JP4211227B2 - 過弗化物の処理方法及びその処理装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、過弗化物の処理方法及びその処理装置に係り、特に半導体製造装置から排出された過弗化物を分解するのに好適な過弗化物の処理方法及びその処理装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
過弗化物(Perfluorocompound)は、CF4,CHF3,C2F6,CH2F2,C3F8,C5F8,SF6,NF3などの、塩素を含まない、カーボンとフッ素,カーボンと水素とフッ素,硫黄とフッ素、及び窒素とフッ素の化合物質の総称である。過弗化物(PFCという)は、ガスであり、半導体製造プロセスにおいてエッチング用ガス,クリーニング用ガスとして使用されている。PFCは、寿命が長く(C2F6で10,000年 ,SF6で3,200年)、温暖化係数が大きい地球温暖化ガスであり、大気放出の規制対象となっている。このため、PFCを分解する種々の方法が検討されている。その分解方法の1つが、特開平11−70322号公報及び特開平11−319485号公報に記載されている。すなわち、PFCを、触媒を利用して加水分解し、PFCの分解によって生じる分解ガスを含む排ガスを、水(あるいはアルカリ溶液)で洗浄し、その後、その排ガスを、ブロワを用いて排気することが記載されている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
半導体製造工場は、半導体製造装置を連続運転して半導体を製造している関係上、半導体製造にかかわる装置は高い信頼性が求められる。エッチング装置からの排ガス中に含まれているPFCを処理する装置も、故障すると接続されている数台のエッチング装置が停止するためより高い信頼性が求められている。
【0004】
本発明の目的は、装置に対する保守点検の頻度をより低減できる過弗化物の処理方法及びその処理装置を提供することにある。
【0005】
【課題を解決するための手段】
上記の目的を達成する本発明の特徴は、過弗化物の分解により生じた酸性ガスを含む排ガスを、噴射された気体の噴流により吸引して排出することにある。噴射された気体の噴流により吸引して排出するため、使用されるガス吸引装置は駆動部がなく、保守点検の頻度は著しく低減される。これは、過弗化物処理装置に対する保守点検頻度の著しい低減につながり過弗化物処理装置の稼働率を向上させる。特に、過弗化物を含む排ガスが半導体製造装置から排出される排ガスである場合には、過弗化物処理装置の保守点検頻度の低減は半導体製造装置の稼働率の向上につながり、半導体の製造効率を著しくアップする。ガス吸引装置としては、エゼクターを用いることが望ましい。
【0006】
好ましくは、過弗化物の分解により生じた酸性ガスを含む排ガスを、水及びアルカリ溶液の一方に接触させるため、酸性ガスを簡単に排ガスから除去することができる。また、水及びアルカリ溶液の一方に接触により生じたミストを排ガスから分離することによって、下流側にあってその排ガスと接触する機器及び管路(またはダクト)の腐食を著しく低減できる。
【0007】
好ましくは、酸性ガス除去装置及びミスト分離装置の下方に、酸性ガス除去装置から排出された水及びアルカリ溶液の一方を受入れるタンクを配置するとよい。酸性ガス除去装置から排出される水またはアルカリ溶液は、重力により簡単にタンク内に集めることができる。更には、ミスト分離装置で分離されたミストを排出管を通して重力により簡単にタンクに排出できる。水またはアルカリ溶液、及び分離されたミストの収集に動力が不要であり、過弗化物処理装置の構成が単純化できる。
【0008】
過弗化物の分解を触媒を用いて行い、その触媒として、Al酸化物を含み、更にZn,Ni,Ti,F,Sn,Co,Zr,Ce,Si及びPtから選ばれた少なくとも1つの酸化物を含んでいる触媒を用いることが望ましい。このような触媒を用いることによって、200〜800℃の低い温度で過弗化物を効率良く分解することができる。特に、触媒は、NiAl2O4,ZnAl2O4のようにAlを含む複合酸化物の形態で用いることが望ましい。
【0009】
【発明の実施の形態】
本発明の発明者等は、PFCを分解し、分解処理後の排ガスを処理し排気する一連の処理装置を開発している中で、処理後の排ガスを排気するブロワーが排ガス中に残存する酸性ガス(PFCの分解により発生)により腐食し易く、これが過弗化物処理装置(PFC処理装置)の稼働率を向上する上で非常に重要であることを知った。上記ブロワーの腐食についての発明者等の検討結果を以下に説明する。
【0010】
特開平11−70322号公報に記載されている触媒を用いてPFCを分解すると、分解ガスが発生する。すなわち、CF4 が分解するとCO2 及びHFが発生し、SF6 の分解によりSO3 及びHFが発生し、NF3 の分解によりNOx(NO,NO2 )及びHFが発生する。このように、PFCの分解により各種の酸性ガス(HF,SO3,NOx)が生成される。以上の分解反応が下記に(1)式,(2)式及び(3)式に示される。
【0011】
CF4 + 2H2O → CO2 + 4HF (1)
SF6 + 3H2O → SO3 + 6HF (2)
2NF3 + 3H2O → NO + NO2 + 6HF (3)
