治具位置決めピン２２が設けられている。治具位置決めピン２２は、例えば所定の搬送装置がパレット１０１を所定の位置で停止させる時に、搬送方向Ｔを遮るように後述する突起部を突き出した際に当接する。
【０００５】
第１部材１０７は、例えば第２部材８よりやや小さな平板状の部材であり、ワーク配置面７ａを有する。このワーク配置面７ａには、ワーク３が配置される。ワーク３は、例えばＦＰＣ（ＦｌｅｘｉｃｉｂｌｅＰｒｉｎｔｅｄＣｉｒｃｕｉｔ）１９及び液晶パネル（ＬＣＤ：ＬｉｑｕｉｄＣｒｙｓｔａｌＤｉｓｐｌａｙ）２０を有する。第１部材１０７のワーク配置面７ａには、例えばワーク３が配置された場合にワーク３と多少の隙間を有するように、少なくとも１つのワーク位置決めピン２６が設けられている。この隙間は、ワーク配置面７ａにワーク３を配置したり、ワーク配置面７ａからワーク３を取り出すことが容易に行える程度設けられている。
【０００６】
従来のパレット１０１は以上のような構成であり、その動作について説明する。
【０００７】
搬送装置は、パレット１０１を所定の搬送方向Ｔに各工程間を搬送するためのものである。各工程においては、治具位置決めピン２２によってパレット１０１が所定の位置で停止され、配置されているワーク３を取り出して所定の加工が行われる。ワーク３への加工が終了すると、ワーク３は、ワーク配置面７ａに設けられたワーク位置決めピン２６同士の内側に再度配置され、次の工程に搬送される。
【０００８】
搬送の際、従来の搬送装置では、搬送中にワーク３を安定させるために、パレット１０１以外から例えば所定の圧力の供給を受ける所定の吸着手段によってワーク３を吸着させながらパレット１０１を搬送しているものがあった。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、このようにワーク３が加工装置によってパレット１０１のワーク配置面７ａに戻されると、ワーク配置面７ａでのワーク３の位置が微妙にずれる場合があった。この場合には、例えば次の工程においてワーク３の位置調整を行わなければならなかった。また、ワーク３は、例えば搬送中にワーク配置面７ａにおける複数のワーク位置決めピン２６によって包囲された領域内で、位置ずれし安定していない。従って、加工装置は、各工程毎にワーク３のワーク配置面７ａでの位置の微調整を行った上で、加工を行わなければならなかった。
【００１０】
また、上述の吸着手段によってワーク３を吸着させるためには、パレット１０１以外から吸着手段まで所定の圧力を引くためのケーブルを引き回す必要が生じていた。
【００１１】
本発明の目的は、上記課題を解消して、搬送中にワークを安定させることのできる搬送用パレット、この搬送用パレットを備える搬送装置及びワーク固定方法を提供することである。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
請求項１の発明は、第１部材と第２部材により形成されてなるワークを搬送するための搬送用パレットであって、
前記ワークを配置するための配置面を有する第１部材と、
前記配置面に設けられたワーク位置決めピンと、
前記第２部材に配置され、前記搬送を停止するための治具位置決めピンと、
前記ワークを吸着して前記第１部材に配置するための吸着手段とを備え、前記吸着手段は、前記ワークを吸着していないとき、前記配置面から突出して配置されてなることを特徴とする搬送用パレットである。
【００１３】
この請求項１の構成によれば、搬送用パレットによってワークを搬送する際には、ワークが配置部材に配置される。配置部材に配置されたワークは、吸着手段によって吸着される。搬送用パレットは、ワークを吸着手段によって吸着しているので、搬送中にワークが位置ずれを生ずることがなく安定させることができる。また、吸着手段は、搬送用パレット自体に設けられており、搬送用パレット以外の部分との接続が不要である。従って、搬送用パレットは、単独で自由な位置に搬送されることができる。
また、吸着手段の吸着部が配置部材の配置面より突出しているので、ワークが配置部材の配置面に配置された際にワークが配置部材の配置面に接触し、ワークに傷が付くことを防止することができる。
また、第２部材に配置され、搬送を停止するための治具位置決めピンを有するため、確実な位置出しが可能となると。
【００１４】
請求項２の発明は、請求項１の構成において、前記配置部材は穴が形成された平板状の第１部材からなり、前記穴には前記吸着手段に形成されてなる吸着口が設けられていることを特徴とする。
【００１５】
この請求項２の構成によれば、ワークは配置部材の配置面の穴を覆うように配置される。その穴には、吸着手段の吸着口が設けられている。従って、ワークは、穴の近傍で吸着手段によって確実に吸着され、着脱可能に固定される。
【００１８】
請求項３の発明は、請求項１乃至２のいずれかの構成において、前記吸着手段は、前記ワークを吸着するための吸着部と、空間部と、前記空間部の体積を調整するための可動部とから形成されてなることを特徴とする。
【００１９】
この請求項３の構成によれば、搬送用パレットは、ワークが吸着部に配置された状態で可動部によって空間部の体積が例えば減少するように調整されると、ワークを確実に吸着することができる。また、搬送用パレットは、ワークが吸着部に配置された状態で可動部によって空間部の体積が例えば増加するように調整されると、ワークの吸着状態を解放することができる。従って、搬送用パレットは、ワークを吸着手段によって吸着しているので、搬送中にワークが位置ずれを生ずることがなく、ワークを安定して搬送することができる。また、吸着手段は、搬送用パレット自体に設けられており、搬送用パレット以外の部分との接続が不要である。従って、搬送用パレットは、単独で自由な位置に搬送されることができる。
【００２０】
請求項４の発明は、請求項３乃至４のいずれかの構成において、前記吸着部は、ベローズ形状の弾性部材からなることを特徴とする。
【００２１】
この請求項４の構成によれば、ワークは、吸着部に配置された際の接触によって傷が付くことがない。
【００２２】
請求項５の発明は、搬送用パレットを搬送するための搬送装置であって、
ワークを配置するための搬送用パレットと、
前記搬送用パレットに形成されてなる吸着手段と、
前記ワークを加工する位置に前記搬送用パレットを搬送するための搬送手段と、
前記ワークを加工する位置に前記搬送用パレットを停止させるための突起部を有する停止手段と、
前記搬送用パレット上に設けられたワーク位置決めピンと、
前記ワークを加工する位置において、前記搬送用パレット上に配置されてなる前記ワークを前記吸着手段により吸着若しくは前記吸着手段から除材するための制御手段と、
前記搬送用パレットに設けられ、前記搬送用パレットを停止する際に、前記突起部に当接させるための治具位置決めピンとを少なくとも有し、
前記吸着手段は、前記ワークを吸着していないとき、前記搬送用パレット上から突出し配置されてなることを特徴とする。
【００２３】
