JP7044882B2 - 検出装置付き表示機器 - Google Patents

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Description

本発明は、検出装置付き表示機器に関する。
近年、表示素子として無機発光ダイオード(マイクロLED(micro LED))を用いた無機ELディスプレイが注目されている(例えば、特許文献1参照)。無機ELディスプレイは、異なる色の光を出射する複数の発光素子がアレイ基板上に配列される。無機ELディスプレイは、自発光素子を用いているため光源が不要であり、また、カラーフィルタを介さずに光が出射されるため光の利用効率が高い。また、無機ELディスプレイは、表示素子として有機発光ダイオード(OLED:Organic Light Emitting Diode)を用いた有機ELディスプレイに比べて耐環境性に優れる。
特表2017-529557号公報
無機ELディスプレイにおいて、指等の入力面への接触又は近接を検出するタッチ検出や、入力面へ加えられた押力を検出する力検出等の機能を備えることが要求されている。
本発明は、力を好適に検出できる検出装置付き表示機器を提供することを目的とする。
本発明の一態様の検出装置付き表示機器は、第1主面と、前記第1主面と反対側の第2主面とを有する基板と、前記基板の表示領域において、前記第1主面側に設けられた複数の無機発光素子と、前記無機発光素子を挟んで前記基板の前記第1主面と対向する第1電極と、前記基板と前記第1電極との間に設けられ、少なくとも前記無機発光素子の側面を覆う第1平坦化層と、前記基板の前記第2主面と対向し、前記第1電極との間の距離の変化に応じた信号を出力する第2電極と、を有する。
図1は、第1実施形態に係る検出装置付き表示機器の構成を示すブロック図である。 図2は、第1実施形態に係る検出装置付き表示機器の表示装置、検出装置及び制御部の構成を示すブロック図である。 図3は、第1実施形態に係る検出装置付き表示機器の概略断面構造を示す断面図である。 図4は、第1実施形態に係る表示装置を模式的に示す平面図である。 図5は、複数の画素を示す平面図である。 図6は、図4のPa-Pb-Pc線に沿う断面図である。 図7は、第1実施形態に係る検出装置を模式的に示す平面図である。 図8は、第1電極と発光素子の関係を示す平面図である。 図9は、第1実施形態に係る発光素子を示す断面図である。 図10は、第1実施形態に係る検出装置付き表示機器の動作例を示すタイミング波形図である。 図11は、第1実施形態の第1変形例に係る検出装置を模式的に示す平面図である。 図12は、第1実施形態の第1変形例に係る検出装置付き表示機器の概略断面構造を示す断面図である。 図13は、第1実施形態の第2変形例に係る検出装置付き表示機器の概略断面構造を示す断面図である。 図14は、第1実施形態の第3変形例に係る検出装置付き表示機器の概略断面構造を示す断面図である。 図15は、第1実施形態の第4変形例に係る検出装置を模式的に示す平面図である。 図16は、第2実施形態に係る検出装置付き表示機器の概略断面構造を示す断面図である。 図17は、第2実施形態に係る発光素子を示す断面図である。 図18は、第3実施形態に係る検出装置付き表示機器の概略断面構造を示す断面図である。
本発明を実施するための形態(実施形態)につき、図面を参照しつつ詳細に説明する。以下の実施形態に記載した内容により本発明が限定されるものではない。また、以下に記載した構成要素には、当業者が容易に想定できるもの、実質的に同一のものが含まれる。さらに、以下に記載した構成要素は適宜組み合わせることが可能である。なお、開示はあくまで一例にすぎず、当業者において、発明の主旨を保っての適宜変更について容易に想到し得るものについては、当然に本発明の範囲に含有されるものである。また、図面は説明をより明確にするため、実際の態様に比べ、各部の幅、厚さ、形状等について模式的に表される場合があるが、あくまで一例であって、本発明の解釈を限定するものではない。また、本明細書と各図において、既出の図に関して前述したものと同様の要素には、同一の符号を付して、詳細な説明を適宜省略することがある。
(第1実施形態)
図1は、第1実施形態に係る検出装置付き表示機器の構成を示すブロック図である。図1に示すように、検出装置付き表示機器1は、表示装置2と、検出装置5と、制御部CTRLと、を含む。
検出装置5は、タッチ検出部51と、力検出部52と、を含む。なお、力検出部52は、タッチ検出部51を構成する基板又は電極及び表示装置2を構成する基板又は電極の少なくとも一部を兼用した装置である。
タッチ検出部51は、被検出物OBJの、検出装置付き表示機器1の入力面ISへの接触又は近接を検出する。タッチ検出部51は、被検出物OBJが入力面ISと垂直な方向で重なる領域の接触又は近接に応じた信号を、制御部CTRLに出力する。なお、入力面ISは、検出装置5を形成するセンサ基体53に平行な平面であり、例えば、カバー部材100の表面である。
被検出物OBJは、入力面ISと接触して変形する第1の種類の物であってもよいし、入力面ISと接触しても変形しない又は第1の種類の物と比較して相対的に変形が少ない第2の種類の物であってもよい。第1の種類の物は、指が例示されるが、これに限定されない。第2の種類の物は、樹脂又は金属のスタイラスペンが例示されるが、これに限定されない。
タッチ検出部51は、静電容量方式センサ又は抵抗膜方式センサが例示されるが、これらに限定されない。静電容量方式は、相互静電容量方式又は自己静電容量方式が例示される。
表示装置2は、入力面IS側に向けて画像を表示する。表示装置2は、表示素子として無機発光ダイオード(LED:Light Emitting Diode)を用いたマイクロLED(Micro LED)表示装置又はmini-LED表示装置である。表示素子は、平面視で、3μm以上、300μm以下程度の大きさを有するマイクロLEDチップである。なお、マイクロLEDのマイクロは、表示素子の大きさを限定するものではない。
力検出部52は、被検出物OBJが入力面ISに加える押力を検出する。具体的には、力検出部52は、被検出物OBJが入力面ISに加える押力に応じた信号を、制御部CTRLに出力する。力検出部52は、静電容量方式センサが例示される。
制御部CTRLは、力検出部52から出力される信号に基づいて、力を表す力信号値を算出する。制御部CTRLは、表示制御部11と、検出制御部4と、ホストHSTと、を含む。検出制御部4は、タッチ検出制御部40と、力検出制御部48と、を含む。
表示制御部11は、表示装置2の基板上に実装されたICチップ(例えば、駆動IC200)が例示される。検出制御部4は、センサ基体53に接続されたプリント基板(例えば、フレキシブルプリント基板)上に実装されたICチップが例示される。ホストHSTは、CPU(Central Processing Unit)が例示される。表示制御部11、検出制御部4及びホストHSTは、協働してタッチ検出部51、表示装置2及び力検出部52を制御する。なお、表示制御部11を構成するICチップは、表示装置2の基板に接続されたプリント基板上に実装されてもよく、表示制御部11及び検出制御部4は、1つのICチップ内に内蔵されていてもよい。
力信号値を算出するための処理は、制御部CTRLにおいて、表示制御部11が実行してもよいし、検出制御部4が実行してもよいし、ホストHSTが実行してもよい。また、表示制御部11、検出制御部4、及びホストHSTの内の2つ以上が協働して実行してもよい。
