JP2002286427A - はんだ印刷検査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】装置の複雑化を招くことなく正確な基準高さを
得、比較的短い処理時間で精度の高い検査を行うことの
できるはんだ印刷検査装置を提供する。 【解決手段】はんだ印刷検査装置１は、プリント基板Ｋ
に光パターンを照射するための照明装置３と、ＣＣＤカ
メラ４とを備え、これらは三次元計測装置制御部７にて
制御される。三次元計測装置制御部７は画像処理手段１
１を構成し、画像処理手段１１は、基準高さ設定部８
と、はんだ印刷検査部９とを備える。基準高さ設定部８
では、検査領域につき、画素単位毎に三次元計測によっ
て計測された絶対的な高さデータ群に基づき、所定以上
の高さデータが所定方向に積算され、該積算値が積算の
対象となった単位数で除算され、該除算値が積算方向と
直交方向に求められて連結成分が得られ、該連結成分が
微分され、そのときの極大値及び極小値を示す位置に対
応する高さに基づいて基準高さが設定される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、はんだ印刷状態検
査装置に係り、例えばプリント基板等の部品実装技術分
野において基板上に設けられたクリームはんだの印刷状
態を検査する際に用いられるはんだ印刷状態検査装置に
関するものである。

【０００２】

【従来の技術】一般に、プリント基板上に電子部品を実
装する場合、まずプリント基板上に配設された所定の電
極パターン上にクリームはんだが印刷される。次に、該
クリームはんだの粘性に基づいてプリント基板上に電子
部品が仮止めされる。その後、前記プリント基板がリフ
ロー炉へ導かれ、所定のリフロー工程を経ることではん
だ付けが行われる。昨今では、リフロー炉に導かれる前
段階においてクリームはんだの印刷状態を検査する必要
があり、かかる検査に際してはんだ印刷検査装置が用い
られる。

【０００３】上記のような検査に際しては、予めはんだ
の形成される領域（候補領域）が設定され、その領域を
検査枠として、印刷の施された各基板につき、クリーム
はんだの印刷状態が検査される。より詳しくは、所定の
高さ基準レベルを設定するとともに、該設定された高さ
基準レベルをもって、クリームはんだの高さや体積が計
算される。そして、その高さや体積が所定条件を満たし
ている場合には良品と判定され、満たしていない場合に
は不良品と判定される。

【０００４】ところで、上記高さ基準レベルを設定する
手法として、例えば特開平６−７４７１９号公報に開示
されたものが挙げられる。同公報においては、検査対象
のはんだに対してレーザー光を照射して輝度画像を得、
その輝度画像に対して、予め指定された輝度条件をもと
に、はんだ印刷範囲（境界位置）を抽出し、さらにその
境界位置における高低レベル値を高さ基準レベルとして
設定する旨が記載されている。

【０００５】

【発明が解決しょうとする課題】しかしながら、上記技
術においては、輝度画像に基づいて境界位置を抽出する
ようにしている。ここで、境界位置というのは、はんだ
部分とパターン部分との境界を指すものであって、パタ
ーン部分の露出部分がほとんどない場合や、非常に狭い
ような場合には、前記輝度画像に基づいて境界位置を抽
出できなくなってしまったり、計測精度の悪化を招くお
それがある。

【０００６】また、輝度画像に基づいて境界位置を抽出
するためには、そのための複雑な装置を設置する必要が
あるとともに、複雑な演算処理が必要となり、検査に要
する時間が長引いてしまうおそれがある。

【０００７】本発明は、上記事情に鑑みてなされたもの
であり、はんだの印刷状態を検査する際に用いられるは
んだ印刷状態検査装置において、装置の複雑化を招くこ
となく正確な基準高さを得るとともに、比較的短い処理
時間で精度の高い検査を行うことのできるはんだ印刷検
査装置を提供することを主たる目的の一つとしている。

【０００８】

【課題を解決するための手段及びその効果】上記目的を
達成し得る特徴的手段について以下に説明する。また、
各手段につき、特徴的な作用及び効果を必要に応じて記
載する。

【０００９】手段１．少なくとも基板上に設けられたは
んだの高さを、三次元計測によって求めることに基づい
て、はんだの印刷状態を検査するはんだ印刷検査装置で
あって、少なくとも所定部位につき、前記三次元計測に
よって得られた高さデータが、設定された基準高さに対
しどの程度の高さを有しているかに基づいて、前記はん
だの高さを求めるよう構成するとともに、前記基準高さ
を、前記三次元計測を行うことで得られた高さ情報に基
づいて設定するようにしたことを特徴とするはんだ印刷
検査装置。

【００１０】手段１によれば、少なくとも所定部位につ
き、三次元計測によって得られた高さデータが、設定さ
れた基準高さに対しどの程度の高さを有しているかに基
づいて、はんだの高さが求められる。ここで、基準高さ
は、前記三次元計測を行うことで得られた高さ情報に基
づいて設定される。このように、輝度画像に基づいて境
界部分を抽出することを行わずに、高さ情報に基づいて
基準高さが設定されるので、たとえパターン部分が狭く
とも、基準高さを正確に設定することが可能となる。ま
た、別途基準高さを求めるための装置等を必要としない
ため、装置の簡素化を図ることができ、比較的短い処理
時間で精度の高い検査を行うことができる。

【００１１】手段２．少なくとも所定部位につき、三次
元計測によって高さデータを計測する高さデータ計測手
段と、基準となる高さを設定する基準高さ設定手段と、
前記基準高さ設定手段にて設定された基準高さに対し、
前記高さデータ計測手段にて計測された高さデータがど
の程度の高さを有しているかに基づいて、前記はんだの
高さを算出するはんだ高さ算出手段とを備え、前記基準
高さ設定手段は、前記所定部位を含む予め設定された検
査領域につき、三次元計測によって得られた高さ情報に
基づいて前記基準高さを設定するものであることを特徴
とするはんだ印刷検査装置。

【００１２】手段２によれば、高さデータ計測手段で
は、少なくとも所定部位につき、三次元計測によって高
さデータが計測される。また、基準高さ設定手段では、
基準となる高さが設定される。そして、はんだ高さ算出
手段では、基準高さに対し、高さデータ計測手段にて計
測された高さデータがどの程度の高さを有しているかに
基づいて、はんだの高さが算出される。ここで、基準高
さ設定手段は、所定部位を含む予め設定された検査領域
につき、三次元計測によって得られた高さ情報に基づい
て基準高さを設定するものである。このように、輝度画
像に基づいて境界部分を抽出することを行わずに、高さ
情報に基づいて基準高さが設定されるので、たとえパタ
ーン部分が狭くとも、基準高さを正確に設定することが
可能となる。また、別途基準高さを求めるための装置等
を必要としないため、装置の簡素化を図ることができ、
比較的短い処理時間で精度の高い検査を行うことができ
る。