この請求項５の構成によれば、搬送装置は、ワークが配置された搬送用パレットを搬送するためのものである。搬送用パレットには、ワークを吸着するための吸着手段が設けられている。この搬送用パレットは、搬送手段によってワークを加工する位置へと搬送用パレットを搬送する。搬送手段によって搬送されている搬送用パレットは、ワークを加工する位置にて停止手段によって停止される。ワークを加工する位置において、制御手段は、搬送用パレット上に配置されたワークを吸着手段によって吸着若しくは吸着手段から除材する。
また、吸着手段の吸着部が配置部材の配置面より突出しているので、ワークが配置部材の配置面に配置された際にワークが配置部材の配置面に接触し、ワークに傷が付くことを防止することができる。
また、搬送用パレットに設けられ、搬送用パレットを停止する際に、突起部に当接させるための治具位置決めピンとを有するため、確実な位置決めが可能となる。
【００２４】
搬送用パレットは、ワークを吸着手段によって吸着させているので搬送中にワークが位置ずれを生ずることがなく、安定させることができる。また、吸着手段は、搬送用パレット自体に設けられており、搬送用パレット以外の部分との接続が不要である。従って、搬送用パレットは、単独で自由な位置に搬送されることができる。
【００２５】
請求項６の発明は、請求項５の構成において、前記吸着手段に形成されてなる可動部を前記制御手段によって制御することを特徴とする。
【００２６】
この請求項６の構成によれば、制御手段は、可動部を制御することで、ワークの吸着又は吸着状態の解放することができる。
【００２７】
請求項７の発明は、請求項６の構成において、前記制御手段により前記可動部を可動させ、前記吸着手段に形成されてなる空間部の体積を調整することを特徴とする。
【００２８】
この請求項７の構成によれば、制御手段は、可動部を可動して吸着手段の空間部の体積を調整する。これにより、吸着手段は、ワークを吸着したり、吸着状態を開放することができる。
【００２９】
請求項８の発明は、吸着手段が形成されてなる搬送用パレット上にワークを固定するためのワーク固定方法であって、
前記搬送用パレットを搬送する搬送装置により、前記搬送用パレットを移動する工程と、
前記搬送用パレットの移動方向と交差して突出する突起部に、前記搬送用パレットに設けられた治具位置決めピンを当接させ、前記搬送用パレットを停止させる工程と、
前記吸着手段に形成されてなる可動部を第１の方向に可動する工程と、
前記吸着手段上に前記ワークを配置する工程と、
前記可動部を第２の方向に可動し、前記搬送用パレット上に設けられたワーク位置決めピンで位置決めしつつ、前記搬送用パレット上に密着させる工程と
を少なくとも有することを特徴とする。
【００３０】
この請求項８の構成によれば、吸着手段は、ワークを吸着する際に可動部を第１の方向に可動する。そして、吸着手段上には、ワークが配置される。次に、可動部が第２の方向に可動される。
また、位置決めピンを設けているため、吸着と位置決めが簡便に実現される。
また、搬送用パレットに設けられ、搬送用パレットを停止する際に、突起部に当接させるための治具位置決めピンとを有するため、確実な位置決めが可能となる。
【００３１】
請求項９の発明は、請求項８の構成において、前記吸着手段上に前記ワークを配置すると同時に、前記ワークが前記吸着手段によって吸着される面とは異なる面側から前記搬送用パレット方向に加圧することを特徴とする。
【００３２】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の好適な実施の形態を図面に基づいて説明する。
【００３３】
図１は、本発明の好ましい実施形態としてのパレット１を備える搬送装置１０及び加工装置２の概略構成例を示す平面図である。
【００３４】
加工装置２は、例えば液晶パネル（ＬＣＤ：ＬｉｑｕｉｄＣｒｙｓｔａｌＤｉｓｐｌａｙ）に、ＦＰＣ（ＦｌｅｘｉｂｌｅＰｒｉｎｔｅｄＣｉｒｃｕｉｔｓ）を取り付けるための加工装置である。以下の説明では、液晶パネルを「パネル」といい、パネル及びＦＰＣを「ワーク」という。
【００３５】
加工装置２は、例えばパレット除塵・パネル給材工程ＳＴ１、ＦＰＣ給材・ＡＣＦ（ＡｎｉｓｏｔｒｏｐｉｃＣｏｎｄｕｃｔｉｖｅＦｉｌｍ）剥離・ＦＰＣ仮圧着工程ＳＴ２、ＦＰＣ本圧着工程ＳＴ３、反転ＵＶ（ＵｌｔｒａＶｉｏｌｅｔ）接着材塗布・ＵＶ硬化工程ＳＴ４及びパネル除材工程ＳＴ５を有する。各工程間は、搬送装置１０によってパレット１（搬送用パレット）が各工程間を移動することで、ワーク３が搬送される。搬送装置１０は、パレット１を例えばＴ方向に搬送する。従って、搬送装置１０の両端では、それぞれ例えばＵターンユニット５によって方向が変えられる。
【００３６】
パレット除塵・パネル給材工程ＳＴ１は、例えばパレット１上にあるゴミや埃等を所定の吸引ホースでクリーニングを行い、パネルトレイからパネル２０をパレット１上へ給材する。パネル２０は、例えば表面がガラスでなる。ＦＰＣ給材・ＡＣＦ剥離・ＦＰＣ仮圧着工程ＳＴ２は、例えば所定の積み重ねマガジンからＦＰＣ１９を一枚ずづつ取り出し、位置決めした後ＡＣＦを剥離し、位置アライメントを行ったパネル２０と貼り合わせる。ＦＰＣ本圧着工程ＳＴ３は、前工程で貼り合わせられたパネル２０とＦＰＣ１９との本圧着を行う。反転・ＵＶ接着材塗布・ＵＶ硬化工程ＳＴ４は、圧着されたＦＰＣ１９とパネル２０の貼り合わせ強度を補強するためにＵＶ接着材を塗布する。パネル除材工程ＳＴ５は、パネル２０へのＦＰＣ１９の実装作業が終了したワーク３を除材用トレイに除材する。
【００３７】
図２は、図１のパレット１の構成例を示す斜視図である。
【００３８】
パレット１は、所定の搬送装置によって搬送される搬送用パレットである。パレット１は、例えばワーク３をワーク配置面７ａに配置する。パレット１は、例えば第１部材７（配置部材）、第２部材８、第１の支柱１２、第２の支柱１３、第３の支柱１４、第４の支柱１５、治具位置決めピン２２及び吸着装置１７を有する。
【００３９】
第２部材８は、例えば平板状であって、その平面部分に穴が形成された基礎部分である。第２部材８は、パレット１が所定の搬送装置によって搬送される際に、搬送装置に設けられた後述する図８の第１プーリ４３（移動手段）や第２プーリ４４（移動手段）と当接する部分である。従って、搬送装置１０は、例えばプーリ式のベルトコンベアによってパレット１を搬送する。第２部材８のほぼ四隅には、第１部材７を支えるための４本の支柱である、第１の支柱１２、第２の支柱１３、第３の支柱１４及び第４の支柱１５が設けられている。第１の支柱１２、第２の支柱１３、第３の支柱１４及び第４の支柱１５は、それぞれ第１部材７と第２部材８とを接続している。第２部材８における第２支柱１３近傍には、治具位置決めピン２２（停止手段）が設けられている。治具位置決めピン２２は、例えば所定の搬送装置がパレット１を所定の位置で停止させる時に、搬送方向Ｔを遮るように後述する突起部を突き出した際に当接する。
【００４０】
第１部材７は、例えば第２部材８よりやや小さな平板状の部材であり、ワーク配置面７ａを有する。このワーク配置面７ａには、ワーク３が配置される。ワーク３は、例えばＦＰＣ（ＦｌｅｘｉｂｌｅＰｒｉｎｔｅｄＣｉｒｃｕｉｔｓ）１９及びパネル（ＬＣＤ：ＬｉｑｕｉｄＣｒｙｓｔａｌＤｉｓｐｌａｙ）２０を有する。ワーク配置面７ａには、通常パレット１を固定するためのピン等が形成されていない。パレット１によっては、第１部材７のワーク配置面７ａに、例えばワーク３が配置された場合にワーク３と多少の隙間を有するように、少なくとも１つのワーク位置決めピン２６が設けられていても良い（図２参照）。この隙間は、ワーク配置面７ａにワーク３を配置したり、ワーク配置面７ａからワーク３を取り出すことが容易に行える程度設けられている。第１部材７は、そのワーク配置面７ａに穴７ｂが設けられている。