図2は、第1実施形態に係る検出装置付き表示機器の表示装置、検出装置及び制御部の構成を示すブロック図である。図2に示すように、制御部CTRLは、表示制御部11と、ゲートドライバ12と、ソースドライバ13と、ソースセレクタ部13Sと、検出制御部4と、を含む。検出装置付き表示機器1は、表示装置2の上に、タッチ検出部51を装着した装置である。なお、表示装置2として使用される基板や電極などの一部の部材が、タッチ検出部51として使用される基板や電極などの一部の部材に兼用されてもよい。また、ゲートドライバ12、ソースドライバ13、ソースセレクタ部13Sの少なくともいずれか一つは、表示制御部11のICチップ内に内蔵されていてもよいし、表示装置2を構成する基板上に設けられていてもよい。
表示装置2は、ゲートドライバ12から供給される走査信号Vscanに従って、1水平ラインずつ順次走査して表示を行う装置である。表示制御部11は、ゲートドライバ12、ソースドライバ13及び検出制御部4を制御する回路(制御装置)である。表示制御部11は、ホストHSTより供給された映像信号Vdispに基づいて、ゲートドライバ12、ソースドライバ13及び検出制御部4にそれぞれ制御信号を供給する。また、表示制御部11は、1水平ライン分の映像信号Vdispから、画素信号Vpixを時分割多重化した画像信号SIGを生成し、ソースドライバ13に供給する。
ゲートドライバ12は、表示制御部11から供給される制御信号に基づいて、表示装置2の、表示駆動の対象となる1水平ラインを順次選択する回路である。言い換えると、表示装置2に含まれるゲート線の中で表示駆動の対象として選択されたゲート線に走査信号Vscanを供給する回路である。
ソースドライバ13は、表示制御部11から供給される制御信号に基づいて、表示装置2の、各画素Pixに画素信号Vpixを供給する回路である。ソースドライバ13には、例えば6ビットのR(赤)、G(緑)及びB(青)の画像信号SIGが与えられる。
ソースドライバ13は、表示制御部11から画像信号SIGを受け取り、ソースセレクタ部13Sに供給する。また、ソースドライバ13は、画像信号SIGに多重化された画素信号Vpixを分離するために必要なスイッチ制御信号SELを生成し、画像信号SIGとともにソースセレクタ部13Sに供給する。ソースセレクタ部13Sは複数のスイッチ素子を有し、ソースドライバ13からスイッチ制御信号SEL及び画像信号SIGを受け取り、画素信号Vpixを生成し、表示装置2に供給する。ソースセレクタ部13Sは、ソースドライバ13と表示制御部11との間の配線数を少なくすることができる。ソースセレクタ部13Sはなくてもよい。つまり、表示制御部11から直接画素信号Vpixがソースドライバ13に供給されてもよい。また、ソースドライバ13の一部の制御は、表示制御部11が行ってもよく、ソースセレクタ部13Sのみが配置されていてもよい。
検出制御部4は、第1駆動電極ドライバ14を含む。第1駆動電極ドライバ14は、検出タイミング制御部46から供給される制御信号に基づいて、検出装置5の駆動電極Txにタッチ駆動信号Vtxdを供給する回路である。タッチ駆動信号Vtxdは、例えば、所定の周波数(例えば数kHz~数百kHz程度)の交流矩形波である。なお、タッチ駆動信号Vtxdの交流波形は、サイン波や三角波であってもよい。また、第1駆動電極ドライバ14は、タッチ検出制御部40が自己静電容量方式によるタッチ検出動作を行う場合に、駆動電極Tx又は検出電極Rx1のいずれか一方にタッチ駆動信号Vtxdを供給する。
検出制御部4は、第2駆動電極ドライバ15を含む。第2駆動電極ドライバ15は、検出タイミング制御部46から供給される制御信号に基づいて、検出装置5の駆動電極Tx又は検出電極Rx1の少なくとも一方に第2駆動信号Vdを供給する回路である。また、第2駆動電極ドライバ15は、力検出制御部48が自己静電容量方式による力検出動作を行う際に、第2電極Rx2に第2駆動信号Vdを供給してもよい。
タッチ検出部51は、第1駆動電極ドライバ14から供給されるタッチ駆動信号Vtxdに従って、1検出ブロックずつ順次走査してタッチ検出を行う。タッチ検出部51は、例えば、静電容量方式のタッチパネルである。タッチ検出部51は、第1電極54(駆動電極Tx及び検出電極Rx1(図7参照))を有し、指等の外部物体の近接又は接触に伴う駆動電極Txと検出電極Rx1との間の容量変化に応じたタッチ検出信号Vdet1を供給する。タッチ検出部51は、相互静電容量方式のタッチ検出及び自己静電容量方式のタッチ検出の両方を実行する。又は、タッチ検出部51は、相互静電容量方式のタッチ検出及び自己静電容量方式のタッチ検出のいずれか一方を実行してもよい。
力検出部52は、第2駆動電極ドライバ15から供給される第2駆動信号Vdに従って、相互静電容量方式又は自己静電容量方式の力検出を行い、第2電極Rx2(図6参照)は、力検出信号Vdet2を出力する。
検出制御部4は、表示制御部11から供給される制御信号と、タッチ検出部51から供給されるタッチ検出信号Vdet1と、に基づいて、入力面ISに対するタッチの有無を検出する。なお、本明細書において、タッチとは、被検出部OBJが接触状態又は近接状態にあることを示す。また、検出制御部4は、力検出部52から供給される力検出信号Vdet2に基づいて、入力面ISへの押力を検出する。そして、検出制御部4は、タッチがある場合においてタッチ検出領域におけるその座標及び接触面積などを求める回路である。
検出制御部4は、第1検出信号増幅部41と、第2検出信号増幅部42と、第1A/D変換部43-1と、第2A/D変換部43-2と、信号処理部44と、座標抽出部45と、検出タイミング制御部46と、を含む。信号処理部44は、タッチ検出処理部441と、力検出処理部442と、を含む。第1検出信号増幅部41、第1A/D変換部43-1、座標抽出部45、及びタッチ検出処理部441は、タッチ検出制御部40を構成する。第1検出信号増幅部41、第2検出信号増幅部42、第1A/D変換部43-1、第2A/D変換部43-2、及び力検出処理部442は、力検出制御部48を構成する。
第1検出信号増幅部41は、例えば積分回路であり、タッチ検出部51から供給されるタッチ検出信号Vdet1を増幅する。第1A/D変換部43-1は、タッチ駆動信号Vtxdに同期したタイミングで、第1検出信号増幅部41から出力されるアナログ信号をそれぞれサンプリングしてデジタル信号に変換する。
第2検出信号増幅部42は、例えば積分回路であり、力検出部52から供給される力検出信号Vdet2を増幅する。第2A/D変換部43-2は、第2駆動信号Vdに同期したタイミングで、第2検出信号増幅部42から出力されるアナログ信号をそれぞれサンプリングしてデジタル信号に変換する。
信号処理部44は、第1A/D変換部43-1の出力信号に基づいて、入力面ISに対するタッチの有無を検出するタッチ検出処理、及び、第2A/D変換部43-2の出力信号に基づいて、入力面ISへの押力を検出する力検出処理を行う論理回路である。信号処理部44は、指による検出信号の差分の信号(絶対値|ΔV|)を取り出す処理を行う。信号処理部44は、絶対値|ΔV|を所定のしきい値電圧と比較し、この絶対値|ΔV|がしきい値電圧未満であれば、被検出体が非接触状態であると判断する。一方、信号処理部44は、絶対値|ΔV|がしきい値電圧以上であれば、被検出体の接触状態又は近接状態と判断する。また、信号処理部44は、絶対値|ΔV|に基づいて入力面ISへの押力を算出する。信号処理部44は、入力面ISへの押力を力検出値Fcorとして出力する。
