JP2004028546A - 燃焼式縦型除害装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】半導体製造装置より排出された排ガスを火炎で燃焼処理する燃焼式縦型除害装置において、燃焼筒1の上側にロータリアタチュエータ9を設け、このロータリアクチュエータ9の出力軸15に円筒状で骨組構造のスクレイパー10を首振吊持機構16を介して吊設し、上記ロータリアクチュエータ9を所定の回転速度で回転させることにより、その回転遠心力で上記スクレイパー10を燃焼筒1の内壁面に接当させる。
【選択図】 図1
Description
【発明の属する分野】
本発明は、半導体製造工程から排出されるシラン等の有害ガスを無害処理する燃焼式縦型除害装置に関し、さらに詳細には、その除害装置の燃焼筒内に付着・堆積する酸化粉体を除去する技術に関する。
【0002】
【従来の技術】
この種の従来装置としては、例えば図9に示す燃焼式縦型除害装置がある。この従来装置は、耐熱性金属材料を組み合わせた骨組構造で、3〜4本の縦骨を有する略円筒状ないしは箱組状のスクレイパー10を燃焼筒1内に昇降可能かつ水平回転可能に装着し、手動操作軸15aで当該スクレイパー10を回転しながら昇降し、燃焼筒1内に付着・堆積した酸化粉体を除去するように構成されている。なお、上記スクレイパー10は、その上端フランジ20aが手動操作軸15aの下端部に固定されている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、上記酸化粉体は燃焼筒内に付着・堆積するだけでなく、スクレイパーにも付着堆積する。このスクレイパーによれば、燃焼筒の内壁に付着した酸化粉体を除去できるものの、スクレイパー自体に付着した粉体を振り落とすことはできなかった。従って、スクレイパーに付着した酸化粉体が多くなると、燃焼筒内の実質開口断面積が減るため、処理されるべき排ガスの通過速度が早くなり除害性能が低下する。
【0004】
また、スクレイパーに付着した酸化粉体が極端に多くなると、スクレイパーの10の骨組み構造の隙間がその酸化粉体で閉塞される。その結果、燃焼筒1内に臨むガスバーナ7の開口がその酸化粉体で閉塞され、ガスバーナ7の火炎が失火する。あるいは失火しないまでも、火炎センサによる火炎の検出感度が弱くなり失火と判断してしまう虞がある。従ってこの除害装置を安定した状態で稼動させるには、頻繁に燃焼筒の開放清掃を実施し、スクレイパーに付着した粉体を除去する必要があり、そのたびに除害装置を停止しなければならず、メンテナンス周期が短かくなり、除害装置の稼働率が低下するという問題がある。
【0005】
本発明はこのような点に着目してなされたもので、燃焼筒内壁に付着・堆積した酸化粉体を掻き落すだけでなく、スクレイパーに付着・堆積する酸化粉体を振り落とし、除害装置の除害性能を高く維持しつつ、安全かつ長期に亘り除害装置を稼動させることを目的とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】
本発明は、上記課題を解決するために、以下のように構成される。
即ち、請求項1に記載の発明は、半導体製造装置より排出された排ガスを火炎で燃焼処理する燃焼式縦型除害装置において、燃焼筒1の上側にロータリアクチュエータ9を設け、このロータリアクチュエータ9の出力軸15に円筒状で骨組構造のスクレイパー10を首振吊持機構16を介して吊設し、上記ロータリアクチュエータ9を所定の回転速度で回転させることにより、その回転遠心力で上記スクレイパー10を燃焼筒1の内壁面に接当させることを特徴としている。
【0007】
請求項2に記載の発明は、請求項1に記載した燃焼式縦型除害装置において、上記ロータリアクチュエータ9を往復回転させることにより、上記スクレイパー10をその反転慣性力で燃焼筒1の内壁面に衝突させるように構成したことを特徴としている。
