JP7038652B2 - バリアフィルム含有フォーマット、及び3d tsvパッケージのためのプレアプライアンダーフィルフィルムのためのその使用 - Google Patents
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Description
アンダーフィルフィルム層を、
コーティング剥離ライナーと、
バリアフィルムと
の間に含む、アセンブリが提供される。
本明細書において、多種多様なエポキシ官能化樹脂の使用が企図され、例えば、ビスフェノールAをベースとする液状エポキシ樹脂、ビスフェノールAをベースとする固形状エポキシ樹脂、ビスフェノールFをベースとする液状エポキシ樹脂(例えば、Epiclon EXA-835LV)、フェノール-ノボラック樹脂をベースとする多官能性エポキシ樹脂、ジシクロペンタジエン型エポキシ樹脂(例えば、Epiclon HP-7200L)、ナフタレン型エポキシ樹脂等、及びそれらのいずれか2種以上の混合物である。
(A)下記構造に包含されるエポキシ成分:
Yは、存在しても、又は存在しなくてもよく、そしてYが存在する場合、Yは、直接結合、CH2、CH(CH3)2、C=O、又はSであり、
ここでのR1は、アルキル、アルケニル、ヒドロキシ、カルボキシ、及びハロゲンであり、そして
ここでのxは、1~4である);
(B)下記構造に包含されるエポキシ官能化アルコキシシラン:
R1は、オキシラン含有部分構造であり、そして
R2は、1~10個の炭素原子を有する、アルキル若しくはアルコキシ置換アルキル、アリール、又はアラルキル基である);及び
(C)成分(A)と成分(B)との反応生成物。
R1は、オキシラン含有部分構造であり、その例としては、2-(エトキシメチル)オキシラン、2-(プロポキシメチル)オキシラン、2-(メトキシメチル)オキシラン、及び2-(3-メトキシプロピル)オキシランが挙げられ、そして
R2は、1~10個の炭素原子を有する、アルキル若しくはアルコキシ置換アルキル、アリール、又はアラルキル基である)。
Yは、存在しても、又は存在しなくてもよく、そしてYが存在する場合、Yは、直接結合、CH2、CH(CH3)2、C=O、又はSであり、
R1は、アルキル、アルケニル、ヒドロキシ、カルボキシ、又はハロゲンであり、そして
xは、1~4である)
が挙げられる。
Zは、-O-(CH2)3-O-Ph-CH2-Ph-O-(CH2-CH(OH)-CH2-O-Ph-CH2-Ph-O-)n-CH2-オキシランであり、そして
nは、約1~4の範囲に入る)
を有する。
本明細書において使用が企図されるマレイミド、ナジイミド、又はイタコンイミドは、それぞれ以下の構造:
mは、1~15であり、
pは、0~15であり、
各R2は、水素又は低級アルキル(例えば、C1-5)から独立して選択され、そして
Jは、有機基又はオルガノシロキサン基を含む、一価又は多価の基である)
を有する化合物、及びその2種以上の組み合わせである。
-典型的には約6から約500個までの範囲の炭素原子を有するヒドロカルビル又は置換ヒドロカルビル種であって、該ヒドロカルビル種は、アルキル、アルケニル、アルキニル、シクロアルキル、シクロアルケニル、アリール、アルキルアリール、アリールアルキル、アリールアルケニル(aryalkenyl)、アルケニルアリール、アリールアルキニル、又はアルキニルアリールから選択され、ただし、Xが2以上の異なる種の組み合わせを含む場合のみ、Xはアリールであることができる、ヒドロカルビル種;
-典型的には約6から約500個までの炭素原子を有するヒドロカルビレン又は置換ヒドロカルビレン種であって、該ヒドロカルビレン種は、アルキレン、アルケニレン、アルキニレン、シクロアルキレン、シクロアルケニレン、アリーレン、アルキルアリーレン、アリールアルキレン、アリールアルケニレン、アルケニルアリーレン、アリールアルキニレン、又はアルキニルアリーレンから選択される、ヒドロカルビレン種、