PFCの分解ガスである酸性ガス(SO3,HF,NO,NO2)は、排ガス洗浄塔内で水(またはアルカリ溶液)に吸収され、排ガスから除去される。しかし、発明者等の実験の結果、少量の酸性ガス以外に、酸性ガスのミストが排ガス洗浄塔から排ガスと共に排出されていることが確認された。例えば、SF6を0.5%含む排ガスを60リットル/min で触媒を充填した触媒カートリッジ内に供給してSF6を分解した場合には、触媒カートリッジからの排ガス(SO3を含む)が供給される排ガス洗浄塔からは、約150cc/Hrの水分(SO3 ミスト)が排出された。酸性ガス成分は、その周囲に水分を付着させてミストしてキャリオーバーする。水分を伴ったSO3 ミストがブロワー内に導かれると、ブロワーのインペラー室内でこれらのSO3 ミストの凝縮がおこり、更にSO3 が水分に溶け込んで硫酸溶液となる。この硫酸溶液がブロワーを腐食させるのである。
PFCとしてNF3 が用いられた場合には、ブロワー内で硝酸溶液が生成され、ブロワーは硝酸溶液によって腐食される。このため、耐食性コーティングを施したブロワーを使用しても、ブロワーの軸受け部等は耐食化できず、ブロワーを長期間にわたって運転することができない。運転を停止してのブロワーの保守点検の頻度が多くなり、PFC処理装置の稼働率が低くなる。
【0012】
排ガス洗浄塔からブロワーへの、腐食の原因となる酸性ガスのミスト(酸性ガスミスト)の搬出を防止するために、ミスト分離装置を設置することが提案された。しかし、ミスト分離装置の設置によっても、酸性ガスミスト(硫酸ミスト,硝酸ミスト)を100%除去することは困難であった。ミスト分離装置で取除かれなかった酸性ガスミストが、前述したように、ブロワーを腐食させる。
【0013】
発明者等は、排ガス洗浄塔で除去されないで排出される酸性ガスだけでなく、酸性ガスミストがブロワーに導かれることが、ブロワーに腐食が生じる原因であることを新たに究明した。酸性ガスミストはミスト分離装置で完全に除去することが困難である。また、ブロワーの腐食は、半導体の製造に悪影響を与える、運転を停止したブロワーの点検,清掃,部品交換等の保守点検の頻度を増大させる。このために、発明者等は、ブロワーに替えて駆動部がないガス排出装置を設置する必要があるとの結論に達し、噴射された気体の噴流によりガスを吸引するガス排出装置(例えば、エゼクター)を適用することにした。
【0014】
噴射された気体の噴流によりガスを吸引するガス排出装置を適用した、PFC処理装置の具体例を以下に説明する。
【0015】
まず、PFC処理装置を適用した半導体製造施設の概略を、図2を用いて説明する。半導体製造施設は、半導体製造装置、及び半導体製造装置から排出される排ガスを処理する排ガス処理設備を備えている。半導体製造装置としては、例えば、エッチングチャンバー68及び69を備えたエッチング装置67、及びエッチングチャンバー71及び72を備えたエッチング装置70が設置される。排ガス処理設備としては、エッチングチャンバー68,69,71及び72から排出される、PFCを含む排ガスを処理するPFC処理装置1が用いられる。エッチングチャンバー68,69,71及び72のそれぞれに接続されるガス排出管74A,74B,74C及び74Dは、1本の配管40にまとめられる。PFC処理装置1は、配管40に接続され、配管49によって排気ダクト75に接続される。真空ポンプ73A,73B,73C及び73Dが、ガス排出管74A,74B,74C及び74Dに設置される。
【0016】
エッチングガスであるPFCガスが、真空に減圧されたエッチングチャンバー68,69,71及び72内にそれぞれ供給される。PFCガスはプラズマ化され、半導体の材料であるウエハーに対するエッチング処理をそれぞれ行っている。エッチングチャンバー68,69,71及び72の各々に供給されるPFCガスの一部(10〜30%)は、各エッチングチャンバー内でのエッチング処理により消費される。真空ポンプ73A,73B,73C及び73Dをそれぞれ駆動することにより、エッチングチャンバー68,69,71及び72のそれぞれからの排ガスは、ガス排出管74A,74B,74C及び74Dを通って配管40内で合流し、PFC処理装置1内に供給される。その排ガスは、エッチングチャンバー68,69,71及び72内で消費されなかったPFCガスを含んでいる。更に、その排ガスは、各エッチングチャンバー内でPFCガスより副次的に発生したHF、及びウエハーを削ることにより発生するSiF4 等も含んでいる。エッチングチャンバー68,69,71及び72内を負圧にする真空ポンプ73A,73B,73C及び73D内に、軸受け部等を腐食性の酸性ガスであるHFから保護するために、N2 ガスが軸受け部を通して供給される。このため、PFC処理装置1に導かれる排ガス中のPFC濃度は、約0.5 %である。そのPFCガスは、PFC処理装置1によって分解される。PFC処理装置1から排出された排ガスは、配管49を経て排気ダクト75に排出される。PFC処理装置1に供給される排ガス中のPFC濃度、及びPFC処理装置1から排出された排ガス中のPFC濃度が測定される。処理装置1から排出された排ガスのPFC濃度を監視し、その濃度が設定濃度を超えた場合には警報を発する。更に、PFC処理装置1の入口側と出口側のPFC濃度による分解率から、触媒反応の健全性ないしは触媒劣化による交換時期をチエックする。
【0017】
以下、半導体製造プロセスからの排ガス処理に適用したPFC処理装置の複数の実施例を、以下に詳細に説明する。各実施例の図面を通し、同等の構成要素には同一の符号を付してある。
【0018】