【0008】
請求項3に記載の発明は、請求項1又は請求項2に記載した燃焼式除害装置において、上記首振吊持機構16は、出力軸15の下端部に固設した平面視略三角形の吊持板17と、この吊持板17で吊持されるスクレイパー10の上端フランジ20とから成り、上記吊持板17は、その上面の各コーナ部に上端フランジ20を支持する吊持ピン18を備え、上端フランジ20は、上記吊持板17が遊嵌する平面視略三角形の嵌入孔21と、そのフランジ下面で上記嵌入孔21の各辺近傍に上記吊持ピン18が嵌着する嵌着凹部22とを備え、上記吊持板17と上端フランジ20とを着脱可能に構成したことを特徴としている。
【0009】
請求項4に記載の発明は、請求項1から請求項3のいずれか1項に記載した燃焼式縦型除害装置において、上記ロータリアクチュエータ9を回転速度6〜10rad/secで往復回転させるように構成したことを特徴としている。
【0010】
【発明の作用・効果】
請求項1に記載の発明では、燃焼筒1の上側にロータリアクチュエータ9を設け、このロータリアクチュエータ9の出力軸15に円筒状で骨組構造のスクレイパー10を首振吊持機構16を介して吊設し、上記スクレイパー10を所定の速度で回転させることにより、その回転遠心力で当該スクレイパー10を燃焼筒1の内壁面に接当させることから、燃焼筒1の内壁に付着・堆積した酸化粉体をスクレイパー10で掻き落すだけでなく、スクレイパー10が燃焼筒1の内壁に接当することで、当該スクレイパー10に付着・堆積する酸化粉体を振り落とし、燃焼筒1内壁とガスバーナ7の開口部付近のスクレイパー10への付着粉体を除去する。これにより、安定したガスバーナの火炎と火炎検出を維持しつつ、燃焼筒内の閉塞を防ぐことによって、半導体製造装置の排ガス除害性能を高く維持することができる。
【0011】
請求項2に記載の発明では、請求項1に記載した燃焼式縦型除害装置において、上記ロータリアクチュエータ9を往復回転させることにより、上記スクレイパー10をその反転慣性力で燃焼筒1の内壁面に衝突させるように構成したことから、当該スクレイパー10は、衝突時の衝撃により、当該スクレイパー10に付着・堆積する酸化粉体を一層確実に振り落とすことができる。これにより、安定したバーナ火炎と火炎検出を維持し、半導体製造装置の排ガス除害性能を一層高く維持することができる。
【0012】
請求項3に記載の発明では、首振吊持機構16が前記特徴構造を備え、上記吊持板17を上記スクレイパー10の上端フランジ20にあけた嵌入孔21に着脱自在に挿入し、略60度相対回転して上記吊持板17で上端フランジ20を吊持する。その吊持状態では、上記吊持板17の上面の各コーナ部の吊持ピン18がフランジ下面の各辺近傍に凹設された嵌着凹部22に嵌着する。そして上記スクレイパー10を所定の回転速度で往復回転させることにより、上記スクレイパー10がその反転慣性力で大きく揺動し、燃焼筒1の内壁面に衝突する。しかも、上記吊持板17と上端フランジ20とをワンタッチで着脱できることから、燃焼筒1内のメンテナンスも容易になる。
【0013】
請求項4に記載の発明では、ロータリアクチュエータ9を回転速度6〜10rad/secで往復回転させることから、上記スクレイパー10は比較的高速で往復回転することとなり、その反転慣性力で当該スクレイパー10は燃焼筒1の内壁面に強く衝突することとなる。これにより、当該スクレイパー10に付着・堆積する酸化粉体を一層確実に振り落とすことができる。
【0014】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施形態を添付図面を参照しつつ説明する。図1は本発明に係る燃焼式縦型除害装置の縦断正面図、図2はその除害装置の要部の拡大断面図、図3は図2中のA−A線矢視横断平面図、図4はその首振吊持機構の組み付け要領を説明するための斜視図である。