【００１３】手段３．少なくとも所定部位につき、三次
元計測によって高さデータを計測する高さデータ計測手
段と、基準となる高さを設定する基準高さ設定手段と、
前記基準高さ設定手段にて設定された基準高さに対し、
前記高さデータ計測手段にて計測された高さデータがど
の程度の高さを有しているかに基づいて、前記はんだの
高さを算出するはんだ高さ算出手段と、前記はんだ高さ
算出手段により算出されたはんだの高さに基づいて、少
なくとも良否判定を行う検査手段とを備え、前記基準高
さ設定手段は、前記所定部位を含む予め設定された検査
領域につき、三次元計測によって得られた高さ情報に基
づいて前記基準高さを設定するものであることを特徴と
するはんだ印刷検査装置。

【００１４】手段３によれば、高さデータ計測手段で
は、少なくとも所定部位につき、三次元計測によって高
さデータが計測される。また、基準高さ設定手段により
基準となる高さが設定される。そして、はんだ高さ算出
手段では、設定された基準高さに対し、高さデータ計測
手段にて計測された高さデータがどの程度の高さを有し
ているかに基づいて、はんだの高さが算出される。さら
に、はんだ高さ算出手段により算出されたはんだの高さ
に基づいて、検査手段では少なくとも良否判定が行われ
る。ここで、基準高さ設定手段は、所定部位を含む予め
設定された検査領域につき、三次元計測によって得られ
た高さ情報に基づいて基準高さを設定するものである。
このように、輝度画像に基づいて境界部分を抽出するこ
とを行わずに、高さ情報に基づいて基準高さが設定され
るので、たとえパターン部分が狭くとも、基準高さを正
確に設定することが可能となる。また、別途基準高さを
求めるための装置等を必要としないため、装置の簡素化
を図ることができ、比較的短い処理時間で精度の高い良
否判定を含む検査を行うことができる。

【００１５】手段４．予め設定された検査領域につき、
所定単位毎に三次元計測によって絶対的な高さデータを
計測する高さデータ計測手段と、基準となる高さを設定
する基準高さ設定手段と、前記基準高さ設定手段にて設
定された基準高さに対し、前記高さデータ計測手段にて
計測された絶対的な高さデータがどの程度の高さを有し
ているかに基づいて、前記はんだの高さを算出するはん
だ高さ算出手段と、前記はんだ高さ算出手段により算出
されたはんだの高さに基づいて、少なくとも良否判定を
行う検査手段とを備え、前記基準高さ設定手段は、前記
検査領域につき、所定単位毎に三次元計測によって計測
された絶対的な高さデータ群に基づく高さ情報に基づい
て前記基準高さを設定するものであることを特徴とする
はんだ印刷検査装置。

【００１６】ここで、「所定単位」としては、例えば、
三次元計測を行う際に用いられる撮像手段の画素単位を
挙げることができる（以下同様）。

【００１７】手段４によれば、高さデータ計測手段で
は、予め設定された検査領域につき、所定単位毎に三次
元計測によって絶対的な高さデータが計測される。ま
た、基準高さ設定手段では、基準となる高さが設定され
る。そして、はんだ高さ算出手段では、設定された基準
高さに対し、前記高さデータ計測手段にて計測された絶
対的な高さデータがどの程度の高さを有しているかに基
づいて、はんだの高さが算出される。さらに、検査手段
では、はんだ高さ算出手段により算出されたはんだの高
さに基づいて、少なくとも良否判定が行われる。ここ
で、基準高さ設定手段は、前記検査領域につき、所定単
位毎に三次元計測によって計測された絶対的な高さデー
タ群に基づく高さ情報に基づいて基準高さを設定する。
このように、輝度画像に基づいて境界部分を抽出するこ
とを行わずに、高さ情報に基づいて基準高さが設定され
るので、たとえパターン部分が狭くとも、基準高さを正
確に設定することが可能となる。また、別途基準高さを
求めるための装置等を必要としないため、装置の簡素化
を図ることができ、比較的短い処理時間で精度の高い良
否判定を含む検査を行うことができる。

【００１８】手段５．前記基準高さ設定手段は、前記高
さデータ群に基づき、少なくとも一方向に前記基板の高
さ以上の高さデータを積算し、該積算値を積算の対象と
なった単位数で除算することに基づいて前記高さ情報を
得るものであることを特徴とする手段４に記載のはんだ
印刷検査装置。

【００１９】手段５によれば、基準高さ設定手段では、
高さデータ群に基づき、少なくとも一方向に基板の高さ
以上の高さデータが積算され、該積算値が積算の対象と
なった単位数で除算されることに基づいて的確な高さ情
報が得られる。

【００２０】手段６．前記基準高さ設定手段は、前記高
さデータ群に基づき、少なくとも一方向に前記基板の高
さ以上の高さデータを積算し、該積算値を積算の対象と
なった単位数で除算し、該除算値を前記一方向と直交す
る方向に求めて、位置に対する高さの関係を示す連結成
分を形成することに基づいて前記高さ情報を得るもので
あることを特徴とする手段４に記載のはんだ印刷検査装
置。

【００２１】手段６によれば、基準高さ設定手段では、
高さデータ群に基づき、少なくとも一方向に基板の高さ
以上の高さデータが積算され、該積算値が積算の対象と
なった単位数で除算され、該除算値が前記一方向と直交
する方向に求められて、位置に対する高さの関係を示す
連結成分が形成されることに基づいて的確な高さ情報が
得られる。

【００２２】手段７．前記基準高さ設定手段は、前記高
さデータ群に基づき、第１方向に前記基板の高さ以上の
高さデータを積算し、該積算値を積算の対象となった単
位数で除算し、該除算値を前記第１方向と直交する方向
に求めて、位置に対する高さの関係を示す第１の連結成
分を形成することと、前記高さデータ群に基づき、前記
第１方向と直交又はほぼ直交する第２方向に前記基板の
高さ以上の高さデータを積算し、該積算値を積算の対象
となった単位数で除算し、該除算値を前記第２方向と直
交する方向に求めて、位置に対する高さの関係を示す第
２の連結成分を形成することと、に基づいて前記高さ情
報を得るものであることを特徴とする手段４に記載のは
んだ印刷検査装置。

【００２３】手段７によれば、基準高さ設定手段では、
高さデータ群に基づき、第１方向に基板の高さ以上の高
さデータが積算され、該積算値が積算の対象となった単
位数で除算され、該除算値が前記第１方向と直交する方
向に求められて、位置に対する高さの関係を示す第１の
連結成分が形成される。また、高さデータ群に基づき、
第１方向と直交又はほぼ直交する第２方向に基板の高さ
以上の高さデータが積算され、該積算値が積算の対象と
なった単位数で除算され、該除算値が前記第２方向と直
交する方向に求められて、位置に対する高さの関係を示
す第２の連結成分が形成される。そして、これら第１及
び第２の連結成分に基づいて高さ情報が得られる。従っ
て、はんだの形状等にかかわらず、より的確な高さ情報
を得ることができ、もって、より精度の高い検査を行う
ことができる。