【００４１】
吸着装置１７は、例えば第２部材８上に設けられている。吸着装置１７は、例えばほぼ円筒形状であり、その上部に吸着部２８が設けられている。吸着部２８は、例えば第１部材７の穴７ｂ内に配置されている。吸着装置１７は、吸着部２８でワーク３を吸着する。吸着部２８は、例えばワーク配置面７ａよりも突出して配置されている。吸着部２８は、例えばベローズ形状をしており、例えばゴム、シリコンゴム、フッ素ゴム又はニトリルゴムを材質としている。
【００４２】
図３（Ａ）は、図２のパレット１の構成例を示す平面図であり、図３（Ｂ）は、図３（Ａ）のパレット１をＵ方向から見た場合の構成例を示す側面図である。
【００４３】
吸着装置１７は、その上部から見ると図３（Ａ）のように第１部材７の穴７ｂから部分的に見ることができる。吸着装置１７の吸着部２８は、その穴７ｂの壁面に対して所定の間隔をもって配置されている。ワーク３がワーク配置面７ａに配置されると、図３（Ｂ）のようにワーク３の一部が吸着部２８に当接する。吸着部２８は、以下に説明するようにワーク３を吸着する。
【００４４】
図４及び図５は、それぞれ図３（Ａ）のパレット１のＡ−Ａ’断面図である。
【００４５】
吸着装置１７は、概略的には例えば本体２５、可動部２９及び吸着部２８を有する。本体２５は、例えば第２部材８に固定されている。本体２５は、例えば空間部３０を有しており、可動部２９をＺ１方向（第１の方向）又はＺ２方向（第２の方向）に移動させることにより空間部３０の体積が変わるように構成されている。従って、可動部２９を移動させることによって、吸着部２８は、ワーク３を確実に吸着したり、開放することができる。可動部２９は、例えばＺ２方向にバネ等によって押し下げられており、Ｚ１方向に所定の力が加えられることで持ち上げられるようになっている。Ｚ１方向に可動部２９を押し上げる機構については、後述する。
【００４６】
ここで、パネル２０を吸着部２８に配置した時の状態を図６に示す。図６のようにワーク３を配置した際に、ワーク３はワーク配置面７ａ（ワークの配置面）より距離ｄ程度の間隔を持って配置されている。これは、ワーク３が第１部材７のワーク配置面７ａに配置された際にワーク３が直接ワーク配置面７ａに当接し、ワーク３が損傷することを防止するためである。この際、可動部２９は、Ｚ１方向に押し上げられた状態となっている。
【００４７】
図７は、図１のパレット１等を上方から見た場合の構成例を示す平面図であり、図８は、図５のＺ１方向に可動部２９を押し上げる機構の構成例を示す側面図である。図９は、図５のＺ１方向に可動部２９を押し上げる機構のみを上面から見た場合の構成例を示す平面図であり、図１０は、図９の押し上げ機構の構成例を側面から見た場合の部分断面図である。
【００４８】
パレット１は、図７のように例えばパレット位置決め時の規制のため第１ガイド４１及び第２ガイド４２により位置決めが決定される。すなわち、パレット１は、第１ガイド４１及び第２ガイド４２にガイドされている。パレット１は、図８のように第２部材８の底面が第１プーリ４３及び第２プーリ４４に当接している。第１プーリ４３は、第１軸４３ａを中心として回転し、第２プーリ４４は、第２軸４４ａを中心として回転する。搬送装置１０は、第１プーリ４３及び第２プーリ４４によって搬送方向Ｔにパレット１を搬送し、所定の位置にてパレット１を停止させる。この停止位置の下部には可動部３７が設けられている。可動部３７の先端には突起部３７ａが設けられており、可動部３７は突起部３７ａを固定部３５に対してＺ軸方向に移動する機構を有する。第２部材８における吸着装置１７の下面には、図９のように穴５０が形成されている。この突起部３７ａは、例えばその穴５０よりやや小さな直径である。
【００４９】
従って、図１０のように先端部３７ａがＺ１方向に移動されると、吸着装置１７の可動部２９を押し上げることになる。これにより、パレット１のワーク配置面７ａに配置されたワーク３は、図４及び図５に示すように空間部３０内が大気圧以上になることにより吸着状態から解放状態となる。逆に、図１０において点線で示すように可動部３７がＺ２方向に移動されると、吸着装置１７の可動部２９が下がり、ワーク３は例えば負圧吸引によって吸着される。尚、これらの機構は、例えば図１１のような台座３９の上部に設けられている。
【００５０】
パレット１を備える搬送装置１０は以上のような構成であり、次に図１〜図１４を参照しながらその動作について説明する。
【００５１】
加工装置２は、パネル２０にＦＰＣ１９を実装させるためのものである。加工装置２には、図１に示すように搬送装置１０が設けられており、搬送装置１０が搬送するパレット１を治具として利用する。上述のように加工装置２には複数の工程があり、各工程間は、少なくとも１つのパレット１によってワーク３が搬送されている。パレット１は、搬送装置１０においてそれぞれ例えば等間隔に配置されているのではなく、各々が自由に配置されるようになっている。
【００５２】
パレット１が所定の位置に来ると、図１２及び図１３のように制御部４６（移動手段）の制御によって治具位置決め部３３（停止手段）によって突起部３１がＹ方向に押し出される。突起部３１がＹ方向に動くことにより、パレット１に形成された治具位置決めピン２２が突起部３１に当接し、Ｔ方向に移動するパレット１を治具位置決めピン２２により所定の位置で停止させる。
【００５３】
制御部４６は、例えば図１０の先端部３７ａをＺ１方向に押し上げることによって吸着装置１７の可動部２９を押し上げる。従って、吸着装置１７に形成されている空間部３０の体積が図４の状態から図５の状態となる。この状態で、制御部４６は、例えば加工装置２からワーク３をワーク配置面７ａ上に配置させるための制御を行う。すなわち、吸着部２８上にワーク３が配置されるのである。そして、制御部４６は、図１０の先端部３７ａをＺ２方向に下げる。すなわち、空間部３０の体積が図５の状態から図４の状態となることで、ワーク３を吸着部２８に吸着させる。吸着装置１７は、可動部２９がＺ２方向に押し下げ続けるようになっているのでこのままワーク３の吸着を続けることができる。よって、パレット１は、ワーク３を所定の位置に確実に配置し続けることができる。これは、パレット１がワーク３を搬送中であっても、同様である。また、吸着部２８は、図１４（Ａ）のようにワーク３が配置されていない状態では多少ワーク配置面７ａより出ているが、ワーク３が配置され吸着されると図１４（Ｂ）のようにワーク３がワーク配置面７ａに密着する。このような構成とすることで、ワーク３をパレット１に配置する際に、ワーク３は、第１部材７のワーク配置面７ａに直接当接することがない。また、吸着部２８により、パレット１は確実に固定されるため、搬送時にワーク３を損傷することを防止することができる。また、ワーク３を吸着すると、ワーク３がワーク配置面７ａに密着し、搬送装置１０は、ワーク３を安定して搬送することができる。
