JP7102629B2 - 抵抗ヒーターを製造及び調整する方法 - Google Patents
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Description
TBaseHeaterは、ベースラインヒーター回路のベースヒーターの各セグメントでの平均トレース温度であり、そして、
Trefは、試験環境に依存する参照温度である。もしヒーターが開放空気環境中で試験されるなら、Trefは周囲温度(ambient temperature)である。もしヒーターが制御された冷却システムに取り付けられているなら、Trefは冷却システムの温度である。一形態では、TBaseHeater及びTHeaterは同じTrefで取得される。シート抵抗率変化が算出されたなら、次のベースラインヒーター回路20’のトレース幅は、
で算出することができる。
ここで、TraceWidthBaseHeaterは、ベースラインヒーター回路の特定の位置でのベースラインヒーター回路のトレース幅であり、そして、シート抵抗率変化は上記の式からの出力である。
その結果の熱ヒーターは、標的表面70上で所望の熱マップを示し、そして、任意のn個の次の熱装置60はその後首尾一貫して製造することができる。
以下に、本願出願の当初の特許請求の範囲に記載された発明を付記する。
[1]
(a)検出回路を製造すること、
(b)前記検出回路に電力を供給し及びベースライン熱マップを取得すること、
(c)前記検出回路からベースラインヒーター回路を製造すること、
(d)前記ベースラインヒーター回路に電力を供給し及び公称熱マップを取得すること、
(e)前記ベースラインヒーター回路を熱装置に組み立てること、
(f)前記ベースラインヒーター回路に電力を供給し及び標的表面の熱マップを取得すること、
前記標的表面に沿った所望の温度プロファイルを達成するために、ステップ(a)から(f)までのステップを繰り返すこと、
(g)次の検出回路を製造すること、
(h)前記次の検出回路に電力を供給し及び実際の熱マップを取得すること、
(i)前記実際の熱マップから前記ベースライン熱マップを減算して、減算熱像を作成すること、
(j)前記減算熱像に従って、次のベースラインヒーター回路を修正すること、
を具備する、抵抗ヒーターのワット密度分布を調整する方法。
[2]
前記回路の少なくとも一つは、選択的除去プロセスによって製造される、[1]に記載の方法。
[3]
前記修正することは、選択的除去プロセスによって達成される、[1]に記載の方法。
[4]
前記選択的除去プロセスは、レーザー除去、機械的除去、及びハイブリッドウォータージェットの少なくとも一つによって達成される、[2]又は[3]に記載の方法。
[5]
前記回路は溶射によって形成される、[1]に記載の方法。
[6]
前記回路は、積層、箔及びワイヤからなる群から選択される、[1]に記載の方法。
[7]
前記検出回路は一定のトレースワット密度を有し、前記検出回路は前記ベースラインヒーター回路と重なり及びマージンを含む、[1]に記載の方法。
[8]
前記マージンは、約1%から約50%のトレース幅である、[1]に記載の方法。
[9]
ステップ(g)から(j)までのステップを“n”個のヒーターに対して繰り返すことを更に具備する、[1]に記載の方法。
[10]
前記修正は、前記次のベースラインヒーター回路のトレース幅を変えること、前記次のベースラインヒーター回路の厚さを変えることと、前記次のベースラインヒーター回路の固有抵抗をその微細構造を熱処理プロセスを通じて修正することによって修正することと、前記次のベースラインヒーター回路のセグメントに異なる材料を加えることと、それらの組み合わせとの少なくとも一つによって達成される、[1]に記載の方法。
[11]
前記熱マップはIRカメラによって取得される、[1]に記載の方法。
[12]
[1]の方法に従って製造された複数のヒーターアセンブリ。
Claims (20)
- (a)製造されるベースラインヒーター回路を設計すること、前記ベースラインヒーター回路は所望の温度プロファイルを有すること、
(b)製造される検出回路を設計すること、前記検出回路は一定のトレースワット密度を有すること、前記検出回路は、前記検出回路と前記ベースラインヒーター回路との間にマージンが存在するのを可能にするために、前記ベースラインヒーター回路よりも大きいこと、
(c)前記検出回路を製造すること、
(d)前記検出回路に電力を供給し及びベースライン熱マップを取得すること、
(e)前記検出回路の導体材料を選択的除去プロセスによって除去し、前記ベースラインヒーター回路を形成すること、
(f)前記ベースラインヒーター回路に電力を供給し及び前記製造されるベースラインヒーター回路の温度プロファイルを表している公称熱マップを取得すること、
(g)前記ベースラインヒーター回路を熱装置に組み立てること、
(h)前記ベースラインヒーター回路に電力を供給し及び標的表面の熱マップを取得すること、
前記標的表面の前記熱マップが前記ベースラインヒーター回路の前記所望の温度プロファイルを表すまでステップ(a)から(h)までを繰り返すこと、
(i)次の検出回路を製造すること、
(j)前記次の検出回路に電力を供給し及び実際の熱マップを取得すること、