-典型的には約6から約500個までの範囲の炭素原子を有する複素環又は置換複素環種、
-ポリシロキサン、又は
-ポリシロキサン-ポリウレタンブロックコポリマー、並びに、
以下から選択されるリンカーを有する、上記の1又は複数の組み合わせ:共有結合、-O-、-S-、-NR-、-NR-C(O)-、-NR-C(O)-O-、-NR-C(O)-NR-、-S-C(O)-、-S-C(O)-O-、-S-C(O)-NR-、-O-S(O)2-、-O-S(O)2-O-、-O-S(O)2-NR-、-O-S(O)-、-O-S(O)-O-、-O-S(O)-NR-、-O-NR-C(O)-、-O-NR-C(O)-O-、-O-NR-C(O)-NR-、-NR-O-C(O)-、-NR-O-C(O)-O-、-NR-O-C(O)-NR-、-O-NR-C(S)-、-O-NR-C(S)-O-、-O-NR-C(S)-NR-、-NR-O-C(S)-、-NR-O-C(S)-O-、-NR-O-C(S)-NR-、-O-C(S)-、-O-C(S)-O-、-O-C(S)-NR-、-NR-C(S)-、-NR-C(S)-O-、-NR-C(S)-NR-、-S-S(O)2-、-S-S(O)2-O-、-S-S(O)2-NR-、-NR-O-S(O)-、-NR-O-S(O)-O-、-NR-O-S(O)-NR-、-NR-O-S(O)2-、-NR-O-S(O)2-O-、-NR-O-S(O)2-NR-、-O-NR-S(O)-、-O-NR-S(O)-O-、-O-NR-S(O)-NR-、-O-NR-S(O)2-O-、-O-NR-S(O)2-NR-、-O-NR-S(O)2-、-O-P(O)R2-、-S-P(O)R2-、又は-NR-P(O)R2-(式中、各Rは、独立して、水素、アルキル、又は置換アルキルである)。
本発明の実施において使用が企図されるアクリレートは、当技術分野においてよく知られている。例えば、米国特許第5,717,034号(その全内容は参照により本明細書に組み込まれる)を参照されたい。
本発明の実施において使用が企図されるシアネートエステルモノマーは、加熱により環三量化して置換トリアジン環を形成する、2個以上の環形成シアネート(-O-C≡N)基を含有する。シアネートエステルモノマーの硬化の間には、脱離基も揮発性副産物も形成されないため、硬化反応は付加重合と呼ばれる。本発明の実施において使用され得る好適なポリシアネートエステルモノマーとしては、例えば、1,1-ビス(4-シアナトフェニル)メタン、1,1-ビス(4-シアナトフェニル)エタン、2,2-ビス(4-シアナトフェニル)プロパン、ビス(4-シアナトフェニル)-2,2-ブタン、1,3-ビス[2-(4-シアナトフェニル)プロピル]ベンゼン、ビス(4-シアナトフェニル)エーテル、4,4’-ジシアナトジフェニル、ビス(4-シアナト-3,5-ジメチルフェニル)メタン、トリス(4-シアナトフェニル)エタン、シアン化ノボラック(cyanated novolak)、1,3-ビス[4-シアナトフェニル-1-(1-メチルエチリデン)]ベンゼン、シアン化フェノールジシクロペンタジエン付加物等が挙げられる。本発明に従って用いられるポリシアネートエステルモノマーは、酸受容体の存在下、適切な二価又は多価フェノールとハロゲン化シアンとを反応させることによって容易に調製され得る。
本発明の実施において使用が企図されるシリコーンは、当技術分野においてよく知られている。例えば、米国特許第5,717,034号(その全内容は参照により本明細書に組み込まれる)を参照されたい。
