JP7115932B2 - 被加工物の加工方法 - Google Patents
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Description
本加工方法における保持ステップおよび樹脂被覆ステップでは、図3に示すような被覆装置11が用いられる。被覆装置11は、ウェーハ1を保持し、スピンコートにより、ウェーハ1の表面2aを樹脂によって被覆する。
なお、液状樹脂Rは、紫外線の照射を受けることにより硬化する紫外線硬化樹脂であり、スピンコートに適した樹脂であることが好ましい。
樹脂被覆ステップの後、紫外線照射ステップが実施される。紫外線照射ステップでは、まず、ウェーハ1における表面2a上の液状樹脂Rを、低温状態とする。そのために、本加工方法では、ウェーハ1を低温の雰囲気にさらす。たとえば、ウェーハ1を、被覆装置11から取り外して、図示しない低温の雰囲気の紫外線照射室あるいは紫外線照射用チャンバーに設置する。
紫外線照射ステップを実施した後、裏面研削ステップが実施される。裏面研削ステップでは、図6に示すような研削装置150が用いられる。研削装置150は、ウェーハ1を保持する第2保持テーブル151、鉛直方向の軸心を有するスピンドル152、スピンドル152の下端に取り付けられたマウント154、および、マウント154の下面に取り付けられた研削ホイール156を備えている。
紫外線照射ステップの後では、図7に示すように、ウェーハ1の表面2aに形成される樹脂層10に、矢印Cで示すような径方向内向きの収縮力が生じる。この収縮力は、液状樹脂Rが、紫外線照射により硬化する際に収縮する性質を有していることに起因する。
この膨張力は、液状樹脂Rが、紫外線照射により硬化する際に収縮する性質に加えて、硬化後の温度上昇に伴って熱膨張する性質を有していることに起因する。
まず、ウェーハ1の表面2aを液状樹脂Rによって被覆し、この液状樹脂Rを常温で硬化させて、厚さが50μmの樹脂層10を形成した。その後、ウェーハ1の裏面2bを、ウェーハ1が所望の厚さとなるまで研削することによって、比較例を作成した。
常温で液状樹脂Rを硬化させた比較例では、左反り量d1および右反り量d2は、それぞれ、38μmおよび40μmであった。一方、氷水温度で液状樹脂Rを硬化させた実施例では、左反り量d1および右反り量d2は、それぞれ、30μmおよび38μmに改善された。
4:デバイス、5:デバイス領域、6:外周余剰領域、R:液状樹脂、10:樹脂層、
11:被覆装置、13:保持部、15:樹脂供給部、
20:第1保持テーブル、21:第1保持面、
22:スピンドル、24:基台、31:樹脂供給ノズル、
31a:樹脂供給口、33:支持台、
150:研削装置、151:第2保持テーブル、151a:第2保持面、
152:スピンドル、154:マウント、
156:研削ホイール、158:基台、160:研削砥石
Claims (2)
- 格子状に形成された複数の分割予定ラインによって区画され表面にデバイスが形成された被加工物の裏面を、所望の厚さまで研削する被加工物の加工方法であって、
該デバイスが形成された該表面側を露出させるように、第1保持テーブルの第1保持面によって該被加工物を吸着保持する保持ステップと、
該被加工物の該表面に、紫外線の照射を受けることにより硬化する液状樹脂を供給し、該被加工物の該表面を該樹脂で被覆する樹脂被覆ステップと、
該樹脂被覆ステップにて該被加工物の該表面を被覆した該樹脂を、裏面研削ステップの環境温度よりも低温の状態で硬化させて樹脂層を形成する紫外線照射ステップと、
該紫外線照射ステップの実施後、該被加工物の該表面を第2保持テーブルの第2保持面によって吸着保持し、該被加工物の該裏面の研削を実施する裏面研削ステップと、を備え
該裏面研削ステップの環境温度よりも低温の状態で該樹脂を硬化させることにより、該被加工物の反りを低減可能とすることを特徴とする被加工物の加工方法。 - 該樹脂被覆ステップは、スピンコートにより、該被加工物の該表面を該樹脂によって被覆することを含むことを特徴とする、
請求項1記載の被加工物の加工方法。
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