JP7023020B2 - 実装装置 - Google Patents
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Description
Claims (10)
- 基板上に、ペーストを介して、チップ部品を実装する実装装置であって、
前記基板に前記ペーストを所定の塗布条件で塗布して塗布体を形成するペースト塗布部と、
前記塗布体を介して前記チップ部品を所定の実装条件で前記基板に実装した実装体を形成するボンディング部と、
前記ペーストの塗布処理後かつ前記チップ部品の実装処理の前に、前記塗布体を撮像して第一の画像情報を取得する第一の撮像部と、
前記実装処理の後に、前記実装体を撮像して第二の画像情報を取得する第二の撮像部と、
前記ペースト塗布部、前記ボンディング部、前記第一、第二の撮像部を制御するとともに、前記第一の画像情報から前記塗布体の三次元形状を第一形状として求め、前記第二の画像情報から前記実装体の三次元形状を第二形状として、算出する制御部と、
を備え、前記制御部は、前記第一形状と前記塗布体の目標形状である第一目標形状との比較結果であるペースト誤差、および、前記第二形状と前記実装体の目標形状である第二目標形状との比較結果である最終誤差と、を求め、前記最終誤差を前記ペースト誤差に基づいて補正した実装誤差により、前記実装処理を評価する、
ことを特徴とする実装装置。 - 請求項1に記載の実装装置であって、
前記制御部は、少なくとも前記第一形状に基づいて前記塗布処理を評価し、少なくとも前記塗布処理の評価結果と前記第二形状とに基づいて前記実装処理を評価する、ことを特徴とする実装装置。 - 請求項1に記載の実装装置であって、
前記制御部は、少なくとも前記第一形状と前記実装条件とに基づいて前記実装体の三次元形状を推定形状として推定し、少なくとも前記第一形状に基づいて前記塗布処理を評価し、少なくとも前記推定形状と前記第二形状とに基づいて前記実装処理を評価する、ことを特徴とする実装装置。 - 請求項1から3のいずれか1項に記載の実装装置であって、
前記制御部は、前記塗布体の寸法、または複数の前記塗布体を塗布する際の前記複数の塗布体間の寸法の経時変化による変動量に基づいて前記ペーストの物性情報を取得する、ことを特徴とする実装装置。 - 請求項3を引用する請求項4に記載の実装装置であって、
前記制御部は、少なくとも前記第一形状と前記実装条件と前記物性情報とに基づいて前記推定形状を推定する、ことを特徴とする実装装置。 - 請求項4または5に記載の実装装置であって、
前記制御部は、前記塗布体の目標形状である第一目標形状と前記第一形状との比較結果に基づいて前記塗布処理を評価し、前記物性情報に基づいて前記第一目標形状を修正する、ことを特徴とする実装装置。 - 請求項1から6のいずれか1項に記載の実装装置であって、
前記制御部は、前記塗布処理の評価結果に基づいて前記塗布条件を変更し、前記実装処理の評価結果に基づいて前記塗布条件または前記実装条件を変更する、ことを特徴とする実装装置。 - 請求項1から7のいずれか1項に記載の実装装置であって、
前記制御部は、前記塗布処理の評価結果に基づいて前記実装条件を変更する、ことを特徴とする実装装置。 - 請求項1から8のいずれか1項に記載の実装装置であって、さらに、
前記塗布処理後かつ前記実装処理の前に前記塗布体を垂直方向から撮像し、前記塗布体の第一の平面視画像を取得する第一の平面撮像部と、
前記実装処理の後に前記実装体を垂直方向から撮像し、前記実装体の第二の平面視画像を取得する第二の平面撮像部を備え、
前記第一の撮像部は、前記塗布体を斜方から撮像し、前記塗布体の第一の斜視画像を取得するものであり、
第二の撮像部は、前記実装体を斜方から撮像し、前記実装体の第二の斜視画像を取得するものであり、
前記制御部は、前記第一の斜視画像の陰となる形状を前記第一の平面画像から推定し、前記第二の斜視画像の陰となる形状を前記第二の平面画像から推定する。
ことを特徴とする実装装置。 - 請求項1から8のいずれか1項に記載の実装装置であって、さらに、
前記塗布処理後かつ前記実装処理の前に前記塗布体を垂直方向から撮像し、前記塗布体の第一の平面視画像を取得する第一の平面撮像部と、
前記実装処理の後に前記実装体を垂直方向から撮像し、前記実装体の第二の平面視画像を取得する第二の平面撮像部を備え、
前記第一の撮像部は、前記塗布体を斜方から撮像し、前記塗布体の第一の斜視画像を取得するものであり、
第二の撮像部は、前記実装体を斜方から撮像し、前記実装体の第二の斜視画像を取得するものであり、
前記制御部は、前記第一の平面視画像と第一の斜視画像の第一の相関関係を算出して前記第一の相関関係に基づいて前記塗布体の三次元形状を推定し、前記第二の平面視画像と第二の斜視画像の第二の相関関係を算出して前記第二の相関関係に基づいて前記実装体の三次元形状を推定する、
ことを特徴とする実装装置。
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