オキセタン(すなわち、1,3-プロピレンオキシド)は、3個の炭素原子及び1個の酸素原子を有する4員環を有する、分子式C3H6Oを有する複素環式有機化合物である。オキセタンという用語はまた、一般に、オキセタン環を含有する任意の有機化合物も指す。例えば、Angew.Chem.Int.Ed.2010,49,9052-9067におけるBurkhardら(その全内容は参照により本明細書に組み込まれる)を参照されたい。
本発明の実施において使用が企図されるポリエステルとは、ポリオール(多価アルコールとしても知られている)と、飽和又は不飽和の二塩基酸との反応によって形成される縮合ポリマーを指す。使用される典型的なポリオールは、エチレングリコールのようなグリコールであり;一般的に使用される酸は、フタル酸及びマレイン酸である。エステル化反応の副生成物である水を連続的に除去して、反応を完了させる。不飽和ポリエステル及びスチレンのような添加剤の使用は、樹脂の粘度を低下させる。最初は液体の樹脂を、鎖を架橋することによって固体に変換する。これは、不飽和結合においてフリーラジカルを生成し、これが、連鎖反応において隣接する分子の他の不飽和結合に伝播し、プロセス中に隣接鎖を連結することによってなされる。
本発明の実施において使用が企図されるポリウレタンとは、カルバメート(ウレタン)結合によって連結された有機単位の鎖から構成されるポリマーを指す。ポリウレタンポリマーは、イソシアネートとポリオールとを反応させることによって形成される。ポリウレタンを製造するために使用されるイソシアネート及びポリオールは両方とも、1分子あたり平均して2個以上の官能基を含有する。
本発明の実施において使用が企図されるポリイミドとは、イミド結合(すなわち、-C(O)-N(R)-C(O)-)によって連結された有機単位の鎖から構成されるポリマーを指す。ポリイミドポリマーは、種々の反応によって、すなわち、二無水物とジアミンとを反応させること、二無水物とジイソシアネートとの反応、等によって形成することができる。
本発明の実施において使用が企図されるメラミンとは、メラミン(すなわち、1,3,5-トリアジン-2,4,6-トリアミン)とホルムアルデヒドとから重合により製造される硬質の熱硬化性プラスチック材料を指す。そのブチル化された形態では、n-ブタノール及び/又はキシレンに溶解することができる。該メラミン系樹脂は、アルキド、エポキシ、アクリル、及びポリエステル樹脂のような他の樹脂と架橋するために使用することができる。
本発明の実施において使用が企図される尿素-ホルムアルデヒドとは、アンモニア又はピリジンのような温和な塩基の存在下で加熱した尿素とホルムアルデヒドとから製造される不透明の熱硬化性樹脂又はプラスチックを指す。
本発明の実施において使用が企図されるフェノール-ホルムアルデヒドとは、フェノール又は置換フェノールとホルムアルデヒドとの反応によって得られる合成ポリマーを指す。
樹脂、ハードナー、及びフィラーを含む、アンダーフィルフィルム層、
ポリエチレンテレフタレート(PET)コーティング剥離ライナー、並びに
フルオロポリオレフィンバリアフィルム
を含み、
ここで、アンダーフィルフィルムは、バリアフィルムとの相互作用を実質的に起こさず、かつ、アンダーフィル用途における使用のために好ましい特性を維持している。
樹脂、ハードナー、及びフィラーを含む、アンダーフィルフィルム層、
ポリエチレンテレフタレート(PET)コーティング剥離ライナー、
フルオロポリオレフィンバリアフィルム、並びに
バリアフィルムの露出側の感圧接着剤(PSA)テープであって、前記接着剤は、アクリル系ポリマー、ゴム、エチレン-酢酸ビニル、ニトリル、スチレンブロックコポリマー等をベースとするエラストマーを含む、感圧接着剤(PSA)テープ
を含み、
ここで、アンダーフィルフィルムは、PSAとの相互作用を実質的に起こさず、かつ、アンダーフィル用途における使用のために好ましい特性を維持している。