座標抽出部45は、信号処理部44においてタッチ及び入力面ISへの押力の少なくともいずれかが検出されたときに、入力面ISにおけるタッチ検出位置の座標を求める論理回路である。座標抽出部45は、タッチ検出位置の座標を出力信号Voutとして出力する。なお、タッチ検出制御部40は、座標抽出部45を有さず、タッチ検出位置の座標を算出せずに、出力信号Voutとしてタッチ検出信号Vdet1を出力してもよい。タッチ検出制御部40は、出力信号Voutを表示制御部11に出力してもよい。表示制御部11は出力信号Voutに基づいて、所定の表示動作又は検出動作を実行することができる。
力検出制御部48には、座標抽出部45から出力される出力信号Voutが入力される。力検出制御部48は、座標抽出部45から出力される出力信号Voutを用いて、力検出値Fcorを補正することもできる。
次に、本実施形態の検出装置付き表示機器1の構成例を詳細に説明する。図3は、第1実施形態に係る検出装置付き表示機器の概略断面構造を示す断面図である。図4は、第1実施形態に係る表示装置を模式的に示す平面図である。図5は、複数の画素を示す平面図である。図6は、図4のPa-Pb-Pc線に沿う断面図である。図7は、第1実施形態に係る検出装置を模式的に示す平面図である。図8は、第1電極と発光素子の関係を示す平面図である。
図3に示すように、検出装置付き表示機器1は、表示装置2と、検出装置5と、カバー部材100とが積層される。カバー部材100は、検出装置5に含まれる第1電極54、センサ基体53及び表示装置2を覆って、検出装置付き表示機器1の最表面に設けられる。カバー部材100の上面が、入力面ISである。カバー部材100は、例えば、透光性を有するガラス基板又は樹脂基板である。
本明細書において、表示装置2の基板21の表面に垂直な方向において、基板21から入力面ISに向かう方向を「上側」とする。また、入力面ISから基板21に向かう方向を「下側」とする。また、「平面視」とは、基板21の表面に垂直な方向から見た場合を示す。
なお、第1方向Dx及び第2方向Dyは、基板21の表面に対して平行な方向である。第1方向Dxは、第2方向Dyと直交する。ただし、第1方向Dxは、第2方向Dyと直交しないで交差してもよい。第3方向Dzは、第1方向Dx及び第2方向Dyと直交する方向である。言い換えると、第3方向Dzは、基板21の表面に垂直な方向である。
表示装置2は、アレイ基板20と、アレイ基板20の上に設けられた複数の発光素子3と、第1平坦化層27と、を有する。図4に示すように、表示装置2は、アレイ基板20に設けられた画素Pixを有し、画素Pixは表示領域AAにマトリクス状に配置される。また、ゲートドライバ12と、駆動IC(Integrated Circuit)200と、カソード配線26は、アレイ基板20上に配置される。アレイ基板20は、各画素Pixを駆動するための駆動回路基板であり、バックプレーン又はアクティブマトリックス基板とも呼ばれる。アレイ基板20は、基板21と、第1トランジスタTr1、第2トランジスタTr2等と、ゲート線トランジスタTrGと、各種配線等が設けられている。第1トランジスタTr1、第2トランジスタTr2等は、画素Pixに対応して設けられたスイッチング素子である。ゲート線トランジスタTrGは、ゲートドライバ12に含まれるスイッチング素子である。
図4に示すように、表示装置2は、表示領域AAと、周辺領域GAとを有する。表示領域AAは、複数の画素Pixと重なって配置され、画像を表示する領域である。周辺領域GAは、複数の画素Pixと重ならない領域であり、表示領域AAの外側に配置される。
複数の画素Pixは、基板21の表示領域AAにおいて、第1方向Dx及び第2方向Dyに配列される。複数の画素Pixは、それぞれ発光素子3を有し、発光素子3ごとに異なる色の光を出射することで画像を表示する。
ゲートドライバ12は、駆動IC200からの各種制御信号に基づいて複数のゲート線を駆動する回路である。ゲートドライバ12は、複数のゲート線を順次又は同時に選択し、選択されたゲート線にゲート駆動信号を供給する。これにより、ゲートドライバ12は、ゲート線に接続された複数の画素Pixを選択する。
駆動IC200は、表示装置2の表示を制御する回路である。言い換えると、駆動IC200は、表示制御部11として機能する。駆動IC200は、基板21の周辺領域GAにCOG(Chip On Glass)として実装されてもよい。これに限定されず、駆動IC200は、基板21の周辺領域GAに接続されたフレキシブルプリント基板やリジット基板の上にCOF(Chip On Film)として実装されてもよい。
カソード配線26は、基板21の周辺領域GAに設けられる。カソード配線26は、表示領域AAの複数の画素Pix及び周辺領域GAのゲートドライバ12を囲んで設けられる。言い換えると、カソード配線26は、基板21の最外縁とゲートドライバ12の間に配置される。複数の発光素子3のカソードは、共通のカソード配線26に接続され、例えば、カソード配線26から基準電位(グランド電位)が供給される。なお、カソード配線26は、一部にスリットを有し、基板21上において、2つの異なる配線で形成されてもよい。また、本実施形態において、カソード配線26は、駆動IC200に接続されているが、これに限らず、基板21に接続される制御部基板上に配置される電源供給回路から駆動IC200を介さず、基準電位が直接供給されてもよい。
図5に示すように、各画素Pixは、発光素子3と、第2接続電極23と、画素回路28と、を有する。複数の発光素子3は、画素Pixに対応して設けられ、異なる色の光を出射する第1発光素子3R、第2発光素子3G及び第3発光素子3Bを含む。第1発光素子3Rは、赤色の光を出射する。第2発光素子3Gは、緑色の光を出射する。第3発光素子3Bは、青色の光を出射する。なお、以下の説明において、第1発光素子3R、第2発光素子3G及び第3発光素子3Bを区別して説明する必要がない場合には、単に発光素子3と表す。なお、複数の発光素子3は、4色以上の異なる光を出射してもよい。
第1発光素子3Rを有する画素Pixと、第2発光素子3Gを有する画素Pixと、第3発光素子3Bを有する画素Pixとが、この順で第1方向Dxに繰り返し配列される。すなわち、第1発光素子3R、第2発光素子3G及び第3発光素子3Bは、この順で第1方向Dxに繰り返し配列される。第1発光素子3R、第2発光素子3G及び第3発光素子3Bは、それぞれ第2方向Dyに複数配列される。つまり、図5に示す例では、各発光素子3は、第1方向Dxにおいて異なる色の光を出射する他の発光素子3と隣り合って配置され、第2方向Dyにおいて、同じ色の光を出射する他の発光素子3と隣り合って配置される。
なお、各画素Pixの配置は図5に示す例に限定されない。例えば、第2発光素子3Gを有する画素Pixと第3発光素子3Bを有する画素Pixとが、第2方向Dyに隣り合って配置されてもよい。そして、この第2方向Dyに隣り合う2つの画素Pixが、第1発光素子3Rを有する1つの画素Pixに対して第1方向Dxに隣り合って配置されていてもよい。この場合、第1発光素子3Rと第2発光素子3Gとは、第1方向Dxに隣り合って配置され、第2発光素子3Gと第3発光素子3Bとは、第2方向Dyに隣り合って配置される。なお、第1発光素子3Rは、第3発光素子3Bと第1方向Dxに隣り合って配置されていてもよい。
図5に示すように、第2接続電極23は、基板21に垂直な方向(以下、第3方向Dzと表す。)から見たときに、発光素子3よりも大きな面積を有する。なお、図5では、発光素子3の外形は、下面の外形を表す。言い換えると、第2接続電極23は、第3方向Dzから見たときに、発光素子3の下面よりも大きな面積を有する。第2接続電極23は、光を反射する金属材料が用いられる。第2接続電極23は、発光素子3から出射された光のうち、第1平坦化層27の表面やカバー部材100等で反射してアレイ基板20に向かう光を入力面ISに向けて反射する。これにより、検出装置付き表示機器1は、発光素子3から出射される光の利用効率を高めることができる。第2接続電極23の材料として、例えば、アルミニウム(Al)或いはアルミニウム合金材料、銅(Cu)、銅合金材料等、銀(Ag)或いは銀合金材料が挙げられる。