【００２４】手段８．前記基準高さ設定手段は、前記連
結成分を位置に関し微分した上で、極大値及び極小値を
示す位置に対応する高さに基づいて前記基準高さを設定
することを特徴とする手段６又は７に記載のはんだ印刷
検査装置。

【００２５】手段８によれば、基準高さ設定手段では、
連結成分が位置に関し微分される。そして、そのときの
極大値及び極小値を示す位置に対応する高さに基づいて
基準高さが設定される。従って、印刷されたはんだが立
ち上がる起点部分に相当する部分が基準高さに相当する
部分とされることから、より的確に基準高さを設定する
ことができる。

【００２６】手段９．前記基準高さ設定手段は、前記高
さ情報を微分した上で、極大値及び極小値を示す位置に
対応する高さに基づいて前記基準高さを設定することを
特徴とする手段４乃至７のいずれかに記載のはんだ印刷
検査装置。

【００２７】手段９によれば、基準高さ設定手段では、
高さ情報が微分される。そして、そのときの極大値及び
極小値を示す位置に対応する高さに基づいて基準高さが
設定される。従って、印刷されたはんだが立ち上がる起
点部分に相当する部分が基準高さに相当する部分とされ
ることから、より的確に基準高さを設定することができ
る。

【００２８】手段１０．前記基準高さ設定手段は、前記
高さ情報が最小値又はほぼ最小値を示す位置に対応する
高さに基づいて前記基準高さを設定することを特徴とす
る手段４乃至７のいずれかに記載のはんだ印刷検査装
置。

【００２９】手段１０によれば、基準高さ設定手段で
は、高さ情報が最小値又はほぼ最小値を示す位置に対応
する高さに基づいて基準高さが的確に設定される。な
お、この場合において、「高さ情報が最小値又はほぼ最
小値を示す位置は、前記積算に際し積算の対象となった
単位数が所定数以上の位置であること」とするのが望ま
しい（手段１１においても同様）。このように構成する
ことで、妥当でない値が基準高さとして設定されてしま
うといった事態が抑制される。

【００３０】手段１１．前記基準高さ設定手段は、前記
高さ情報を微分した上で、極大値及び極小値を示す位置
に対応する高さと、前記高さ情報が最小値又はほぼ最小
値を示す位置に対応する高さとを考慮することに基づい
て前記基準高さを設定することを特徴とする手段４乃至
７のいずれかに記載のはんだ印刷検査装置。

【００３１】手段１１によれば、基準高さ設定手段で
は、高さ情報が微分された上で、極大値及び極小値を示
す位置に対応する高さと、高さ情報が最小値又はほぼ最
小値を示す位置に対応する高さとの双方が考慮されるこ
とに基づいて基準高さが設定される。このため、双方の
メリットを生かして、より一層的確に基準高さを設定す
ることができる。

【００３２】手段１２．前記基準高さ設定手段は、複数
の位置に対応する前記高さを平均した値を基準高さとし
て設定するものであることを特徴とする手段８乃至１１
のいずれかに記載のはんだ印刷検査装置。

【００３３】手段１２によれば、基準高さ設定手段で
は、複数の位置に対応する前記高さが平均した値が基準
高さとして設定される。このため、各部位において基板
の反りや変形があったとしても、それらが相殺された上
で妥当な基準高さが設定されることとなる。

【００３４】手段１３．前記はんだ高さ算出手段は、前
記高さデータ計測手段にて計測された絶対的な高さデー
タの位置情報に応じて採用する基準高さを変更すること
を特徴とする手段４乃至１２のいずれかに記載のはんだ
印刷検査装置。

【００３５】手段１３によれば、はんだ高さ算出手段で
は、高さデータ計測手段にて計測された絶対的な高さデ
ータの位置情報に応じて、採用される基準高さが変更さ
れる。従って、その位置に適した基準高さが採用されう
ることとなり、この場合、より一層精度の高い検査を行
うことができる。

【００３６】なお、手段４乃至１３のいずれかにおい
て、「前記はんだ高さ算出手段にて算出されたはんだ高
さに基づき、はんだの体積を算出するはんだ体積算出手
段を設けるとともに、前記検査手段は、前記はんだの高
さに代えて、又は、加えて、前記はんだ高さに基づいて
算出されたはんだの体積に基づいて、はんだに関し良否
判定を行うことを特徴とするはんだ印刷検査装置」とし
てもよい。

【００３７】手段１４．少なくとも撮像手段を具備し、
予め設定された検査領域につき、画素単位毎に三次元計
測によって絶対的な高さデータを計測する高さデータ計
測手段と、基準となる高さを設定する基準高さ設定手段
と、前記基準高さ設定手段にて設定された基準高さに対
し、前記高さデータ計測手段にて計測された絶対的な高
さデータがどの程度の高さを有しているかに基づいて、
前記はんだの高さを算出するはんだ高さ算出手段と、前
記はんだ高さ算出手段により算出されたはんだの高さ、
及び、高さに基づいて算出されたはんだの体積の少なく
とも一方に基づいて、はんだに関し良否判定を行う検査
手段とを備えたはんだ印刷検査装置であって、前記基準
高さ設定手段は、前記検査領域につき、画素単位毎に三
次元計測によって計測された絶対的な高さデータ群に基
づいて、第１方向に前記基板の高さ以上の高さデータを
積算し、該積算値を積算の対象となった単位数で除算
し、該除算値を前記第１方向と直交する方向に求めて、
位置に対する高さの関係を示す第１の連結成分を形成す
ることと、前記高さデータ群に基づき、前記第１方向と
直交又はほぼ直交する第２方向に前記基板の高さ以上の
高さデータを積算し、該積算値を積算の対象となった単
位数で除算し、該除算値を前記第２方向と直交する方向
に求めて、位置に対する高さの関係を示す第２の連結成
分を形成することとを行い、さらに、前記各連結成分
を、位置に関し微分した上で、極大値及び極小値を示す
位置に対応する高さに基づいて前記基準高さを設定する
ものであることを特徴とするはんだ印刷検査装置。

【００３８】手段１４によれば、輝度画像に基づいて境
界部分を抽出することを行わずに、高さデータ群に基づ
いて形成された各連結成分に基づいて基準高さが設定さ
れるので、たとえパターン部分が狭くとも、基準高さを
正確に設定することが可能となる。また、別途基準高さ
を求めるための装置等を必要としないため、装置の簡素
化を図ることができ、比較的短い処理時間で精度の高い
良否判定を含む検査を行うことができる。