樹脂、ハードナー、及びフィラーを含む、アンダーフィルフィルム層、
ポリエチレンテレフタレート(PET)コーティング剥離ライナー、
フルオロ-ポリマーバッキング層上にPSAの層を含む、感圧接着剤(PSA)テープ
を含み、
ここで、アンダーフィルフィルムは、バッキングテープとの相互作用を実質的に起こさず、かつ、アンダーフィル用途における使用のために好ましい特性を維持している。
アクリレート化合物系のアンダーフィルフィルム(20~40μmの厚さを有する)を、PETコーティング剥離ライナーと感圧接着剤テープとの間に含む、第1のアッセンブリを作製する(図1を参照されたい)。次いで、得られたアセンブリの可使時間特性を評価する。
さらなるアセンブリを以下のように作製した。アンダーフィルフィルムをコーティング剥離ライナーとポリオレフィンフィルムとの間に含む、第3のアセンブリを作製する(図3を参照されたい)。次いで、得られたアセンブリの可使時間特性を評価する。
さらなるアセンブリを以下のように作製する。アンダーフィルフィルムをコーティング剥離ライナーと感圧テープとの間に含む、第5のアセンブリを作製する(図5を参照されたい)。このPSAテープは、一方の層がPSA層であり、もう一方の層がポリオレフィンバッキングテープである2層から構成されている。次いで、得られたアセンブリの可使時間特性を評価する。
上記の実施形態の一部または全部は、以下の付記のようにも記載されうるが、本出願の開示事項は以下の付記に限定されない。
[付記1]
アンダーフィルフィルム含有アセンブリであって、前記アセンブリは:
アンダーフィルフィルム層を
コーティング剥離ライナーと、
バリアフィルムと
の間に含む、アセンブリ。
[付記2]
アンダーフィルフィルムが熱硬化性樹脂である、付記1に記載のアセンブリ。
[付記3]
前記熱硬化性樹脂が、エポキシ系樹脂、マレイミド系樹脂、ナジイミド系樹脂、イタコンアミド系樹脂、アクリレート系樹脂、シアネートエステル系樹脂、シリコーン、オキセタン、ポリエステル系樹脂、ポリウレタン系樹脂、ポリイミド系樹脂、メラミン系樹脂、尿素-ホルムアルデヒド系樹脂、フェノール-ホルムアルデヒド系樹脂、及びこれらのいずれか2種以上の混合物から選択される、付記2に記載のアッセンブリ。
[付記4]
アンダーフィルフィルム層が、約5μmから約200μmまでの範囲の厚さを有する、付記1に記載のアセンブリ。
[付記5]
コーティング剥離ライナーが、アンダーフィルフィルム層との化学的相互作用を実質的に起こさない、付記1に記載のアセンブリ。
[付記6]
コーティング剥離ライナーが、アンダーフィルフィルム表面が付着するのを防止する、紙又はプラスチック系フィルムシートである、付記5に記載のアセンブリ。
[付記7]
コーティング剥離ライナーがプラスチック系である、付記6に記載のアセンブリ。
[付記8]
コーティング剥離ライナーが、PET、ポリオレフィン、又はシリコーンから選択される、付記7に記載のアセンブリ。
[付記9]
バリアフィルムが、その表面内外への化学物質の移動に対して実質的に不浸透性である、付記1に記載のアセンブリ。
[付記10]
前記バリアフィルムが、ポリエチレンテレフタレート、フルオロポリオレフィン、ペルフルオロポリオレフィン、又はシリコーンの層から選択される、付記7に記載のアセンブリ。
[付記11]
フルオロポリオレフィンが、ETFE(エチレンとテトラフルオロエチレンとのコポリマー)、ペルフルオロアルコキシ、PCTFE(ポリクロロテフロン)フィルム、FEP(フッ素化エチレンプロピレンコポリマー)、又はPVDF(ポリビニリデンジフルオライド)から選択される、付記10に記載のアセンブリ。
[付記12]
バリアフィルムが、約1nmから約200μmまでの範囲の厚さを有する、付記1に記載のアセンブリ。
[付記13]
