JP2008032602A - 表面欠点検査装置、表面欠点検査方法およびその検査方法を用いた回路基板の製造方法 - Google Patents
表面欠点検査装置、表面欠点検査方法およびその検査方法を用いた回路基板の製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2008032602A JP2008032602A JP2006207789A JP2006207789A JP2008032602A JP 2008032602 A JP2008032602 A JP 2008032602A JP 2006207789 A JP2006207789 A JP 2006207789A JP 2006207789 A JP2006207789 A JP 2006207789A JP 2008032602 A JP2008032602 A JP 2008032602A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- focus
- inspected
- imaging
- inspection
- light
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 0 *C1C*CCC1 Chemical compound *C1C*CCC1 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Automatic Focus Adjustment (AREA)
Abstract
【課題】
被検査体が移動していても、撮像手段のフォーカスを逐次調整することを可能とし、被検査体表面の欠点検査を高精度に行う表面欠点検査装置および方法を提供すること。
【解決手段】
被検査体に光を照射する光照射手段と、被検査体からの透過光または反射光を受光して被検査体を撮像する撮像手段と、撮像手段のフォーカスを調整するフォーカス調整手段と、撮像手段が撮像した撮像画像に基づいて被検査体の表面を検査する表面検査手段とを備えた表面欠点検査装置であって、撮像手段によって被検査体の所定領域を撮像し、得られた所定領域画像から画素値分布グラフを作成し、得られた画素値分布グラフに存在する、所定の凸形状の広がりを表現する特徴量に基づいて、撮像手段のフォーカスを調整するフォーカス調整量を算出する表面欠点検査装置。
【選択図】 図1
被検査体が移動していても、撮像手段のフォーカスを逐次調整することを可能とし、被検査体表面の欠点検査を高精度に行う表面欠点検査装置および方法を提供すること。
【解決手段】
被検査体に光を照射する光照射手段と、被検査体からの透過光または反射光を受光して被検査体を撮像する撮像手段と、撮像手段のフォーカスを調整するフォーカス調整手段と、撮像手段が撮像した撮像画像に基づいて被検査体の表面を検査する表面検査手段とを備えた表面欠点検査装置であって、撮像手段によって被検査体の所定領域を撮像し、得られた所定領域画像から画素値分布グラフを作成し、得られた画素値分布グラフに存在する、所定の凸形状の広がりを表現する特徴量に基づいて、撮像手段のフォーカスを調整するフォーカス調整量を算出する表面欠点検査装置。
【選択図】 図1
Description
本発明は、表面欠点検査装置、表面欠点検査方法に関する。
プリント基板や半導体ウェハなどに代表される所定のパターンを有する対象物の、パターンにおける欠点の検査は、光を対象物に照射し、その反射光や透過光を受光して被検査体を撮像し、その撮像画像を予め取得したマスタ画像(同一の撮像系で欠点のない対象物を撮像した画像、または設計図)と比較し、その比較結果に基づいて欠点の有無を判断する方法が一般的である。
近年、パターンの高密度化が進んでおり、それに伴い欠点検査技術も高精度化が要求されている。高精度化を達成するには幾つかの要素技術があるが、その多くがカメラである撮像手段のフォーカスを被検査体表面に適切に合わせることである。
特に可撓性を有するフレキシブルプリント回路基板を検査対象とする場合においては、撮像手段のフォーカスの最適化は必要である。高精細な回路パターンを形成するため、フレキシブルプリント回路基板をガラス板等の支持体に貼り、前記回路基板の寸法安定を確保して回路パターンを形成する方法が知られている(特許文献1参照)が、この方法においても、大型のガラス板を用いる場合は、ガラス板そのものが撓み、撮像画像において回路パターンがぼけて映ることがある。これでは回路パターンにおけるリード線の境界を明瞭に撮像できないため、例えばリード線の欠け(リード線幅の局所的な細り)などを高精度に検出できない。この点を改善して撮像手段のフォーカスを最適なものとし、高精度な欠点検査を行うようにしたものとして特許文献2が挙げられる。
特許文献2を、図13を用いて説明する。図13は、特許文献2に記載の検査装置の斜視図である。特許文献2に記載の方法は、被検査体(例としてスタッドバンプが挙げられている)を設置する検査ステージ1の場所ごとの平面度を変位センサ2で計測し、その場所ごとの計測データを記憶装置3に記憶し、その記憶データに基づいて、モーター4を介して1軸ステージ5を逐次動かし、1軸ステージ5に固定されている撮像手段6と、検査ステージ1との距離を調整することで、撮像手段6のフォーカスを被検査体に合わせるというものである。
