JP6992100B2 - ガス状汚染物の分解・酸化をコントロールする装置及びシステム - Google Patents
ガス状汚染物の分解・酸化をコントロールする装置及びシステム Download PDFInfo
- Publication number
- JP6992100B2 JP6992100B2 JP2020020446A JP2020020446A JP6992100B2 JP 6992100 B2 JP6992100 B2 JP 6992100B2 JP 2020020446 A JP2020020446 A JP 2020020446A JP 2020020446 A JP2020020446 A JP 2020020446A JP 6992100 B2 JP6992100 B2 JP 6992100B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- chamber
- flame
- wall
- waste gas
- fuel
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000000354 decomposition reaction Methods 0.000 title claims description 24
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 title description 18
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 title description 18
- 239000003344 environmental pollutant Substances 0.000 title description 14
- 231100000719 pollutant Toxicity 0.000 title description 14
- 239000002912 waste gas Substances 0.000 claims description 127
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims description 124
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims description 76
- 239000000446 fuel Substances 0.000 claims description 68
- 238000010791 quenching Methods 0.000 claims description 46
- 230000000171 quenching effect Effects 0.000 claims description 46
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 37
- 239000008187 granular material Substances 0.000 claims description 21
- 238000002485 combustion reaction Methods 0.000 claims description 19
- 239000000356 contaminant Substances 0.000 claims description 17
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 8
- 230000008569 process Effects 0.000 claims description 6
- 238000002156 mixing Methods 0.000 claims description 5
- 230000008021 deposition Effects 0.000 claims description 2
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 21
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 9
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 9
- 239000007800 oxidant agent Substances 0.000 description 8
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 7
- 230000001590 oxidative effect Effects 0.000 description 7
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 7
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 7
- 239000000498 cooling water Substances 0.000 description 6
- 239000000945 filler Substances 0.000 description 6
- 230000006698 induction Effects 0.000 description 5
- 238000009825 accumulation Methods 0.000 description 4
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 4
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 4
- VNWKTOKETHGBQD-UHFFFAOYSA-N methane Chemical compound C VNWKTOKETHGBQD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 4
- 239000006227 byproduct Substances 0.000 description 3
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 3
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 3
- 230000001965 increasing effect Effects 0.000 description 3
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 3
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 3
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 3
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 3
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N Carbon dioxide Chemical compound O=C=O CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- MYMOFIZGZYHOMD-UHFFFAOYSA-N Dioxygen Chemical compound O=O MYMOFIZGZYHOMD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- ATUOYWHBWRKTHZ-UHFFFAOYSA-N Propane Chemical compound CCC ATUOYWHBWRKTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 2
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 2
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 2
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 2
- 238000013461 design Methods 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 229910001882 dioxygen Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000001939 inductive effect Effects 0.000 description 2
- 239000003915 liquefied petroleum gas Substances 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 238000011160 research Methods 0.000 description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 2
- ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N Boron Chemical compound [B] ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UGFAIRIUMAVXCW-UHFFFAOYSA-N Carbon monoxide Chemical compound [O+]#[C-] UGFAIRIUMAVXCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CBENFWSGALASAD-UHFFFAOYSA-N Ozone Chemical compound [O-][O+]=O CBENFWSGALASAD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BUGBHKTXTAQXES-UHFFFAOYSA-N Selenium Chemical compound [Se] BUGBHKTXTAQXES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000002159 abnormal effect Effects 0.000 description 1
- 238000004220 aggregation Methods 0.000 description 1
- 230000002776 aggregation Effects 0.000 description 1
- 229910052787 antimony Inorganic materials 0.000 description 1
- WATWJIUSRGPENY-UHFFFAOYSA-N antimony atom Chemical compound [Sb] WATWJIUSRGPENY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052785 arsenic Inorganic materials 0.000 description 1
- RQNWIZPPADIBDY-UHFFFAOYSA-N arsenic atom Chemical compound [As] RQNWIZPPADIBDY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 229910052796 boron Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910002092 carbon dioxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000001569 carbon dioxide Substances 0.000 description 1
- 229910002091 carbon monoxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 1
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 230000003670 easy-to-clean Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 230000002349 favourable effect Effects 0.000 description 1
- 229910052732 germanium Inorganic materials 0.000 description 1
- GNPVGFCGXDBREM-UHFFFAOYSA-N germanium atom Chemical compound [Ge] GNPVGFCGXDBREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052736 halogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000002367 halogens Chemical class 0.000 description 1
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 238000012806 monitoring device Methods 0.000 description 1
- 239000003345 natural gas Substances 0.000 description 1
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052698 phosphorus Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011574 phosphorus Substances 0.000 description 1
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 1
- 239000004800 polyvinyl chloride Substances 0.000 description 1
- 238000001556 precipitation Methods 0.000 description 1
- 239000000047 product Substances 0.000 description 1
- 239000001294 propane Substances 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 229910052711 selenium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011669 selenium Substances 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 235000012239 silicon dioxide Nutrition 0.000 description 1
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 1
- 230000003746 surface roughness Effects 0.000 description 1
- 231100000331 toxic Toxicity 0.000 description 1
- 230000002588 toxic effect Effects 0.000 description 1
- 230000032258 transport Effects 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D53/00—Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols
- B01D53/34—Chemical or biological purification of waste gases
- B01D53/74—General processes for purification of waste gases; Apparatus or devices specially adapted therefor
- B01D53/75—Multi-step processes
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F23—COMBUSTION APPARATUS; COMBUSTION PROCESSES
- F23G—CREMATION FURNACES; CONSUMING WASTE PRODUCTS BY COMBUSTION
- F23G7/00—Incinerators or other apparatus for consuming industrial waste, e.g. chemicals
- F23G7/06—Incinerators or other apparatus for consuming industrial waste, e.g. chemicals of waste gases or noxious gases, e.g. exhaust gases
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D21/00—Separation of suspended solid particles from liquids by sedimentation
- B01D21/26—Separation of sediment aided by centrifugal force or centripetal force
- B01D21/267—Separation of sediment aided by centrifugal force or centripetal force by using a cyclone
