JP2005071916A - セラミックヒータ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】板状セラミックス体の表面に帯状の抵抗発熱体を備え、前記抵抗発熱体の帯の長手方向に略並行で、長さが同等な複数の溝からなる群を有し、前記群は前記抵抗発熱体の帯の幅の中央部とする。
【選択図】図1
Description
m:溝
g:溝の群
1、71:セラミックヒータ
2,72:板状セラミック体
3、73:載置面
5、75:抵抗発熱体
6:給電部
8:支持ピン
10:測温素子
11、77:給電端子
12:ガス噴射口
14,45:リフトピン
15:リフトピンガイド
16、80:ボルト
18:弾性体
19、79:金属ケース
20:ナット
21:補強部材
76:リード線引出用の孔
78:リード線
100:均熱板
Claims (8)
- 板状セラミックス体の表面に帯状の抵抗発熱体を備え、前記抵抗発熱体の帯の長手方向に略並行で、長さが同等な複数の溝の群を有し、前記群は前記抵抗発熱体の帯の幅の中央部にあることを特徴とするセラミックヒータ。
- 前記群の幅は、抵抗発熱体の帯の幅の90%以内にあることを特徴とする請求項1に記載のセラミックヒータ。
- 前記溝の深さは、前記溝の幅の20%〜75%であることを特徴とする請求項1または2に記載のセラミックヒータ。
- 板状セラミックス体の表面に帯状の抵抗発熱体を備え、前記抵抗発熱体の帯の長手方向に略並行で、長さが同等な複数の溝の群を有し、この溝の群は前記抵抗発熱体の帯の長手方向にそって複数に分割され、各群と群との間隔が前記帯の幅よりも小さいことを特徴とするセラミックヒータ。
- 前記群と群の間隔が1mm以下であることを特徴とする請求項4に記載のセラミックヒータ。
- 前記複数の群と群との間隔が前記帯の幅より小さいことを特徴とする請求項1〜3の何れかに記載のセラミックヒータ
- 前記溝がレーザビームにより形成されたことを特徴とする請求項1〜6の何れかに記載のセラミックヒータ。
- 前記板状セラミックス体の抵抗発熱体を形成した面と反対側に、ウェハを載せる載置面を備え、前記抵抗発熱体に独立して電力を供給する給電部と、該給電部を囲む金属ケースとを備えたことを特徴とする請求項1〜6の何れかに記載のセラミックヒータ。
Priority Applications (2)
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-
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- 2003-08-27 JP JP2003303015A patent/JP2005071916A/ja active Pending
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