【0015】
この燃焼式縦型除害装置は、図1に示すように、従来例(図9)と同様の基本構成を備える。即ち、この燃焼式縦型除害装置は、立設した外筒2の上端に燃焼筒1を連通連結し、上記外筒2の下端開口から内筒3を突入して上記外筒2と内筒3との間に断面リング状の外気導入口2aを開口形成し、上記内筒3に形成した吸気口4に図示しない吸気装置が連通連結されている。
【0016】
上記燃焼筒1には半導体製造装置(図示せず)から排出される排ガスを導入する複数の排ガス導入口5が開口形成され、上記排ガス導入口5の下方位置に複数のガスバーナ7が同一円周上に略等間隔で付設配置され、半導体及び液晶、太陽電池等の広義の半導体製造装置より排出された排ガスが、上記ガスバーナ7の火炎で燃焼されて除害されるように構成されている。上記排ガスとしては、シラン、アルシン、ホスフィン、六フッ化タングステン、トリメチルアルミニウム、トリメチルガリウム等の特殊材料ガスが該当する。なお、図1中の符号6は燃焼筒1内のガスバーナ7の火炎を検出する火炎センサーを示す。
【0017】
以下、本発明の特徴をなす構成について説明する。
上記燃焼筒1のフランジ8の上側には、図2に示すように、複数の支柱11を介して天板12が組み付けられ、この天板12の上にロータリアクチュエータ9が固設される。このロータリアクチュエータ9の出力軸15は、上記フランジ8を貫通し、その出力軸15の下端部には円筒状で骨組構造のスクレイパー10が首振吊持機構16を介して吊設されている。上記ロータリアクチュエータ9がスクレイパー10を所定の回転速度で回転させることにより、その回転遠心力で当該スクレイパー10を燃焼筒1の内壁面に接当させる。
【0018】
上記スクレイパー10の骨組構造は、図3に示すように、その中心軸線Zに対して等角度間隔に立設した3本の縦骨10aと、これらの縦骨10aの上端を固定する上端フランジ20と、当該縦骨10aの下端を連結固定するリング10bと、このリング10bの下側に付設され、下向きテーパ状の下部縦骨10cと、その下部縦骨10aの下端を連結固定する下部リング10dとから成り、上記燃焼筒1内に吊設されている。
【0019】
上記構成は、燃焼筒1の内壁に付着・堆積した酸化粉体を上記スクレイパー10で掻き落すとともに、当該スクレイパー10を燃焼筒1の内壁面に接当させることにより、スクレイパー10に付着・堆積する酸化粉体を振り落とすことを意図したもので、燃焼筒1内壁とガスバーナ7の開口部付近の付着粉体を除去することにより、安定したバーナ火炎と火炎検出を維持しつつ、燃焼筒1内の閉塞を防ぐことによって、半導体製造装置の排ガス除害性能を高く維持することができる。
【0020】
上記ロータリアクチュエータ9は、出力軸15を往復回転させるもので、上記スクレイパー10をその反転慣性力で燃焼筒1の内壁面に衝突させるように構成されている。これは衝突時の衝撃により、当該スクレイパー10に付着・堆積する酸化粉体を一層確実に振り落とすことを意図したものである。これにより、安定したバーナ火炎と火炎検出を維持し、半導体製造装置の排ガス除害性能を長期に亘り維持することができる。
【0021】
上記首振吊持機構16は、上記ロータリアクチュエータ9の出力軸15の下端部に固設した平面視略三角形の吊持板17と、この吊持板17で吊持されるスクレイパー10の上端フランジ20とから構成される。そして上記吊持板17は、その上面の各コーナ部に上端フランジ20を支持する三つの吊持ピン18を備え、上端フランジ20は、上記吊持板17が遊嵌する平面視略三角形の嵌入孔21と、そのフランジ下面で上記嵌入孔21の各辺近傍に上記吊持ピン18が嵌着する三つの嵌着凹部22とを備え、上端フランジ20の嵌入孔21内に上記吊持板17を着脱自在に挿入し、略60度相対回転して上記吊持板17で上端フランジ20を吊持するように構成されている。