図5に示す画素回路28は、発光素子3を駆動する駆動回路である。画素回路28は、発光素子3に対応して設けられた複数の第1トランジスタTr1、第2トランジスタTr2(図6参照)等を含む。
図6に示すように、発光素子3は、アレイ基板20の上に設けられる。アレイ基板20の基板21は、第1主面21aと、第1主面21aと反対側の第2主面21bとを有する。発光素子3は、基板21の第1主面21a側に設けられる。基板21は、絶縁基板であり、例えば、ガラス基板、樹脂基板又は樹脂フィルム等が用いられる。
第1トランジスタTr1及び第2トランジスタTr2は、各画素Pixに対応して設けられる。第1トランジスタTr1及び第2トランジスタTr2は、薄膜トランジスタにより構成されるものであり、この例では、nチャネルのMOS(Metal Oxide Semiconductor)型のTFT(Thin Film Transistor)で構成されている。第1トランジスタTr1は、半導体61、ソース電極62、ドレイン電極63、第1ゲート電極64A及び第2ゲート電極64Bを含む。第1ゲート電極64Aは、第1絶縁層91を介して基板21の上に設けられる。第1絶縁層91から第4絶縁層94、第6絶縁層96、第7絶縁層97は、シリコン酸化膜(SiO)、シリコン窒化膜(SiN)又はシリコン酸化窒化膜(SiON)等の無機絶縁材料が用いられる。また、各無機絶縁層は、単層に限定されず積層膜であってもよい。
第2絶縁層92は、第1ゲート電極64Aを覆って第1絶縁層91の上に設けられる。半導体61は、第2絶縁層92の上に設けられる。第3絶縁層93は、半導体61を覆って第2絶縁層92の上に設けられる。第2ゲート電極64Bは、第3絶縁層93の上に設けられる。半導体61は、基板21に垂直な方向において、第1ゲート電極64Aと第2ゲート電極64Bとの間に設けられる。半導体61の第1ゲート電極64A及び第2ゲート電極64Bと重なる部分にチャネル領域が形成される。
図6に示す例では、第1トランジスタTr1は、いわゆるデュアルゲート構造である。ただし、第1トランジスタTr1は、第1ゲート電極64Aが設けられ、第2ゲート電極64Bが設けられないボトムゲート構造でもよく、第1ゲート電極64Aが設けられず、第2ゲート電極64Bのみが設けられるトップゲート構造でもよい。
半導体61は、例えば、アモルファスシリコン、微結晶酸化物半導体、アモルファス酸化物半導体、ポリシリコン、低温ポリシリコン(以下、LTPS(Low Temperature Polycrystalline Silicone)と表す)又は窒化ガリウム(GaN)で構成される。酸化物半導体としては、IGZO、ZnO、ITZOが例示される。
第4絶縁層94は、第2ゲート電極64Bを覆って第3絶縁層93の上に設けられる。ソース電極62及びドレイン電極63は、第4絶縁層94の上に設けられる。本実施形態では、ソース電極62は、コンタクトホールH5を介して半導体61と電気的に接続される。ドレイン電極63は、コンタクトホールH3を介して半導体61と電気的に接続される。
第5絶縁層95は、ソース電極62及びドレイン電極63を覆って、第4絶縁層94の上に設けられる。第5絶縁層95は、有機絶縁膜であり、第1トランジスタTr1や、各種配線で形成される凹凸を平坦化する平坦化層である。
第2トランジスタTr2は、半導体65、ソース電極66、ドレイン電極67、第1ゲート電極68A及び第2ゲート電極68Bを含む。第2トランジスタTr2は第1トランジスタTr1と類似した層構成を有しており、詳細な説明は省略する。第2トランジスタTr2のドレイン電極67は、コンタクトホールH8を介して接続配線69に接続される。接続配線69は、半導体61との間の第3絶縁層93を利用した保持容量CS1を形成する。
なお、半導体65、ソース電極66、ドレイン電極67、第1ゲート電極68A及び第2ゲート電極68Bは、それぞれ、第1トランジスタTr1の、半導体61、ソース電極62、ドレイン電極63、第1ゲート電極64A及び第2ゲート電極64Bと同層に設けられているが、異なる層に設けられていてもよい。
ゲート線トランジスタTrGは、半導体71、ソース電極72、ドレイン電極73、第1ゲート電極74A及び第2ゲート電極74Bを含む。ゲート線トランジスタTrGは、ゲートドライバ12に含まれるスイッチング素子である。ゲート線トランジスタTrGも第1トランジスタTr1と類似した層構成を有しており、詳細な説明は省略する。なお、ゲート線トランジスタTrGを構成する各層は、第1トランジスタTr1を構成する各層と同層に設けられても、異なる層に設けられてもよい。
発光素子3は、第6絶縁層96を介して、第5絶縁層95の上に設けられる。第6絶縁層96の上に第7絶縁層97が設けられる。第1平坦化層27は、発光素子3の少なくとも側面3aを覆って第7絶縁層97の上に設けられる。発光素子3は、アノード端子23tが下側に設けられカソード端子22tが上側に設けられた、いわゆるフェースアップ構造である。第2接続電極23は、発光素子3のアノード端子23tと接続されるアノード電極である。第2接続電極23は、第6絶縁層96の上に設けられ、コンタクトホールH7を介して第3接続電極24と接続される。第3接続電極24は第5絶縁層95の上に設けられ、コンタクトホールH2を介してドレイン電極63と接続される。このように、第2接続電極23及び第3接続電極24は、発光素子3のアノード端子23tと、第1トランジスタTr1のドレイン電極63とを接続する。また、第4接続電極25は第3接続電極24と同層に設けられ、コンタクトホールH4を介してソース電極62と接続される。
また、第4接続電極25は、第5絶縁層95の上で延在して、第3方向Dzにおいて第6絶縁層96を介して第2接続電極23と対向する。これにより、第2接続電極23と第4接続電極25との間に容量が形成される。第2接続電極23と第4接続電極25との間に形成される容量は、画素回路28の保持容量として用いられる。このように、第2接続電極23は、光を反射する反射板と、容量CS2の電極を兼ねる。
発光素子3のカソード端子22tは、第1平坦化層27の表面から露出している。第1接続電極22は、第1平坦化層27の上に設けられ、複数の発光素子3のカソード端子22tと接続される。第1接続電極22は、発光素子3のカソード端子22tと接続されるカソード電極である。また、第1接続電極22は、表示領域AAから周辺領域GAまで延在する。第1接続電極22は、第1平坦化層27及び第5絶縁層95に設けられたコンタクトホールH1の底部でカソード配線26に電気的に接続される。これにより、各発光素子3のカソードは、第1接続電極22を介してカソード配線26に電気的に接続される。
表示装置2において、アレイ基板20は、基板21から第2接続電極23までの各層を含む。アレイ基板20には、第1平坦化層27、発光素子3及び第1接続電極22は含まれない。
図3及び図6に示すように、表示装置2の上側に、検出装置5が設けられる。検出装置5は、センサ基体53と、センサ基体53に設けられた第1電極54とを有する。図6に示すように、センサ基体53及び第1電極54は、発光素子3を挟んで基板21の第1主面21aと対向して設けられる。センサ基体53は、表示装置2の第1接続電極22の上に接着層99を介して貼り合わされる。接着層99は、例えば光学用粘着樹脂シート(OCA:Optical Clear Adhesive)を用いることができる。センサ基体53は、例えば、透光性を有するフィルム状の樹脂が用いられる。なお、センサ基体53は、入力面ISに加えられる押圧により変形可能な材料であればよく、例えばガラス基板であってもよい。