【００５４】
また、パレット１は、ワーク３を吸着した状態を維持するための手段をパレット１以外の部分に必要としない。このため、従来のように、搬送装置１０は、パレット１に例えば負圧を与えるための負圧供給手段、例えばホース等を引き回す必要がなく、パレット１を自由な位置に安定して搬送することができる。また、搬送装置１０は、そのような余分な負圧供給手段が不要なので小型化を図ることができる。
【００５５】
本発明は、上記実施の形態に限定されず、特許請求の範囲を逸脱しない範囲で種々の変更を行うことができる。
【００５６】
例えば、パレット１は、上述の工程のみならず、様々な工程に搬送されるものであっても良い。また、吸着装置１７は、パレット１に複数設けられている構成であっても良いことはいうまでもない。このように複数の吸着装置１７がパレット１に設けられていると、より確実にワーク３を正確な位置に安定させることができる。
【００５７】
【発明の効果】
この発明によれば、搬送中にワークを安定させることのできる搬送用パレット、この搬送用パレットを備える搬送装置及びワーク固定方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の好ましい実施形態としてのパレットを備える搬送装置及び加工装置の概略構成例を示す平面図。
【図２】図１のパレットの構成例を示す斜視図。
【図３】図２のパレットの構成例を示す平面図、及び吸着装置をＵ方向から見た場合の構成例を示す側面図。
【図４】図３（Ｂ）のパレットのＡ−Ａ' 断面図。
【図５】図３（Ｂ）のパレットのＡ−Ａ' 断面図。
【図６】図２の吸着装置の構成例を示す断面図。
【図７】図１のパレット等を上方から見た場合の構成例を示す平面図。
【図８】図５の可動部をＺ１方向に押し上げる機構の構成例を示す側面図。
【図９】図５の可動部をＺ１方向に押し上げる機構のみを上面から見た場合の構成例を示す平面図。
【図１０】図９の押し上げ機構の構成例を側面から見た場合の部分断面図。
【図１１】台座の構成例を示す平面図。
【図１２】パレットを所定の位置で停止して位置決めする様子を示す平面図。
【図１３】パレットを所定の位置で停止して位置決めする様子を示す平面図。
【図１４】吸着部によってワークが吸着される様子を示す断面図。
【図１５】従来のパレットの構成例を示す斜視図。
【符号の説明】
１パレット（搬送用パレット）
３ワーク
７第１部材（配置部材）
７ａワーク配置面（ワークの配置面）
７ｂ穴
８第２部材（配置部材）
１０搬送装置
１２第１支柱（配置部材）
１３第２支柱（配置部材）
１４第３支柱（配置部材）
１５第４支柱（配置部材）
１７吸着装置（吸着手段）
１９ＦＰＣ
２０液晶パネル
２２治具位置決めピン（停止手段）
２４吸着口
２６ワーク位置決めピン
２８吸着部
３３治具位置決め部（停止手段）
４３第１プーリ（移動手段）
４４第２プーリ（移動手段）
４６制御部（移動手段、制御手段）
Ｔ搬送方向
Ｚ１方向（第１の方向）
Ｚ２方向（第２の方向）[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a transfer pallet for transferring a workpiece, a transfer apparatus including the transfer pallet, and a work fixing method.
[0002]
[Prior art]
FIG. 15 is a perspective view showing a configuration example of a conventional pallet 101.
[0003]
The pallet 101 is a pallet for conveyance conveyed by a predetermined conveyance device. The pallet 101 arranges the workpiece 3 on the workpiece arrangement surface 7a, for example. The pallet 101 includes, for example, a first member 107, a second member 8, a first column 12, a second column 13, a third column 14, a fourth column 15, a jig positioning pin 22, and at least one workpiece positioning. It has a pin 26.
[0004]
The 2nd member 8 is flat form, for example, Comprising: The base part by which the hole is formed in the plane part. The second member 8 is a part that comes into contact with a pulley or the like provided in the transport device when the pallet 101 is transported by a predetermined transport device. Therefore, the conveying device conveys the pallet 101 by, for example, a pulley type belt conveyor. Four struts for supporting the second member 8, a first strut 12, a second strut 13, a third strut 14, and a fourth strut 15 are provided at almost four corners of the second member 8. Yes. The first column 12, the second column 13, the third column 14, and the fourth column 15 connect the first member 107 and the second member 8, respectively. A jig positioning pin 22 is provided near the second column 13 in the second member 8. The jig positioning pin 22 comes into contact when, for example, a protrusion, which will be described later, is protruded so as to block the transport direction T when a predetermined transport device stops the pallet 101 at a predetermined position.