本発明の好適な一実施例であるPFC処理装置を、図1を用いて説明する。本実施例のPFC処理装置1は、ケイ素除去装置,反応器2,冷却室6,排水タンク12,排ガス洗浄塔13,サイクロン16及びエゼクター24を備える。ケイ素除去装置は、入口充填塔8及びスプレイ塔10を有する。入口充填塔8は内部にラヒシリングのような充填物を充填した充填層9を有する。スプレイ塔10はスプレイ11を内部に備えている。配管40は入口充填塔8の充填層9よりも下方の空間に連絡される。入口充填塔8の充填層9よりも上方の空間は、配管41によってスプレイ塔10に接続される。反応器2は、内部に、触媒カートリッジ3及び加熱空間5を有する。触媒カートリッジ3は、内部に触媒が充填された触媒層を有する。使用された触媒は、Alの酸化物であるAl2O3を80%,Ni酸化物であるNiOを20%含んでいるアルミナ系触媒である。加熱空間5は、触媒カートリッジ3の上流側に形成される。加熱器4が、加熱空間5の位置で反応器2の外側に設けられる。反応器2に連絡される冷却室6は、内部にスプレイ7を有し、触媒カートリッジ3の下方に位置する。配管42はスプレイ塔10と加熱空間5を接続する。水(または水蒸気)を供給する配管43、及び空気を供給する配管44が、それぞれ加熱空間5に接続される。
【0019】
酸性ガス除去装置である排ガス洗浄塔13は、内部で、上方にスプレイ15を配置し、スプレイ15の下方にプラスチック製のラヒシリングを充填した充填層14を配置している。排ガス洗浄塔13に連絡される排水タンク12が、排ガス洗浄塔13の下方に位置する。排水タンク12は、配管45によって冷却室6に連絡される。入口充填塔8の充填層9よりも下方の空間に連絡される配管57は、図7に示すように、上方より排水タンク12内に挿入されている。配管57の排水タンク12内の部分には、水封構造を構成するフロート座58,フロート59及びフロートストッパ60が備えられている。環状のフロート座58は、配管57内でその下端部に設けられる。目の粗い金網であるフロートストッパ60は、フロート座58よりも上方で配管57内に設けられる。配管57内においては、フロート座58とフロートストッパ60との間に、フロート59が配置される。排水ポンプ80を備えた排水管46が、排水タンク12の底部に接続される。配管66は、排水ポンプ80の下流側で排水管46に接続され、更に、入口充填塔8の充填層9よりも上方の空間に連絡される。入口充填塔8の充填層9よりも下方で入口充填塔8の底部に接続される配管57が、排水タンク12内に挿入される。
【0020】
ミスト分離装置であるサイクロン16の構成を図3及び図4を用いて説明する。サイクロン16は、内部に仕切り部7で仕切られた下部室19及び上部室20を有する。排ガス供給部38が、下部室19の内面の接線方向に伸びている。排ガス供給部38内の流路39は、下部室19に向かって絞られている。排ガス洗浄塔13の上端部に接続される配管47は、排ガス供給部38に接続される。仕切り部7を貫通する通路18が、下部室19と上部室20とを連絡する。下部室19の下端部に形成されるドレン口23にはドレン配管53が接続され、ドレン配管53は排水タンク12に接続される。上部室20に形成されるドレン口22は、ドレン配管54によって排水タンク12に連絡される。ミスト分離装置としては、サイクロン以外に、フィルタ,電機集塵機,活性炭吸着塔の使用が可能である。
【0021】
エゼクター24は、図5に示すように、エゼクターボディー25,噴射ノズル27及び排出ノズル34を備える。エゼクターボディー25は、内部空間26を内部に形成する。噴射ノズル27は、ノズル部28を有する。噴射部29は、図6に示すように、ノズル部28の先端部にねじ込まれている。内径が約2mmである噴射口30が噴射部29の内部に形成される。噴射部29は高耐食性でかつ高耐久性の金属またはセラミックで作られる。排出ノズル34は、内部に、排出通路35を有する。噴射ノズル27は、パッキング76を介してエゼクターボディー25の一端に対向して配置される。噴射ノズル27のノズル部28の先端は、エゼクターボディー25内に挿入されて、内部空間26内に位置する。噴射口30は、ノズル部28内に形成される流路31、及び内部空間26に連絡される。排出ノズル34は、パッキング37を介してエゼクターボディー25の他端に対向して配置される。排出ノズル34の排出通路35が、ノズル部28にねじ込まれた噴射部29と対向する。排出通路35の入口が内部空間26に連絡される。排出通路35は、内部に流路断面積が最小になっているスロート部77を有する。排出通路35は、スロート部77から入口に向かって流路断面積が拡大し、スロート部77から排出口78に向かって流路断面積が拡大する。後者の流路断面積が拡大する度合は、前者のその度合よりも小さい。流入口33を有する押え板32がパッキング36を介して噴射ノズル27に対向して配置される。押え板32,噴射ノズル27,エゼクターボディー25及び排出ノズル34が、この順に配置され、ボルト78及びナット79によって結合される。押え板32,噴射ノズル27の噴射部29以外の部分、エゼクターボディー25及び排出ノズル34は、耐食性に優れているプラスチック、例えば塩化ビニル樹脂(またはフッ素樹脂等)で作られている。
【0022】
エゼクターボディー25に取り付けられる配管48は、上部室20に形成された排出口21に連絡される。配管48は、エゼクターボディー25内の内部空間26に連絡される。排気ダクト75に接続される配管49は、排出ノズル34の排出口78側に接続される。配管49に接続される凝縮水ドレン配管55は、排水タンク12に連絡される。水供給管50はスプレイ15に接続される。水供給管51が、スプレイ11に接続される。水供給管52がスプレイ7に接続される。水供給管51及び52は水供給管50に接続される。