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D45/00—Separating dispersed particles from gases or vapours by gravity, inertia, or centrifugal forces
- B01D45/12—Separating dispersed particles from gases or vapours by gravity, inertia, or centrifugal forces by centrifugal forces
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D47/00—Separating dispersed particles from gases, air or vapours by liquid as separating agent
- B01D47/02—Separating dispersed particles from gases, air or vapours by liquid as separating agent by passing the gas or air or vapour over or through a liquid bath
- B01D47/022—Separating dispersed particles from gases, air or vapours by liquid as separating agent by passing the gas or air or vapour over or through a liquid bath by using a liquid curtain
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D47/00—Separating dispersed particles from gases, air or vapours by liquid as separating agent
- B01D47/06—Spray cleaning
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D47/00—Separating dispersed particles from gases, air or vapours by liquid as separating agent
- B01D47/06—Spray cleaning
- B01D47/063—Spray cleaning with two or more jets impinging against each other
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D47/00—Separating dispersed particles from gases, air or vapours by liquid as separating agent
- B01D47/14—Packed scrubbers
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D53/00—Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols
- B01D53/005—Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols by heat treatment
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D53/00—Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols
- B01D53/34—Chemical or biological purification of waste gases
- B01D53/346—Controlling the process
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D53/00—Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols
- B01D53/34—Chemical or biological purification of waste gases
- B01D53/38—Removing components of undefined structure
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D53/00—Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols
- B01D53/34—Chemical or biological purification of waste gases
- B01D53/46—Removing components of defined structure
- B01D53/64—Heavy metals or compounds thereof, e.g. mercury
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D53/00—Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols
- B01D53/34—Chemical or biological purification of waste gases
- B01D53/46—Removing components of defined structure
- B01D53/72—Organic compounds not provided for in groups B01D53/48 - B01D53/70, e.g. hydrocarbons
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D53/00—Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols
- B01D53/34—Chemical or biological purification of waste gases
- B01D53/73—After-treatment of removed components
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D53/00—Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols
- B01D53/34—Chemical or biological purification of waste gases
- B01D53/74—General processes for purification of waste gases; Apparatus or devices specially adapted therefor
- B01D53/76—Gas phase processes, e.g. by using aerosols
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D53/00—Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols
- B01D53/34—Chemical or biological purification of waste gases
- B01D53/74—General processes for purification of waste gases; Apparatus or devices specially adapted therefor
- B01D53/77—Liquid phase processes
- B01D53/78—Liquid phase processes with gas-liquid contact
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D53/00—Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols
- B01D53/34—Chemical or biological purification of waste gases
- B01D53/74—General processes for purification of waste gases; Apparatus or devices specially adapted therefor
- B01D53/77—Liquid phase processes
- B01D53/79—Injecting reactants