[0005]
The first member 107 is, for example, a flat plate-like member that is slightly smaller than the second member 8, and has a workpiece placement surface 7a. The work 3 is placed on the work placement surface 7a. The work 3 includes, for example, an FPC (Flexible Printed Circuit) 19 and a liquid crystal panel (LCD) 20. At least one workpiece positioning pin 26 is provided on the workpiece placement surface 7a of the first member 107 so as to have a slight gap with the workpiece 3 when the workpiece 3 is placed, for example. The gap is provided to such an extent that the work 3 can be easily placed on the work placement surface 7a or can be taken out from the work placement surface 7a.
[0006]
The conventional pallet 101 is configured as described above, and its operation will be described.
[0007]
The transport device is for transporting the pallet 101 between processes in a predetermined transport direction T. In each process, the pallet 101 is stopped at a predetermined position by the jig positioning pins 22, and the arranged work 3 is taken out and predetermined processing is performed. When the processing to the workpiece 3 is completed, the workpiece 3 is again arranged inside the workpiece positioning pins 26 provided on the workpiece arrangement surface 7a, and conveyed to the next step.
[0008]
When transporting, the conventional transport apparatus transports the pallet 101 while adsorbing the work 3 by a predetermined suction means that receives supply of a predetermined pressure from other than the pallet 101 in order to stabilize the work 3 during the transport. There was something to be.
[0009]
[Problems to be solved by the invention]
However, when the workpiece 3 is returned to the workpiece placement surface 7a of the pallet 101 by the processing device as described above, the position of the workpiece 3 on the workpiece placement surface 7a may be slightly shifted. In this case, for example, the position of the workpiece 3 must be adjusted in the next step. Further, the workpiece 3 is displaced and not stable in a region surrounded by the plurality of workpiece positioning pins 26 on the workpiece placement surface 7a during conveyance, for example. Therefore, the machining apparatus has to perform machining after finely adjusting the position of the workpiece 3 on the workpiece placement surface 7a for each process.
[0010]
Further, in order to attract the workpiece 3 by the above-described suction means, it has been necessary to route a cable for pulling a predetermined pressure from other than the pallet 101 to the suction means.
[0011]
An object of the present invention is to provide a transport pallet that can solve the above-described problems and can stabilize a work during transport, a transport device including the transport pallet, and a work fixing method.
[0012]
[Means for Solving the Problems]
Invention of Claim 1 is a pallet for conveyance for conveying the work formed by the 1st member and the 2nd member,
A first member having an arrangement surface for arranging the workpiece;
A workpiece positioning pin provided on the arrangement surface;
A jig positioning pin disposed on the second member for stopping the conveyance;
A suction means for sucking and placing the workpiece on the first member, and the suction means is arranged to protrude from the placement surface when the workpiece is not sucked. It is a pallet for conveyance.
[0013]
According to the configuration of the first aspect, when the workpiece is conveyed by the conveyance pallet, the workpiece is arranged on the arrangement member. The work placed on the placement member is sucked by the suction means. Since the transport pallet sucks the work by the suction means, the work can be stabilized without causing positional displacement during the transport. Further, the suction means is provided on the transport pallet itself, and connection with a portion other than the transport pallet is unnecessary. Therefore, the transport pallet can be transported to a free position alone.
Moreover, since the adsorption | suction part of an adsorption | suction means protrudes from the arrangement | positioning surface of an arrangement | positioning member, when a workpiece | work is arrange | positioned on the arrangement | positioning surface of an arrangement | positioning member, a workpiece | work contacts the arrangement | positioning surface of an arrangement | positioning member, and a work is damaged. Can be prevented.
Moreover, since it has the jig | tool positioning pin for arrange | positioning to a 2nd member and stopping conveyance, when a reliable positioning is attained.
[0014]
According to a second aspect of the present invention, in the configuration of the first aspect, the arrangement member is a flat plate-shaped first member in which a hole is formed, and the hole is provided with a suction port formed in the suction means. It is characterized by being.
[0015]
According to the configuration of the second aspect, the workpiece is arranged so as to cover the hole on the arrangement surface of the arrangement member. The hole is provided with a suction port of the suction means. Therefore, the work is reliably adsorbed by the adsorbing means in the vicinity of the hole and fixed so as to be detachable.
[0018]
According to a third aspect of the present invention, in the configuration according to any one of the first to second aspects, the suction means is a suction portion for sucking the workpiece, a space portion, and a movable portion for adjusting the volume of the space portion. It is formed from the part.
[0019]
According to the configuration of claim 3, when the pallet for conveyance is adjusted so that the volume of the space portion decreases, for example, by the movable portion in a state where the workpiece is arranged in the adsorption portion, the conveyance pallet reliably adsorbs the workpiece. Can do. In addition, when the work pallet is adjusted so that the volume of the space portion increases, for example, by the movable part in a state where the work is arranged in the suction part, the suction state of the work can be released. Therefore, since the pallet for conveyance attracts the workpiece by the suction means, the workpiece is not displaced during the conveyance, and the workpiece can be conveyed stably. Further, the suction means is provided on the transport pallet itself, and connection with a portion other than the transport pallet is unnecessary. Therefore, the transport pallet can be transported to a free position alone.
[0020]
According to a fourth aspect of the present invention, in the configuration according to any one of the third to fourth aspects, the adsorbing portion is made of a bellows-shaped elastic member.
[0021]
According to the fourth aspect of the present invention, the work is not damaged by the contact when the work is disposed in the suction portion.
[0022]
Invention of Claim 5 is a conveying apparatus for conveying the pallet for conveyance,
A transfer pallet for placing workpieces;
Suction means formed on the conveying pallet;
Transport means for transporting the transport pallet to a position for processing the workpiece;
Stop means having a protrusion for stopping the conveying pallet at a position where the workpiece is processed;
A workpiece positioning pin provided on the pallet for conveyance;
Control means for adsorbing or removing material from the adsorbing means by the adsorbing means at the position where the work is processed;
At least a jig positioning pin provided on the transport pallet for contacting the protrusion when the transport pallet is stopped;
The suction means is arranged so as to protrude from the transfer pallet when the work is not sucked.
[0023]
According to the fifth aspect of the present invention, the transport device is for transporting the transport pallet on which the work is arranged. The conveyance pallet is provided with a suction means for sucking the workpiece. This pallet for conveyance conveys the pallet for conveyance to the position which processes a workpiece | work by a conveyance means. The conveying pallet being conveyed by the conveying means is stopped by the stopping means at a position where the workpiece is processed. At the position where the workpiece is processed, the control means sucks or removes the material placed on the transport pallet from the suction means by the suction means.