【0022】
なお、スクレイパー10は、以下の手順で組み付けられる。
外筒2と内筒3とを取り外した状態で、図4に示すように、A:燃焼筒1の下部からスクレイパー10を挿入し、スクレイパー10の上端フランジ20にあけた略三角形の嵌入孔21内に上記出力軸15の下端部に固設した略三角形の吊持板17を挿入する。B:上記スクレイパー10を略60度回転する。C:上端フランジ20の嵌着凹部22内に上記吊持板17の吊持ピン18を嵌着して上記吊持板17で上端フランジ20を吊持する。つまり、上記吊持板17でスクレイパー10を吊持するだけのガタのある吊り下げ構造としている。
【0023】
これは、上記吊持板17と上端フランジ20とをワンタッチで着脱できるように意図したものである。これにより、燃焼筒1内のメンテナンスも容易になる。そして上記スクレイパー10を所定の回転速度で往復回転させることにより、その反転慣性力で三つの吊持ピン18のうち、二つのピンが支点となって当該スクレイパー10が遠心方向へ傾斜し燃焼筒1の内壁面に衝突する。上記構成によれば、反転時にスクレイパー10が脱落する虞はない。
【0024】
なお、上記ロータリアクチュエータ9は、その作動空気流量のスピードコントローラバルブ13の開度調節により任意の作動速度に設定可能である。
ちなみに図5から図8は、シランを燃焼処理して発生した酸化粉体がスクレイパーに付着・堆積した状態の燃焼筒内の試験観察写真を示し、図5はスクレイパー10を回転させない試験前の状態を、図6(a)から図6(c)はスクレイパー10の往復角回転速度を1.68rad/sec乃至3.11rad/secに設定したときの状態を、図7(a)から図7(c)はその往復角回転速度を3.98rad/sec乃至6.28rad/secに設定したときの状態を、図8(a)から図8(c)はその往復角回転速度を6.95rad/sec乃至9.57rad/secに設定したときの状態を、それぞれ示している。
【0025】
図5に示すように、試験前はスクレイパー10の骨組に多量の酸化粉体が付着・堆積している様子がわかる。上記図6乃至図8によれば、角回転速度の高速化に伴って徐々に酸化粉体の除去効果が得られ、特に図7(c)に示す角回転速度6.28rad/secから図8(c)に示す9.57rad/secにいたって酸化粉体の除去効果が明確に判明する。
【0026】
ここで、角回転速度約6〜10rad/secの範囲において衝撃音が高くなることから、この往復回転においてスクレイパー10の著しい揺動が始まり、燃焼筒1内で衝突、摩擦振動が発生することによって、粉体を振り落とし除去できるようになったと判断する。つまり、出力軸15を6〜10rad/secで往復回転させることにより、上記スクレイパー10は比較的高速で往復回転し、その反転慣性力で当該スクレイパー10は燃焼筒1の内壁面に強く衝突することとなる。これにより、当該スクレイパー10に付着・堆積する酸化粉体を一層確実に振り落とすことができる。
【0027】
即ち、燃焼筒1内に挿入したスクレイパー10に付着した酸化粉体をも除去できることにより、長期にわたり燃焼筒内を開放清掃する必要がなく、また、開放清掃時も内部に付着・堆積した粉体が少ないので、清掃作業を簡易に済ませることができる。これにより、燃焼式除害装置の停止を最小限に抑え、メンテナンス周期を長くして除害装置の稼働効率を高めることができる。
【0028】
上記スクレイパー10による酸化粉体の除去動作は、排ガスの燃焼処理中に行われ、当該除害装置の稼動状態にもよるが、間欠的に1時間に数回乃至一日に数回程度の除去動作が実行され、通常は1回の除去動作につき2〜10往復回転させるように設定している。
【0029】