【００３９】手段１５．予め設定された検査領域につ
き、基準となる高さを設定する基準高さ設定手段と、前
記基準高さ設定手段にて設定された基準高さを参酌する
ことにより、基板上のはんだの体積を算出するはんだ体
積算出手段と、前記はんだ体積算出手段により算出され
たはんだの体積に基づいて、少なくとも良否判定を行う
検査手段とを備え、前記基準高さ設定手段は、前記検査
領域につき、所定単位毎に三次元計測によって計測され
た絶対的な高さデータ群に基づく高さ情報に基づいて前
記基準高さを設定するものであることを特徴とするはん
だ印刷検査装置。

【００４０】手段１５によれば、基準高さ設定手段で
は、予め設定された検査領域につき、基準となる高さが
設定される。そして、はんだ体積算出手段では、設定さ
れた基準高さが参酌されることで、はんだの体積が算出
される。さらに、検査手段では、はんだ体積算出手段に
より算出されたはんだの体積に基づいて、少なくとも良
否判定が行われる。ここで、基準高さ設定手段は、前記
検査領域につき、所定単位毎に三次元計測によって計測
された絶対的な高さデータ群に基づく高さ情報に基づい
て基準高さを設定する。このように、輝度画像に基づい
て境界部分を抽出することを行わずに、高さ情報に基づ
いて基準高さが設定されるので、たとえパターン部分が
狭くとも、基準高さを正確に設定することが可能とな
る。また、別途基準高さを求めるための装置等を必要と
しないため、装置の簡素化を図ることができ、比較的短
い処理時間で精度の高い良否判定を含む検査を行うこと
ができる。

【００４１】手段１６．前記基準高さ設定手段は、前記
高さデータ群に基づき、少なくとも一方向に前記基板の
高さ以上の高さデータを積算し、該積算値を積算の対象
となった単位数で除算することに基づいて前記高さ情報
を得るものであることを特徴とする手段１５に記載のは
んだ印刷検査装置。

【００４２】手段１６によれば、基準高さ設定手段で
は、高さデータ群に基づき、少なくとも一方向に基板の
高さ以上の高さデータが積算され、該積算値が積算の対
象となった単位数で除算されることに基づいて的確な高
さ情報が得られる。

【００４３】手段１７．前記基準高さ設定手段は、前記
高さデータ群に基づき、少なくとも一方向に前記基板の
高さ以上の高さデータを積算し、該積算値を積算の対象
となった単位数で除算し、該除算値を前記一方向と直交
する方向に求めて、位置に対する高さの関係を示す連結
成分を形成することに基づいて前記高さ情報を得るもの
であることを特徴とする手段１５に記載のはんだ印刷検
査装置。

【００４４】手段１７によれば、基準高さ設定手段で
は、高さデータ群に基づき、少なくとも一方向に基板の
高さ以上の高さデータが積算され、該積算値が積算の対
象となった単位数で除算され、該除算値が前記一方向と
直交する方向に求められて、位置に対する高さの関係を
示す連結成分が形成されることに基づいて的確な高さ情
報が得られる。

【００４５】手段１８．前記基準高さ設定手段は、前記
高さデータ群に基づき、第１方向に前記基板の高さ以上
の高さデータを積算し、該積算値を積算の対象となった
単位数で除算し、該除算値を前記第１方向と直交する方
向に求めて、位置に対する高さの関係を示す第１の連結
成分を形成することと、前記高さデータ群に基づき、前
記第１方向と直交又はほぼ直交する第２方向に前記基板
の高さ以上の高さデータを積算し、該積算値を積算の対
象となった単位数で除算し、該除算値を前記第２方向と
直交する方向に求めて、位置に対する高さの関係を示す
第２の連結成分を形成することと、に基づいて前記高さ
情報を得るものであることを特徴とする手段１５に記載
のはんだ印刷検査装置。

【００４６】手段１８によれば、基準高さ設定手段で
は、高さデータ群に基づき、第１方向に基板の高さ以上
の高さデータが積算され、該積算値が積算の対象となっ
た単位数で除算され、該除算値が前記第１方向と直交す
る方向に求められて、位置に対する高さの関係を示す第
１の連結成分が形成される。また、高さデータ群に基づ
き、第１方向と直交又はほぼ直交する第２方向に基板の
高さ以上の高さデータが積算され、該積算値が積算の対
象となった単位数で除算され、該除算値が前記第２方向
と直交する方向に求められて、位置に対する高さの関係
を示す第２の連結成分が形成される。そして、これら第
１及び第２の連結成分に基づいて高さ情報が得られる。
従って、はんだの形状等にかかわらず、より的確な高さ
情報を得ることができ、もって、より精度の高い検査を
行うことができる。

【００４７】手段１９．前記基準高さ設定手段は、前記
連結成分を位置に関し微分した上で、極大値及び極小値
を示す位置に対応する高さに基づいて前記基準高さを設
定することを特徴とする手段１７又は１８に記載のはん
だ印刷検査装置。

【００４８】手段１９によれば、基準高さ設定手段で
は、連結成分が位置に関し微分される。そして、そのと
きの極大値及び極小値を示す位置に対応する高さに基づ
いて基準高さが設定される。従って、印刷されたはんだ
が立ち上がる起点部分に相当する部分が基準高さに相当
する部分とされることから、より的確に基準高さを設定
することができる。

【００４９】手段２０．前記基準高さ設定手段は、前記
高さ情報を微分した上で、極大値及び極小値を示す位置
に対応する高さに基づいて前記基準高さを設定すること
を特徴とする手段１５乃至１８のいずれかに記載のはん
だ印刷検査装置。

【００５０】手段２０によれば、基準高さ設定手段で
は、高さ情報が微分される。そして、そのときの極大値
及び極小値を示す位置に対応する高さに基づいて基準高
さが設定される。従って、印刷されたはんだが立ち上が
る起点部分に相当する部分が基準高さに相当する部分と
されることから、より的確に基準高さを設定することが
できる。

【００５１】手段２１．前記基準高さ設定手段は、前記
高さ情報が最小値又はほぼ最小値を示す位置に対応する
高さに基づいて前記基準高さを設定することを特徴とす
る手段１５乃至１８のいずれかに記載のはんだ印刷検査
装置。

【００５２】手段２１によれば、基準高さ設定手段で
は、高さ情報が最小値又はほぼ最小値を示す位置に対応
する高さに基づいて基準高さが的確に設定される。な
お、この場合において、「高さ情報が最小値又はほぼ最
小値を示す位置は、前記積算に際し積算の対象となった
単位数が所定数以上の位置であること」とするのが望ま
しい（手段２２においても同様）。このように構成する
ことで、妥当でない値が基準高さとして設定されてしま
うといった事態が抑制される。