Moreover, since the adsorption | suction part of an adsorption | suction means protrudes from the arrangement | positioning surface of an arrangement | positioning member, when a workpiece | work is arrange | positioned on the arrangement | positioning surface of an arrangement | positioning member, a workpiece | work contacts the arrangement | positioning surface of an arrangement | positioning member, and a work is damaged. Can be prevented.
Moreover, since it has the jig positioning pin provided in a conveyance pallet and making it contact | abut to a projection part when stopping a conveyance pallet, reliable positioning is attained.
[0024]
Since the work pallet has the work sucked by the suction means, the work is not displaced during the transport and can be stabilized. Further, the suction means is provided on the transport pallet itself, and connection with a portion other than the transport pallet is unnecessary. Therefore, the transport pallet can be transported to a free position alone.
[0025]
According to a sixth aspect of the present invention, in the configuration of the fifth aspect, the movable portion formed on the suction means is controlled by the control means.
[0026]
According to the configuration of the sixth aspect, the control means can control the movable portion to release the workpiece or the suction state.
[0027]
A seventh aspect of the invention is characterized in that, in the configuration of the sixth aspect, the movable portion is moved by the control means to adjust the volume of the space formed in the suction means.
[0028]
According to this configuration, the control means adjusts the volume of the space portion of the adsorption means by moving the movable portion. Thereby, the adsorption | suction means can adsorb | suck a workpiece | work or open | release an adsorption state.
[0029]
The invention of claim 8 is a work fixing method for fixing a work on a conveyance pallet formed with suction means,
A step of moving the transfer pallet by a transfer device for transferring the transfer pallet;
A step of bringing a jig positioning pin provided on the transport pallet into contact with a protruding portion that intersects with the moving direction of the transport pallet and stopping the transport pallet;
Moving the movable part formed in the suction means in a first direction;
Placing the workpiece on the suction means;
And moving the movable portion in the second direction and positioning the workpiece with a workpiece positioning pin provided on the conveyance pallet, and at least closely contacting the pallet for conveyance.
[0030]
According to the configuration of the eighth aspect, the suction means moves the movable portion in the first direction when sucking the workpiece. And a workpiece | work is arrange | positioned on an adsorption | suction means. Next, the movable part is moved in the second direction.
Further, since the positioning pins are provided, the suction and positioning can be realized easily.
Moreover, since it has the jig positioning pin provided in a conveyance pallet and making it contact | abut to a projection part when stopping a conveyance pallet, reliable positioning is attained.
[0031]
According to a ninth aspect of the present invention, in the configuration of the eighth aspect, the work is arranged on the suction means, and at the same time, the work is applied in the direction of the conveying pallet from a surface side different from a surface to be sucked by the suction means. It is characterized by pressing.
[0032]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
DESCRIPTION OF EXEMPLARY EMBODIMENTS Hereinafter, preferred embodiments of the invention will be described with reference to the drawings.
[0033]
FIG. 1 is a plan view illustrating a schematic configuration example of a transport device 10 and a processing device 2 including a pallet 1 as a preferred embodiment of the present invention.
[0034]
The processing apparatus 2 is a processing apparatus for attaching an FPC (Flexible Printed Circuits) to, for example, a liquid crystal panel (LCD: Liquid Crystal Display). In the following description, the liquid crystal panel is referred to as “panel”, and the panel and the FPC are referred to as “work”.
[0035]
The processing apparatus 2 includes, for example, pallet dust removal / panel feeding process ST1, FPC feeding / ACF (Anisotropic Conductive Film) peeling / FPC temporary crimping process ST2, FPC main crimping process ST3, reverse UV (UltraViolet) adhesive coating / UV curing. It has process ST4 and panel material removal process ST5. Between each process, the workpiece | work 3 is conveyed because the pallet 1 (pallet for conveyance) moves between each process with the conveying apparatus 10. FIG. The transport device 10 transports the pallet 1 in the T direction, for example. Accordingly, the directions are changed by the U-turn unit 5 at both ends of the transport device 10, for example.
[0036]
In the pallet dust removal / panel supply step ST1, for example, dust or dust on the pallet 1 is cleaned with a predetermined suction hose, and the panel 20 is supplied onto the pallet 1 from the panel tray. The panel 20 is made of glass, for example. In the FPC feeding / ACF peeling / FPC temporary press-bonding step ST2, for example, the FPCs 19 are taken out one by one from a predetermined stack magazine, positioned, and then the ACF is peeled off and bonded to the panel 20 on which the position alignment has been performed. The FPC main press-bonding step ST3 performs the main press-bonding between the panel 20 and the FPC 19 bonded in the previous step. In the inversion / UV adhesive application / UV curing step ST4, a UV adhesive is applied in order to reinforce the bonding strength between the FPC 19 and the panel 20 that have been pressure-bonded. In the panel material removal step ST5, the work 3 on which the FPC 19 has been mounted on the panel 20 is removed from the material removal tray.
[0037]
FIG. 2 is a perspective view showing a configuration example of the pallet 1 of FIG.
[0038]
The pallet 1 is a pallet for conveyance that is conveyed by a predetermined conveyance device. The pallet 1 arranges the work 3 on the work placement surface 7a, for example. The pallet 1 includes, for example, a first member 7 (arrangement member), a second member 8, a first support column 12, a second support column 13, a third support column 14, a fourth support column 15, a jig positioning pin 22, and a suction member. It has a device 17.
[0039]
The 2nd member 8 is flat form, for example, Comprising: The base part by which the hole was formed in the plane part. When the pallet 1 is transported by a predetermined transport device, the second member 8 is in contact with a first pulley 43 (moving device) and a second pulley 44 (moving device) shown in FIG. It is the part that touches. Accordingly, the transport device 10 transports the pallet 1 by, for example, a pulley type belt conveyor. Nearly four corners of the second member 8 are provided with four columns for supporting the first member 7, the first column 12, the second column 13, the third column 14 and the fourth column 15. It has been. The first column 12, the second column 13, the third column 14, and the fourth column 15 connect the first member 7 and the second member 8, respectively. A jig positioning pin 22 (stop means) is provided in the vicinity of the second support column 13 in the second member 8. The jig positioning pin 22 comes into contact when, for example, a protrusion, which will be described later, is protruded so as to block the transfer direction T when a predetermined transfer device stops the pallet 1 at a predetermined position.