なお、スクレイパー10の骨組構造は上記の実施形態に限らず、その回転により燃焼筒1の内面に付着する酸化粉体を掻き落す複数の縦骨を備え、スクレイパーの停止状態で、それらの縦骨間のスペースがガスバーナ7の開口を塞がないものであれば良い。また、首振吊持機構16も上記の実施形態に限らず、例えば、回転軸15の下端に鈎状の吊持具を固定し、スクレイパー10の上端フランジに鈎状の被吊持具を固定し、両者をリンク状に連結したもの等、多様な変形例が考えられる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施形態に係る燃焼式縦型除害装置の縦断正面図である。
【図2】その除害装置の要部の拡大断面図である。
【図3】図2中のA−A線矢視横断平面図である。
【図4】スクレイパーの首振吊持機構の組み付け要領を説明するための斜視図である。
【図5】スクレイパーを回転させない試験前の燃焼筒内における酸化粉体の付着・堆積状態を示す試験観察写真である。
【図6】図6(a)から図6(c)はスクレイパーの往復回転速度を1.68rad/sec乃至3.11rad/secに設定したときの燃焼筒内における酸化粉体の付着・堆積状態を示す試験観察写真である。
【図7】図7(a)から図7(c)はその往復回転速度を3.98rad/sec乃至6.28rad/secに設定したときの燃焼筒内における酸化粉体の付着・堆積状態を示す試験観察写真である。
【図8】図8(a)から図8(c)はその往復回転速度を6.95rad/sec乃至9.57rad/secに設定したときの燃焼筒内における酸化粉体の付着・堆積状態を示す試験観察写真である。
【図9】従来例の図1相当図である。
【図10】従来例の図2相当図である。
【符号の説明】
1…燃焼筒、2…外筒、3…内筒、9…ロータリアクチュエータ(ロータリーシリンダー)、10…スクレイパー、15…出力軸、16…首振吊持機構、17…吊持板、18…吊持ピン、20…上端フランジ、21…嵌入孔、22…嵌着凹部。
Claims (4)
- 半導体製造装置より排出された排ガスを火炎で燃焼処理する燃焼式縦型除害装置において、
燃焼筒(1)の上側にロータリアクチュエータ(9)を設け、このロータリアクチュエータ(9)の出力軸(15)に円筒状で骨組構造のスクレイパー(10)を首振吊持機構(16)を介して吊設し、上記ロータリアクチュエータ(9)を所定の回転速度で回転させることにより、その回転遠心力で上記スクレイパー(10)を燃焼筒(1)の内壁面に接当させることを特徴とする燃焼式縦型除害装置。 - 請求項1に記載した燃焼式縦型除害装置において、
上記ロータリアクチュエータ(9)を往復回転させることにより、上記スクレイパー(10)をその反転慣性力で燃焼筒(1)の内壁面に衝突させるように構成した、ことを特徴とする燃焼式縦型除害装置。 - 請求項1又は請求項2に記載した燃焼式除害装置において、
上記首振吊持機構(16)は、出力軸(15)の下端部に固設した平面視略三角形の吊持板(17)と、この吊持板(17)で吊持されるスクレイパー(10)の上端フランジ(20)とから成り、
上記吊持板(17)は、その上面の各コーナ部に上端フランジ(20)を支持する吊持ピン(18)を備え、
上端フランジ(20)は、上記吊持板(17)が遊嵌する平面視略三角形の嵌入孔(21)と、そのフランジ下面で上記嵌入孔(21)の各辺近傍に上記ピン(18)が嵌着する嵌着凹部(22)とを備え、
上記吊持板(17)と上端フランジ(20)とを着脱可能に構成した、ことを特徴とする燃焼式縦型除害装置。 - 請求項1から請求項3のいずれか1項に記載した燃焼式縦型除害装置において、
上記ロータリアクチュエータ(9)を回転速度6〜10rad/secで往復回転させるように構成した、ことを特徴とする燃焼式縦型除害装置。
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