図7に示すように、第1電極54は、複数の駆動電極Tx及び複数の検出電極Rx1を含む。複数の駆動電極Tx及び複数の検出電極Rx1の間に静電容量が形成される。複数の駆動電極Tx及び複数の検出電極Rx1は、検出装置5の検出領域GAに設けられる。本実施形態では、検出装置5の検出領域GAは、表示装置2の表示領域AAと重なって設けられる。すなわち、複数の駆動電極Tx及び複数の検出電極Rx1は、表示装置2の複数の発光素子3と重なって配置される。
駆動電極Txのそれぞれは、複数の第1電極部55と、複数の第1接続部56とを含む。複数の第1電極部55は、互いに離隔して第1方向Dxに配列される。第1方向Dxに隣り合う第1電極部55は、第1接続部56によって接続される。複数の駆動電極Txは、それぞれ第1方向Dxに延在し、第2方向Dyに配列される。
また、検出電極Rx1は、複数の第2電極部57と、複数の第2接続部58とを含む。複数の第2電極部57は、互いに離隔して第2方向Dyに配列される。第2方向Dyに隣り合う第2電極部57は、第2接続部58によって接続される。複数の検出電極Rx1は、それぞれ第2方向Dyに延在し、第1方向Dxに配列される。また、第2接続部58は、第1接続部56と平面視で交差する。
第1電極部55、第2電極部57、第1接続部56及び第2接続部58は、ITO(Indium Tin Oxide)等の透光性の導電材料を用いることができる。また、第1電極部55、第2電極部57、第1接続部56及び第2接続部58の少なくともいずれか1つは、金属材料又は上記材料を主成分とする合金材料が用いられた複数の金属細線で構成されてもよい。例えば、第1電極部55及び第2電極部57をITOで形成する場合、矩形のタイル状で形成し、第1電極部55及び第2電極部57を金属細線で形成する場合は、各電極部を複数の開口部を有するメッシュ状の形状としてもよい。
駆動電極Txと検出電極Rx1とは、同一のセンサ基体53に設けられる。第1電極部55と第2電極部57とは、絶縁層を介して異なる層に設けられていてもよいし、同層に設けられていてもよい。同層に設けられる場合には、少なくとも第2接続部58と第1接続部56とが交差する部分で、第2接続部58と第1接続部56とが絶縁層を介してブリッジするように各電極部が接続される。
駆動電極Txは、配線L1を介して端子部201に接続される。また、検出電極Rx1は、配線L2を介して端子部201に接続される。端子部201は、第1接続部材110と電気的に接続される複数の端子を有する。
図8に示すように、駆動電極Txの第1電極部55は、複数の画素Pixと重なって設けられる。なお、図8では、駆動電極Txと発光素子3との関係を示しているが、図8の説明は、検出電極Rx1の第2電極部57にも同様の構成を適用できる。駆動電極Txの第1電極部55には、複数の開口55aが設けられている。複数の開口55aは、画素Pixのうち、発光素子3と重なる部分に設けられている。画素Pixのうち、発光素子3が設けられていない部分は、駆動電極Txと重なる。これにより、発光素子3からの光は、開口55aを通って入力面ISから出射される。このため、検出装置付き表示機器1は、光の利用効率を高めることができる。なお、図8においては隣接する複数の画素Pixの発光素子3に対して1つの開口55aが対向するように配置されているがこれに限らない。発光素子3毎に、それぞれ異なる開口が対向するように配置されても良い。
また、図7に示すように、検出装置5は、第2電極Rx2を含む。図7では、第2電極Rx2を二点鎖線で示している。第2電極Rx2は、駆動電極Tx及び検出電極Rx1と重なって、検出領域DAの全面に亘って設けられる。つまり、第2電極Rx2は、表示装置2の全ての発光素子3と重なる領域に設けられる。
図3及び図6に示すように、第2電極Rx2は、アレイ基板20及び発光素子3を挟んで第1電極54と対向する。図6に示すように、第2電極Rx2は、基板21の第2主面21bに設けられる。また、第2電極Rx2の下面には、第2電極Rx2を保護する保護層98が設けられている。これにより、複数の駆動電極Tx及び複数の検出電極Rx1の少なくとも一方と、第2電極Rx2との間に静電容量が形成される。複数の駆動電極Tx及び複数の検出電極Rx1の少なくとも一方と第2電極Rx2とは、図1及び図2に示す力検出部52を構成する。
第2電極Rx2は、発光素子3に対して入力面ISの反対側に設けられる。このため、第2電極Rx2の材料は、ITO等の透光性の導電材料でもよいし、アルミニウム(Al)、銅(Cu)、銀(Ag)等を成分とする金属材料、及び上記材料を主成分とする合金材料でもよい。
また、第2電極Rx2は、光の反射を抑制する反射抑制層であってもよい。これにより、発光素子3から出射された光のうち、カバー部材100や第1電極54で反射した反射光が、第2電極Rx2で再度反射することを抑制できる。したがって、検出装置付き表示機器1は、発光素子3からの光が検出装置付き表示機器1の内部で複数回反射することを抑制できる。このため、検出装置付き表示機器1は、異なる色を表示する隣り合う画素Pix間で、光の混色を抑制できる。
この場合、第2電極Rx2の材料として、光学濃度(OD:Optical density)の高い金属が用いられる。OD値の高い金属として、モリブデン(Mo)、クロム(Cr)、タングステン(W)等が挙げられる。第2電極Rx2は、これらの金属材料を主成分とする合金材料であってもよい。或いは、第2電極Rx2は、カーボンブラックやグラファイト等のカーボン系粒子を含む導電性樹脂を用いることができる。或いは、第2電極Rx2は、アルミニウム(Al)、銅(Cu)、銀(Ag)等を成分とする金属材料と黒色化膜との積層構造であってもよい。黒色化膜として、鉄の酸化物(マグネタイト型四酸化三鉄)、或いは銅とクロムの複合酸化物、或いは銅、クロム、亜鉛の複合酸化物等が挙げられる。
図6に示すように、第1接続部材110はセンサ基体53に接続されて、第1電極54(駆動電極Tx及び検出電極Rx1)と電気的に接続される。第1接続部材110は、例えばフレキシブルプリント基板である。第1接続部材110は、端子部201を介して第1電極54と接続される主部111Aと、主部111Aから分岐して第2電極Rx2と電気的に接続される分岐部111Bと、を有する。第1接続部材110は、COF(Chip On Film)として検出IC300(検出制御部4)が実装されている。また、検出IC300は、第1接続部材110と接続された他の制御基板上に実装されてもよい。なお、第1接続部材110は、リジッド基板であってもよく、リジッドフレキシブル基板であってもよい。第2接続部材211は基板21に接続されて、駆動IC200と電気的に接続される。第1接続部材110と第2接続部材211とは電気的に接続される。
検出装置5で検出されたタッチ検出信号Vdet1は、検出電極Rx1から第1接続部材110を介して検出IC300に出力される。また、検出装置5で検出された力検出信号Vdet2は、第2電極Rx2から第1接続部材110を介して検出IC300に出力される。
本実施形態では、基板21はガラス基板である。また、図3に示すように検出装置付き表示機器1は筐体210に組み込まれる。筐体210は、基板21の第2主面21bを支持する。このため、入力面ISに押圧が加えられた場合であっても基板21の変形が抑制される。