[0040]
The first member 7 is a flat plate member that is slightly smaller than the second member 8, for example, and has a workpiece placement surface 7 a. The work 3 is placed on the work placement surface 7a. The work 3 includes, for example, an FPC (Flexible Printed Circuits) 19 and a panel (LCD: Liquid Crystal Display) 20. On the work placement surface 7a, pins or the like for fixing the pallet 1 are usually not formed. Depending on the pallet 1, at least one work positioning pin 26 may be provided on the work placement surface 7 a of the first member 7 so as to have a slight gap with the work 3 when the work 3 is placed, for example. (See FIG. 2). The gap is provided to such an extent that the work 3 can be easily placed on the work placement surface 7a or can be taken out from the work placement surface 7a. As for the 1st member 7, the hole 7b is provided in the workpiece | work arrangement | positioning surface 7a.
[0041]
The adsorption device 17 is provided on the second member 8, for example. The suction device 17 has, for example, a substantially cylindrical shape, and a suction portion 28 is provided on the top thereof. For example, the suction portion 28 is disposed in the hole 7b of the first member 7. The suction device 17 sucks the workpiece 3 by the suction unit 28. For example, the suction portion 28 is disposed so as to protrude from the workpiece placement surface 7a. The adsorbing portion 28 has, for example, a bellows shape, and is made of, for example, rubber, silicon rubber, fluorine rubber, or nitrile rubber.
[0042]
3A is a plan view showing a configuration example of the pallet 1 in FIG. 2, and FIG. 3B is a side view showing a configuration example when the pallet 1 in FIG. 3A is viewed from the U direction. FIG.
[0043]
The adsorption device 17 can be partially seen from the hole 7b of the first member 7 as shown in FIG. The suction part 28 of the suction device 17 is arranged at a predetermined interval with respect to the wall surface of the hole 7b. When the work 3 is placed on the work placement surface 7a, a part of the work 3 comes into contact with the suction portion 28 as shown in FIG. The suction unit 28 sucks the work 3 as described below.
[0044]
4 and 5 are cross-sectional views taken along the line AA ′ of the pallet 1 shown in FIG.
[0045]
The suction device 17 schematically includes, for example, a main body 25, a movable portion 29, and a suction portion 28. The main body 25 is fixed to the second member 8, for example. The main body 25 has, for example, a space portion 30 and is configured such that the volume of the space portion 30 is changed by moving the movable portion 29 in the Z1 direction (first direction) or the Z2 direction (second direction). Has been. Therefore, by moving the movable portion 29, the suction portion 28 can reliably suck or release the workpiece 3. The movable part 29 is pushed down by a spring or the like in the Z2 direction, for example, and is lifted by applying a predetermined force in the Z1 direction. A mechanism for pushing up the movable portion 29 in the Z1 direction will be described later.
[0046]
Here, FIG. 6 shows a state when the panel 20 is arranged in the suction portion 28. When the workpiece 3 is arranged as shown in FIG. 6, the workpiece 3 is arranged with a distance of about distance d from the workpiece arrangement surface 7a (work arrangement surface). This is to prevent the work 3 from coming into direct contact with the work placement surface 7a and being damaged when the work 3 is placed on the work placement surface 7a of the first member 7. At this time, the movable portion 29 is pushed up in the Z1 direction.
[0047]
7 is a plan view showing a configuration example when the pallet 1 and the like of FIG. 1 are viewed from above, and FIG. 8 is a side view showing a configuration example of a mechanism for pushing up the movable portion 29 in the Z1 direction of FIG. is there. 9 is a plan view showing a configuration example when only the mechanism for pushing up the movable portion 29 in the Z1 direction of FIG. 5 is viewed from above, and FIG. 10 is a side view of the configuration example of the pushing mechanism of FIG. It is a fragmentary sectional view in the case.
[0048]
The positioning of the pallet 1 is determined by the first guide 41 and the second guide 42 as shown in FIG. That is, the pallet 1 is guided by the first guide 41 and the second guide 42. In the pallet 1, the bottom surface of the second member 8 is in contact with the first pulley 43 and the second pulley 44 as shown in FIG. 8. The first pulley 43 rotates about the first shaft 43a, and the second pulley 44 rotates about the second shaft 44a. The transport apparatus 10 transports the pallet 1 in the transport direction T by the first pulley 43 and the second pulley 44 and stops the pallet 1 at a predetermined position. A movable portion 37 is provided below the stop position. A protrusion 37 a is provided at the tip of the movable part 37, and the movable part 37 has a mechanism for moving the protrusion 37 a in the Z-axis direction with respect to the fixed part 35. A hole 50 is formed in the lower surface of the suction device 17 in the second member 8 as shown in FIG. The protrusion 37a has a diameter slightly smaller than the hole 50, for example.
[0049]
Therefore, when the tip end portion 37a is moved in the Z1 direction as shown in FIG. 10, the movable portion 29 of the suction device 17 is pushed up. Thereby, the workpiece | work 3 arrange | positioned on the workpiece | work arrangement | positioning surface 7a of the pallet 1 will be in a releasing state from an adsorption | suction state, when the space part 30 becomes atmospheric pressure or more as shown in FIG.4 and FIG.5. Conversely, when the movable part 37 is moved in the Z2 direction as indicated by the dotted line in FIG. 10, the movable part 29 of the suction device 17 is lowered, and the workpiece 3 is sucked by negative pressure suction, for example. In addition, these mechanisms are provided in the upper part of the base 39 like FIG. 11, for example.
[0050]
The conveying apparatus 10 provided with the pallet 1 is configured as described above, and the operation thereof will be described next with reference to FIGS.
[0051]
The processing apparatus 2 is for mounting the FPC 19 on the panel 20. As shown in FIG. 1, the processing device 2 is provided with a transport device 10, and the pallet 1 transported by the transport device 10 is used as a jig. As described above, the processing apparatus 2 has a plurality of processes, and the workpiece 3 is conveyed by at least one pallet 1 between the processes. The pallets 1 are not arranged at regular intervals, for example, in the conveying device 10 but are arranged freely.
[0052]
When the pallet 1 comes to a predetermined position, the projection 31 is pushed out in the Y direction by the jig positioning part 33 (stopping means) under the control of the control part 46 (moving means) as shown in FIGS. When the protruding portion 31 moves in the Y direction, the jig positioning pin 22 formed on the pallet 1 comes into contact with the protruding portion 31, and the pallet 1 moving in the T direction is stopped at a predetermined position by the jig positioning pin 22. .
