JP7033049B2 - 半導体装置およびそれを用いた電力変換装置 - Google Patents
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Description
はじめに、本発明の目的と構成および作用効果の理解を助けることを目的として、本発明の実施例の説明に先立ち、従来技術によって構成される半導体装置において、温度検出部で検出される値が主電流の影響を受け、検出精度が低くなる原因を説明する。
102…p型チャネル層
103…(第1の)トレンチ
104…(第1の)ゲート電極
105…n型ソース領域
106…p型コレクタ層
107…エミッタ電極
108…コレクタ電極
109…p型キャリア引き抜き層
110…(第2の)トレンチ
111…(第2の)ゲート電極
112…p型アノード層
113…n型カソード層
114…アノード電極
115…アクティブ領域
116…キャリア引き抜き領域
117…温度検出部
601…(温度検出部を有する)半導体装置
602…還流ダイオード
603…電圧源
604…誘導性負荷(モータ)
701…抵抗
702…電圧源
Claims (10)
- アクティブ領域と、温度検出部と、前記アクティブ領域および前記温度検出部の間に形成されたキャリア引き抜き領域と、を有する半導体装置であって、
前記アクティブ領域は、第1導電型の第1半導体層と、
前記第1半導体層の第1表面に形成された第2導電型の第2半導体層と、
前記第2半導体層の表面から前記第2半導体層を貫通して前記第1半導体層まで達する複数の第1のトレンチと、
前記第1のトレンチの内側に形成された導電体及び前記導電体の周囲に形成された絶縁膜を含んで構成される複数の第1のゲート電極と、
前記第2半導体層の表面において、前記第1のゲート電極と隣接して形成された第1導電型の第3半導体層と、
前記第1半導体層の第2表面に形成された第2導電型の第4半導体層と、
前記第2半導体層と前記第3半導体層の表面に形成されたエミッタ電極と、
前記第4半導体層の表面に形成されたコレクタ電極と、を備え、
前記キャリア引き抜き領域は、表面に前記エミッタ電極が接触する第2導電型の第5半導体層を備え、
前記温度検出部は、前記キャリア引き抜き領域と隣接して形成された複数の第2のトレンチと、
前記第2のトレンチの内側に形成された導電体及び前記導電体の周囲に形成された絶縁膜を含んで構成される複数の第2のゲート電極と、
前記複数の第2のゲート電極に挟まれて形成された第2導電型の第6半導体層と、
前記第5半導体層の表面において、前記第2のゲート電極と隣接して形成され、表面に前記エミッタ電極が接触する第1導電型の第7半導体層と、
前記第6半導体層の表面に形成されたアノード電極と、を備えることを特徴とする半導体装置。 - 請求項1に記載の半導体装置であって、
前記キャリア引き抜き領域の前記第5半導体層は、前記アクティブ領域と隣接し、前記第2半導体層と一部を重複して形成されていることを特徴とする半導体装置。 - 請求項1に記載の半導体装置であって、
前記キャリア引き抜き領域の前記第5半導体層は、前記第2半導体層と同一工程で形成され、同一不純物濃度であることを特徴とする半導体装置。 - 請求項1に記載の半導体装置であって、
前記第1のゲート電極と前記第2のゲート電極が互いに電気的に接続されていることを特徴とする半導体装置。 - 請求項1に記載の半導体装置であって、
前記第1のゲート電極と前記第2のゲート電極が互いに独立して制御可能に構成されていることを特徴とする半導体装置。 - 請求項1に記載の半導体装置であって、
前記第1のゲート電極は、前記第1のトレンチの側壁と底部角に対向して形成された導電体および前記導電体の周囲に形成された絶縁膜を含んで構成されるサイドゲート型ゲート電極であることを特徴とする半導体装置。 - 請求項1に記載の半導体装置であって、
前記第1のゲート電極は、前記第1のトレンチの側壁と底部に対向して形成され、前記第1のトレンチの全域を充填しているトレンチゲート型ゲート電極であることを特徴とする半導体装置。 - 請求項1に記載の半導体装置であって、
前記アノード電極に、当該アノード電極に電流を流し込む向きの電流源を接続した状態で、前記エミッタ電極の電位を基準として前記アノード電極の電位を測定することで、前記半導体装置の温度を検出することを特徴とする半導体装置。 - 請求項1に記載の半導体装置であって、
前記アノード電極に、前記温度検出部に形成されるpnダイオードの抵抗値よりも大きな抵抗値を有する抵抗を介して電圧源を直列に接続した状態で、前記エミッタ電極の電位を基準として前記アノード電極の電位を測定することで、前記半導体装置の温度を検出することを特徴とする半導体装置。 - 複数のスイッチング素子と、
複数の還流ダイオードと、
電圧源と、を備え、
前記スイッチング素子と前記還流ダイオードとが逆並列に接続されて1個のアームを構成し、
前記アームが2個直列に接続されて相を構成し、
3個の前記相がそれぞれ前記電圧源と並列に接続され、
前記3個の相の各々の前記2個のアーム間に、誘導性負荷が接続される電力変換装置であって、
前記複数のスイッチング素子の各々に、請求項1から9のいずれか1項に記載の半導体装置を用いることを特徴とする電力変換装置。
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