また、一般に撮像手段のフォーカスを合わせる方法として、撮像画像に存在する画素の持つ信号値(画素値、画素に相当する光電変換素子の出力値に基づいた値)の差(コントラスト)を利用するものがある。コントラストが大きくなれば撮像手段のフォーカスは合うようになるが、このコントラストを評価する方法として非特許文献1が挙げられる。
この方法を、光反射率の大きなリード線箇所8と光反射率の小さな非リード線箇所9からなる回路パターンを有する被検査体7に光を照射し、その反射光を受光して被検査体7を撮像する場合を例として、図14を用いて説明する。図14は、リード線箇所8と非リード線箇所9での反射光をそれぞれ受光した光電変換素子に相当する画素の画素値の大きさを示した説明図である。
画素値がI1となっている箇所はリード線箇所8での反射光を受光した光電変換素子に相当する画素で、I2となっている箇所は非リード線箇所9での反射光を受光した光電変換素子に相当する画素である。このとき撮像手段のフォーカスを逐次調整しながら被検査体7を撮像し、例えば下記数式1で示されるような指標を用いてI1とI2との差を評価する。すると、この差が最大となったときに撮像手段のフォーカスは最適となる。
以上述べたように、撮像手段のフォーカスを最適とする方法は幾つか提案されている。しかしながら、特許文献2のように検査ステージの平面度を測定するのは、変位センサ2、記憶装置3を新たに追加するためコストが増加することや、変位センサ2の調整や保全の手間もかかることなどから望ましくない。また、予め平面度を測定し、その測定値に基づいて撮像手段のフォーカスを合わせる方法も、実際の検査中における撮像手段のフォーカスを考慮している訳ではないので、例えば被検査体の厚みが想定値から外れていたときなどには対応できない。
また、前述したように撮像画像に存在する画素値のコントラストの大きさに基づいて撮像手段のフォーカスを調整する方法もあるが、数式1に示したような評価値が最大か否かを判断するには、被検査体までの距離を変化させるように撮像手段を動かすなどして、フォーカスを絶えず変化させなければならない。被検査体が静止している状態ならば問題はないが、被検査体が移動する場合には、この方法は適さない。
以上に鑑みて、本発明の目的は、被検査体が移動していても、撮像手段のフォーカスを逐次調整することを可能とし、被検査体表面の欠点検査を高精度に実現する表面欠点検査装置および表面欠点検査方法を提供することである。
すなわち、本発明は被検査体に光を照射する光照射手段と、被検査体からの透過光または反射光を受光して被検査体を撮像する撮像手段と、撮像手段のフォーカスを調整するフォーカス調整手段と、撮像手段が撮像した撮像画像に基づいて被検査体の表面を検査する表面検査手段とを備えた表面欠点検査装置であって、撮像手段によって被検査体の所定領域を撮像し、得られた所定領域画像から画素値分布グラフを作成し、得られた画素値分布グラフに存在する、所定の凸形状の広がりを表現する特徴量に基づいて、撮像手段のフォーカスを調整するフォーカス調整量を算出する表面欠点検査装置である。
また、本発明の別の態様によれば、被検査体に光を照射し、被検査体からの透過光または反射光を受光して被検査体を撮像し、撮像時には撮像手段のフォーカスを調整し、撮像手段が撮像した撮像画像に基づいて被検査体の表面を検査する表面欠点検査方法であって、被検査体の所定領域を撮像し、得られた所定領域画像から画素値分布グラフを作成し、得られた画素値分布グラフに存在する、所定の凸形状の広がりを表現する特徴量に基づいて、撮像手段のフォーカスを調整する表面欠点検査方法である。
本発明によれば、被検査体が移動していても、撮像手段のフォーカスを逐次調整することが可能となり、被検査体表面の欠点検査を高精度に行うことができる。
本発明の表面欠点検査装置および方法は回路基板に限らず、フィルムやカラーフィルタなどの表面欠点検査などにも応用することができるが、以下の説明においては、可撓性フィルムなどの基板に積層した金属箔からエッチング等を行うパターン形成工程で回路パターンを形成した回路基板を、検査ステージに設置して所定の方向に移動させながら、光照射手段からの光を回路基板に照射し、その反射光を撮像手段で受光することで回路パターンを撮像し、回路基板にある回路パターンにおける欠点の検査を行う欠点検査工程に流す場合を例にとって、図面を参照しながら説明する。
本実施形態の装置構成を図1に示す。図1は、本実施形態の概略装置構成図である。
図1の符号10は被検査体であり、ここでは所定の回路パターンを有する可撓性の回路基板である。回路パターンを形成する基板はポリイミドなどのフィルムでもプラスチックでも金属でも良く、また、この基板がガラス板などの支持体に貼り合わされていても良い。ただし、支持体に貼り合わされている場合には、最終的にこの支持体から回路基板を剥がす工程が必要となる。欠点検査を行うときには、回路基板が支持体に貼り合わされていても、剥がされた後でも良い。回路パターンの一部であるリード線箇所を形成する素材は錫でも銅でも良く、また、光反射率が異なる複数のリード線箇所を有していても良い。ここでは、ポリイミドフィルムの表面に銅メッキを施し、その上からフォトレジストを塗布して露光、現像し、エッチングによるパターニングを行うパターン形成工程によって形成された所定の回路パターンを持つ回路基板とし、その回路パターンは、光反射率が大きなリード線箇所と光反射率が小さな非リード線箇所の2つの箇所で構成されているものとする。