バリアフィルムの露出側に感圧接着剤テープの層をさらに含む、付記1に記載のアセンブリ。
[付記14]
感圧接着剤がエラストマー性アクリル系樹脂である、付記13に記載のアセンブリ。
[付記15]
付記1に記載のアセンブリであって、
前記アンダーフィルフィルム層が、樹脂、ハードナー、及びフィラーを含み、
前記コーティング剥離ライナーが、PETを含み、
前記バリアフィルムが、フルオロポリオレフィンを含み、かつ
アンダーフィルフィルムが、バリアフィルムとの相互作用を実質的に起こさず、かつ、アンダーフィル用途における使用のために好ましい特性を維持している、アセンブリ。
[付記16]
付記12に記載のアセンブリであって、
前記アンダーフィルフィルム層が、樹脂、ハードナー、及びフィラーを含み、
前記コーティング剥離ライナーが、PETを含み、
前記バリアフィルムが、フルオロポリオレフィンを含み、かつ
バリアフィルムの露出側の前記感圧接着剤テープが、アクリルポリマー、ゴム、エチレン-酢酸ビニル、ニトリル、又はスチレンブロックコポリマーをベースとするエラストマーを含み、
アンダーフィルフィルムが、バリアフィルムとの相互作用を実質的に起こさず、かつ、アンダーフィル用途における使用のために好ましい特性を維持している、アセンブリ。
[付記17]
樹脂、ハードナー、及びフィラーを含むアンダーフィルフィルム層、
ポリエチレンテレフタレート(PET)コーティング剥離ライナー、及び
フルオロ-ポリマーバッキング層上にPSAの層を含む、感圧接着剤(PSA)テープ
を含み、
アンダーフィルフィルムは、バッキング層との相互作用を実質的に起こさず、かつ、アンダーフィル用途における使用のために好ましい特性を維持している、アセンブリ。
[付記18]
コーティング剥離ライナーによって支持されたアンダーフィルフィルム層の貯蔵寿命を延ばす方法であって、前記方法は、前記アンダーフィルフィルム層の露出側にバリアフィルムを適用することを含む、方法。
[付記19]
アンダーフィルフィルム層が熱硬化性樹脂である、付記18に記載の方法。
[付記20]
バリアフィルムが、その表面内外への化学物質の移動に対して実質的に不浸透性である、付記18に記載の方法。
[付記21]
コーティング剥離ライナーによって支持されたアンダーフィルフィルム層の可使時間を延ばす方法であって、前記方法は、前記アンダーフィルフィルム層の露出側にバリアフィルムを適用することを含む、方法。
[付記22]
アンダーフィルフィルム層が熱硬化性樹脂である、付記21に記載の方法。
[付記23]
バリアフィルムが、その表面内外への化学物質の移動に対して実質的に不浸透性である、付記21に記載の方法。
Claims (22)
- アンダーフィルフィルム含有アセンブリであって、前記アセンブリは:
アンダーフィルフィルム層を
コーティング剥離ライナーと、
バリアフィルムと
の間に含み、
バリアフィルムの露出側に感圧接着剤テープの層をさらに含む、アセンブリ。 - アンダーフィルフィルムが熱硬化性樹脂である、請求項1に記載のアセンブリ。
- 前記熱硬化性樹脂が、エポキシ系樹脂、マレイミド系樹脂、ナジイミド系樹脂、イタコンアミド系樹脂、アクリレート系樹脂、シアネートエステル系樹脂、シリコーン、オキセタン、ポリエステル系樹脂、ポリウレタン系樹脂、ポリイミド系樹脂、メラミン系樹脂、尿素-ホルムアルデヒド系樹脂、フェノール-ホルムアルデヒド系樹脂、及びこれらのいずれか2種以上の混合物から選択される、請求項2に記載のアセンブリ。
- アンダーフィルフィルム層が、約5μmから約200μmまでの範囲の厚さを有する、請求項1~3のいずれか一項に記載のアセンブリ。
- コーティング剥離ライナーが、アンダーフィルフィルム層との化学的相互作用を実質的に起こさない、請求項1~4のいずれか一項に記載のアセンブリ。