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F01—MACHINES OR ENGINES IN GENERAL; ENGINE PLANTS IN GENERAL; STEAM ENGINES
- F01N—GAS-FLOW SILENCERS OR EXHAUST APPARATUS FOR MACHINES OR ENGINES IN GENERAL; GAS-FLOW SILENCERS OR EXHAUST APPARATUS FOR INTERNAL COMBUSTION ENGINES
- F01N3/00—Exhaust or silencing apparatus having means for purifying, rendering innocuous, or otherwise treating exhaust
- F01N3/08—Exhaust or silencing apparatus having means for purifying, rendering innocuous, or otherwise treating exhaust for rendering innocuous
- F01N3/10—Exhaust or silencing apparatus having means for purifying, rendering innocuous, or otherwise treating exhaust for rendering innocuous by thermal or catalytic conversion of noxious components of exhaust
- F01N3/24—Exhaust or silencing apparatus having means for purifying, rendering innocuous, or otherwise treating exhaust for rendering innocuous by thermal or catalytic conversion of noxious components of exhaust characterised by constructional aspects of converting apparatus
- F01N3/26—Construction of thermal reactors
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F23—COMBUSTION APPARATUS; COMBUSTION PROCESSES
- F23G—CREMATION FURNACES; CONSUMING WASTE PRODUCTS BY COMBUSTION
- F23G7/00—Incinerators or other apparatus for consuming industrial waste, e.g. chemicals
- F23G7/06—Incinerators or other apparatus for consuming industrial waste, e.g. chemicals of waste gases or noxious gases, e.g. exhaust gases
- F23G7/061—Incinerators or other apparatus for consuming industrial waste, e.g. chemicals of waste gases or noxious gases, e.g. exhaust gases with supplementary heating
- F23G7/065—Incinerators or other apparatus for consuming industrial waste, e.g. chemicals of waste gases or noxious gases, e.g. exhaust gases with supplementary heating using gaseous or liquid fuel
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F23—COMBUSTION APPARATUS; COMBUSTION PROCESSES
- F23G—CREMATION FURNACES; CONSUMING WASTE PRODUCTS BY COMBUSTION
- F23G7/00—Incinerators or other apparatus for consuming industrial waste, e.g. chemicals
- F23G7/06—Incinerators or other apparatus for consuming industrial waste, e.g. chemicals of waste gases or noxious gases, e.g. exhaust gases
- F23G7/08—Incinerators or other apparatus for consuming industrial waste, e.g. chemicals of waste gases or noxious gases, e.g. exhaust gases using flares, e.g. in stacks
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D2251/00—Reactants
- B01D2251/10—Oxidants
- B01D2251/102—Oxygen
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D2251/00—Reactants
- B01D2251/10—Oxidants
- B01D2251/104—Ozone
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D2251/00—Reactants
- B01D2251/10—Oxidants
- B01D2251/11—Air
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D2251/00—Reactants
- B01D2251/20—Reductants
- B01D2251/202—Hydrogen
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D2251/00—Reactants
- B01D2251/20—Reductants
- B01D2251/208—Hydrocarbons
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D2257/00—Components to be removed
- B01D2257/55—Compounds of silicon, phosphorus, germanium or arsenic
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D2258/00—Sources of waste gases
- B01D2258/02—Other waste gases
- B01D2258/0216—Other waste gases from CVD treatment or semi-conductor manufacturing
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F23—COMBUSTION APPARATUS; COMBUSTION PROCESSES
- F23G—CREMATION FURNACES; CONSUMING WASTE PRODUCTS BY COMBUSTION
- F23G2209/00—Specific waste
- F23G2209/14—Gaseous waste or fumes
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F23—COMBUSTION APPARATUS; COMBUSTION PROCESSES
- F23G—CREMATION FURNACES; CONSUMING WASTE PRODUCTS BY COMBUSTION
- F23G2209/00—Specific waste
- F23G2209/14—Gaseous waste or fumes
- F23G2209/142—Halogen gases, e.g. silane
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Environmental & Geological Engineering (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Oil, Petroleum & Natural Gas (AREA)
- Biomedical Technology (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Dispersion Chemistry (AREA)