図1の符号11は検査ステージであり、被検査体10を設置した状態で、所定の方向に移動する。検査ステージ11を駆動させる機構はモーターでもエアでも良く、設定した移動速度を維持できるものが望ましい。ここでは基板を水平に保つように支持しながら、モーターによる所定の水平1方向への定速移動を行うものとする。
図1の符号12は光照射手段であり、光を照射する光源と、光源の配置を規定する光源配置治具とで構成され、被検査体10に光を照射するものである。光源と光源配置治具を組み合わせた光照射を担う部材の設置台数は1つでも複数でも良く、また光源の種類はLED光源でも蛍光灯でもメタルハライド光源でも良く、また光源配置治具の形状はリング状でもドーム状でも良く、これらを種々組み合わせたものでも良い。被検査体10が検査ステージ11に設置されて移動することにより、被検査体10の全検査領域に照射される光量が同程度になるものを選択、あるいは設計することが望ましい。ここでは、光源がLED光源で複数あり、それらがリング状に配置されているものとする。
図1の符号13は撮像手段であり、被検査体10の表面での反射光を受光して、被検査体10を撮像する。撮像手段13は、入ってくる光を集光するレンズと、受光した光量に応じた電気信号を発生する光電変換素子とを有しており、光電変換素子が2次元に配列されたエリアセンサカメラでも、1次元に配列されたラインセンサカメラでも良いが、光学的な歪みの小さなレンズを用いることが望ましい。このレンズと光電変換素子との組み合わせを有した被検査体の撮像を担う部材の設置台数は1つでも複数でも良いが、被検査体10が検査ステージ11に設置されて移動することにより、撮像手段13が、被検査体10の全検査領域での反射光を受光することで、被検査体10の全検査領域を撮像できるように配置されている。ここではラインセンサカメラで、その光電変換素子が検査ステージ11の移動方向と直行する方向に並ぶように配置されているものとする。
図1の符号14はフォーカス調整手段であり、撮像手段13のフォーカスを調整する。撮像手段13のレンズと光電変換素子との最短距離を変化させるピエゾアクチュエータでも、被検査体10表面と撮像手段13のレンズとの最短距離を変化させるように撮像手段13を移動させる1軸ステージでも良い。ここでは、モーターで駆動する1軸ステージであって、撮像手段13を鉛直方向に移動させるものとする。
図1の符号15は表面検査手段であり、撮像手段13が撮像した撮像画像と予め取得してあるマスタ画像とを比較して、これら2つの画像における相違点を検出することで被検査体10の回路パターンにおける欠点を検査する。また、撮像画像に基づいて撮像手段13のフォーカスを推定し、最適なフォーカスに調整するフォーカス調整量を算出する。符号16は外部出力手段であり、ここではディスプレイ、プリンタ、警報装置などである。
撮像手段13は表面検査手段15と接続されており、撮像手段13が撮像した撮像画像を表面検査手段15に送信できるようになっている。また、表面検査手段15はフォーカス調整手段14と接続されており、表面検査手段15で算出されたフォーカス調整量をフォーカス調整手段14に送信できるようになっている。フォーカス調整手段14は、このフォーカス調整量に基づいて撮像手段13を動かす。また、表面検査手段15は外部出力手段16とも接続されており、表面検査手段15での検査結果を外部出力手段16に送信できるようになっている。
上記に説明した各手段を用いて、被検査体10を検査ステージ11に設置した状態で移動させ、被検査体10の全検査領域での、光照射手段12からの光の反射光を撮像手段13で受光して被検査体10の全検査領域を撮像し、その撮像画像に基づいて撮像手段10のフォーカスを調整し、再度調整されたフォーカスで画像を撮像することで被検査体10の回路パターンにおける欠点検査を行う。以下、本実施形態における、撮像手段13のフォーカス調整に用いるデータを取得する検査前処理動作と、そのデータを用いて撮像手段13のフォーカスを調整しながら被検査体10の表面検査を行う検査動作を説明する。
検査前処理動作は、撮像手段13のフォーカス調整を行うタイミングを決定し、被検査体10の所定領域を設定し、この所定領域を撮像した所定領域画像から画素値分布グラフを作成し、この画素値分布グラフの所定の凸形状の広がりを表現する特徴量を決定し、撮像手段13のフォーカスズレの大きさと特徴量との対応関係を求める動作である。また、検査動作は、実際に被検査体10での反射光を受光して被検査体10を撮像し、撮像画像に基づいて被検査体10の回路パターンにおける欠点検査を行い、同時に、所定領域画像に基づいて撮像手段13のフォーカスズレの大きさを推定し、撮像手段13のフォーカスを調整し、被検査体10の撮像と、その撮像画像に基づいた検査を継続する動作である。
ここで「被検査体の所定領域」とは、予め設定した被検査体の部分領域であり、この所定領域を撮像した所定領域画像は、撮像手段のフォーカス調整量を算出するための基礎データとなる。したがって、検査中、フォーカス調整量を算出するタイミングで所定領域を撮像する必要があるので、1つの被検査体の中に複数設定されることもある。
また、「所定領域画像から作成される画素値分布グラフ」を、図2を用いて説明する。図2は、画素値分布グラフGの説明図である。所定領域画像から作成される画素値分布グラフGとは、所定領域画像に存在する全ての画素がそれぞれに持つ画素値を考え、画素値を横軸に、各画素値を持つ画素の数を縦軸にしてプロットし、それらを結んだグラフをいう。例えば、撮像画像として8ビットのデジタルカメラを用いて、200×200画素の所定領域画像を取得すると、画素値分布グラフは、横軸が0から255まであり、各画素値を持つ画素の数(縦軸)を合計すると40000となる。