一方、カバー部材100は、基板21よりも薄いガラス基板又は樹脂フィルムであり、基板21と比べて、入力面ISへの押圧により変形しやすい。また、センサ基体53は、例えばアクリル樹脂、エポキシ樹脂、ポリエチレンテレフタレート(PET)、ポリエチレンナフタレート(PEN)、シクロオレフィンポリマー(COP)等の樹脂を用いたフィルム材料である。これらの材料は、同じ押圧が加えられた場合に基板21を形成する材料(ガラス)よりも変形しやすい材料である。このため、センサ基体53は、基板21と比べて、入力面ISへの押圧により変形しやすい。
また、第1平坦化層27は、基板21よりも硬さが小さい。第1平坦化層27の材料として、例えば、アクリル樹脂、ポリシロキサン、ポリシラザン、エポキシ樹脂或いはシリコーン樹脂等が用いられる。これらの材料は、同じ押圧が加えられた場合に基板21を形成する材料(ガラス)よりも変形しやすい材料である。
このような構成により、入力面ISに押圧が加えられた箇所で、カバー部材100及びセンサ基体53は、基板21に向かって湾曲するように変形し、第1平坦化層27は弾性変形する。また、基板21の変形量は、カバー部材100、センサ基体53及び第1平坦化層27よりも小さい。このため、入力面ISに加えられた押圧に応じて、複数の駆動電極Tx及び複数の検出電極Rx1と、第2電極Rx2との距離が変化する。これにより複数の駆動電極Tx及び複数の検出電極Rx1と、第2電極Rx2との静電容量が変化する。第2電極Rx2は、複数の駆動電極Tx及び複数の検出電極Rx1と、第2電極Rx2との距離に応じた信号を力検出信号Vdet2として出力する。力検出制御部48は、力検出信号Vdet2に基づいて入力面ISに加えられた押力を検出できる。力検出制御部48は、相互容量方式で力検出を行ってもよく自己容量方式で力検出を行ってもよい。
また、第1電極54(駆動電極Tx及び検出電極Rx1)の抵抗値は、例えば300Ωであり、発光素子3のオフ(非発光)時の抵抗値(例えば、1013Ω程度)よりも十分に小さい。発光素子3の入力面IS側に第1電極54が設けられているため、入力面ISに静電気が入った場合に、静電気は第1電極54を伝わる。そして、静電気は、第1接続部材110を介して電源やGND等の固定電位に流れ、放電される。これにより、検出装置付き表示機器1は、発光素子3に静電気が入ることを抑制できる。
同様に、第2電極Rx2は、基板21よりも良好な導電性を有する金属材料を用いることができる。このため、第2主面21bから静電気が入った場合にも、静電気は第2電極Rx2を伝わる。そして、静電気は、第1接続部材110を介して電源やGND等の固定電位に流れ、放電される。このように、検出装置付き表示機器1は、第1電極54及び第2電極Rx2を設けることで、発光素子3が静電気により損傷することを抑制できる。
図9は、第1実施形態に係る発光素子を示す断面図である。図9に示すように、発光素子3は、複数の部分発光素子3sと、複数の部分発光素子3sを覆う保護層39と、p型電極37と、n型電極38と、を有する。複数の部分発光素子3sは、p型電極37とn型電極38との間に、それぞれ柱状に形成される。複数の部分発光素子3sは、n型クラッド層33と、活性層34と、p型クラッド層35と、を有する。n型電極38は、n型クラッド層33に電気的に接続される。p型電極37はp型クラッド層35に電気的に接続される。p型電極37の上に、p型クラッド層35、活性層34、n型クラッド層33の順に積層される。
n型クラッド層33、活性層34及びp型クラッド層35は、発光層であり、例えば、窒化ガリウム(GaN)、アルミニウムインジウム燐(AlInP)等の化合物半導体が用いられる。
n型電極38は、ITO等の透光性の導電性材料である。n型電極38は、発光素子3のカソード端子22tを有し、第1接続電極22に接続される。また、p型電極37は、発光素子3のアノード端子23tを有し、Pt層と、メッキにより形成された厚膜Au層と、を有する。アノード端子23t(厚膜Au層)は、第2接続電極23と載置面23aで接続される。
保護層39は、例えばSOG(Spin on Glass)である。保護層39の側面が、発光素子3の側面3aとなる。第1平坦化層27は、それぞれ保護層39の側面と接して第1接続電極22と第7絶縁層97の間に設けられる。図9に示す発光素子3の構成は、あくまで一例であり、例えば、いわゆるフェースダウン構造であってもよい。
図10は、第1実施形態に係る検出装置付き表示機器の動作例を示すタイミング波形図である。図10では、検出装置付き表示機器1の動作例として、表示装置2の表示と、検出装置5のタッチ検出及び力検出と、を同期して実行する場合を説明する。図10に示すように、検出装置付き表示機器1は、表示装置2の1フレーム期間1F、すなわち、1画面分の映像情報が表示されるのに要する時間の中において、表示、タッチ検出及び力検出をそれぞれ複数回に分割して行う。検出装置付き表示機器1は、表示期間、タッチ検出期間、力検出期間を時分割に行う。なお、表示、タッチ検出及び力検出はどのように分けて行ってもよい。
制御信号TS-VDがオン(高レベル電圧)になると1フレーム期間1Fが開始される。制御信号TS-HDは、1フレーム期間(1F)にオン(高レベル電圧)とオフ(低レベル電圧)とが繰り返され、制御信号TS-HDがオンの期間内にタッチ検出又は力検出が実行され、オフの期間内に表示が実行される。
1フレーム期間1Fは、複数の表示期間Pd(N=1、2、…n)と、複数のタッチ検出期間Pt(M=1、2、…m)と、複数の力検出期間Pf、Pf、Pfとからなっている。これらの各期間は、時間軸上において、力検出期間Pf、表示期間Pd、タッチ検出期間Pt、表示期間Pd、タッチ検出期間Pt、表示期間Pd、…のように交互に配置されている。
表示制御部11は、ゲートドライバ12とソースドライバ13とを介して、各表示期間Pdに選択される画素Pix(図4参照)に画素信号Vpixを供給する。図10は、RGBの3色を選択する選択信号SELR/G/B及び色毎の画像信号SIGnを示している。選択信号SELR/G/Bに従って、対応する各画素Pixが選択され、色毎の画像信号SIGnが選択された画素Pixに供給される。それぞれの表示期間Pdで、1画面分の映像信号Vdispをn分割した画像が表示され、表示期間Pd、Pd、…Pdで1画面分の映像情報が表示される。検出装置5の駆動電極Tx及び検出電極Rx1は、表示期間Pdにおいて、タッチ駆動信号Vtxd等の信号は供給されず、例えばグランド電位に接続される。又は駆動電極Tx及び検出電極Rx1は、電圧信号が供給されず電位が固定されていないフローティング状態であってもよい。
タッチ検出期間Ptにおいて、タッチ検出制御部40は、第1駆動電極ドライバ14に制御信号を出力する。第1駆動電極ドライバ14は、駆動電極Txにタッチ駆動信号Vtxdを供給する。被検出物OBJの入力面ISへの接触又は近接により、駆動電極Txと検出電極Rx1との間の容量変化が生じる。検出電極Rx1は、駆動電極Txと検出電極Rx1との間の容量変化に応じたタッチ検出信号Vdet1を出力する。
検出装置5が自己容量方式で力検出を行う場合について説明する。力検出期間Pf、Pf、Pfにおいて、力検出制御部48は、第2駆動電極ドライバ15に制御信号を出力する。第2駆動電極ドライバ15は、第2電極Rx2に第2駆動信号Vdを供給する。第2電極Rx2は、複数の駆動電極Txと、第2電極Rx2との容量変化に応じた力検出信号Vdet2を出力する。力検出制御部48は、第2電極Rx2から供給される力検出信号Vdet2に基づいて、入力面ISに入力された力の演算を行う。また、第2駆動電極ドライバ15は、力検出期間Pf、Pf、Pfにおいて検出電極Rx1にガード信号Vsglを供給する。ガード信号Vsglは、第2駆動信号Vdと、同じ振幅、同じ周波数を有する波形であることが好ましいが、異なる振幅を有していてもよい。