- Combustion & Propulsion (AREA)
- Toxicology (AREA)
- Thermal Sciences (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Treating Waste Gases (AREA)
- Incineration Of Waste (AREA)
- Devices And Processes Conducted In The Presence Of Fluids And Solid Particles (AREA)
- Physical Or Chemical Processes And Apparatus (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Processing Of Solid Wastes (AREA)
Description
本発明は、2017年7月7日に提出された米国仮出願第62/529795号の優先権を主張し、その全ての記載内容は参照する形で本発明に援用する。
第1の内側環状壁と、当該第1の内側環状壁と同心に設けられる第1の外側環状壁と、当該第1の内側環状壁と当該第1の外側環状壁との間に設けられ且つ当該第1のチャンバーに連通して燃料を供給する少なくとも1つのガス通路と、当該第1の内側環状壁の誘導火炎入口に設けられ、当該第1の内側環状壁によって画成される当該第1のチャンバーに連通する第1の内部空間とを含む第1の中間層と、
第2のチャンバーであって、環状の第2の内壁と、当該第2の内壁と同心に設けられる第2の外壁とを含み、当該第2の内壁によって当該第1の中間層に連通する第2のチャンバーが画成され、当該第2の外壁はガスが内側に向かって第2のチャンバーに流動する少なくとも1つの吸気通路を含む第2のチャンバーと、
第2の内側環状壁と、当該第2の内側環状壁と同心に設けられる第2の外側環状壁とを含み、当該第2の内側環状壁によって当該第2のチャンバーに連通する第2の内部空間が画成される第2の中間層と、
第3のチャンバーであって、環状の第3の内壁と、当該第3の内壁と同心に設けられる第3の外壁とを含み、当該第3の内壁によって当該第2の中間層に連通する第3のチャンバーが画成され、少なくとも1つの液体通路は当該第3の外壁に設けられ、且つ、当該第3の内壁を通して液体を当該第3のチャンバー内に取り入れる第3のチャンバーとを含む。
第1の内側環状壁と、当該第1の内側環状壁と同心に設けられる第1の外側環状壁と、当該第1の内側環状壁と当該第1の外側環状壁との間に設けられ且つ当該第1のチャンバーに連通して燃料を供給する少なくとも1つのガス通路と、当該第1の内側環状壁に設けられる誘導火炎入口と含み、ただし、当該第1の内側環状壁によって当該第1のチャンバーに連通する第1の内部空間が画成される第1の中間層と、
第2のチャンバーであって、環状の第2の内壁と、当該第2の内壁と同心に設けられる第2の外壁とを含み、当該第2の内壁によって当該第1の中間層に連通する第2のチャンバーが画成される第2のチャンバーと、
第2の内側環状壁と、当該第2の内側環状壁と同心に設けられる第2の外側環状壁とを含み、当該第2の内側環状壁によって当該第2のチャンバーに連通する第2の内部空間が画成される第2の中間層と、
第3のチャンバーであって、環状の第3の内壁と、当該第3の内壁と同心に設けられる第3の外壁とを含み、当該第3の内壁によって当該第2の中間層に連通する第3のチャンバーが画成され、少なくとも1つの液体通路は当該第3の外壁に設けられ、且つ、当該第3の内壁を通して液体を当該第3のチャンバー内に取り入れる第3のチャンバーとを含む。
当該コントロール部は当該反応部、当該洗浄部、又は当該水力旋回部の片側において地面に対して垂直であるように上向きに延伸し、且つ、平行に隣接するように設けられ、当該コントロール部は当該設備部の当該反応部、当該洗浄部、当該水力旋回部及び当該水タンクにそれぞれ電気的に接続される複数のコントロールスイッチを含む。
(1)本発明は、2段階に設計されている反応部により、廃ガスが当該反応部に入ったら一定の距離で移動しながら漸次加熱される。廃ガスが装置に入ったらすぐに燃焼されるという従来の装置とは異なり、本発明は、廃ガス中の顆粒が燃焼室に詰まっていて燃焼しきれないという問題を効果的に緩和できる。
図1Aは、本発明のガス状汚染物の分解・酸化をコントロールする装置1の正面図であり、図1Bはその背面図である。当該装置は主に反応部10と、洗浄部20と、水力旋回部30と、当該反応部10、当該洗浄部20及び当該水力旋回部30にそれぞれ接続される水タンク40と含む。
一つの実施例において、第1のガスは当該第1のガス通路124を経由して当該第1の中間空間123に入り、第2のガスは当該第2のガス通路125を経由して当該第1の中間空間123に入り、当該第1のガスと当該第2のガスとが当該第1の中間空間123で混合され、混合後これらのノズル1212によって当該第1の内部空間1211に送り込まれる。別の実施例において、当該第1のガスと当該第2のガスとが外部で混合されて予混合ガスになり、当該予混合ガスは当該第1のガス通路124及び当該第2のガス通路125を経由して当該第1の中間空間123に入り、さらに当該第1の中間空間123において混合後、これらのノズル1212によって当該第1の内部空間1211に送り込まれる。また、別の実施例において、当該第1のガスは当該上方ガス通路127aを経由して下向きに移動して当該第1の中間空間123に入り、当該第2のガスは当該下方ガス通路127bを経由して上向きに移動して当該第1の中間空間123に入り、当該第1のガスと当該第2のガスとが当該第1の中間空間123で混合され、混合後これらのノズル1212によって当該第1の内部空間1211に送り込まれる。また、別の実施例において、当該第1のガスと当該第2のガスとが外部で混合されて当該予混合ガスになり、当該予混合ガスは当該上方ガス通路127a及び当該下方ガス通路127bを経由して当該第1の中間空間123に入り、さらに当該第1の中間空間123において混合後、これらのノズル1212によって当該第1の内部空間1211に送り込まれる。当該第1のガスは燃料であってもよく、水素ガス、メタン、天然ガス、プロパン、液化石油ガス(LPG)又はこれらの混合物を含むがこれらに限定されず、当該第2のガスは酸化剤(oxidant)であってもよく、酸素ガス、オゾン、空気、圧縮空気(CDA)、酸素富化空気又はこれらの混合物を含むがこれらに限定されない。
別の実施例において、図14が参照されるように、当該熱反応器90は、熱反応ユニット91と、急冷ユニット92と、点火ユニット93とを含み、当該熱反応ユニット91はチャンバー911と、少なくとも1つの廃ガス入口912とを含み、当該廃ガス入口912は当該チャンバー911に連通して当該チャンバー911に廃ガスGwを取り入れ、当該点火ユニット93は当該熱反応ユニット91の下方において当該熱反応ユニット91に接続されるように設けられ、当該点火ユニット93は外壁と、内壁と、当該外壁と当該内壁との間に限定される予混合チャンバーと、当該内壁によって限定される火炎チャンバー931とを含み、当該点火ユニット93の構造に関して図4A及び図4Bを参照することができる。当該急冷ユニット92は、当該熱反応ユニット91からの気流Gsを受け入れるように、点火ユニット93の下方において当該点火ユニット93に接続されるように設けられ、ただし、当該急冷ユニット92は当該急冷ユニット92の内壁921を流れる水幕Wを含む。
別の実施例において、図16が参照されるように、当該熱反応器90は第1の熱反応ユニット91Aと、急冷ユニット92と、点火ユニット93と、第2の熱反応ユニット94と、酸素富化ガス供給ユニット95とを含み、当該第1の熱反応ユニット91はチャンバー911と、少なくとも1つの廃ガス入口912とを含み、当該廃ガス入口912は当該チャンバー911に連通して当該チャンバー911に廃ガスGwを取り入れ、当該点火ユニット93は火炎チャンバー931を含み、当該火炎チャンバー931は当該チャンバー911に連通し、当該火炎チャンバー931内に燃料Fと、当該燃料Fを点火する誘導火炎932とが設けられ、当該第2の熱反応ユニット94は当該点火ユニット93の下方に設けられ、当該第2の熱反応ユニット94はセラミック部941と、内壁942と、当該内壁942によって限定されるチャンバー943と、当該内壁942に穿設されて気流Aを供給する少なくとも1つの吸気孔944と、当該気流Aを供給する気流通路945とを含む。本実施例において、当該気流Aは室温の空気であってもよく、当該酸素富化ガス供給ユニット95は少なくとも1つの吸気孔951を含むように、当該第2の熱反応ユニット94の下方に設けられ、当該酸素富化ガス供給ユニット95は当該吸気孔951から酸素富化ガスGoを当該熱反応器90の当該チャンバー911に輸送し、当該急冷ユニット92は当該第1の熱反応ユニット91Aからの気流Gsを受け入れるように、第1の熱反応ユニット91Aの下方において当該チャンバー911に連通するように設けられ、ただし、当該急冷ユニット92は当該急冷ユニット92の内壁921を流れる水幕Wを含む。
2 ハウジング
10 反応部
