JP2016118635A - 観察用透明基板、観察用容器及びその製造方法、透明基材の研磨方法、並びに観察方法 - Google Patents
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[観察用透明基板]
図1は、本実施形態に係る観察用透明基板の概略構成を示す平面図であり、図2は、本実施形態に係る観察用透明基板の概略構成を示す、図1におけるI−I線切断端面図である。
上述した構成を有する観察用透明基板10は、以下のようにして製造することができる。図3は、本実施形態に係る観察用透明基板の製造工程を切断端面図にて示す工程フロー図であり、図4は、本実施形態に係る観察用透明基板の製造工程であって、図3に示す工程に連続する各工程(透明基材の研磨方法の各工程)を切断端面図にて示す工程フロー図である。
金属含有膜51上に有機膜52を形成する方法としては、特に限定されるものではなく、例えば、スピンコート法等の公知の塗布方法により有機膜52を構成する材料を塗布した後、当該材料を硬化させる方法等を採用することができる。
上述した構成を有する観察用透明基板10は、第1面11a側におけるナノ凹凸パターン12上に存在する観察対象物(細胞等)を、倒立顕微鏡を用いて第2面11b側から観察するために用いられるものであるが、後述する観察用容器の態様で用いられるのが好適である。図5は、本実施形態における観察用容器の概略構成を示す平面図(上面図)であり、図6は、本実施形態における観察用容器の概略構成を示す、図5におけるII−II線切断端面図である。
上述した観察用容器1は、底部2a及び当該底部2aの外周縁に連続する周壁部2bを有し、底部2aの略中央に貫通孔2cが形成されてなる容器本体2を準備し、当該容器本体2の底部2aの外面に、観察用透明基板10の第1面11aの観察領域13Aの外周の領域に塗布された接着剤を介して当該観察用透明基板10を取り付けることにより製造され得る。
上述した観察用容器1は、観察対象物を観察するために用いられるものである。以下、当該観察用容器1を用いて観察対象物としての細胞を観察する方法について説明する。図7は、本実施形態における観察方法を示す概略図である。
厚み6nmの金属クロムからなるハードマスク層41が第1面31aに設けられている透明基材31(石英ガラス基板,サイズ:152mm×152mm,厚み:6.35mm)を用意し、電子線感応型レジスト(製品名:SEBP−9012,信越化学工業社製)をハードマスク層41上に塗布してレジスト膜42(厚み:100nm)を形成した。そして、当該レジスト膜42上における複数の観察領域13A(14mmφに物理的に包含され得る大きさ)に相当する領域内のそれぞれに電子線描画装置(JBX9000,日本電子社製)を用いてピラー状のレジストパターン43を形成した。
ナノ凹凸パターン12に対応する微細凹凸パターンを有するインプリントモールドを準備し、ナノインプリント装置(東芝機械社製,ST50)を用いたナノインプリントリソグラフィー法により、透明基材31(石英ガラス基板)の第1面31aにナノ凹凸パターン12を形成した以外は、実施例1と同様にして観察用透明基板10(厚み:0.17mm)を作製し、観察用容器1を製造した。
実施例1と同様にして透明基材31の第1面31aにナノ凹凸パターン12を形成し、ナノ凹凸パターン12が形成された第1面31a上に金属含有膜51及び有機膜52を形成せずに、透明基材31の第2面31b側から研磨したところ、透明基材31の厚みが0.5mm以下になる前に、当該透明基材31が破損してしまった。
実施例1と同様にして透明基材31の第1面31aにナノ凹凸パターン12を形成し、ナノ凹凸パターン12が形成された第1面31a上に金属含有膜51を形成せず、有機膜52のみを形成して、透明基材31の第2面31b側から研磨したところ、透明基材31の厚みが0.5mm以下になる前に、当該透明基材31が破損してしまった。
有機膜52を形成しなかった以外は、実施例1と同様にして観察用透明基板を作製した。当該観察用透明基板のナノ凹凸パターン12上を、電子顕微鏡を用いて観察したところ、研磨処理時に生じたと考えられる微細なパーティクルがナノ凹凸パターン12上に付着していることが確認された。
実施例1の観察用容器1のナノ凹凸パターン12上に、口腔上皮細胞71を含む培養液72を滴下し、倒立顕微鏡(ニコン社製,製品名:ECLIPSE Ti)を用い、倍率50倍で当該細胞を観察した。その結果、細胞と、細胞を構成する細胞構成要素とを明瞭に観察することができた。また、ナノ凹凸パターン12上に細胞が接着しているのを確認することができた。
2…容器本体
2a…底部
2b…周壁部
2c…貫通孔
10…観察用透明基板
11…基部
11a…第1面
11b…第2面