検出装置5は相互容量方式で力検出を行ってもよい。力検出を相互容量方式で行う場合には、力検出期間Pf、Pf、Pfにおいて、力検出制御部48は、第2駆動電極ドライバ15に制御信号を出力する。第2駆動電極ドライバ15は、駆動電極Txに第2駆動信号Vdを供給する。第2電極Rx2は、相互容量方式に基づいて、複数の駆動電極Txと第2電極Rx2との容量変化に応じた力検出信号Vdet2を出力する。第2駆動電極ドライバ15は、力検出期間Pf、Pf、Pfにおいて、駆動電極Tx及び検出電極Rx1のうち、第2駆動信号Vdを入れていない検出電極Rx1にガード信号Vsglを供給する。これにより、駆動電極Txと検出電極Rx1との容量結合を抑制できる。又は、第2駆動電極ドライバ15は、検出電極Rx1に第2駆動信号Vdを供給し、駆動電極Txにガード信号Vsglを供給してもよい。
なお、検出装置付き表示機器1は、表示装置2の表示と、検出装置5のタッチ検出及び力検出と、を同期しないで実行することもできる。非同期の場合には、表示装置2が表示を行う期間と同じ期間に、検出装置5は検出を実行することができる。この場合、検出装置5は、タッチ検出と力検出とを時分割で行ってもよい。
(第1変形例)
図11は、第1実施形態の第1変形例に係る検出装置を模式的に示す平面図である。図12は、第1実施形態の第1変形例に係る検出装置付き表示機器の概略断面構造を示す断面図である。なお、以下の説明において、上述した実施形態で説明した構成要素については、同じ符号を付して、説明を省略する。
図11に示すように、センサ基体53の周辺領域GAには接続端子201Aが設けられている。接続端子201Aは、端子部201と電気的に接続されている。図12に示すように、検出装置付き表示機器1Aにおいて、表示装置2を貫通する貫通孔HAが設けられている。貫通孔HAは、周辺領域GAに設けられ、基板21、各絶縁層、第1平坦化層27、接着層99及びセンサ基体53を貫通する。
貫通孔HAは、基板21の第2主面21b側からレーザ光を照射することで形成できる。レーザ光源として、ガラス材料及び有機系材料に穴開け加工できるものであればよく、例えば炭酸ガスレーザ装置やエキシマレーザ装置を用いることができる。また、貫通孔HAは、レーザ光の照射に加え、エッチング等の他のプロセスを適宜利用して形成してもよい。
貫通孔HAの内部には、導電体112が設けられる。導電体112の上部は接続端子201Aと接し、導電体112の下部は第2電極Rx2と接する。導電体112は、例えば銅(Cu)や銀(Ag)等、良好な導電性を有する金属材料、又はこれら金属材料を主成分とする合金材料が用いられる。これにより、第2電極Rx2は、接続端子201A、貫通孔HA及び導電体112により第1接続部材110と電気的に接続される。本変形例の検出装置付き表示機器1Aは、第1接続部材110の構成を簡便にでき、第1接続部材110の分岐部111Bと第2電極Rx2との接続工程も削減できる。言い換えると、検出装置付き表示機器1Aは、第1接続部材110の基板21の第2方向Dyにおける側面を覆う分岐部111Bを設ける必要がなく、その分、第2方向Dyにおける小型化が可能となる。また、検出装置付き表示機器1Aは、第1電極54と第2電極Rx2とにそれぞれ第1接続部材110を設ける場合に比べ、第1接続部材110どうしが接触することを抑制でき、第1接続部材110を収納するスペースを小さくできる。
なお、導電体112は貫通孔HAの内部に充填される構成に限定されず、少なくとも貫通孔HAの内周面に沿って厚み方向に導通可能に設けられていればよい。
(第2変形例)
図13は、第1実施形態の第2変形例に係る検出装置付き表示機器の概略断面構造を示す断面図である。検出装置付き表示機器1Bは、図11と同様に、センサ基体53の周辺領域GAに接続端子201Aが設けられている。また、図13に示すように、検出装置付き表示機器1Bは、表示装置2の側面に設けられた導電体113を有する。導電体113は、基板21の第2主面21bの端部を覆って、第2電極Rx2と電気的に接続される。また、導電体113は、基板21、各絶縁層、第1平坦化層27、接着層99及びセンサ基体53の側面に設けられ、接続端子201Aと電気的に接続される。
導電体113は、銅(Cu)や銀(Ag)等の金属材料を含む導電ペーストを用いることができる。導電体113は、ディスペンサー等を用いて塗布形成することができる。導電ペーストがディスペンサー等から吐出されることで、導電体113は、表示装置2の側面に沿って形成される。検出装置付き表示機器1Bは、第1変形例に比べ、基板21への貫通孔HAの加工が不要であり、製造コストを低減できる。
(第3変形例)
図14は、第1実施形態の第3変形例に係る検出装置付き表示機器の概略断面構造を示す断面図である。検出装置付き表示機器1Cは、第2平坦化層99Aを有する。第2平坦化層99Aは、第1接続電極22の上に設けられる。すなわち、第2平坦化層99Aは、第1平坦化層27と、センサ基体53との間に設けられ、発光素子3の上面を覆う。第2平坦化層99Aは、入力面ISに押力が加えられた場合に、第1平坦化層27よりも変形しやすい樹脂材料が用いられる。例えば、第1平坦化層27の弾性率が20MPa程度の場合、第2平坦化層99Aは、200MPa程度の弾性率を有する。
このように、第1電極54と、基板21及び第2電極Rx2との間に複数の樹脂層を設けることで、入力面ISに加えられた押力に応じて、カバー部材100、第1電極54、センサ基体53等の部材が変形しやすくなる。したがって、検出装置付き表示機器1Cは、力検出の検出精度を向上できる。
(第4変形例)
図15は、第1実施形態の第4変形例に係る検出装置を模式的に示す平面図である。本変形例の検出装置5Aにおいて、複数の検出電極Rx1Aが、検出領域DAにマトリクス状に配置されている。検出電極Rx1Aは、駆動電極Txを兼ねる。複数の検出電極Rx1Aは、それぞれ配線L3を介して端子部201と電気的に接続される。
本変形例の検出装置5Aは、自己容量方式によりタッチ検出を行う。すなわち、タッチ検出期間Ptにおいて、第1駆動電極ドライバ14は、検出電極Rx1Aにタッチ駆動信号Vtxdを供給する。検出電極Rx1Aは、接触又は近接する被検出物OBJの存在により容量変化が生じる。検出電極Rx1Aは、それぞれ、容量変化に応じたタッチ検出信号Vdet1を出力する。
また、相互容量方式で力検出を行う場合、図10と同様に、第2駆動電極ドライバ15は、検出電極Rx1Aに第2駆動信号Vdを供給する。第2電極Rx2は、相互容量方式に基づいて、検出電極Rx1Aと、第2電極Rx2との容量変化に応じた力検出信号Vdet2を出力する。第2駆動電極ドライバ15は、力検出期間Pf、Pf、Pfにおいて、検出電極Rx1のうち、第2駆動信号Vdを入れていない検出電極Rx1Aにガード信号Vsglを供給してもよい。
(第2実施形態)
図16は、第2実施形態に係る検出装置付き表示機器の概略断面構造を示す断面図である。図17は、第2実施形態に係る発光素子を示す断面図である。本実施形態の検出装置付き表示機器1Dにおいて、発光素子3Aは、いわゆるフェースダウン構造である。つまり、発光素子3Aのアノード端子23t及びカソード端子22tは、基板21側に設けられる。図16に示すように、第1接続電極22及び第2接続電極23は、基板21と発光素子3Aとの間に設けられる。第1接続電極22は、発光素子3Aのカソード端子22tと接続される。第1接続電極22は、第6絶縁層96上に設けられた配線を介して、カソード配線26に電気的に接続される。また、第2接続電極23は、発光素子3Aのアノード端子23tと接続される。また、第1平坦化層27は、発光素子3Aの側面3a及び上面を覆って第7絶縁層97の上に設けられている。