11 第1のチャンバー
111 第1の内壁
112 第1の外壁112
113 第1のチャンバー
131 第2の内壁
132 第2の外壁
1321 吸気通路
133 第2のチャンバー
114 廃ガス吸気通路
1141 第1の部材
1142 第2の部材
1143 接続部材
12 第1の中間層
121 第1の内側環状壁
1211 第1の内部空間
1212 ノズル
1213 誘導火炎入口
122 第1の外側環状壁
123 第1の中間空間
1231 環状通路
124 第1のガス通路
125 第2のガス通路
126 冷却水通路
127a 上方ガス通路
127b 下方ガス通路
13 第2のチャンバー
14 第2の中間層
141 第2の内側環状壁
1411 第2の内部空間
142 第2の外側環状壁
1421 酸化剤通路
143 第2の中間空間
15 第3のチャンバー
151 第3の内壁
152 第3の外壁
153 第3のチャンバー
154 液体通路
155 貯蔵空間
16 上蓋板
20 洗浄部
30 水力旋回部
40 水タンク
41 前面
42 背面
43 上面
431 連通口
44 開口部
50 センサー
70 コントロール部
80 有線又は無線装置
90 熱反応器
91 熱反応ユニット
911 チャンバー
912 廃ガス入口
913 火炎領域
914 側壁
915 燃料入口
916 誘導火炎入口
917 誘導火炎
918 燃料Fは予混合チャンバー
92 急冷ユニット
921 内壁
93 点火ユニット
931 火炎チャンバー
932 誘導火炎
933 燃料入口
934 誘導火炎入口
91A 第1の熱反応ユニット
94 第2の熱反応ユニット
941 セラミック部
942 内壁
943 チャンバー
943a 円錐状のチャンバー
9431a 上部開口
9432a 底部開口
944 吸気孔
944a 斜め吸気孔
945 気流通路
95 酸素富化ガス供給ユニット
951 吸気孔
Claims (15)
- 熱反応ユニットと急冷ユニットとを含み、
前記熱反応ユニットは、
側壁を有するチャンバーと、
前記側壁に穿設され、前記チャンバーに連通して縦方向以外の方向から前記チャンバー内に廃ガスを取り入れる少なくとも1つの廃ガス入口と、
前記廃ガス入口の下方に設けられる誘導火炎入口と、
廃ガスが取り入れられる前記チャンバーの下方において、前記廃ガス入口の下方に位置するように形成される火炎領域と、を含み、
前記廃ガス入口と前記誘導火炎入口との間に鉛直の軸方向において下向きに漸次昇温する温度勾配が形成され、前記廃ガスは、縦方向以外の方向から前記チャンバー内に入り、前記チャンバーに入ったら垂直距離で下向きに燃焼遅延距離を移動してから前記火炎領域に入り、
前記急冷ユニットは、前記熱反応ユニットからの気流を受け入れるように、前記熱反応ユニットの下方において前記熱反応ユニットに接続されるように設けられ、前記急冷ユニットの内壁を流れる水幕を含む、廃ガスから汚染物を除去する熱反応器。 - 前記熱反応ユニットは、前記チャンバーに連通して、前記チャンバーでの前記廃ガスの分解過程に使用される燃料を取り入れる少なくとも1つの燃料入口をさらに含むことを特徴とする請求項1に記載の熱反応器。
- 前記燃料入口及び前記誘導火炎入口は前記廃ガス入口の下方に設けられ、且つ、前記廃ガス入口は前記燃料入口とも前記誘導火炎入口とも燃焼遅延距離を隔てることを特徴とする請求項2に記載の熱反応器。
- 前記熱反応ユニットの一部が点火ユニットとして構成され、
前記点火ユニットは、前記チャンバーの下方において前記チャンバーに連通する火炎チャンバーを含み、前記火炎チャンバー内に燃料と、前記燃料を点火する誘導火炎とが設けられ、ただし、前記廃ガスは前記チャンバーに入ったら一定の垂直距離で下向きに移動して前記火炎チャンバーに入ってから前記燃料及び前記誘導火炎に接触することを特徴とする請求項2に記載の熱反応器。 - 前記点火ユニットは、前記チャンバーに連通して、前記チャンバーでの前記廃ガスの分解過程に使用される前記燃料を取り入れる少なくとも1つの燃料入口をさらに含むことを特徴とする請求項4に記載の熱反応器。
- 前記点火ユニットは、前記チャンバーに連通して前記燃料を点火する誘導火炎入口をさらに含むことを特徴とする請求項4に記載の熱反応器。
- 前記熱反応ユニットの一部が点火ユニットとして構成され、
前記点火ユニットは、前記チャンバーの下方において前記チャンバーに連通する火炎チャンバーを含み、前記火炎チャンバー内に燃料と、前記燃料を点火する誘導火炎とが設けられ、ただし、前記廃ガスは前記チャンバーに入ったら垂直距離で下向きに移動して前記火炎チャンバーに入ってから前記燃料及び前記誘導火炎に接触し、前記廃ガス入口と前記誘導火炎との間に鉛直の軸方向において下向きに漸次昇温する温度勾配が形成されることを特徴とする請求項2に記載の熱反応器。 - 前記点火ユニットは、前記チャンバーに連通して、前記チャンバーでの前記廃ガスの分解過程に使用される前記燃料を取り入れる少なくとも1つの燃料入口をさらに含むことを特徴とする請求項7に記載の熱反応器。
- 前記点火ユニットは、前記チャンバーに連通して前記燃料を点火する誘導火炎入口をさらに含むことを特徴とする請求項7に記載の熱反応器。
- 前記熱反応ユニットの一部が点火ユニットとして構成され、
前記点火ユニットは、外壁、内壁、前記外壁と前記内壁との間に限定される予混合チャンバーと、前記内壁によって限定される火炎チャンバーとを含むことを特徴とする請求項2に記載の熱反応器。 - 前記点火ユニットは、前記内壁に設けられ、前記火炎チャンバーに連通して、前記火炎チャンバーでの前記廃ガスの分解過程に使用される燃料を取り入れる少なくとも1つの燃料入口をさらに含むことを特徴とする請求項10に記載の熱反応器。
- 前記点火ユニットは、前記内壁に設けられ、前記火炎チャンバーに連通して燃料を点火する誘導火炎入口をさらに含むことを特徴とする請求項10に記載の熱反応器。
- 前記予混合チャンバー内に燃料と、前記燃料と混合するガスとが設けられ、前記火炎チャンバーは前記内壁に設けられる少なくとも1つの貫通孔を介して前記予混合チャンバーに連通し、前記燃料は前記予混合チャンバーで前記ガスと混合されてから前記貫通孔を介して前記火炎チャンバーに入り誘導火炎によって点火されることを特徴とする請求項10に記載の熱反応器。
- 前記熱反応ユニットは、第1の熱反応ユニットと点火ユニットと第2の熱反応ユニットで構成され、
前記第1の熱反応ユニットは、チャンバーと、前記チャンバーに連通して前記チャンバー内に廃ガスを取り入れる少なくとも1つの廃ガス入口とを含み、
前記点火ユニットは、前記第1の熱反応ユニットの下方に設けられ、前記チャンバーに連通する火炎チャンバーを含み、前記火炎チャンバー内に燃料と、前記燃料を点火する誘導火炎とが設けられ、
前記第2の熱反応ユニットは、前記点火ユニットの下方に設けられ、前記点火ユニットは傾斜内壁と、前記傾斜内壁によって限定される円錐状のチャンバーと、前記傾斜内壁に穿設され、気流を供給する少なくとも1つの吸気通路とを含み、ただし、前記気流は下向きに斜め噴射されて前記円錐状のチャンバーに入り前記傾斜内壁への前記廃ガスの顆粒の堆積を緩和することを特徴とする請求項2に記載の熱反応器。 - 前記円錐状のチャンバーは前記火炎チャンバーに連通する上部開口と、口径が前記上部開口より大きい底部開口とを有することを特徴とする請求項14に記載の熱反応器。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US201762529795P | 2017-07-07 | 2017-07-07 | |
US62/529,795 | 2017-07-07 |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2020522275A Division JP6968274B2 (ja) | 2017-07-07 | 2018-07-05 | ガス状汚染物の分解・酸化をコントロールする装置及びシステム |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2020201030A JP2020201030A (ja) | 2020-12-17 |
JP6992100B2 true JP6992100B2 (ja) | 2022-01-13 |
Family
ID=64950263
Family Applications (3)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2020522275A Active JP6968274B2 (ja) | 2017-07-07 | 2018-07-05 | ガス状汚染物の分解・酸化をコントロールする装置及びシステム |
JP2020020446A Active JP6992100B2 (ja) | 2017-07-07 | 2020-02-10 | ガス状汚染物の分解・酸化をコントロールする装置及びシステム |
JP2020020429A Active JP7191056B2 (ja) | 2017-07-07 | 2020-02-10 | ガス状汚染物の分解・酸化をコントロールする装置及びシステム |