(k)前記公称熱マップと前記実際の熱マップとの間の温度差に基づいて、温度プロファイルを表す減算熱像を作成すること、
(l)前記減算熱像に従って、次のベースラインヒーター回路を修正すること、
を具備する、抵抗ヒーターを製造及び調整する方法。 - ステップ(i)から(l)までを行うことによって、複数のヒーターを製造することを更に具備する、請求項1に記載の方法。
- 前記マージンは、前記ベースラインヒーター回路のトレース幅の1%から50%までである、請求項1に記載の方法。
- 前記減算熱像に従って次のベースラインヒーター回路を前記修正することは、前記次のベースラインヒーター回路のトレース幅を変えること、前記次のベースラインヒーター回路の厚さを変えること、前記次のベースラインヒーター回路の固有抵抗をその微細構造を熱処理プロセスを通じて修正することによって修正することと、前記次のベースラインヒーター回路のセグメントに異なる材料を加えることと、及び、それらの組み合わせとの少なくとも一つによって達成される、請求項1に記載の方法。
- 前記熱マップはIRカメラによって取得される、請求項1に記載の方法。
- 前記選択的除去プロセスは、レーザー除去、機械的除去、及びハイブリッドウォータージェットからなる群から選択される、請求項1に記載の方法。
- 前記検出回路は溶射によって形成される、請求項1に記載の方法。
- 前記検出回路は、積層、箔及びワイヤからなる群から選択される、請求項1に記載の方法。
- (a)製造されるベースラインヒーター回路を設計すること、前記ベースラインヒーター回路は所望の温度プロファイルを有すること、
(b)製造される検出回路を設計すること、前記検出回路は一定のトレースワット密度を有すること、前記検出回路は、前記検出回路と前記ベースラインヒーター回路との間にマージンが存在するのを可能にするために、前記ベースラインヒーター回路よりも大きいこと、
(c)前記検出回路を製造すること、
(d)前記検出回路に電力を供給し及び前記検出回路の温度プロファイルを表しているベースライン熱マップを取得すること、
(e)前記検出回路の導体材料を選択的除去プロセスによって除去し、前記ベースラインヒーター回路を形成すること、
(f)前記ベースラインヒーター回路に電力を供給し及び前記ベースラインヒーター回路の温度プロファイルを表している公称熱マップを取得すること、
(g)前記ベースラインヒーター回路を熱装置に組み立てること、
(h)前記ベースラインヒーター回路に電力を供給し及び標的表面の熱マップを取得すること、
(i)次の検出回路を製造すること、
(j)前記次の検出回路に電力を供給し及び実際の熱マップを取得すること、
(k)前記公称熱マップと前記実際の熱マップとの間の温度差に基づいて、温度プロファイルを表す減算熱像を作成すること、
(l)前記減算熱像に従って次のベースラインヒーター回路を修正すること、
を具備する、抵抗ヒーターを製造及び調整する方法。 - 前記検出回路及び前記次の検出回路の少なくとも一つは、材料を貼り付けること、続いて選択的除去プロセスを用いることによって製造される、請求項9に記載の方法。
- 前記ベースラインヒーター回路及び前記次のベースラインヒーター回路の少なくとも一つは、選択的除去プロセスを用いて製造される、請求項9に記載の方法。
- 前記次のベースラインヒーター回路は、選択的除去プロセスによって修正される、請求項9に記載の方法。
- ステップ(i)から(l)までを行うことによって、複数のヒーターを製造することを更に具備する、請求項9に記載の方法。
- 請求項9の方法に従って製造された複数のヒーターアセンブリ。
- 前記検出回路は溶射によって形成される、請求項9に記載の方法。
- 前記検出回路は、積層、箔及びワイヤからなる群から選択される、請求項9に記載の方法。
- (a)検出回路を製造すること、
(b)前記検出回路に電力を供給し及びベースライン熱マップを取得すること、
(c)前記検出回路の導体材料を除去し、ベースラインヒーター回路を形成すること、
(d)前記ベースラインヒーター回路に電力を供給し及び製造されている前記ベースラインヒーター回路の温度プロファイルを表している公称熱マップを取得すること、
(e)前記ベースラインヒーター回路を熱装置に組み立てること、
(f)前記ベースラインヒーター回路に電力を供給し及び標的表面の熱マップを取得すること、
前記標的表面の前記熱マップが前記ベースラインヒーター回路の所望の温度プロファイルを表すまでステップ(a)から(f)までを繰り返すこと、
(g)次の検出回路を製造すること、
(h)前記次の検出回路に電力を供給し及び実際の熱マップを取得すること、
(i)前記公称熱マップと前記実際の熱マップとの間の温度差に基づいて、温度プロファイルを表す減算熱像を作成すること、
(j)前記減算熱像に従って次のベースラインヒーター回路を修正すること、
を具備する、抵抗ヒーターを製造及び調整する方法。 - 前記ベースラインヒーター回路及び前記検出回路の少なくとも一つは、択的除去プロセスによって、製造又は修正される、請求項17に記載の方法。
- 前記検出回路は溶射によって形成される、請求項17に記載の方法。
- 前記検出回路は、積層、箔及びワイヤからなる群から選択される、請求項17に記載の方法。
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