12…ナノ凹凸パターン
13A…観察領域
Claims (18)
- 所定の観察領域を含む第1面及び当該第1面に対向する第2面を有する基部を備え、前記第1面上の前記観察領域内の観察対象物を前記第2面側から観察するために用いられる観察用透明基板であって、
前記基部の前記第1面側には、前記観察領域内にナノ凹凸パターンが形成されており、
前記基部の厚みが0.5mm以下であることを特徴とする観察用透明基板。 - 前記ナノ凹凸パターンの寸法が、100〜500nmであることを特徴とする請求項1に記載の観察用透明基板。
- 前記観察対象物が、細胞又は前記細胞を構成する細胞構成要素であることを特徴とする請求項1又は2に記載の観察用透明基板。
- 貫通孔が形成されてなる底部及び前記底部の外周縁に連続する周壁部を有する容器本体と、
前記底部に取り付けられてなる請求項1〜3のいずれかに記載の観察用透明基板と
を備え、
前記容器本体の平面視において前記観察用透明基板の前記ナノ凹凸パターンが前記貫通孔に重なるように、かつ前記容器本体内に位置するようにして、前記観察用透明基板が前記底部に取り付けられており、
前記貫通孔は、前記観察用透明基板により塞がれていることを特徴とする観察用容器。 - 前記観察用透明基板は、前記容器本体の平面視において前記ナノ凹凸パターンが前記貫通孔に物理的に包含されるようにして、前記底部に取り付けられてなることを特徴とする請求項4に記載の観察用容器。
- 前記観察用透明基板が、前記貫通孔から前記ナノ凹凸パターンを露出させるようにして、前記容器本体の前記底部の外面に取り付けられていることを特徴とする請求項4又は5に記載の観察用容器。
- 前記観察用透明基板が、接着剤を介して前記底部に取り付けられていることを特徴とする請求項4〜6のいずれかに記載の観察用容器。
- 第1面及び当該第1面に対向する第2面を有し、前記第1面側にナノ凹凸パターンが形成されてなる透明基材を準備する工程と、
前記第1面側の前記ナノ凹凸パターンを被覆する金属含有膜を形成する工程と、
前記金属含有膜上に有機膜を形成する工程と、
前記有機膜が形成された前記透明基材を前記第2面側から研磨する工程と
を含み、
前記第2面側から研磨された後の前記透明基材の厚みが0.5mm以下であることを特徴とする研磨方法。 - 前記ナノ凹凸パターンの寸法が100〜500nmであることを特徴とする請求項8に記載の研磨方法。
- 前記金属含有膜の厚みが50nm以上であることを特徴とする請求項8又は9に記載の研磨方法。
- 前記透明基材は、前記ナノ凹凸パターンの形成されている領域が複数割り付けられていることを特徴とする請求項8〜10のいずれかに記載の研磨方法。
- 貫通孔が形成されてなる底部及び前記底部の外周縁に連続する周壁部を有する容器本体と、第1面及び当該第1面に対向する第2面を有し、前記第1面上の観察対象物を前記第2面側から観察するために用いられる観察用透明基板とを備え、前記観察用透明基板が前記底部に取り付けられている観察用容器を製造する方法であって、
第1面及び当該第1面に対向する第2面を有し、当該第1面側にナノ凹凸パターンが形成されてなる透明基材を、当該第2面側から研磨することで作製された前記観察用透明基板を、前記容器本体の平面視において前記観察用透明基板の前記ナノ凹凸パターンが前記貫通孔に重なるようにして前記容器本体内に位置し、かつ前記貫通孔を塞ぐように前記容器本体の底面に取り付ける工程を含み、
前記観察用透明基板は、請求項8〜11のいずれかに記載の研磨方法により前記透明基材を研磨して作製されたものであることを特徴とする観察用容器の製造方法。 - 前記容器本体の平面視において前記ナノ凹凸パターンが前記貫通孔に物理的に包含されるようにして、前記容器本体の前記底部に前記観察用透明基板を取り付けることを特徴とする請求項12に記載の観察用容器の製造方法。
- 前記貫通孔から前記ナノ凹凸パターンを露出させるようにして、前記容器本体の前記底部の外面に前記観察用透明基板を取り付けることを特徴とする請求項12又は13に記載の観察用容器の製造方法。
- 前記観察用透明基板を、接着剤を介して前記底部に取り付けることを特徴とする請求項12〜14のいずれかに記載の観察用容器の製造方法。
- 前記観察対象物が、細胞又は前記細胞を構成する細胞構成要素であることを特徴とする請求項12〜15のいずれかに記載の観察用容器の製造方法。
- 請求項4〜7のいずれかに記載の観察用容器内に観察対象物を収容し、
前記ナノ凹凸パターン上の前記観察対象物を、前記観察用透明基板の前記第2面側から観察することを特徴とする観察方法。 - 倒立顕微鏡を用いて前記観察対象物を観察することを特徴とする請求項17に記載の観察方法。
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