JP5378932B2 - 被研削物の研削方法 - Google Patents
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Description
6 回路素子
8 埋め込み電極
12 固着剤
14 固着剤層
16 環状保護部材
17 円形開口
18 同心状円形溝
20 研削ユニット
30 研削ホイール
34 研削砥石
36 チャックテーブル
Claims (3)
- 被研削物の裏面を研削する被研削物の研削方法であって、
被研削物の表面に固着剤を介して中央に開口を有する保護部材を配設するとともに該開口を該固着剤で埋める保護部材配設ステップと、
該保護部材配設ステップを実施した後、該固着剤を硬化させて該保護部材を被研削物の表面に固着する硬化ステップと、
該硬化ステップを実施した後、研削装置のチャックテーブルで被研削物の裏面を吸引保持しながら被研削物の表面に固着した該保護部材と該開口に露出した該固着剤とを研削して平坦化する保護部材研削ステップと、
該保護部材研削ステップを実施した後、研削装置の該チャックテーブルで該保護部材を吸引保持しながら被研削物の裏面を研削する被研削物研削ステップと、
を具備したことを特徴とする被研削物の研削方法。 - 前記保護部材は複数の溝を有しており、
前記保護部材配設ステップでは、該保護部材の該溝側が被研削物の表面に固着される請求項1記載の被研削物の研削方法。 - 前記被研削物は研削仕上がり厚さ以上の深さに至る複数の埋め込み電極が埋設されたシリコンウエーハから構成され、
前記被研削物研削ステップでは、被研削物の前記裏面を研削して該埋め込み電極を該裏面に表出させる請求項1又は2記載の被研削物の研削方法。
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