また、「所定の凸形状の広がりを表現する特徴量」を、図2を用いて説明する。まず、所定の凸形状Fとは、画素値分布グラフGにおいて、予め指定した光反射率(または光透過率)を有する被検査体表面の箇所(リード線箇所または非リード線箇所)での反射光(または透過光)を受光した複数の光電変換素子それぞれに相当する画素が形成する凸形状をいう。ここで指定する光反射率(または光透過率)を持つ被検査体表面の箇所は、所定領域に占める割合が大きいものを選択することが望ましい。こうすることで所定の凸形状Fを形成する画素数は増加し、画素値分布グラフGにおける極大値が大きくなり、後処理における精度が向上する。
また、この所定の凸形状Fは、画素値分布グラフGにおいて存在する箇所をおおよそ推定できる。これは、所定領域の全範囲にわたる光反射率(または光透過率)を事前に把握できるため、指定する光反射率(または光透過率)が、所定領域全体の光反射率(または光透過率)の上位何%(または下位何%)にあたるかが分かるからである。したがって、所定の凸形状Fを抽出したければ、画素値分布グラフGにおける上位何%(または下位何%)に存在する凸形状と指定して抽出すれば良い。例えば、画素値分布グラフGの画素値上位30%までの画素と指定することで、大きな光反射率を有するリード線箇所での反射光を受光した複数の光電変換素子それぞれに相当する画素が形成する凸形状Fを検出できる。
次に、凸形状の広がりを表現する特徴量とは、凸形状における画素値方向への広がり方を表現する物理量である。例えば、凸形状を正規分布と近似しての分散や、画素値を変数とした2次関数で近似したときの2次係数などがある。
検査前処理動作の詳細を以下に示す。まず、撮像手段13のフォーカスを調整すべきタイミングを決定し、それぞれのタイミングで撮像される被検査体10表面を所定領域として設定する。このとき、被検査体10と検査ステージ11の形状および移動方向を考慮して、所定領域を設定することが望ましい。例えば、被検査体10が撓む場合は、被検査体10の撓み量を考慮し、その撓み量が撮像手段13の被写界深度以上となる箇所に所定領域を設定することが考えられる。このとき、細かく撮像手段13のフォーカスを調整するため、1つの被検査体10に多くの所定領域を設定することが望ましい。
この所定領域の大きさに制限はないが、これを撮像した所定領域画像が一定数以上の画素を含むことが望ましい。これは画素数が多ければ、算出されるフォーカス調整量の精度が増すためである。また、このときリード線箇所と非リード線箇所のそれぞれが占める面積の割合も制限はないが、割合が大きくなる箇所での光反射率(または光透過率)を指定して所定の凸形状Fとすることが望ましい。また、リード線箇所での反射光を受光した複数の光電変換素子それぞれに相当する画素が形成する凸形状を所定の凸形状Fとする方が更に望ましい。これは、一般に、後処理における撮像手段13のフォーカスズレの大きさによる凸形状の広がりを表現する特徴量の変化が急峻であり、算出されるフォーカス調整量の精度が増すためである。
次に、一般に複数ある所定領域のそれぞれにおいて、所定領域画像の画素値分布グラフに存在する所定の凸形状の広がりを表現する特徴量を決定し、撮像手段13のフォーカスズレの大きさと特徴量との対応関係を求める。
各所定領域を撮像した所定領域画像から作成される画素値分布グラフにおける所定の凸形状を決定するが、ここでは、リード線箇所での反射光を受光した複数の光電変換素子それぞれに相当する画素が形成する凸形状とし、また、特徴量は、凸形状を正規分布と近似した分散とする。
次に、撮像手段13のフォーカスズレの大きさと特徴量との対応関係を求める。このために、撮像手段13を鉛直方向に移動してフォーカスズレの大きさを設定し、その状態で実際の検査と同じように撮像して所定領域画像を得る。まず、撮像手段13の鉛直方向の位置を変化させて、フォーカスズレの大きさを設定する。例えば、最適なフォーカスを得られる撮像手段13の位置から0.05mm鉛直上向きに移動させておく、などである。そして、被検査体10を検査ステージ11に設置して所定の方向に移動させる。この移動している被検査体10には、光照射手段12から光が照射される。そして、被検査体10での反射光を、設定されたフォーカスズレの大きさを持つ撮像手段13が受光して被検査体10を撮像し、この撮像画像を逐次表面検査手段15に送信する。本実施形態における撮像手段13はラインセンサカメラなので、1回の撮像で得られ、表面検査手段15に送信される撮像画像は1次元である。
表面検査手段15では、受信した撮像画像が所定領域画像を含んでいるときには、所定領域画像を抽出する。本実施形態では、受信した1次元の撮像画像を順番に並べて2次元の撮像画像に構成するという操作も行う。この所定領域画像から画素値分布グラフを作成し、所定の凸形状の広がりを表現する特徴量を求める。
以上の動作を、撮像手段13のフォーカスズレの大きさを、例えば鉛直方向に0.05mmずつ変化させながら行い、それぞれの状態で撮像した所定領域画像から作成される画素値分布グラフに存在するリード線箇所での反射光を受光した複数の光電変換素子それぞれに相当する画素が形成する凸形状を正規分布と近似したときの分散と、撮像手段10のフォーカスズレの大きさとの対応関係を、それぞれの所定領域で求める。ここまでの動作が、表面検査前に行う処理動作である。