[0053]
For example, the control unit 46 pushes up the movable unit 29 of the suction device 17 by pushing up the tip 37a of FIG. 10 in the Z1 direction. Accordingly, the volume of the space 30 formed in the adsorption device 17 is changed from the state of FIG. 4 to the state of FIG. In this state, the control unit 46 performs control for placing the workpiece 3 on the workpiece placement surface 7a from the processing device 2, for example. That is, the workpiece 3 is disposed on the suction portion 28. And the control part 46 lowers the front-end | tip part 37a of FIG. 10 to Z2 direction. That is, the volume of the space 30 is changed from the state shown in FIG. 5 to the state shown in FIG. The suction device 17 can continue to suck the work 3 as it is because the movable portion 29 is continuously pushed down in the Z2 direction. Therefore, the pallet 1 can continue to arrange | position the workpiece | work 3 reliably in a predetermined position. This is the same even when the pallet 1 is transporting the workpiece 3. Further, the suction portion 28 slightly protrudes from the work placement surface 7a in a state where the work 3 is not placed as shown in FIG. 14A, but when the work 3 is placed and sucked, the suction portion 28 shown in FIG. In this way, the work 3 is in close contact with the work placement surface 7a. With such a configuration, when the work 3 is placed on the pallet 1, the work 3 does not directly contact the work placement surface 7 a of the first member 7. Moreover, since the pallet 1 is reliably fixed by the adsorption | suction part 28, it can prevent damaging the workpiece | work 3 at the time of conveyance. Further, when the work 3 is attracted, the work 3 comes into close contact with the work placement surface 7a, and the transport device 10 can transport the work 3 stably.
[0054]
Further, the pallet 1 does not require a means for maintaining the state where the workpiece 3 is attracted to any part other than the pallet 1. For this reason, unlike the prior art, the transport device 10 does not need to draw a negative pressure supply means, such as a hose, for applying a negative pressure to the pallet 1, and stably transports the pallet 1 to a free position. Can do. Further, since the transport device 10 does not require such extra negative pressure supply means, it can be reduced in size.
[0055]
The present invention is not limited to the above-described embodiment, and various modifications can be made without departing from the scope of the claims.
[0056]
For example, the pallet 1 may be transported not only to the above process but also to various processes. Needless to say, a plurality of adsorption devices 17 may be provided on the pallet 1. Thus, when the several adsorption | suction apparatus 17 is provided in the pallet 1, the workpiece | work 3 can be more reliably stabilized to an exact position.
[0057]
【The invention's effect】
According to the present invention, it is possible to provide a transport pallet capable of stabilizing a work during transport, a transport device including the transport pallet, and a work fixing method.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a plan view showing a schematic configuration example of a transport apparatus and a processing apparatus including a pallet as a preferred embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a perspective view showing a configuration example of the pallet in FIG.
3 is a plan view showing a configuration example of the pallet in FIG. 2, and a side view showing a configuration example when the suction device is viewed from the U direction. FIG.
FIG. 4 is a cross-sectional view of the pallet of FIG.
FIG. 5 is a cross-sectional view of the pallet of FIG.
6 is a cross-sectional view showing a configuration example of the adsorption device of FIG. 2;
7 is a plan view showing a configuration example when the pallet or the like of FIG. 1 is viewed from above. FIG.
8 is a side view showing a configuration example of a mechanism for pushing up the movable part in FIG. 5 in the Z1 direction.
9 is a plan view showing a configuration example when only the mechanism for pushing up the movable part in FIG. 5 in the Z1 direction is viewed from above. FIG.
10 is a partial cross-sectional view of a configuration example of the push-up mechanism in FIG. 9 as viewed from the side.
FIG. 11 is a plan view showing a configuration example of a pedestal.
FIG. 12 is a plan view showing how the pallet is stopped and positioned at a predetermined position.
FIG. 13 is a plan view showing how the pallet is stopped and positioned at a predetermined position.
FIG. 14 is a cross-sectional view showing a state in which a workpiece is sucked by a suction portion.
FIG. 15 is a perspective view showing a configuration example of a conventional pallet.
[Explanation of symbols]
1 Pallet (Pallet for conveyance)
3 Work 7 1st member (arrangement member)
7a Work placement surface (work placement surface)
7b hole 8 second member (arrangement member)
10 Conveying device 12 First strut (arrangement member)
13 Second column (arrangement member)
14 Third column (arrangement member)
15 Fourth column (arrangement member)
17 Adsorption device (adsorption means)
19 FPC
20 LCD panel 22 Jig positioning pin (stopping means)
24 suction port 26 work positioning pin 28 suction part 33 jig positioning part (stop means)
43 First pulley (moving means)
44 Second pulley (moving means)
46 Control unit (moving means, control means)
T transport direction Z1 direction (first direction)
Z2 direction (second direction)

Claims

A transport pallet for transporting a workpiece formed by a first member and a second member,
A first member having an arrangement surface for arranging the workpiece;
A workpiece positioning pin provided on the arrangement surface;
A jig positioning pin disposed on the second member for stopping the conveyance;
A suction means for sucking and placing the workpiece on the first member, and the suction means is arranged to protrude from the placement surface when the workpiece is not sucked. Pallet for conveyance.

The pallet for transportation according to claim 1, wherein the first member has a flat plate shape with holes formed therein, and suction holes formed in the suction means are provided in the holes.

The adsorption means includes
A suction section for sucking the workpiece;
The space part,
The pallet for conveyance according to any one of claims 1 to 2, wherein the pallet is formed from a movable part for adjusting a volume of the space part.

The said adsorption | suction part consists of bellows-shaped elastic members, The pallet for conveyance of Claim 3 characterized by the above-mentioned.

A transport device for transporting a transport pallet,
A transfer pallet for placing workpieces;
Suction means formed on the conveying pallet;
Transport means for transporting the transport pallet to a position for processing the workpiece;
Stop means having a protrusion for stopping the conveying pallet at a position where the workpiece is processed;
A workpiece positioning pin provided on the pallet for conveyance;
Control means for adsorbing or removing material from the adsorbing means by the adsorbing means at the position where the work is processed;
At least a jig positioning pin provided on the transport pallet for contacting the protrusion when the transport pallet is stopped;
The transporting device is characterized in that the suction means protrudes from the transport pallet when the work is not sucked.

The transport apparatus according to claim 5, wherein a movable portion formed on the suction unit is controlled by the control unit.

The transport apparatus according to claim 6, wherein the control unit moves the movable unit to adjust a volume of a space formed in the suction unit.

A workpiece fixing method for fixing a workpiece on a conveyance pallet formed with suction means,
A step of moving the transfer pallet by a transfer device for transferring the transfer pallet;
A step of bringing a jig positioning pin provided on the transport pallet into contact with a protruding portion that intersects with the moving direction of the transport pallet and stopping the transport pallet;
Moving the movable part formed in the suction means in a first direction;
Placing the workpiece on the suction means;
Moving the movable part in the second direction, and positioning the workpiece with a workpiece positioning pin provided on the conveyance pallet, and bringing the movable portion into close contact with the conveyance pallet. .

9. The work fixing according to claim 8, wherein the work is fixed in the direction of the conveying pallet from a surface side different from a surface attracted by the suction means at the same time when the work is arranged on the suction means. Method.