Family Applications Before (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2020522275A Active JP6968274B2 (ja) | 2017-07-07 | 2018-07-05 | ガス状汚染物の分解・酸化をコントロールする装置及びシステム |
Family Applications After (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2020020429A Active JP7191056B2 (ja) | 2017-07-07 | 2020-02-10 | ガス状汚染物の分解・酸化をコントロールする装置及びシステム |
Country Status (7)
Country | Link |
---|---|
US (4) | US10946334B2 (ja) |
JP (3) | JP6968274B2 (ja) |
KR (3) | KR102318517B1 (ja) |
CN (5) | CN111306559A (ja) |
MY (3) | MY194516A (ja) |
SG (3) | SG10202001086WA (ja) |
WO (1) | WO2019009811A2 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20220017469A (ko) * | 2019-11-21 | 2022-02-11 | 에코시스 피티이.엘티디. | 가스상 오염 물질 처리 장치 |
CN112370917A (zh) * | 2020-10-30 | 2021-02-19 | 张全连 | 一种VOCs工业废气处理系统 |
CN114923193B (zh) * | 2022-06-07 | 2023-03-17 | 上海协微环境科技有限公司 | 一种有害气体燃烧反应器 |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001082723A (ja) | 1999-07-14 | 2001-03-30 | Nippon Sanso Corp | 燃焼式除害装置及び燃焼式除害装置用バーナー |
JP2001165422A (ja) | 1999-12-10 | 2001-06-22 | Iwatani Internatl Corp | 半導体製造工程からの排ガスの除害装置 |
JP2004028546A (ja) | 2002-06-25 | 2004-01-29 | Iwatani Internatl Corp | 燃焼式縦型除害装置 |
JP2004053219A (ja) | 2002-07-24 | 2004-02-19 | Nippon Sanso Corp | 燃焼除害装置 |
JP2007519878A (ja) | 2003-12-19 | 2007-07-19 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド | ガス状汚染物質を制御可能に燃焼させるための装置および方法 |
JP2008161861A (ja) | 2006-12-05 | 2008-07-17 | Ebara Corp | 燃焼式排ガス処理装置 |
JP2010014322A (ja) | 2008-07-03 | 2010-01-21 | Iwatani Industrial Gases Corp | 排ガスの燃焼式除害装置 |
JP2016520788A (ja) | 2013-04-15 | 2016-07-14 | エアガード,インコーポレイテッド | 洗浄装置内の延長又は多数反応部 |
Family Cites Families (35)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS52146083A (en) * | 1976-05-27 | 1977-12-05 | Toshiba Corp | Burner for sealing sealed-beam type lamps |
US5123836A (en) * | 1988-07-29 | 1992-06-23 | Chiyoda Corporation | Method for the combustion treatment of toxic gas-containing waste gas |
US5462429A (en) * | 1993-10-20 | 1995-10-31 | Praxair Technology, Inc. | Mechanical wiper for waste gas incinerator |
JP3486022B2 (ja) * | 1995-10-16 | 2004-01-13 | ジャパン・エア・ガシズ株式会社 | 排ガス処理装置 |
KR0172185B1 (ko) * | 1996-01-23 | 1999-02-18 | 김경균 | 폐가스 유해성분 처리장치와 방법 |
JPH10137630A (ja) * | 1996-11-11 | 1998-05-26 | Nikuni:Kk | 液体処理装置 |
JP4066107B2 (ja) * | 1997-11-21 | 2008-03-26 | 株式会社荏原製作所 | 排ガス処理用燃焼器 |
US6153150A (en) * | 1998-01-12 | 2000-11-28 | Advanced Technology Materials, Inc. | Apparatus and method for controlled decomposition oxidation of gaseous pollutants |
WO2000032990A1 (fr) * | 1998-12-01 | 2000-06-08 | Ebara Corporation | Dispositif de traitement des gaz d'echappement |
KR100328632B1 (ko) * | 1999-08-14 | 2002-03-23 | 조현기 | 복합 가스 스크러버 시스템 |
JP2001059613A (ja) * | 1999-08-20 | 2001-03-06 | Iwatani Internatl Corp | 半導体製造工程からの排ガスの除害装置 |
JP3994605B2 (ja) * | 1999-11-26 | 2007-10-24 | 株式会社日立製作所 | Pfcガスの処理方法及び処理装置 |
US6948929B2 (en) * | 2000-10-02 | 2005-09-27 | Ebara Corporation | Combustion type waste gas treatment system |
JP4211227B2 (ja) | 2001-03-16 | 2009-01-21 | 株式会社日立製作所 | 過弗化物の処理方法及びその処理装置 |
JP2004068556A (ja) | 2002-08-02 | 2004-03-04 | Tomoji Kato | 庭園用貯水槽 |
CN1580636A (zh) * | 2003-08-04 | 2005-02-16 | 华懋科技股份有限公司 | 旋涡式反应腔毒性气体处理装置及方法 |
CN1253236C (zh) | 2003-09-09 | 2006-04-26 | 华懋科技股份有限公司 | 全氟化物废气处理方法 |
US7736599B2 (en) * | 2004-11-12 | 2010-06-15 | Applied Materials, Inc. | Reactor design to reduce particle deposition during process abatement |
JP4594065B2 (ja) | 2004-12-21 | 2010-12-08 | ローム株式会社 | 半導体製造プロセスからの排気ガスに含まれるフッ素化合物の処理装置及び処理方法 |
DE102006027882B4 (de) * | 2005-09-02 | 2009-04-30 | Clean Systems Korea Inc., Seongnam | Wäscher zum Behandeln von Halbleiter-Abgas |
KR100623368B1 (ko) | 2005-09-02 | 2006-09-12 | 크린시스템스코리아(주) | 반도체 제조 장비용 직접 연소식 스크러버 |
EP1954926A2 (en) * | 2005-10-31 | 2008-08-13 | Applied Materials, Inc. | Process abatement reactor |
US8591819B2 (en) * | 2006-12-05 | 2013-11-26 | Ebara Corporation | Combustion-type exhaust gas treatment apparatus |
JP2009018290A (ja) * | 2007-07-13 | 2009-01-29 | Ebara Corp | 排ガス洗浄装置 |