次に、表面検査の詳細を以下に示す。まず、被検査体10を検査ステージ11に設置して所定の方向に移動させる。この移動している被検査体10には、光照射手段12から光が照射される。そして、フォーカスを初期状態(想定している被検査体10の設置状態において最適なフォーカス状態)に設定された撮像手段13が、被検査体10での反射光を受光することで被検査体10を撮像し、この撮像画像を逐次表面検査手段15に送信する。
表面検査手段15では、受信した撮像画像が所定領域画像を含んでいるときには、所定領域画像を抽出する。そして所定領域画像から作成される画素値分布グラフに存在する、リード線箇所での反射光を受光した複数の光電変換素子それぞれに相当する画素が形成する凸形状を正規分布と近似したときの分散を求め、この所定領域画像に該当する対応関係から、撮像手段13のフォーカスズレの大きさを求め、フォーカス調整量を算出し、フォーカス調整手段14に送信する。また、撮像画像に基づいて、被検査体10表面の欠点検査を行い、検査結果を外部出力手段16に送信する。
フォーカス調整手段14は、撮像手段13のフォーカスを調整するタイミングで、受信したフォーカス調整量に基づいて撮像手段13を鉛直方向に動かし、フォーカスを調整する。
以上の動作を、被検査体10の検査が完了するまで繰り返す。ここで、所定領域画像から作成される画素値分布グラフに存在する、所定の凸形状の広がりを表現する特徴量によって、撮像手段13のフォーカスズレの大きさを推定できることを、図3、図4、図5、図6および図7を用いてより具体的に説明する。図3および図4は撮像手段13と被検査体10によって構成される撮像系の概念図で、図5は点広がり関数h(x)を示した説明図で、図6および図7はフォーカスズレによる画素値の分布変化の説明図である。ここでは、リード線箇所、非リード線箇所それぞれで光反射率に大きなムラを持つ被検査体10の、1次元(X軸)での撮像を考える。
x位置における、撮像系における被検査体10表面での反射光量をf(x)、撮像手段13への入射光量をg(x)とすると、これらの関係は下記数式2に示すように、撮像手段13のレンズ13bに大きく依存する撮像系における点広がり関数(光を伝達する系を表現する関数)h(x)を介した畳み込み積分で表現される。
f(x)は光照射手段12からの光量、被検査体10表面の光反射率などに依存してムラが存在する。このとき、f(x)の大きさの分布は、一般にリード線箇所、非リード線箇所のそれぞれで正規分布に従う(図6、図7)。これら正規分布は、撮像手段13の光学系パラメータ(絞りや露光時間)を変化させず、同じ所定領域を撮像する限り一定であると考えて良い。
このとき、h(x)は撮像系のフォーカスにのみ依存する関数となる(厳密には撮像手段13の光電変換素子13aの個体差にも依存するが、これは正規分布に従うと考えられるため、f(x)に含んで考える)。図5に示したように、一般に、撮像手段13のフォーカスが最適ならばh1(x)のようにX方向の幅が小さく、極大値が大きい(理想的な極限ではδ関数となる)。これは最適なフォーカス状態では、図3のように被検査体10表面の1点のみでの反射光を受光することを示す。これに対し、フォーカスがずれるとh2(x)のようにX方向の幅が大きく、極大値が小さくなる(極限ではX軸に平行な直線となる)。これは、図4のように被検査体10表面の広範囲の反射光を受光することを示す。
したがって、撮像手段13の各画素値g(x)の大きさの分布は、最適なフォーカス状態では、図6のようにf(x)の大きさの分布である正規分布に近くなり(極限では正規分布そのもの)、フォーカスがずれた状態ではh2(x)のようにX方向の幅が大きくなるため、図7のように範囲が広がったf(x)の平均値となり、正規分布よりも取りうる値の幅は小さくなる。すなわち、リード線箇所、非リード線箇所のそれぞれで光反射率に大きなムラを持つ被検査体10の検査においては、撮像手段13のフォーカスが最適ならば所定の凸形状の広がりを表現する特徴量は大きくなり、フォーカスズレが大きくなれば特徴量は小さくなる。
上記では光反射率に大きなムラを持つ被検査体を例としたが、ムラが小さくても所定の凸形状の広がりは点広がり関数に依存するため、撮像手段13のフォーカス状態は所定の凸形状の広がりに現れる。したがって、所定の凸形状の広がりを表現する特徴量によって、撮像手段13のフォーカスズレの大きさを推定できる。
こうして推定したフォーカスズレの大きさに基づいて撮像手段13のフォーカスを調整する。
本実施形態のように被検査体10が移動しているときには、撮像手段13のフォーカス調整に時間遅れが生じるので、厳密に最適なフォーカスとすることは容易ではない。しかし、フォーカス調整の周期を可能な限り短くする(多数の所定領域を、間隔を短くして設定する)ことでズレを小さくすることはできる。また、絶えずフォーカスを変化させるという不安定さを持たない。
実施例1
図8および図9に示す装置を用いて、図10に示す被検査体10の表面欠点検査を行った。図8は本実施例の概略構成図で、図9は被検査体10を支持する検査ステージ11の正面図で、図10は被検査体10の正面図である。
図8および図9に示す装置を用いて、図10に示す被検査体10の表面欠点検査を行った。図8は本実施例の概略構成図で、図9は被検査体10を支持する検査ステージ11の正面図で、図10は被検査体10の正面図である。