【００５３】手段２２．前記基準高さ設定手段は、前記
高さ情報を微分した上で、極大値及び極小値を示す位置
に対応する高さと、前記高さ情報が最小値又はほぼ最小
値を示す位置に対応する高さとを考慮することに基づい
て前記基準高さを設定することを特徴とする手段１５乃
至１８のいずれかに記載のはんだ印刷検査装置。

【００５４】手段２２によれば、基準高さ設定手段で
は、高さ情報が微分された上で、極大値及び極小値を示
す位置に対応する高さと、高さ情報が最小値又はほぼ最
小値を示す位置に対応する高さとの双方が考慮されるこ
とに基づいて基準高さが設定される。このため、双方の
メリットを生かして、より一層的確に基準高さを設定す
ることができる。

【００５５】手段２３．前記基準高さ設定手段は、複数
の位置に対応する前記高さを平均した値を基準高さとし
て設定するものであることを特徴とする手段１９乃至２
２のいずれかに記載のはんだ印刷検査装置。

【００５６】手段２３によれば、基準高さ設定手段で
は、複数の位置に対応する前記高さが平均した値が基準
高さとして設定される。このため、各部位において基板
の反りや変形があったとしても、それらが相殺された上
で妥当な基準高さが設定されることとなる。

【００５７】手段２４．前記はんだ体積算出手段は、位
置情報に応じて採用する基準高さを変更することを特徴
とする手段１５乃至２３のいずれかに記載のはんだ印刷
検査装置。

【００５８】手段２４によれば、はんだ体積算出手段で
は、位置情報に応じて、採用される基準高さが変更され
る。従って、その位置に適した基準高さが採用されうる
こととなり、この場合、より一層精度の高い検査を行う
ことができる。

【００５９】

【発明の実施の形態】以下、一実施の形態について、図
１乃至図３を参照しつつ説明する。

【００６０】図１は、本実施の形態における三次元計測
装置２を具備するはんだ印刷検査装置１を模式的に示す
概略構成図である。同図に示すように、はんだ印刷検査
装置１は、クリームはんだＣの印刷されてなるプリント
基板Ｋを載置するためのテーブル（図示略）と、プリン
ト基板Ｋの表面に対し斜め上方から正弦波状の複数の位
相変化する光パターンを照射するための照明装置３と、
プリント基板Ｋ上の前記照射された部分を撮像するため
の撮像手段を構成するＣＣＤカメラ４とを備えている。
なお、本実施の形態におけるクリームはんだＣは、プリ
ント基板Ｋ上に設けられた銅箔からなる電極パターン上
に印刷形成されている。

【００６１】テーブルには、図示しないモータが設けら
れており、該モータによって、テーブル上に載置された
プリント基板Ｋが任意の方向（ｘ軸方向及び該ｘ軸に直
交するｙ軸方向）へ適宜スライドさせられるようになっ
ている。

【００６２】照明装置３は、公知の液晶光学シャッター
を備えており、プリント基板Ｋに対し、斜め上方から４
分の１ピッチづつ位相変化する光パターンを照射するよ
うになっている。従って、光源からの光は液晶光学シャ
ッターを介してプリント基板Ｋ上に照射されるようにな
っており、特にプリント基板Ｋに対し照度が正弦波状に
変化する縞状の光パターン（正弦波パターン）が照射さ
れるようになっている。

【００６３】なお、照明装置３において、図示しない光
源からの光は光ファイバーにより一対の集光レンズに導
かれ、そこで平行光にされる。その平行光が、液晶素子
を介して恒温制御装置内に配置された投影レンズに導か
れる。そして、投影レンズから４つの位相変化する光パ
ターンが照射される。このように、照明装置３に液晶光
学シャツターが使用されていることによって、縞状の光
パターンを作成した場合に、その照度が理想的な正弦波
に近いものが得られ、これにより、三次元計測の測定分
解能が向上するようになっている。また、光パターンの
位相シフトの制御を電気的に行うことができ、制御系の
コンパクト化を図ることができるようになっている。

【００６４】また、三次元計測装置２は、前記ＣＣＤカ
メラ４、照明装置３、モータ等を駆動制御するととも
に、ＣＣＤカメラ４により撮像された撮像データに基づ
き種々の演算を実行するための三次元計測装置制御部７
が設けられている。該三次元計測装置制御部７は、画像
処理手段１１を構成するものであって、画像処理手段１
１は、三次元計測装置制御部７の他にも、基準高さを設
定するための基準高さ設定手段としての基準高さ設定部
８と、はんだ印刷検査部９とを備えている。すなわち、
プリント基板Ｋがテーブル２上に載置されると、三次元
計測装置制御部７は、まずモータを駆動制御して所定の
位置（最初は初期位置）に移動させる。ここで、所定の
位置というのは、別途記憶されている所定の検査枠（検
査領域）に対応する位置を指す。また、所定の位置は、
例えばＣＣＤカメラ４の視野の大きさを１単位としてプ
リント基板Ｋの表面を予め分割しておいた中の１つの位
置でもある。

【００６５】そして、三次元計測装置制御部７は、照明
装置３を駆動制御して光パターンの照射を開始させると
共に、この光パターンの位相を例えば４分の１ピッチず
つシフトさせて４種類の照射を順次切換制御する。さら
に、このようにして光パターンの位相がシフトする照明
が行われている間に、三次元計測装置制御部７はＣＣＤ
カメラ４を駆動制御して、これら各照射ごとに検査エリ
ア部分を撮像し、それぞれ４画面分の画像データを得
る。

【００６６】三次元計測装置制御部７は画像メモリを備
えており、４画面分の画像データを順次記憶する。この
記憶した画像データに基づいて、三次元計測装置制御部
７は各種画像処理を行う。かかる画像処理が行われてい
る間に、三次元計測装置制御部７は、モータを駆動制御
してテーブルを次の検査エリアへと移動せしめる。三次
元計測装置制御部７は、ここでの画像データについても
画像メモリへ格納する。一方、画像メモリでの画像処理
が一旦終了した場合、すでに画像メモリには次の画像デ
ータが記憶されているので、速やかに次の画像処理を行
うことができる。つまり、検査は、一方で次なる検査エ
リア（ｎ＋１番目）への移動及び画像入力を行い、他方
ではｎ番目の画像処理及び比較判定を行う。以降、全て
の検査エリアでの検査が完了するまで、交互に同様の上
記並行処理が繰り返し行われる。このように、本実施の
形態のはんだ印刷検査装置１においては、三次元計測装
置制御部７の制御により検査エリアを移動しながら、順
次画像処理を行う。そして、はんだ印刷検査部９では、
前記画像処理データのうち、特に高さデータに基づい
て、プリント基板Ｋ上のクリームはんだＣの印刷状態を
高速かつ確実に検査することができるようになってい
る。