- コーティング剥離ライナーが、アンダーフィルフィルム表面が付着するのを防止する、紙又はプラスチック系フィルムシートである、請求項5に記載のアセンブリ。
- コーティング剥離ライナーがプラスチック系である、請求項6に記載のアセンブリ。
- コーティング剥離ライナーが、PET、ポリオレフィン、又はシリコーンから選択される、請求項7に記載のアセンブリ。
- バリアフィルムが、その表面内外への化学物質の移動に対して実質的に不浸透性である、請求項1~8のいずれか一項に記載のアセンブリ。
- 前記バリアフィルムが、ポリエチレンテレフタレート、フルオロポリオレフィン、ペルフルオロポリオレフィン、又はシリコーンの層から選択される、請求項1~9のいずれか一項に記載のアセンブリ。
- フルオロポリオレフィンが、ETFE(エチレンとテトラフルオロエチレンとのコポリマー)、ペルフルオロアルコキシ、PCTFE(ポリクロロテフロン)フィルム、FEP(フッ素化エチレンプロピレンコポリマー)、又はPVDF(ポリビニリデンジフルオライド)から選択される、請求項10に記載のアセンブリ。
- バリアフィルムが、約1nmから約200μmまでの範囲の厚さを有する、請求項1~11のいずれか一項に記載のアセンブリ。
- 感圧接着剤がエラストマー性アクリル系樹脂である、請求項1~12のいずれか一項に記載のアセンブリ。
- 請求項1~13のいずれか一項に記載のアセンブリであって、
前記アンダーフィルフィルム層が、樹脂、ハードナー、及びフィラーを含み、
前記コーティング剥離ライナーが、PETを含み、
前記バリアフィルムが、フルオロポリオレフィンを含み、かつ
アンダーフィルフィルムが、バリアフィルムとの相互作用を実質的に起こさない、アセンブリ。 - 請求項1~14のいずれか一項に記載のアセンブリであって、
前記アンダーフィルフィルム層が、樹脂、ハードナー、及びフィラーを含み、
前記コーティング剥離ライナーが、PETを含み、
前記バリアフィルムが、フルオロポリオレフィンを含み、かつ
バリアフィルムの露出側の前記感圧接着剤テープが、アクリルポリマー、ゴム、エチレン-酢酸ビニル、ニトリル、又はスチレンブロックコポリマーをベースとするエラストマーを含み、
アンダーフィルフィルムが、バリアフィルムとの相互作用を実質的に起こさない、アセンブリ。 - 樹脂、ハードナー、及びフィラーを含むアンダーフィルフィルム層、
ポリエチレンテレフタレート(PET)コーティング剥離ライナー、及び
フルオロ-ポリマーバッキング層上にPSAの層を含む、感圧接着剤(PSA)テープ
を含み、
アンダーフィルフィルムは、バッキング層との相互作用を実質的に起こさない、アセンブリ。
- コーティング剥離ライナーによって支持されたアンダーフィルフィルム層の貯蔵寿命を延ばす方法であって、前記方法は、前記アンダーフィルフィルム層の露出側にバリアフィルムを適用し、バリアフィルムの露出側に感圧接着剤テープの層をさらに適用することを含む、方法。
- アンダーフィルフィルム層が熱硬化性樹脂である、請求項17に記載の方法。
- バリアフィルムが、その表面内外への化学物質の移動に対して実質的に不浸透性である、請求項17または18に記載の方法。
- コーティング剥離ライナーによって支持されたアンダーフィルフィルム層の可使時間を延ばす方法であって、前記方法は、前記アンダーフィルフィルム層の露出側にバリアフィルムを適用し、バリアフィルムの露出側に感圧接着剤テープの層をさらに適用することを含む、方法。
- アンダーフィルフィルム層が熱硬化性樹脂である、請求項20に記載の方法。
- バリアフィルムが、その表面内外への化学物質の移動に対して実質的に不浸透性である、請求項20または21に記載の方法。
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