実施例1では回路パターンが作製された回路基板とガラス板が貼り合わされているもの(回路基板用部材)が被検査体10である。パターン形成工程において、ポリイミドフィルム18をガラス板17に貼り合わせ、ポリイミドフィルム18上に、所定の回路パターンを持つ回路ユニット(最終製品における1回路)19を54個(6行9列)作製した。この各回路ユニットの回路パターンにおける欠点が、欠点検査工程で検出すべきものである。また、欠点検査工程を通して検査が完了した被検査体10において、回路基板(回路ユニット19を持つポリイミドフィルム18)をガラス板17から剥がす工程が存在する。検査ステージ11はステッピングモーターで駆動する2軸ステージで、被検査体10を水平に保持するための支持機構を持つが、実施例1における支持機構は、被検査体10を、被検査体10の端部4辺(幅10mm)のみで支持する枠である。光照射手段12として複数のLED光源をリング状に配置したものと、撮像手段13として8ビットで7500画素のラインセンサカメラと、フォーカス調整手段14としてステッピングモーターで駆動する1軸ステージと、外部出力手段16としてディスプレイをそれぞれ用いた。
検査ステージ11は直交する2つの水平方向に移動するものであり、光照射手段12と撮像手段13は被検査体10での反射光を受光して、被検査体10を撮像するように配置されており、撮像手段13の光電変換素子は検査ステージ11の移動方向aと直交する方向に並べてある。
被検査体10はガラス板17が端部の4辺のみで支持されているため鉛直方向に撓んでおり、端部と中央部では鉛直方向に約0.3mmのズレが生じている。使用している撮像手段13の被写界深度は0.1mmであるため、フォーカスを調整しないまま撮像すると、被検査体10の端部では良好な撮像画像を取得できるが、被検査体10の中央部では撮像画像にボケが生じてしまった。
そこで、撮像手段13のフォーカス調整を行うための動作を実施し、得られた所定の凸形状の広がりを表現する特徴量と撮像手段13のフォーカスズレの大きさとの対応関係に基づいて、撮像手段13のフォーカスを調整しながら被検査体10表面の検査動作を行った。
フォーカス調整を行うための動作の詳細を、図11を用いて以下に示す。図11は、撮像手段13のフォーカスを調整するタイミングと調整量を示した説明図で、Tfは撮像手段13のフォーカス位置の推移を示す。ここでは、1つの列の回路ユニット19(6行分)を検査する場合を説明する。実際には、以下の説明を、検査ステージ11を移動方向bに沿って移動させることで9列分行う。
まず、撮像手段13のフォーカスを調整するタイミングは、各回路ユニットの撮像画像を取得し、その撮像画像に基づいて各回路ユニットの回路パターンにおける欠点検査を完了した時とした。また、被検査体10の撓みは移動方向aに対称であるとして、具体的には以下のようにフォーカス調整動作を行うよう設計した。
撮像手段13のフォーカスを初期状態p0に調整する。このフォーカス初期状態は、被検査体10が撓んでいない状態で最適なフォーカスを実現するものである。そして検査が開始され、1行目の回路ユニット19を撮像し、所定領域画像から画素値分布グラフを作成して、フォーカスズレの大きさと特徴量との対応関係から1行目の回路ユニット19に最適なフォーカスp1を得る。そして1行目の回路ユニット19の撮像、回路パターンにおける欠点検査が完了した直後に、フォーカス調整手段14により撮像手段13のフォーカスをp1に調整する。次に、2行目の回路ユニット19を撮像し、同様にして2行目の回路ユニット19に最適なフォーカスp2を得る。そして2行目の回路ユニット19の撮像、回路パターンにおける欠点検査が完了した直後に、フォーカス調整手段14により撮像手段13のフォーカスをp2に調整する。次に、3行目の回路ユニット19を撮像し、同様にして3行目の回路ユニット19に最適なフォーカスp3を得る。そして3行目の回路ユニット19の撮像、回路パターンにおける欠点検査が完了した直後に、フォーカス調整手段14により撮像手段13のフォーカスをp3に調整する。次の4行目の回路ユニット19を撮像するときには撮像手段13のフォーカスはp3のままで、4行目の回路ユニット19の撮像、回路パターンにおける欠点検査が完了した直後に、フォーカス調整手段14により撮像手段13のフォーカスをp2に調整する。そして5行目の回路ユニット19の撮像、回路パターンにおける欠点検査が完了した直後に、フォーカス調整手段14により撮像手段13のフォーカスをp1に調整する。そして6行面の回路ユニット19の撮像、回路パターンにおける欠点検査が完了した直後に、フォーカス調整手段14により撮像手段13のフォーカスをp0に調整する。
次に、被検査体10の所定領域を設定した。上記のようなフォーカス調整タイミングなので各回路ユニットに所定領域を定めることになるが、回路ユニットはどれも同じ回路パターンを持つため、全ての回路ユニットで同じ箇所を所定領域とした。この所定領域には、大きな光反射率を有するリード線箇所と小さな光反射率を有する非リード線箇所が、各々同程度の面積で存在しており、所定領域画像は200×200個の画素を持つ(回路ユニット全体では7500×6500個の画素)。
次に、所定の凸形状をリード線箇所に相当する画素が形成する凸形状とし、広がりを表現する特徴量は凸形状を正規分布として近似したときの分散とした。
次に、所定の凸形状の広がりを表現する特徴量と撮像手段13のフォーカスズレの大きさとの対応関係を求めるため、テスト用基板として、被検査体10と同じ構造でガラス板を撓みのほとんど生じない厚いものに変更したものを用意した。このテスト用基板を用いて、撮像手段13を0.05mmずつ鉛直方向に変化させてフォーカスズレの状態とし、それぞれの状態で特徴量を取得し、フォーカスズレの大きさと特徴量との対応関係を得た。