【００６７】ここで、三次元計測装置制御部７にて行わ
れる画像処理及びはんだ印刷検査部９での検査の基本的
な内容について説明する。プリント基板Ｋに投影された
光パターンに関して、プリント基板Ｋ面上とクリームは
んだＣとの間では、その高さの相違に基づく位相のずれ
が生じる。そこで、三次元計測装置制御部７では、光パ
ターンの位相が４分の１ピッチずつシフトした際の検査
エリアの画像データ（本実施の形態では４画面の画像デ
ータ）に基づき、例えば位相シフト法（縞走査法）によ
って検査エリア内の各部の反射面の高さデータを算出す
るのである。

【００６８】このようにして得られた高さデータは、撮
像画面の画素単位に演算され、三次元計測装置制御部７
のメモリに格納される。そして、はんだ印刷検査部９で
は、各検査領域に関し、予め設定されている高さ許容デ
ータと、算出されたはんだ高さとが比較され、この比較
結果が許容範囲内にあるか否かによって、その検査枠に
おけるクリームはんだＣの印刷状態の良否が判定される
のである。もちろん、前記はんだ高さの代わりに、はん
だ体積に関して検査を行うこととしてもよい。

【００６９】次に、前記はんだ印刷検査装置１における
検査に際しての処理内容について詳細に説明する。すな
わち、図３は、はんだ印刷検査装置１において行われる
検査手順を示すフローチャートである。同図に示すよう
に、まず、ステップＳ１０１において、テーブル上の所
定位置にプリント基板Ｋがセットされる。そして、検査
領域毎に三次元計測を行い、三次元映像情報を取得す
る。

【００７０】次に、ステップＳ１０２において、所定の
検査領域内の三次元映像情報につき、各画素単位の高さ
データ（絶対的な高さ）を求める。そして、それらの高
さデータをｙ軸方向に積算する。そして、このような積
算を、ｘ軸方向にずらしながら検査領域内の全ての画素
に関して行う。また、前記高さデータをｘ軸方向にも積
算する。さらに、このような積算を、ｙ軸方向にずらし
ながら検査領域内の全ての画素に関して行う。ここで、
積算の対象となる画素は、少なくともプリント基板Ｋの
上面以上の高さデータを有する画素についてのみであ
る。このような積算を行うための手法としては、プリン
ト基板Ｋの上面に関するデータを予め入力しておき、そ
のデータ以上の高さデータのみを積算することとしても
よいし、また、三次元計測装置２が、元来プリント基板
Ｋ上面に関して高さデータを算出しないような構成とな
っている場合には、算出されたデータのみを積算の対象
とすることとしてもよい。

【００７１】また、上記各積算値を、該積算の対象とな
った画素数で除算することで、ｘ軸方向及びｙ軸方向の
高さ情報を得る。すなわち、本実施の形態にいうところ
の高さ情報というのは、例えば、図２（ａ）に示すよう
に、前記除算することによって得られたｘ軸及びｙ軸方
向の各位置におけるクリームはんだＣ高さの連結成分
（ｘ軸に対する高さの関係を示す曲線（第１の連結成
分）又はｙ軸に対する高さの関係を示す曲線（第２の連
結成分））に相当する。なお、図では、パターンの１種
として平面円形状のパッド部が設けられており、その上
にクリームはんだＣが印刷されている例が示されてい
る。

【００７２】次に、ステップＳ１０３においては、前記
高さ情報につき、ｘ，ｙ（位置）に関してそれぞれ微分
した上で、極大値及び極小値を示す位置に対応する高さ
を求める。図２（ａ），（ｂ）に示す例において、第１
の連結成分（高さ情報）に関しては、それぞれ点Ｐ１，
Ｐ２がそれぞれ極大値、極小値を示し、第２の連結成分
（高さ情報）に関しては、それぞれ点Ｐ３，Ｐ４がそれ
ぞれ極大値、極小値を示しているとする。点Ｐ１〜Ｐ４
に対応する高さは、それぞれｈ１、ｈ２，ｈ３，ｈ４で
あり、これら各高さｈ１〜ｈ４が、ここにいう極大値及
び極小値を示す位置に対応する高さである。

【００７３】続いて、ステップＳ１０４では、ステップ
Ｓ１０３で求めた高さの平均値を現在検査対象となって
いるパターンの高さとして設定する。つまり、図２を例
にとると、各高さｈ１〜ｈ４を加算して、加算した数た
る「４」で除算した値をパターン（パッド部）の高さと
して設定する。

【００７４】次に、ステップＳ１０５において、予め定
めた設定距離範囲内にある全てのパターンについて、同
様にパターン高さを求める。例えば、現在検査対象とな
っているパターンを中心として設定距離（例えば半径５
ｍｍ）以内に存在する他のパターンに関しても、上記各
ステップを経ることでパターン高さを求める。そして、
現在検査対象となっているパターン高さを含む各パター
ン高さを平均し、その平均値を基準高さとして設定す
る。

【００７５】そして、ステップＳ１０６においては、今
回設定した基準高さを参酌してはんだ高さ（パターン上
面からはんだ上面までの高さ：相対的な高さ）（、及び
／又ははんだ体積）を算出する。より詳しくは、現在対
象となっている検査領域に関し、絶対的な高さデータと
前記基準高さとの差がはんだの高さ（相対的な高さ）と
される。また、体積は、前記高さが積分されることで求
められる。

【００７６】さらに、続くステップＳ１０７において、
今回算出したはんだ高さ、体積に関し、良否判定を行
い、その後の処理を一旦終了する。すなわち、前記はん
だの高さと、高さ許容データとが比較され、この比較結
果が許容範囲内にあるか否かによって、その検査領域に
おけるクリームはんだＣの印刷状態の良否が判定される
のである。

【００７７】以上詳述したように、本実施の形態によれ
ば、基準高さ設定部８では、検査領域につき、画素単位
毎に三次元計測によって計測された絶対的な高さデータ
群にいて高さ情報が得られ、それに基づいて基準高さが
設定される。ここで、高さデータ群に基づき、ｙ軸方向
にプリント基板Ｋの上面以上の高さデータが積算され、
該積算値が積算の対象となった単位数で除算され、該除
算値がｘ軸方向に全て求められて、ｘ軸方向の位置に対
する高さの関係を示す第１の連結成分が得られ、また、
高さデータ群に基づき、ｘ軸方向にプリント基板Ｋの上
面以上の高さデータが積算され、該積算値が積算の対象
となった単位数で除算され、該除算値がｙ軸方向に全て
求められて、ｙ軸方向の位置に対する高さの関係を示す
第２の連結成分が得られ、そして、これら第１及び第２
の連結成分に基づいて高さ情報が得られる。さらに、各
連結成分がｘ、ｙについて微分され、そのときの極大値
及び極小値を示す位置に対応する高さに基づいて基準高
さが設定される。このように、輝度画像に基づいて境界
部分を抽出することを行っていた従来技術とは異なり、
輝度画像を用いずに、高さ情報（第１及び第２の連結成
分）に基づいて基準高さが設定される。このため、たと
えパターン部分が狭くとも、基準高さを正確に設定する
ことが可能となる。また、別途基準高さを求めるための
装置等を必要としないため、装置の簡素化を図ることが
でき、比較的短い処理時間で精度の高い良否判定を含む
検査を行うことができる。

【００７８】特に、本実施の形態では、２方向から高さ
情報を求め、それぞれの極大値及び極小値を示す位置に
対応する高さに基づいて基準高さを算出することとした
ため、パターンの形状等にかかわらず的確な基準高さを
設定することができる。

【００７９】尚、上述した実施の形態の記載内容に限定
されることなく、例えば次のように実施してもよい。

【００８０】（ａ）上記実施の形態では、照明装置３が
光パターンをシフトさせることができる構成となってい
たが、プリント基板Ｋ（ひいてはクリームはんだＣ）を
移動させることにより、位相を変化させることとしても
よい。

【００８１】（ｂ）上記実施の形態では、撮像回数を４
回としたが、３回であってもよいし、５回以上であって
もよい。

【００８２】（ｃ）上記実施の形態では三次元計測とし
て、位相シフト法を採用しているが、他にも光切断法
や、モアレ法、ステレオ法、格子縞投影法等といった各
種三次元計測方法を採用することもできる。

【００８３】（ｄ）上記実施の形態では、第１及び第２
の連結成分をｘ、ｙについて微分した上で、そのときの
極大値及び極小値を示す位置に対応する高さに基づいて
基準高さを設定することとしている。これに対し、連結
成分が最小値又はほぼ最小値を示す位置に対応する高さ
を考慮することに基づいて基準高さを設定することとし
てもよい。

【００８４】（ｅ）また、連結成分を微分した上で、極
大値及び極小値を示す位置に対応する高さと、連結成分
が最小値又はほぼ最小値を示す位置に対応する高さとを
考慮することに基づいて、つまり両者を組み合わせるこ
とで、基準高さを設定することとしてもよい。

【００８５】（ｆ）上記実施の形態では、２方向、つま
り、ｘ軸方向とｙ軸方向との双方につき連結成分を求め
ることとしているが、一方の連結成分のみを求め、それ
により基準高さを設定することとしてもよい。

【００８６】（ｇ）上記実施の形態では、複数の位置に
対応する高さ（４つの値）の平均値がパターンの高さと
して設定され、これに基づいて基準高さが設定されるよ
うになっている。これにより、各部位においてプリント
基板Ｋの反りや変形があったとしても、それらが相殺さ
れた上で妥当な基準高さが設定されることとなってい
る。これに対し、必ずしも平均値をパターンの高さとし
なくてもよい。例えば、上から２番目又は３番目の値を
パターンの高さとしてもよい。さらに例えば、上記実施
の形態における４つの高さをそのまま基準高さとしても
よい。そして、検査対象となる部位に応じて採用すべき
基準高さを変更できることとしてもよい。この場合、そ
の位置に適した基準高さが採用されうることとなり、こ
の場合、より一層精度の高い検査を行うことができる。

【００８７】（ｈ）上記実施の形態におけるステップＳ
１０５の処理を省略することとしてもよい。すなわち、
設定距離内にある他のパターンの考慮することなく、当
該パターンの高さをそのまま基準高さとしてもよい。

【００８８】（ｉ）はんだの高さを求めることなく、基
準高さを参酌することにより直接はんだの体積を算出す
ることとしてもよい。例えば、基準高さよりも高い部分
の断面積を長手方向に積分することで、はんだ体積を算
出することとしてもよい。そして、この場合に、算出さ
れたはんだ体積に基づいて良否判定を行うこととしても
よい。

【図面の簡単な説明】

【図１】一実施の形態における三次元計測装置を具備す
るはんだ印刷検査装置を模式的に示す概略構成図であ
る。

【図２】プリント基板の模式平面図と高さ情報を説明す
るためのグラフとを組み合わせた説明図である。

【図３】印刷状態の検査に際し実行される処理内容を説
明するためのフローチャートである。

【符号の説明】

１…はんだ印刷検査装置、２…三次元計測装置、３…照
明装置、４…撮像手段としてのＣＣＤカメラ、７…三次
元計測装置制御部、８…基準高さ設定部、９…はんだ印
刷検査部、Ｋ…基板を構成するプリント基板、Ｃ…はん
だとしてのクリームはんだ。

フロントページの続き Ｆターム(参考） 2C035 AA06 FA27 FB36 FD00 FF00 2F065 AA04 AA24 AA52 AA59 BB02 CC01 CC26 DD03 DD06 FF04 FF26 JJ03 JJ26 KK03 LL03 LL04 LL30 QQ13 QQ14 QQ29 QQ42 RR02 RR03 UU01 UU05 2F069 AA04 AA42 AA96 BB14 BB40 DD15 DD19 GG04 GG07 GG62 HH30 NN05 NN06 NN09 NN10 NN26 PP02 PP06 5E319 AC01 BB05 CD29 CD53