図17に示すように、発光素子3Aは、透光性基板31の上に、バッファ層32、n型クラッド層33、活性層34、p型クラッド層35、p型電極36の順に積層される。発光素子3Aは、透光性基板31が上側に、p型電極36が下側になるように実装される。また、n型クラッド層33において、第1接続電極22と対向する面側には、活性層34から露出した領域が設けられている。この領域にn型電極38が設けられている。
p型電極36は、発光層からの光を反射する金属光沢のある材料で形成される。p型電極36は、アノード端子23tを含み、バンプ39Aを介してアノード電極である第2接続電極23に接続している。n型電極38は、カソード端子22tを含み、バンプ39Bを介してカソード電極である第1接続電極22に接続している。発光素子3Aでは、p型クラッド層35とn型クラッド層33とが直接接合せずに、間に別の層(発光層(活性層34))が導入されている。これにより、電子や正孔といったキャリアを発光層の中に集中させることができ、効率よく再結合(発光)させることが可能となる。高効率化のために数原子層からなる井戸層と障壁層とを周期的に積層させた多重量子井戸構造(MQW構造)が、発光層として採用されてもよい。このような、フェースダウン構造の発光素子3Aを有する検出装置付き表示機器1Dにおいても、上述した第1実施形態と同様に、良好に力検出を行うことができる。
(第3実施形態)
図18は、第3実施形態に係る検出装置付き表示機器の概略断面構造を示す断面図である。図18に示すように、本実施形態の検出装置付き表示機器1Eにおいて、検出装置5は、センサ基体53と、センサ基体53に設けられた検出電極Rx1Bとを有する。検出装置5は、第1電極54として検出電極Rx1Bのみが設けられ、駆動電極Txは設けられていない。検出電極Rx1Bは、検出領域DAの全面に連続して設けられている。この場合、検出装置5は、タッチ検出を行わず、検出装置付き表示機器1Eはタッチ検出制御部40を有していなくてもよい。なお、第1電極54は、図8に示す通り、発光素子3に対向する領域に開口55aを有しても良い。
検出電極Rx1Bは、アレイ基板20、発光素子3及び第1平坦化層27を挟んで、第2電極Rx2と対向して設けられる。これにより、検出装置5Bは、上述した例と同様に、少なくとも力検出を行うことができる。検出装置付き表示機器1Eは、例えばウェアラブル端末や、スマートウォッチ等にも適用できる。
以上、本発明の好適な実施の形態を説明したが、本発明はこのような実施の形態に限定されるものではない。実施の形態で開示された内容はあくまで一例にすぎず、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。本発明の趣旨を逸脱しない範囲で行われた適宜の変更についても、当然に本発明の技術的範囲に属する。上述した各実施形態及び各変形例の要旨を逸脱しない範囲で、構成要素の種々の省略、置換及び変更のうち少なくとも1つを行うことができる。
1、1A、1B、1C、1D、1E 検出装置付き表示機器
2 表示装置
3、3A 発光素子
4 検出制御部
5、5A、5B 検出装置
11 表示制御部
20 アレイ基板
21 基板
22 第1接続電極
23 第2接続電極
24 第3接続電極
25 第4接続電極
26 カソード配線
27 第1平坦化層
28 画素回路
40 タッチ検出制御部
48 力検出制御部
51 タッチ検出部
52 力検出部
53 センサ基体
99A 第2平坦化層
100 カバー部材
110 第1接続部材
112、113 導電体
200 駆動IC
Pix 画素
Rx1、Rx1A、Rx1B 検出電極
Rx2 第2電極
Tx 駆動電極

Claims (12)

  1. 第1主面と、前記第1主面と反対側の第2主面とを有する基板と、
    前記基板の表示領域において、前記第1主面側に設けられた複数の無機発光素子と、
    前記無機発光素子を挟んで前記基板の前記第1主面と対向する第1電極と、
    前記基板と前記第1電極との間に設けられ、少なくとも前記無機発光素子の側面を覆う第1平坦化層と、
    前記基板の前記第2主面と対向し、前記基板の前記第2主面に直接接して設けられ、前記第1電極との間の距離の変化に応じた信号を出力する第2電極と、を有し、
    前記第1平坦化層は、前記基板よりも硬さが小さい材料であり、入力面に加えられた押圧により変形可能であり、
    前記第1電極及び前記第2電極は、前記第1平坦化層の膜厚の変化を検出する
    検出装置付き表示機器。
  2. 前記基板の前記第1主面と対向し、前記第1電極が設けられたセンサ基体と、
    前記センサ基体に接続されて前記第1電極と電気的に接続される接続部材と、を有する、
    請求項1に記載の検出装置付き表示機器。
  3. 前記接続部材は、前記第1電極と接続される主部と、前記主部から分岐して前記第2電極と電気的に接続される分岐部と、を有する、
    請求項に記載の検出装置付き表示機器。
  4. 前記表示領域の外側の周辺領域に設けられ、前記基板及び前記第1平坦化層を貫通する貫通孔と、
    前記貫通孔の内部に設けられ、前記第2電極と前記接続部材とを電気的に接続する導電体と、を有する、
    請求項に記載の検出装置付き表示機器。
  5. 前記基板の前記第2主面及び側面に設けられ、前記第2電極と前記接続部材とを電気的に接続する導電体と、を有する、
    請求項に記載の検出装置付き表示機器。
  6. 前記第2電極は、光の反射を抑制する反射抑制層である、
    請求項1から請求項のいずれか1項に記載の検出装置付き表示機器。
  7. 前記第1平坦化層と前記第1電極との間に設けられ、前記無機発光素子の上面を覆う第2平坦化層を有する、
    請求項1から請求項のいずれか1項に記載の検出装置付き表示機器。
  8. 前記第1電極は、複数の駆動電極と、複数の検出電極と、を有し、
    前記検出電極は、前記駆動電極と前記検出電極との間の静電容量に応じた信号を出力する、
    請求項1から請求項のいずれか1項に記載の検出装置付き表示機器。
  9. 前記第1電極には、前記無機発光素子と重なる部分に開口が設けられている、
    請求項1に記載の検出装置付き表示機器。
  10. 前記第2電極は、前記基板の前記表示領域と重なる領域の全面に亘って設けられる、
    請求項1から請求項のいずれか1項に記載の検出装置付き表示機器。
  11. 前記無機発光素子のカソード端子と接続される第1接続電極と、
    前記無機発光素子のアノード端子と接続される第2接続電極と、を有し、
    前記第1接続電極及び前記第2接続電極は、前記基板と前記無機発光素子との間に設けられる、
    請求項1から請求項10のいずれか1項に記載の検出装置付き表示機器。
  12. 前記無機発光素子のカソード端子と接続される第1接続電極と、
    前記無機発光素子のアノード端子と接続される第2接続電極と、を有し、
    前記第1接続電極は、前記無機発光素子及び前記第1平坦化層の上に設けられ、
    前記第2接続電極は、前記基板と前記無機発光素子との間に設けられる、
    請求項1から請求項10のいずれか1項に記載の検出装置付き表示機器。
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