【0023】
圧縮空気供給装置81が、押え板32に取り付けられる。圧縮空気供給装置81は、図1に示すように、空気供給管56,圧力調整弁63及び空気供給弁64を備える。空気供給管56は、押え板32に接続され、流入口33に連絡される。圧力調整弁63は空気供給管56に設置され、空気供給弁64は圧力調整弁63の上流側で空気供給管56に設置される。空気供給管56は、図示していないコンプレッサに接続される。65は安全インターロック用の圧力スイッチである。
【0024】
次に、本実施例のPFC処理装置1におけるPFCの処理について説明する。PFC処理装置1に供給される排ガスに含まれるPFCは、半導体製造装置で製造される半導体の種類、あるいは半導体製造メーカーによって異なっている。半導体の素材である該当するウエハーの加工のために、1種類のPFCを使用する場合、複数のPFCを使用する場合がある。本実施例では、半導体製造のために、PFCとしてSF6 及びC2F6を用いた場合を例にとって説明する。
【0025】
真空ポンプ73A,73B,73C及び73Dの駆動によりエッチングチャンバー68,69,71及び72から排出された、PFCであるSF6 及びC2F6,SiF4 及びHFを含む排ガスは、配管40を介してケイ素除去装置の入口充填塔8に供給される。排ガスは充填層9内を上昇し、配管41を介してケイ素除去装置のスプレイ塔10内に供給される。水供給管51により供給される新しい水が、スプレイ11よりスプレイ塔10内に噴射される。このスプレイ水は、配管41に排出され、入口充填塔8に導かれる。入口充填塔8には、排水タンク12内の排水が排水ポンプ80の駆動により、排水管46及び配管66を経て供給される。この排水とスプレイ水は、充填層9内を下降する。
【0026】
排ガスに含まれたSiF4 は、入口充填塔8内で水(排水、及びスプレイ塔10内に噴射されたスプレイ水)と接触することにより(4)式の反応を生じ、SiO2とHFとに分解される。
【0027】
SiF4 + 2H2O → SiO2 + 4HF …(4)
入口充填塔8に供給された排ガスに含まれたHF及び(4)式の反応で生成されたHFは、入口充填塔8内で水に吸収され、排ガスから除去される。固形分であるSiO2 もその水によって洗い流される。充填層9は、上昇する排ガスと下降する水の接触効率を増加させ、(4)式の反応効率及びHFの水への吸収効率を増大させる。SiO2 を含みHFを吸収した水は、配管57を通って、入口充填塔8よりも下方に位置する排水タンク12内に導かれる。排ガスに含まれた他の不純物も、入口充填塔8及びスプレイ塔10内で水によって除去される。
【0028】
入口充填塔8内で水に吸収されなかったHFは、排ガスと共にスプレイ塔10内に導かれ、そこで噴射されたスプレイ水に吸収される。入口充填塔8からスプレイ塔10内に導かれる排ガス中に残存するSiF4 は、スプレイ塔10内でスプレイ水と接触することにより、(4)式の反応を生じる。この反応で発生したHFは、スプレイ水に吸収される。発生したSiO2 も、スプレイ水によって洗い流されて、入口充填塔8及び配管57へと排出される。
【0029】
スプレイ塔10から配管42内に排出された、SF6 及びC2F6を含む排ガスは、60リットル/min の流量で反応器2の加熱空間5内に供給される。この排ガスは、HF,SiF4 、及び(1)式の反応で生成されたSiO2 を含んでいない。加熱空間5内には、配管43により水(または水蒸気)が供給され、配管44により空気が供給される。触媒の作用によるPFCの分解反応が加水分解であるため、この反応に必要な水(または水蒸気)が供給されるのである。排ガスは、水及び空気と共に、触媒の作用によりSF6 及びC2F6の分解が開始される750℃の温度に、加熱器4によって加熱される。PFCの種類によって異なるが、約650〜750℃に加熱される。水は、水蒸気となる。水蒸気,空気,SF6 及びC2F6を含んで750℃に加熱された排ガスは、触媒カートリッジ3内に供給される。
【0030】
触媒カートリッジ3内のアルミナ系触媒の作用によって、SF6 及びC2F6とH2Oとによる前述の(2)式及び下記の(5)式の反応が促進され、SF6
SF6 + 3H2O → SO3 + 6HF (2)
C2F6 + 3H2O + 空気(O2) → 2CO2 + 6HF (5)
はSO3 とHFに分解され、C2F6はCO2 とHFに分解される。(2)式及び(5)式の反応は水蒸気の存在下で行われる。SF6及びC2F6は100%分解される。空気、特に酸素が触媒カートリッジ3内に供給されない場合には、C2F6とH2O との反応によって有害なCOが生成される。空気の供給により、空気に含まれた酸素がCOを無害なCO2 に変換するため、(5)式に示すようにCOが発生しない。空気の替りに、酸素を供給してもよい。
【0031】
Al2O3を80%及びNiOを20%含む触媒を用いることによって、750℃になる触媒カートリッジ3内で、SF6及びC2F6は100%分解される。
Al2O3を80%及びNiOを20%含む触媒以外でも、特開平11−70322号公報の「課題を解決するための手段」及び「発明の実施の形態」の各項に記載された種種の触媒(Al酸化物を含み、Zn,Ni,Ti,F,Sn,Co,Zr,Ce,Si及びPtから選ばれた少なくとも1つの酸化物を含む触媒)を用いてもPFCを分解できる。
【0032】