Claims (14)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 少なくとも基板上に設けられたはんだの
   高さを、三次元計測によって求めることに基づいて、は
   んだの印刷状態を検査するはんだ印刷検査装置であっ
   て、 少なくとも所定部位につき、前記三次元計測によって得
   られた高さデータが、設定された基準高さに対しどの程
   度の高さを有しているかに基づいて、前記はんだの高さ
   を求めるよう構成するとともに、前記基準高さを、前記
   三次元計測を行うことで得られた高さ情報に基づいて設
   定するようにしたことを特徴とするはんだ印刷検査装
   置。
2. 【請求項２】 少なくとも所定部位につき、三次元計測
   によって高さデータを計測する高さデータ計測手段と、 基準となる高さを設定する基準高さ設定手段と、 前記基準高さ設定手段にて設定された基準高さに対し、
   前記高さデータ計測手段にて計測された高さデータがど
   の程度の高さを有しているかに基づいて、前記はんだの
   高さを算出するはんだ高さ算出手段とを備え、前記基準
   高さ設定手段は、前記所定部位を含む予め設定された検
   査領域につき、三次元計測によって得られた高さ情報に
   基づいて前記基準高さを設定するものであることを特徴
   とするはんだ印刷検査装置。
3. 【請求項３】 少なくとも所定部位につき、三次元計測
   によって高さデータを計測する高さデータ計測手段と、 基準となる高さを設定する基準高さ設定手段と、 前記基準高さ設定手段にて設定された基準高さに対し、
   前記高さデータ計測手段にて計測された高さデータがど
   の程度の高さを有しているかに基づいて、前記はんだの
   高さを算出するはんだ高さ算出手段と、 前記はんだ高さ算出手段により算出されたはんだの高さ
   に基づいて、少なくとも良否判定を行う検査手段とを備
   え、前記基準高さ設定手段は、前記所定部位を含む予め
   設定された検査領域につき、三次元計測によって得られ
   た高さ情報に基づいて前記基準高さを設定するものであ
   ることを特徴とするはんだ印刷検査装置。
4. 【請求項４】 予め設定された検査領域につき、所定単
   位毎に三次元計測によって絶対的な高さデータを計測す
   る高さデータ計測手段と、 基準となる高さを設定する基準高さ設定手段と、 前記基準高さ設定手段にて設定された基準高さに対し、
   前記高さデータ計測手段にて計測された絶対的な高さデ
   ータがどの程度の高さを有しているかに基づいて、前記
   はんだの高さを算出するはんだ高さ算出手段と、 前記はんだ高さ算出手段により算出されたはんだの高さ
   に基づいて、少なくとも良否判定を行う検査手段とを備
   え、前記基準高さ設定手段は、前記検査領域につき、所
   定単位毎に三次元計測によって計測された絶対的な高さ
   データ群に基づく高さ情報に基づいて前記基準高さを設
   定するものであることを特徴とするはんだ印刷検査装
   置。
5. 【請求項５】 前記基準高さ設定手段は、前記高さデー
   タ群に基づき、少なくとも一方向に前記基板の高さ以上
   の高さデータを積算し、該積算値を積算の対象となった
   単位数で除算することに基づいて前記高さ情報を得るも
   のであることを特徴とする請求項４に記載のはんだ印刷
   検査装置。
6. 【請求項６】 前記基準高さ設定手段は、前記高さデー
   タ群に基づき、少なくとも一方向に前記基板の高さ以上
   の高さデータを積算し、該積算値を積算の対象となった
   単位数で除算し、該除算値を前記一方向と直交する方向
   に求めて、位置に対する高さの関係を示す連結成分を形
   成することに基づいて前記高さ情報を得るものであるこ
   とを特徴とする請求項４に記載のはんだ印刷検査装置。
7. 【請求項７】 前記基準高さ設定手段は、 前記高さデータ群に基づき、第１方向に前記基板の高さ
   以上の高さデータを積算し、該積算値を積算の対象とな
   った単位数で除算し、該除算値を前記第１方向と直交す
   る方向に求めて、位置に対する高さの関係を示す第１の
   連結成分を形成することと、 前記高さデータ群に基づき、前記第１方向と直交又はほ
   ぼ直交する第２方向に前記基板の高さ以上の高さデータ
   を積算し、該積算値を積算の対象となった単位数で除算
   し、該除算値を前記第２方向と直交する方向に求めて、
   位置に対する高さの関係を示す第２の連結成分を形成す
   ることと、に基づいて前記高さ情報を得るものであるこ
   とを特徴とする請求項４に記載のはんだ印刷検査装置。
8. 【請求項８】 前記基準高さ設定手段は、前記連結成分
   を位置に関し微分した上で、極大値及び極小値を示す位
   置に対応する高さに基づいて前記基準高さを設定するこ
   とを特徴とする請求項６又は７に記載のはんだ印刷検査
   装置。
9. 【請求項９】 前記基準高さ設定手段は、前記高さ情報
   を微分した上で、極大値及び極小値を示す位置に対応す
   る高さに基づいて前記基準高さを設定することを特徴と
   する請求項４乃至７のいずれかに記載のはんだ印刷検査
   装置。
10. 【請求項１０】 前記基準高さ設定手段は、前記高さ情
    報が最小値又はほぼ最小値を示す位置に対応する高さに
    基づいて前記基準高さを設定することを特徴とする請求
    項４乃至７のいずれかに記載のはんだ印刷検査装置。
11. 【請求項１１】 前記基準高さ設定手段は、前記高さ情
    報を微分した上で、極大値及び極小値を示す位置に対応
    する高さと、前記高さ情報が最小値又はほぼ最小値を示
    す位置に対応する高さとを考慮することに基づいて前記
    基準高さを設定することを特徴とする請求項４乃至７の
    いずれかに記載のはんだ印刷検査装置。
12. 【請求項１２】 前記基準高さ設定手段は、複数の位置
    に対応する前記高さを平均した値を基準高さとして設定
    するものであることを特徴とする請求項８乃至１１のい
    ずれかに記載のはんだ印刷検査装置。
13. 【請求項１３】 前記はんだ高さ算出手段は、前記高さ
    データ計測手段にて計測された絶対的な高さデータの位
    置情報に応じて採用する基準高さを変更することを特徴
    とする請求項４乃至１２のいずれかに記載のはんだ印刷
    検査装置。
14. 【請求項１４】 少なくとも撮像手段を具備し、予め設
    定された検査領域につき、画素単位毎に三次元計測によ
    って絶対的な高さデータを計測する高さデータ計測手段
    と、 基準となる高さを設定する基準高さ設定手段と、 前記基準高さ設定手段にて設定された基準高さに対し、
    前記高さデータ計測手段にて計測された絶対的な高さデ
    ータがどの程度の高さを有しているかに基づいて、前記
    はんだの高さを算出するはんだ高さ算出手段と、 前記はんだ高さ算出手段により算出されたはんだの高
    さ、及び、高さに基づいて算出されたはんだの体積の少
    なくとも一方に基づいて、はんだに関し良否判定を行う
    検査手段とを備えたはんだ印刷検査装置であって、 前記基準高さ設定手段は、前記検査領域につき、画素単
    位毎に三次元計測によって計測された絶対的な高さデー
    タ群に基づいて、第１方向に前記基板の高さ以上の高さ
    データを積算し、該積算値を積算の対象となった単位数
    で除算し、該除算値を前記第１方向と直交する方向に求
    めて、位置に対する高さの関係を示す第１の連結成分を
    形成することと、 前記高さデータ群に基づき、前記第１方向と直交又はほ
    ぼ直交する第２方向に前記基板の高さ以上の高さデータ
    を積算し、該積算値を積算の対象となった単位数で除算
    し、該除算値を前記第２方向と直交する方向に求めて、
    位置に対する高さの関係を示す第２の連結成分を形成す
    ることとを行い、 さらに、前記各連結成分を、位置に関し微分した上で、
    極大値及び極小値を示す位置に対応する高さに基づいて
    前記基準高さを設定するものであることを特徴とするは
    んだ印刷検査装置。