US7854792B2 (en) * | 2008-09-17 | 2010-12-21 | Airgard, Inc. | Reactive gas control |
JP5437734B2 (ja) * | 2009-08-07 | 2014-03-12 | 株式会社荏原製作所 | 燃焼式排ガス処理装置 |
CN101995026B (zh) * | 2009-08-27 | 2014-03-26 | 上海至纯洁净系统科技有限公司 | 硅烷燃烧筒 |
KR20110124630A (ko) * | 2010-05-11 | 2011-11-17 | 크린시스템스코리아(주) | 하이브리드 플라즈마 스크러버 시스템 |
TWI398293B (zh) * | 2010-11-08 | 2013-06-11 | Orient Service Co Ltd | Cyclone Oxygen Combustion Unit for Treatment of Emissions from Semiconductor Processes |
EP2715092A4 (en) * | 2011-05-25 | 2015-03-18 | Ener Core Power Inc | GAZOGEN CENTRAL AND WASTE MANAGEMENT |
KR101406065B1 (ko) * | 2012-03-16 | 2014-07-01 | 주식회사 글로벌스탠다드테크놀로지 | 선회류 예혼합 저공해 연소장치 |
KR101519553B1 (ko) * | 2013-04-03 | 2015-05-14 | 씨에스케이(주) | 사이클론을 이용한 반도체 폐가스 처리용 스크러버 |
CN105090999B (zh) * | 2014-05-12 | 2018-11-20 | 日本派欧尼株式会社 | 废气的燃烧式净化装置 |
JP5977419B1 (ja) * | 2015-03-12 | 2016-08-24 | 株式会社荏原製作所 | 排ガス処理装置 |
CN205925398U (zh) * | 2016-07-26 | 2017-02-08 | 宝虹(新加坡)私人有限公司 | 一种废气处理装置 |
-
2018
- 2018-07-05 SG SG10202001086WA patent/SG10202001086WA/en unknown
- 2018-07-05 SG SG11202000101TA patent/SG11202000101TA/en unknown
- 2018-07-05 CN CN202010115479.9A patent/CN111306559A/zh active Pending
- 2018-07-05 CN CN202010115342.3A patent/CN111306558B/zh active Active
- 2018-07-05 JP JP2020522275A patent/JP6968274B2/ja active Active
- 2018-07-05 MY MYPI2020000091A patent/MY194516A/en unknown
- 2018-07-05 KR KR1020207003872A patent/KR102318517B1/ko active IP Right Grant
- 2018-07-05 MY MYPI2020000097A patent/MY194531A/en unknown
- 2018-07-05 CN CN202010115494.3A patent/CN111306560B/zh active Active
- 2018-07-05 SG SG10202001081TA patent/SG10202001081TA/en unknown
- 2018-07-05 KR KR1020207003869A patent/KR102308332B1/ko active IP Right Grant
- 2018-07-05 WO PCT/SG2018/050332 patent/WO2019009811A2/zh active Application Filing
- 2018-07-05 CN CN201880045259.4A patent/CN111315971B/zh active Active
- 2018-07-05 MY MYPI2020000096A patent/MY195067A/en unknown
- 2018-07-05 CN CN202010115341.9A patent/CN111237786B/zh active Active
- 2018-07-05 KR KR1020207003134A patent/KR102295177B1/ko active IP Right Grant
-
2020
- 2020-01-07 US US16/736,669 patent/US10946334B2/en active Active
- 2020-01-07 US US16/736,612 patent/US10898853B2/en active Active
- 2020-01-07 US US16/736,481 patent/US10814271B2/en active Active
- 2020-02-10 JP JP2020020446A patent/JP6992100B2/ja active Active
- 2020-02-10 JP JP2020020429A patent/JP7191056B2/ja active Active
-
2021
- 2021-01-04 US US17/140,756 patent/US11406934B2/en active Active
Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001082723A (ja) | 1999-07-14 | 2001-03-30 | Nippon Sanso Corp | 燃焼式除害装置及び燃焼式除害装置用バーナー |
JP2001165422A (ja) | 1999-12-10 | 2001-06-22 | Iwatani Internatl Corp | 半導体製造工程からの排ガスの除害装置 |
JP2004028546A (ja) | 2002-06-25 | 2004-01-29 | Iwatani Internatl Corp | 燃焼式縦型除害装置 |
JP2004053219A (ja) | 2002-07-24 | 2004-02-19 | Nippon Sanso Corp | 燃焼除害装置 |
JP2007519878A (ja) | 2003-12-19 | 2007-07-19 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド | ガス状汚染物質を制御可能に燃焼させるための装置および方法 |
JP2008161861A (ja) | 2006-12-05 | 2008-07-17 | Ebara Corp | 燃焼式排ガス処理装置 |
JP2010014322A (ja) | 2008-07-03 | 2010-01-21 | Iwatani Industrial Gases Corp | 排ガスの燃焼式除害装置 |
JP2016520788A (ja) | 2013-04-15 | 2016-07-14 | エアガード,インコーポレイテッド | 洗浄装置内の延長又は多数反応部 |
Also Published As
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6992100B2 (ja) | ガス状汚染物の分解・酸化をコントロールする装置及びシステム | |
US7700049B2 (en) | Methods and apparatus for sensing characteristics of the contents of a process abatement reactor | |
CN1997439A (zh) | 用于控制气体污染物燃烧的装置和方法 | |
US20200309367A1 (en) | Systems and methods for improved waste gas abatement | |
JP2006194541A (ja) | 難燃性物質分解バーナ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20200210 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20210413 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20210713 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20211109 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20211208 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6992100 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |