JP6558541B2 - ウエーハの加工方法 - Google Patents
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Description
11 半導体ウエーハ
13 分割予定ライン
14,14a 切削ブレード
15 デバイス
17 バンプ
19 切削溝
21 モールド樹脂
22 研削ユニット
23 保護テープ
25 分割起点
27 デバイスチップ
29 クラック
30 研削ホイール
31 CSP
Claims (5)
- 格子状に形成された複数の分割予定ラインによって区画された表面の各領域にそれぞれデバイスが形成されたウエーハを個々のデバイスチップに分割するウエーハの加工方法であって、
デバイスチップの仕上がり厚さに相当する深さを有する溝を分割予定ラインに沿って形成する溝形成工程と、
該溝形成工程を実施した後、ウエーハの表面をモールド樹脂で被覆して該溝にモールド樹脂を埋設するモールディング工程と、
該モールディング工程を実施した後、ウエーハの表面から該分割予定ラインに対応するモールド樹脂の中央に該分割予定ラインに沿って分割起点を形成する分割起点形成工程と、
該分割起点形成工程を実施した後、ウエーハの表面に被覆された該モールド樹脂上に保護部材を配設する保護部材配設工程と、
該保護部材配設工程を実施した後、保護部材を介してウエーハをチャックテーブルで吸引保持し、ウエーハの裏面を研削して該溝中に埋設されたモールド樹脂をウエーハの裏面に露出させると共に、ウエーハを該分割起点から該モールド樹脂によって囲繞された外周を有する個々のデバイスチップに分割する裏面研削工程と、
を備えたことを特徴とするウエーハの加工方法。 - 該裏面研削工程を実施した後、ウエーハを収容する開口を有する環状フレームに外周部が貼着された粘着テープに該開口内でウエーハの裏面を貼着し、該粘着テープを介してウエーハを該環状フレームで支持するフレーム支持工程を更に備えた請求項1記載のウエーハの加工方法。
- 該分割起点形成工程において、該分割起点は切削ブレードによって形成される請求項1記載のウエーハの加工方法。
- 該分割起点形成工程において、該分割起点はスクライバーによって形成される請求項1記載のウエーハの加工方法。
- 該分割起点形成工程において、該分割起点はレーザービームの照射によって形成される請求項1記載のウエーハの加工方法。
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