JP7040604B2 - 半導体レーザ素子およびその製造方法 - Google Patents
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Description
実施の形態1に係る半導体レーザ素子とその製造方法について説明する。
実施の形態1に係る半導体レーザ素子の構造について説明する。図1は実施の形態1に係る半導体レーザ素子の断面図である。図2は上面図である。図2のA-A、B-Bはそれぞれ図1(a)、(b)の断面を示す切断線である。図3は図1と同様の図であるが、説明のためにハッチングを消し、一部の線を太くしている。
実施の形態1に係る半導体レーザ素子の製造方法を説明する。以下、図4~14を参照しながら説明する。これらの図の(a)、(b)はそれぞれ図2のA-A、B-Bにおける断面図である。
実施の形態1に係る半導体レーザ素子およびその製造方法が有する効果について述べる。
実施の形態2に係る半導体レーザ素子の製造方法について説明する。ここでは実施の形態1の製造方法と同様の工程については詳述せず、主に実施の形態1との違いを説明する。得られる効果についても主に実施の形態1との違いを記述する。
実施の形態2の製造方法は、ドライエッチング直前まで、すなわち図8の状態までは実施の形態1と同じである。以下では、実施の形態1との違いがあるドライエッチング工程について図17~18を参照しながら説明する。これらの図の(a)、(b)はそれぞれ図2のA-A、B-Bにおける断面図である。
実施の形態2に係る半導体レーザ素子の製造方法を用いれば、素子抵抗の増大を防げる。この製造方法ではドライエッチング時にn型コンタクト層74が露出したことを検知するため、n型コンタクト層74を削りすぎることがなく、素子抵抗の増大を防止できる。
実施の形態2の変形として、ドライエッチングがn型コンタクト層74の上面に到達したことを確認したあと、一定時間経過後にドライエッチングを停止させることも可能である。n型コンタクト層74が削られることにはなるが、上記の時間を調節することで側面86の下端をさらに下に延ばせるため、ミラー損失がより低減される。
12,74 n型コンタクト層
14,76 n型クラッド層
16 ブロック層
18 活性層
20 p型クラッド層
22 リッジ
24 p型コンタクト層
26,78 絶縁膜
28 n側電極
30 p側電極
32,32a,70,70a 溝
34,92 メサ
36,94 半導体層
38,40,80,82 傾斜面
42,44,84,86 側面
46,48,88,90 底面
50,50a,72,72a L字形状
52,54,60 マスク
56,58,66,68 開口
Claims (8)
- 基板と、
前記基板の上に形成され、第1導電型コンタクト層を有する半導体層とを備え、
前記半導体層には、前記第1導電型コンタクト層の上に設けられた共振器と、前記共振器の上に設けられた第2導電型コンタクト層とを有し、両脇が溝に挟まれたメサが設けられ、
前記共振器は下から順に第1導電型クラッド層、活性層、第2導電型クラッド層を含み、
前記共振器の少なくとも片側の端面を含む前記メサの側面と前記第1導電型コンタクト層の上面とがL字形状を成し、
前記溝の底面は前記第1導電型コンタクト層の上面で構成され、
前記溝の側面は、前記溝の底面近傍にあり傾斜した第1の傾斜面、および、前記第1の傾斜面の上にありほぼ垂直な第1の側面で構成され、
前記L字形状の側面は、前記L字形状の底面近傍にあり傾斜した第2の傾斜面、および、前記第2の傾斜面の上にありほぼ垂直な第2の側面で構成され、
少なくとも1つの前記溝の底面で前記第1導電型コンタクト層に接続された第1の電極を備え、
前記第2導電型コンタクト層に接続された第2の電極を備えた半導体レーザ素子。 - 前記第1導電型クラッド層または前記第2導電型クラッド層に回折格子構造を備えた請求項1に記載の半導体レーザ素子。
- 前記基板は半絶縁性のInPでできており、前記第1導電型コンタクト層はn型InGaAsまたはn型InGaAsPでできており、前記第1導電型クラッド層はn型InPでできた請求項2に記載の半導体レーザ素子。
- 共振器を有するメサを備えた半導体レーザ素子の製造方法であって、基板の上に、順に第1導電型コンタクト層、第1導電型クラッド層、活性層、第2導電型クラッド層および第2導電型コンタクト層を積層する工程と、
前記第1導電型クラッド層の一部を残すようにドライエッチングすることで、前記メサの両脇にある溝を形成し、前記共振器の端面を含む前記メサの側面を有するL字形状を形成するドライエッチング工程と、
前記ドライエッチング工程で形成されたエッチング側面をマスクし、前記第1導電型コンタクト層に対して選択性を有するエッチャントを使用し、前記溝の底面および前記L字形状の底面の上の前記第1導電型クラッド層をウェットエッチングすることで、前記第1導電型コンタクト層を露出させるウェットエッチング工程と、
少なくとも1つの前記溝の底面において前記第1導電型コンタクト層に接続された、第1の電極を形成する工程と、
前記第2導電型コンタクト層に前記メサの上方で接続された第2の電極を形成する工程とを備えた半導体レーザ素子の製造方法。 - 前記ドライエッチング工程において、前記第1導電型コンタクト層または前記第1導電型クラッド層の構成元素のうち、前記第1導電型コンタクト層が露出すると強度が変化する元素のプラズマ発光強度をモニタし、前記プラズマ発光強度の変化を検出した時点あるいは前記時点から一定時間経過後に前記ドライエッチングを停止する請求項4に記載の半導体レーザ素子の製造方法。
- 前記第1導電型クラッド層または前記第2導電型クラッド層に回折格子構造を形成する工程を備えた請求項4または5に記載の半導体レーザ素子の製造方法。
- 前記基板は半絶縁性のInPでできており、前記第1導電型コンタクト層はn型InGaAsまたはn型InGaAsPでできており、
前記第1導電型クラッド層はn型InPでできた請求項4~6のいずれか1項に記載の半導体レーザ素子の製造方法。 - 前記エッチャントとして塩酸または臭化水素のいずれかを用いる請求項7に記載の半導体レーザ素子の製造方法。
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