具体的には、以下の動作を行った。テスト用基板を検査ステージ11に設置して移動させた。その間に、光照射手段12からテスト用基板に光が照射され、フォーカスズレの大きさを設定した撮像手段13でその反射光を受光して、テスト基板を撮像し、1回の撮像で取得する1次元の撮像画像を表面検査手段15に逐次送信した。表面検査手段15では、1次元の撮像画像を並べて2次元として所定領域画像を取得し、所定領域画像から作成された画素値分布グラフに存在する、リード線箇所での反射光を受光した複数の光電変換素子それぞれに相当する画素が形成する凸形状を正規分布と近似したときの分散を得た。
これを撮像手段13の鉛直方向の位置を変化させてフォーカスズレの大きさを変化させながら行い、特徴量とフォーカスズレの大きさとの対応関係を得た。こうして得た対応関係データを用いて、最小二乗法による直線補間を行い、対応関係関数を得た。この関数を用いることで、所定の凸形状を正規分布と近似したときの分散から、撮像手段13のフォーカスズレの大きさを推定する。
次に、検査動作の詳細を示す。被検査体10を検査ステージ11に設置して移動させた。その間に、光照射手段12から被検査体10に光が照射され、フォーカスを初期状態p0に調整した撮像手段13でその反射光を受光して、被検査体10を撮像し、1回の撮像で取得する1次元の撮像画像を表面検査手段15に逐次送信した。表面検査手段15では、1次元の撮像画像を並べて2次元とし、欠点検査を行った。また、1行目の回路ユニット19の検査と並行して、所定領域画像と、検査前処理動作で得た対応関係関数からフォーカス調整量を算出し、フォーカス調整手段14に送信した。そして1行目の回路ユニット19の検査の完了直後に、撮像手段13を鉛直方向に移動させてフォーカスを調整し、2行目の回路ユニット19の撮像、回路パターンにおける欠点検査を開始した。この検査動作を6行目の回路ユニット19の検査完了まで繰り返した。
こうした撮像手段13のフォーカス調整を行ったときの結果とフォーカス調整を行わなかったときの結果を図12に示す。図12は、フォーカス調整を行ったときと行わなかったときのそれぞれで、同一の被検査体10における1行目と4行目の回路ユニットでの反射光を受光して、各回路ユニットを撮像した撮像画像から抽出した、所定領域画像から作成された画素値分布グラフGの比較図である。各画素値分布グラフGの右側の凸形状Fがリード線箇所での反射光を受光した複数の光電変換素子それぞれに相当する画素が形成した凸形状だが、フォーカス調整ありのときは1行目と4行目で凸形状Fにほとんど差異はなかった。これに対し、フォーカス調整なしのときは1行目と4行目で凸形状Fに大きな差が生じていた。本発明によるフォーカス調整を行うことで、被検査体10の端部でも中央部でもボケのない撮像画像を取得でき、これに基づいた検査が可能となる。
1 検査ステージ
2 変位センサ
3 記憶装置
4 モーター
5 1軸ステージ
6 撮像手段
7 被検査体
8 リード線箇所
9 非リード線箇所
10 被検査体
11 検査ステージ
12 光照射手段
13 撮像手段
14 フォーカス調整手段
15 表面検査手段
16 外部出力手段
2 変位センサ
3 記憶装置
4 モーター
5 1軸ステージ
6 撮像手段
7 被検査体
8 リード線箇所
9 非リード線箇所
10 被検査体
11 検査ステージ
12 光照射手段
13 撮像手段
14 フォーカス調整手段
15 表面検査手段
16 外部出力手段
Claims (3)
- 被検査体に光を照射する光照射手段と、被検査体からの透過光または反射光を受光して被検査体を撮像する撮像手段と、撮像手段のフォーカスを調整するフォーカス調整手段と、撮像手段が撮像した撮像画像に基づいて被検査体の表面を検査する表面検査手段とを備えた表面欠点検査装置であって、撮像手段によって被検査体の所定領域を撮像し、得られた所定領域画像から画素値分布グラフを作成し、得られた画素値分布グラフに存在する、所定の凸形状の広がりを表現する特徴量に基づいて、撮像手段のフォーカスを調整するフォーカス調整量を算出する表面欠点検査装置。
- 被検査体に光を照射し、被検査体からの透過光または反射光を受光して被検査体を撮像し、撮像時には撮像手段のフォーカスを調整し、撮像手段が撮像した撮像画像に基づいて被検査体の表面を検査する表面欠点検査方法であって、被検査体の所定領域を撮像し、得られた所定領域画像から画素値分布グラフを作成し、得られた画素値分布グラフに存在する、所定の凸形状の広がりを表現する特徴量に基づいて、撮像手段のフォーカスを調整する表面欠点検査方法。
- 可撓性を有する基板上に所定の回路パターンを形成するパターン形成工程と、請求項2記載の表面欠点検査方法を用いてパターン形成工程で形成された所定の回路パターンにおける欠点を検査する欠点検査工程とを有する回路基板の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006207789A JP2008032602A (ja) | 2006-07-31 | 2006-07-31 | 表面欠点検査装置、表面欠点検査方法およびその検査方法を用いた回路基板の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006207789A JP2008032602A (ja) | 2006-07-31 | 2006-07-31 | 表面欠点検査装置、表面欠点検査方法およびその検査方法を用いた回路基板の製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008032602A true JP2008032602A (ja) | 2008-02-14 |
Family
ID=39122179
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006207789A Pending JP2008032602A (ja) | 2006-07-31 | 2006-07-31 | 表面欠点検査装置、表面欠点検査方法およびその検査方法を用いた回路基板の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2008032602A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010127738A (ja) * | 2008-11-27 | 2010-06-10 | Toppan Printing Co Ltd | カラーフィルタ表面検査機 |
TWI396840B (zh) * | 2008-07-04 | 2013-05-21 | Hon Hai Prec Ind Co Ltd | 影像測量儀及其對焦方法 |
CN110940787A (zh) * | 2019-12-29 | 2020-03-31 | 圣达电气有限公司 | 一种移动式铜箔针孔检验装置 |
-
2006
- 2006-07-31 JP JP2006207789A patent/JP2008032602A/ja active Pending
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
TWI396840B (zh) * | 2008-07-04 | 2013-05-21 | Hon Hai Prec Ind Co Ltd | 影像測量儀及其對焦方法 |
JP2010127738A (ja) * | 2008-11-27 | 2010-06-10 | Toppan Printing Co Ltd | カラーフィルタ表面検査機 |
CN110940787A (zh) * | 2019-12-29 | 2020-03-31 | 圣达电气有限公司 | 一种移动式铜箔针孔检验装置 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US9885669B2 (en) | Method of inspecting a substrate | |
JP5548310B2 (ja) | 撮像装置、撮像装置を備える撮像システム、及び撮像方法 | |
US10192304B2 (en) | Method for measuring pattern width deviation, and pattern inspection apparatus | |
US10282635B2 (en) | Pattern inspection apparatus | |
JP5662174B2 (ja) | Afレンズユニットの特性検査装置およびその特性検査方法、制御プログラム、可読記憶媒体 | |
JP2015079193A (ja) | 撮像装置、撮像システム、撮像装置の制御方法、プログラム、および、記憶媒体 | |
JP3507865B2 (ja) | Dmdを用いたccdカメラによる実時間形状計測方法と装置 | |
WO2015016016A1 (ja) | 高さ測定装置 | |
JP2008032602A (ja) | 表面欠点検査装置、表面欠点検査方法およびその検査方法を用いた回路基板の製造方法 | |
TWI655496B (zh) | 參照圖像確認方法、光罩檢測方法及光罩檢測裝置 | |
JP2011033507A (ja) | 3次元計測装置 | |
JPH0996513A (ja) | 画像取得装置 | |
JP5420942B2 (ja) | パターン描画装置およびパターン描画方法 | |
JP4206393B2 (ja) | パターン検査方法 | |
WO2014073590A1 (ja) | 3次元計測装置および3次元計測方法 | |
JP5001815B2 (ja) | フィルムの検査装置 | |
JP4772815B2 (ja) | 補正パターン画像生成装置、パターン検査装置および補正パターン画像生成方法 | |
TWI759621B (zh) | 描繪裝置以及描繪方法 | |
JP2002286427A (ja) | はんだ印刷検査装置 | |
JP5684628B2 (ja) | パターン検査装置及びパターン検査方法 | |
TW202113344A (zh) | 外觀檢查裝置及其校正方法、及電腦可讀取的記錄媒體 | |
KR100710703B1 (ko) | 반도체 리드프레임 도금 선폭 측정 검사장치 및 그 방법 | |
JP2009100260A (ja) | カメラモジュール検査装置及びカメラモジュール検査方法 | |
US11822233B2 (en) | Image pickup apparatus and focus adjustment method using bending correction to adjust focusing | |
JP2004260250A (ja) | 撮像素子 |