本実施例は、ケイ素除去装置内で(4)式の反応を発生させて、排ガスにSiF4 等の化合物の形態で含まれているケイ素を除去するため、触媒によるPFCの分解効率を向上できる。ケイ素を含む排ガスが反応器2内に供給された場合、配管43によって供給される水(または水蒸気)により(4)式の反応が加熱空間5内で生じ、生成されたSiO2 が触媒カートリッジ3内に流入する。この場合には、以下の▲1▼及び▲2▼の問題を生じる。▲1▼SiO2 が触媒に形成されたポーラスを塞ぐ。▲2▼触媒間に形成される間隙を閉塞する。▲1▼及び▲2▼により触媒の表面積が減少し、PFCの分解反応が低下する。また、▲2▼に起因して触媒間における排ガスの流れが悪くなり、触媒と排ガスの接触が阻害される。これも、PFCの分解反応の低下につながる。本実施例は、ケイ素除去装置においてSiO2 を事前に除去しているので、上記の問題が生じなくPFCの分解効率が向上する。
【0033】
SF6 及びC2F6の各々の分解ガスであるSO3,CO2及びHFを含む排ガスは、触媒カートリッジ3から冷却室6内に供給される。水供給管52によって供給される水は、スプレイ7から冷却室6内にスプレイされる。その排ガスは、スプレイされた水との接触によって冷却されるため、排ガス温度が100℃以下に低下する。これにより、反応器2よりも下流側の機器(冷却室6,排ガス洗浄塔13,サイクロン16及びエゼクター24)、及び機器間を連絡する各配管(配管45,47,48及び49,排水管46,ドレン配管53及び54、及び凝縮水ドレン配管55)を耐食性の優れたプラスチックである塩化ビニル樹脂(またはフッ素樹脂等)構成できる。なお、配管57及び66も塩化ビニル樹脂で構成される。排ガスに含まれているHFの一部はスプレイされた水に吸収される。スプレイされた水及び排ガスは、配管45を通って冷却室6から排水タンク12内の液面61よりも上方の空間に導かれる。水は排水タンク12内に一時的に貯蔵される。排水ポンプ80の駆動により、排水タンク12内の水は、排水管46内に排出され、図示されていない建屋側の排水処理設備に導かれる。
【0034】
入口充填塔8から排出された水が配管57内を流れている場合には、排水タンク12内の配管57の部分で、フロート59がフロート座58よりも上方に浮き上がっているので、その水はフロートストッパ60及びフロート座58を通過し、配管57の開放端を通して排水タンク12内に供給される。フロート59はフロートストッパ60に妨げられてそれよりも上方に移動しない。入口充填塔8において排ガスが配管57内に流入したとき、その排ガスは配管57内に流れて配管57の排水タンク12内の部分に達する。配管57の開放端付近では配管57内の水が押し出されて排ガスの雰囲気となる。フロート59は、排ガス雰囲気中では浮き上がらずフロート座58の開口を封鎖する。このため、入口充填塔8から配管57への排ガスの流入が停止する。
【0035】
分解ガスを含む排ガスは、排水タンク12から排ガス洗浄塔13内に導かれる。水供給管50によって供給される水が、スプレイ15より噴射される。この水は、上方より、充填層14内を下降して排水タンク12内に落下する。排ガスは、充填層14内を上昇する。排ガスに含まれた酸性ガスであるSO3 及びHFは、噴射された水に吸収され、排ガスから分離される。しかし、少量の酸性ガス、及び水分を伴った酸性ガスミスト(SO3 ミスト)が、排ガス洗浄塔13から配管47に排出され、サイクロン16の排ガス供給部38内の流路39に供給される。水の替りにアルカリ水溶液(NaOH水溶液またはKOH水溶液)をスプレイ15から噴射してもよい。
【0036】
排ガスは、流路39を通ってサイクロン16の下部室19内に供給され、通路18の周囲を旋回しながら下降する。排ガスに含まれる酸性ガスミストは、排ガスの旋回により排ガスから分離されて外側に飛ばされ、下部室19の側面に付着し、その側面に沿って下部室19の底部に向かって流下する。分離された酸性ガスミストは、ドレン口23よりドレン配管53を経て排水タンク12内に排出される。下部室19内の排ガスの旋回流は、旋回しながら通路18内を上昇し、上部室20に達する。上部室20内でも排ガスは旋回しているので、排ガスに同伴している酸性ガスミストは、分離され、上部室20の側面に沿って流下する。分離された酸性ガスミストは、ドレン口22及びドレン配管54を経て排水タンク12内に排出される。酸性ガスミストの含有量が著しく低下した排ガスは、排出口21より配管48内に排出され、その後、エゼクター24内に流入する。
【0037】
コンプレッサ(図示せず)で圧縮された圧縮空気は、空気供給弁64を開くことによって空気供給管56内を流れてエゼクター24内に供給される。この圧縮空気は、エゼクター24の駆動ガスである。圧縮空気の圧力は、圧力調整弁63の開度を調節することによって設定圧力に制御される。反応器2に供給される排ガスの流量とほぼ同じ流量、すなわち約60リットル/min〜80リットル/minの圧縮空気が、約0.1Mpa の圧力でエゼクター24内に供給される。駆動ガスとしては、圧縮空気の替りにN2ガスまたはHeガスを用いてもよい。
【0038】
圧縮空気は、流入口33よりノズル部28の流路31内に供給され、噴射口30より排出ノズル34の排出通路35内に向かって音速以上の速度で噴射される。噴射口30からの圧縮空気の噴射流は、排出通路35のスロート部77付近で負圧を発生させる。この負圧の作用によって、配管48内の排ガスは、内部空間26を経て排出通路35内に吸引され、配管49内に排出される。この排ガスは、配管49により酸性ガス系の排気ダクト75へと導かれる。エゼクター24から排出された排ガスに含まれている凝縮水は、凝縮水ドレン配管55により排水タンク12内に導かれる。エゼクター24による排ガスの吸引作用によって、冷却室6,排水タンク12及び排ガス洗浄塔13内は負圧に維持され、排ガス中に含まれるSO3及びHF等が系外に漏洩するのを防止している。
【0039】
従来のエゼクターは一般的に高真空を発生させる装置として使用されている。このため、従来のエゼクターはブロワーのように吸引風量を多くとることができなく、ブロワーの替りに用いることができない。従来のエゼクターは、図8において破線で示すように、駆動用の圧縮空気の圧力によりエゼクターの吸引力が大きく変化し、また吸引されるガス容量が増加すると急激に吸引力が低下する。このように一般的に使用されている真空発生(吸引力発生)用のエゼクターをブロワーの替りに用いるにはその特性が余りにも違いすぎる。
【0040】
これに対し、本実施例に用いられるエゼクター24は、図8に実線で示すような排気特性を有する。エゼクター24からの排ガスの排気流量が増加しても、エゼクター24の吸引力の低下度合が小さい。このエゼクター24は発明者等が開発したものである。エゼクター24は、ブロワーの排気特性(図8の一点鎖線参照)とほぼ同等の排気特性を有する。エゼクター24に供給される駆動用の圧縮空気の圧力を変えても、例えば0.1Mpa,0.12Mpaにしても、排気流量の増加に対する吸引力の低下度合はあまり変わらない。このため、エゼクター24は大きな排気流量を得ることができる。
【0041】
また、エゼクター24の特性として、駆動用の圧縮空気の圧力増加に比例して排ガスの吸引力が増大する。圧力調整弁63の故障によってエゼクター24に供給される圧縮空気の圧力が設定圧力を超え、これに起因する高真空に基づいてエゼクター24が損傷する危険性がある。圧力スイッチ65は、圧力調整弁63よりも下流側の空気供給管56内の圧力を検出して、この圧力が設定圧力より大きくなった場合に空気供給弁64を閉鎖するとともにコンプレッサ(図示せず)を停止させる。
【0042】
エゼクター24に導かれる排ガスは、少量の酸性ガスミストを含んでいるが、耐食性に優れたプラスチックで製作されているエゼクター24はその酸性ガスミストに接触するが腐食しない。本実施例は、分解ガスを含む排ガスの排出装置であるエゼクター24において、分解ガスに起因する腐食が発生しないため、その排ガス排出装置(気体を噴射してガスを吸引する装置)の点検,部品交換等のメンテナンス作業は、ほとんど不要になり、ブロワを用いた場合に比べて保守点検頻度が著しく少なくなる。PFC処理装置1の稼働率が著しく向上する。また、音速以上の排ガスを噴出する噴射口30を有する噴射部29は、高耐食性でかつ高耐久性のセラミックで作られているので、音速の排ガスによる磨耗も著しく少ない。これも、エゼクター24の保守点検頻度の減少に貢献する。このようなエゼクター24は、長時間の運転に十分に耐えられる。
【0043】
ミスト分離装置であるサイクロン16を用いているので、エゼクター24を経て排気ダクト75に導かれる酸性ガスミストの量が少なくなる。このため、排気ダクト75内で凝縮するミスト量が減少し、排気ダクト75の腐食が著しく軽減される。ミスト量の低減は、エゼクター24の寿命を更に延ばすことになる。
【0044】
排水タンク12は、最も低い位置に配置されているので、入口充填塔8及びスプレイ塔10より排出された水、冷却室6及び排ガス洗浄塔13内で噴射されたスプレイ水、及びサイクロン16で分離されたドレン水は、重力により排水タンク12内に流入する。このため、それらの水を排水タンク12に移送するポンプが不要であり、PFC処理装置1の構成がコンパクト化される。
【0045】
本実施例のPFC処理装置1は、SF6 及びC2F6以外であっても、PFCであればどれでも分解することができる。
【0046】
図1に示すPFC処理装置1により、SF6 を含む模擬ガスを用いてSF6 分解の処理試験を行った。模擬ガスは、SF6 を窒素ガスで希釈したものであり、SF6を0.5%濃度含んでいる。この模擬ガスを60リットル/min の流量でPFC処理装置1の反応器2に供給した。反応器2に、空気を15リットル/min 、水を20ミリリットル/min で供給した。電気ヒーターにて加熱空間5内で、水,空気を含む模擬ガスを電気ヒーターにて750℃に加熱した。この模擬ガスを触媒カートリッジ3内へ供給してSF6 を分解した。触媒カートリッジ3内に充填された触媒は、NiO及びAl2O3を含む触媒である。
【0047】
模擬ガスの触媒に対する空間速度を、1000/hにしてSF6 の処理を行った。反応器2から排出されたSF6 の分解ガスを含むガスは、冷却室6で冷却され、排ガス洗浄塔14を通り、流速約20m/sの速度でサイクロン16内に導入された。サイクロン16にて分離除去された酸性ガスミストは、サイクロン16の底部よりドレン配管53を通って排水タンク12に排出される。サイクロン16から排出されたガスは、0.1Mpa の圧縮空気で駆動されるエゼクター24によって吸引される。エゼクター24に供給される圧縮空気の流量は、約70リットル/min である。
【0048】
サイクロン16の上流側(配管47内)と下流側(配管48内)において、ガス中のSO3 濃度を測定して、サイクロン16によるミスト除去率を把握した。SO3 ミストはSO3 が核となって周囲に水分子を吸着して形成されるため、配管47内のSO3の濃度と配管48内のSO3の濃度の比により、サイクロン16によるミスト除去率を算出できる。SO3 濃度は、液体捕集法で測定したSOx濃度から、ガスクロマトグラフで測定したSO2 濃度を差し引いて算出した。その結果、サイクロン16の上流側ではSO3 濃度は1400ppm であったが、サイクロン16通過後にはその濃度は280ppm となった。サイクロン16において80%のミストが除去された。
【0049】
サイクロン16の出口において、ミストの粒径分布を測定した。サイクロン16から排出されたガスに含まれていたミストは、ほぼ1ミクロンより小さい粒径であった。1ミクロン以上の粒径を有するミストは、サイクロン16で除去されていた。所定期間の処理運転後に、エゼクター24を分解して観察したところ、エゼクター24の内部は腐食されていなく、またエゼクター24の出口側の配管49内にも凝縮水は観察されなかった。
【0050】
前述のSF6を含む模擬ガスの代わりにNF3 を含む模擬ガスを用いて、SF6を含む模擬ガスを用いた場合と同様の試験を実施した。硝酸ミストは、硫酸ミストに比べて粒径が小さいこともあり、ミスト除去装置での除去効率は20〜30%と低かったが、SF6 での試験結果と同様にエゼクターでの腐食等は確認されなかった。
【0051】
本発明の他の実施例であるPFC処理装置1Aを、図9を用いて説明する。図1の実施例と同一構成には同一符号を付している。PFC処理装置1Aは、サイクロン16を削除した点でPFC処理装置1と異なっている。このため、配管47が、排ガス洗浄塔13の上端部とエゼクター24の内部空間26とを連絡する。本実施例は、エゼクター24の吸引作用によって、排ガス洗浄塔13内の排ガスが配管47によって吸引され、配管49に排出される。
【0052】
本実施例は、サイクロン16が設置されていない分、PFC処理装置1に比べて構成が単純化される。本実施例は、PFC処理装置1Aに供給されるPFC濃度が低く、排ガス洗浄塔13から排出される排ガスに同伴する酸性ガスミストが少ない場合に、適用することが望ましい。
【0053】
PFC処理装置に供給されるPFC濃度が低い場合には、図1の実施例において排ガス洗浄塔13を削除してもよい。この場合には、サイクロン16に接続された配管47が、排水タンク12の液面61より上方の空間に連絡される。
【0054】
半導体製造施設においては、金属配線を有するウエハーをエッチングする場合がある。例えば、図10に示す半導体製造施設において、エッチング装置67のエッチングチャンバー68及び69で金属配線を有するウエハーをエッチングしている。このエッチングによって、金属配線に起因する多量の付着性の副生成物が発生する。この副生物、HF及びSiF4 を含む残存PFCは、エッチングチャンバー68及び69から排出され、真空ポンプ73A,73Bに供給されるN2 ガスと共に、活性炭が充填された前処理装置82に供給される。付着性の副生成物は、前処理装置82によって除去される。前処理装置82から排出された排ガスは、配管40によってPFC処理装置1に導かれる。このように、前処理装置82で付着性の副生成物を除去することによって、PFCを触媒カートリッジ3で効率良く分解できる。
【0055】
また、エッチングガスとしてPFCガス以外に塩素ガス,塩化水素ガス,臭化水素ガス(HBr)等を使用する場合がある。塩素ガス,塩化水素ガスまたは臭化水素ガスはPFCガスと混合してエッチングチャンバーに供給される。また、エッチング処理によっては、塩素ガス,塩化水素ガスまたは臭化水素ガスは、PFCガスによるエッチングが終了した後にエッチングチャンバー内に供給される。ケースによっては塩素ガス,塩化水素ガスまたは臭化水素ガスによるエッチング処理がPFCガスによるエッチング処理の前に実施される場合もあるが、この場合には塩素ガス,塩化水素ガスまたは臭化水素ガスのエッチングチャンバー内への供給は、PFCの供給よりも前に行われる。塩素ガス,塩化水素ガス及び臭化水素ガスはHFと同じ酸性ガスである。
【0056】
エッチングチャンバー内に塩素ガス及びPFCガスを供給した場合について説明する。エッチングチャンバーから排出された塩素ガス及びPFCガス、及び真空ポンプから供給されたN2 ガスを含む排ガスが、配管40より図1に示されたPFC処理装置1に供給される。PFC処理装置1によるPFCの分解処理は、前述の図1の実施例で説明したように行われる。塩素ガスのPFC処理装置1内における挙動について説明する。
【0057】
N2を含みCl2ガスの濃度が1%の模擬ガスをPFC処理装置1に供給した。Cl2 ガスは入口充填塔8及びスプレイ塔10を通過し、配管42を経て反応器2内に達する。触媒の温度は750℃である(模擬ガス流量60リットル/min )。Cl2 ガスは入口充填塔8及びスプレイ塔10ではほとんど除去されなかった。反応器2内には、10リットル/min の空気、及び15ミリリットル/min の反応水を供給した。Cl2 ガスは、(6)式の反応により触媒カートリッジ3内の触媒にて酸化されてHClガスに変わる。
【0058】
2Cl2 + 2H2O → 2HCl + O2 (6)
HClガスは、水に溶けやすいために、排ガス洗浄塔13内でスプレイされた水に吸収されて模擬ガスから除去される。排ガス洗浄塔13から排出された模擬ガス中のCl2濃度は100ppm で99%のCl2 が除去された。その模擬ガスからはHClは検出されなかった。エゼクター24はCl2 ガスによっても腐食されなかった。
【0059】
【発明の効果】
