JP7045447B2 - 顕微鏡用スライドの製造方法、観察方法及び分析方法 - Google Patents
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Description
とができる。図22に、本実施例で製造されたスライドガラス2201を示
す。本実施例で製造されたスライドガラス2201は、マスク部材2101
に覆われなかった領域2203aには、反応性イオンでエッチングされた結
果、第1の実施例と同様に凹凸が導入されている。第1の実施例と同様に、
反応性イオンでエッチングされた領域2203aは、水に対する接触角が1
0度程度または10度よりも小さい角度の高い親水性を示す。それに対して
、マスク部材2101に覆われた領域2203bは、3-アミノプロピルト
リメトキシシランによるシランコートが維持されているために、水に対する
接触角が領域2203aの水に対する接触角よりも大きい。マスク部材21
01に覆われなかったフロスト部2202aは、製造のため準備したスライ
ドガラス2001のフロスト部2002よりも、上述の反応性イオンエッチ
ング処理の結果、着色が薄くなる。フロスト部2202aの着色が薄くなる
ことで、上述の反応性イオンによる処理がなされたスライドガラスであるこ
とを識別することができる。また、マスク部材2101に覆われていたフロ
スト部2202bは、元々の着色を保っているので、フロスト部2202a
とは目視で識別できる。さらに、第3の実施例と同様に、反応性イオンでエ
ッチングされた領域2203aとマスク部材2101に覆われた領域220
3bとの境界2204をフロスト部2202aとフロスト部2202bの境
界から目視で推測できる。
親水性のために濡れ易い領域2203aに誘導することが容易になる。これ
により、作業者の技量に寄らず、図23に示したように、切片2301を再
現性良くスライドガラス2201の領域2203aに載置することができる
。また、本実施例では、さらに境界2204に沿って領域2203b上に位
置合わせマーカ2003-1~4が形成されているので、位置合わせマーカ
2003-1~4を用いて、異なる顕微鏡観察の間での観察領域の位置合わ
せが可能であり、例えば、光学顕微鏡である透過型顕微鏡、落射型顕微鏡、
または位相差顕微鏡で形態観察した像や、荷電粒子線装置であるSEMで高
精細に形態観察した像と、光学顕微鏡であるFOMまたはCLMで蛍光観察
した像と、を容易に重ね合わせて、観察または分析をすることができる。
Claims (20)
- 着色された樹脂膜が一部に形成された面を有する透明な基板を準備する第1の工程と、
前記基板の前記樹脂膜が形成された側の表面の少なくとも一部の第1の領域を前記基板の材料をエッチングする反応性イオンでエッチングし、前記第1の領域に平面視で1μm2当たり25個よりも高い密度で凸部を有する表面形状を導入する第2の工程と、
前記第2の工程の後に、前記樹脂膜の少なくとも一部および前記第1の領域を酸素の反応性イオンでアッシングする第3の工程と、を有し、
前記酸素の反応性イオンでアッシングされた樹脂膜の部分は、前記樹脂膜を有する面とは反対側から見た場合の前記樹脂膜の着色よりも、着色が薄くなることを特徴とする顕微鏡用スライドの製造方法。 - 請求項1に記載の顕微鏡用スライドの製造方法において、
前記第2の工程では、前記第1の領域の表面で、隣り合う前記凸部の間の溝となる凹みの領域の方が前記凸部よりも前記反応性イオンによるエッチングが進行することを特徴とする顕微鏡用スライドの製造方法。 - 基板を準備する第1の工程と、
前記基板の表面の少なくとも一部である第1の領域を反応性イオンでエッチングし、前記第1の領域に平面視で1μm 2 当たり25個よりも高い密度で凸部を有する表面形状を導入する第2の工程と、
前記第2の工程の後に、前記第1の領域を酸素の反応性イオンでアッシングする第3の工程と、を有し、
少なくとも前記第1の領域には、前記第2の工程および前記第3の工程でマスクがされておらず、
前記第2の工程では、前記第1の領域の表面で、隣り合う前記凸部の間の溝となる凹みの領域の方が前記凸部よりも前記反応性イオンによるエッチングが進行することを特徴とする顕微鏡用スライドの製造方法。 - 請求項2または3に記載の顕微鏡用スライドの製造方法において、
前記基板は酸化珪素の基板であり、
前記第2の工程の前記反応性イオンは、弗素系のガスを含むガスを導入して得られ、
前記第2の工程では、前記基板の酸化珪素の表面に前記凸部を有する荒れを導入することで、前記凸部が不規則に充填された凹凸の前記表面形状を導入することを特徴とする顕微鏡用スライドの製造方法。 - 請求項1または3に記載の顕微鏡用スライドの製造方法において、
前記第1の工程で、前記基板を準備する際に、コーティングがなされ、且つ前記第1の領域を残して前記第1の領域と隣り合っている第2の領域にマスクがなされている基板を準備し、
前記第1の工程と前記第2の工程の間に、酸素の反応性イオンによるアッシングにより、前記マスクがなされている第2の領域の前記コーティングは残しつつ、前記第1の領域の前記コーティングを除去し、
前記コーティングよりも前記第1の領域の水に対する接触角を小さくすることによって、前記第1の領域と前記第2の領域の境界に水に対する濡れ性の境界を形成することを特徴とする顕微鏡用スライドの製造方法。 - 請求項5に記載の顕微鏡用スライドの製造方法において、
前記コーティングは、アミノ基を有するシランカップリング剤、アルキル基を有するシランカップリング剤、ポリエチレンイミン、またはポリリジンで形成されることを特徴とする顕微鏡用スライドの製造方法。 - 請求項5に記載の顕微鏡用スライドの製造方法において、
前記第1の工程で、前記第1の領域を除き、且つ前記第2の領域を含む前記基板の少なくとも一部の表面に、ポリジメチルシロキサンのシートを自己吸着させることで前記マスクをすることを特徴とする顕微鏡用スライドの製造方法。 - 請求項5に記載の顕微鏡用スライドの製造方法において、
前記第1の工程で、前記基板として、位置合わせの際に用いられるマーカが前記第2の領域に設けられている基板を準備することを特徴とする顕微鏡用スライドの製造方法。 - 請求項1または3に記載の顕微鏡用スライドの製造方法において、
追加の材料を適用することなく、前記第1の領域へ貼り付けられる生体組織の切片の剥離を防ぐことを特徴とする顕微鏡用スライドの製造方法。 - 請求項1または3に記載の顕微鏡用スライドの製造方法において、
前記第1の領域が、生体組織のパラフィン包埋切片が貼り付けられる領域であることを特徴とする顕微鏡用スライドの製造方法。 - 請求項1または3に記載の顕微鏡用スライドの製造方法において、
前記第2の工程で、前記第1の領域は酸化インジウムスズ層の表面であり、
前記第1の工程で準備する基板は、前記第2の工程でエッチングされる厚さよりも厚い前記酸化インジウムスズ層を有することを特徴とする顕微鏡用スライドの製造方法。 - 請求項4に記載の顕微鏡用スライドの製造方法において、
前記第1の工程で準備する前記基板はガラス基板であり、
前記基板の酸化珪素の表面は前記ガラス基板の表面であることを特徴とする顕微鏡用スライドの製造方法。 - 請求項12に記載の顕微鏡用スライドの製造方法において、
前記第1の工程で準備する前記ガラス基板がスライドガラスであることを特徴とする顕微鏡用スライドの製造方法。 - 請求項1に記載の顕微鏡用スライドの製造方法において、
前記第1の工程で準備する前記基板がスライドガラスであり、前記樹脂膜はフロスト部であることを特徴とする顕微鏡用スライドの製造方法。 - 請求項13または14に記載の顕微鏡用スライドの製造方法において、
前記第1の領域は、前記スライドガラスの縁に接するように設けられることを特徴とする顕微鏡用スライドの製造方法。 - 請求項1または3に記載の顕微鏡用スライドの製造方法で製造された顕微鏡用スライドの前記第1の領域に、生体組織のパラフィン包埋切片を貼り付けることを特徴とする観察方法。
- 請求項8に記載の顕微鏡用スライドの製造方法で製造された顕微鏡用スライドの前記第1の領域に切片を載置し、前記マーカに基づき画像を重ね合わせることを特徴とする観察方法。
- 請求項17に記載の観察方法において、
前記マーカに基づき光学顕微鏡による画像と荷電粒子線装置による画像とを重ね合わせることを特徴とする観察方法。 - 請求項18に記載の観察方法において、
前記荷電粒子線装置は走査型電子顕微鏡であることを特徴とする観察方法。 - 請求項1または3に記載の顕微鏡用スライドの製造方法で製造された顕微鏡用スライドの前記第1の領域に、生体組織のパラフィン包埋切片を貼り付けることを特徴とする分析方法。
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