本発明によれば、過弗化物処理装置に対する保守点検頻度の著しい低減につながり過弗化物処理装置の稼働率を向上できる。また、排ガスに含まれている凝縮水は、凝縮ドレン配管により排水タンクに導かれ、エゼクターによる排ガスの吸引作用によって、排水タンク等は負圧に維持され、排ガス中に含まれるSO 3 及びHF等が系外に漏洩するのを防止できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の好適な一実施例である過弗化物処理装置の構成図である。
【図2】図1の過弗化物処理装置が適用された半導体製造施設の構成図である。
【図3】図1に示すサイクロンの縦断面図である。
【図4】図3のIV−IV断面図である。
【図5】図1に示すエゼクターの縦断面図である。
【図6】図5のVI部の拡大断面図である。
【図7】図1に示す排水タンクの縦断面図である。
【図8】図7のエゼクターの排気特性を示す説明図である。
【図9】本発明の他の実施例である過弗化物処理装置の構成図である。
【図10】過弗化物処理装置が適用された半導体製造施設の他の実施例の構成図である。
【符号の説明】
1…過弗化物処理装置、2…反応器、3…触媒カートリッジ、4…加熱器、6…冷却室、7,11,15…スプレイ、8…入口充填塔、10…スプレイ塔、12…排水タンク、13…排ガス洗浄塔、16…サイクロン、19…下部室、20…上部室、24…エゼクター、25…エゼクターボディー、27…噴射ノズル、28…ノズル部、29…噴射部、30…噴射口、34…排出ノズル、35…排出通路、46…排水管、50,51,52…水供給管、56…空気供給管、63…圧力調整弁、67,70…エッチング装置、73A,73B,73C,73D…真空ポンプ、81…圧縮空気供給装置、82…前処理装置。
Claims (12)
- 過弗化物を含むガスに含まれるその過弗化物を分解し、前記過弗化物の分解により生じた酸性ガスを含む排ガスを酸性ガス除去装置で水及びアルカリ溶液の一方に接触させることにより前記排ガスから前記酸性ガスを除去し、前記酸性ガス除去装置から排気管に排出された前記排ガスに含まれるミストを分離し、そのミストが分離された前記排ガスを噴射された気体の噴流により吸引して前記酸性ガス除去装置を負圧に維持し、吸引された前記排ガスを配管を介して排気ダクトへ排出し、該配管に接続された凝縮水ドレン配管により前記酸性ガス除去装置より下方に位置して前記水及び前記アルカリ溶液の一方を受入れるタンクに導くとともに、分離された前記ミストを、前記排気管とは別の排出管により、前記タンクに導くことを特徴とする過弗化物の処理方法。
- 前記過弗化物の分解に触媒を用いる請求項1に記載の過弗化物の処理方法。
- 前記排ガスを、噴射された気体の噴流により吸引して排出することが、エゼクターにより行われる請求項1または請求項2に記載の過弗化物の処理方法。
- 過弗化物を含み半導体製造装置から排出された排ガスに含まれるその過弗化物を分解し、前記過弗化物の分解により生じた酸性ガスを含む排ガスを酸性ガス除去装置で水及びアルカリ溶液の一方に接触させることにより前記排ガスから前記酸性ガスを除去し、前記酸性ガス除去装置から排気管に排出された前記排ガスに含まれるミストを分離し、ミストが分離された前記排ガスを噴射された気体の噴流により吸引して前記酸性ガス除去装置を負圧に維持し、吸引された前記排ガスを配管を介して排気ダクトへ排出し、該配管に接続された凝縮水ドレン配管により前記酸性ガス除去装置より下方に位置して前記水及び前記アルカリ溶液の一方を受入れるタンクに導くとともに、分離された前記ミストを、前記排気管とは別の排出管により、前記タンクに導くことを特徴とする半導体製造装置の排ガス処理方法。
- 前記過弗化物の分解に触媒を用いる請求項4に記載の過弗化物の処理方法。
- 前記排ガスを、噴射された気体の噴流により吸引して排出することが、エゼクターにより行われる請求項4または請求項5に記載の半導体製造装置の排ガス処理方法。
- 過弗化物を含むガスが供給され、前記過弗化物を分解する過弗化物分解装置と、前記過弗化物の分解により生成された酸性ガスを含む排ガスと水及びアルカリ溶液の一方とを接触させて、前記排ガスから前記酸性ガスを除去する酸性ガス除去装置と、前記酸性ガス除去装置に接続された排気管に設けられ、前記酸性ガス除去装置内の排ガスから、ミストを分離するミスト分離装置と、該ミストを分離された排ガスを、噴射された気体の噴流により吸引して排出し、前記酸性ガス除去装置を負圧に維持するガス吸引装置と、前記酸性ガス除去装置及び前記ミスト分離装置の下方に配置されて前記酸性ガス除去装置から排出された前記水及びアルカリ溶液の一方を受入れるタンクと、前記ミスト分離装置で分離されたミストを前記タンクに導く、前記排気管とは別の排出管と、前記ガス吸引装置の凝縮水ドレンを前記タンクに導く凝縮水ドレン配管とを備えたことを特徴とする過弗化物の処理装置。
- 前記ミスト分離装置がサイクロンである請求項7に記載の過弗化物の処理装置。
- 前記過弗化物分解装置が前記過弗化物の分解に作用する触媒を充填している請求項7または請求項8に記載の過弗化物の処理装置。
- 前記触媒が、Al酸化物を含み、更にZn,Ni,Ti,F,Sn,Co,Zr,Ce,Si及びPtから選ばれた少なくとも1つの酸化物を含んでいる請求項9に記載の過弗化物の処理装置。
- 前記ガス吸引装置が、エゼクターである請求項7ないし請求項10のいずれかに記載の過弗化物の処理装置。
- 前記エゼクターに供給される駆動用ガスの圧力が設定圧力を越えたとき前記エゼクターへの前記駆動用ガスの供給を停止させる手段を備えた請求項11記載の過弗化物の処理装置。
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