JP6971949B2 - 液体吐出ノズルおよび半導体製造装置 - Google Patents
液体吐出ノズルおよび半導体製造装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6971949B2 JP6971949B2 JP2018190164A JP2018190164A JP6971949B2 JP 6971949 B2 JP6971949 B2 JP 6971949B2 JP 2018190164 A JP2018190164 A JP 2018190164A JP 2018190164 A JP2018190164 A JP 2018190164A JP 6971949 B2 JP6971949 B2 JP 6971949B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- nozzle
- liquid
- stagnant
- suction
- opening
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Landscapes
- Nozzles (AREA)
- Weting (AREA)
- Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)
Description
(構成)
図1は、実施の形態1に係る半導体製造装置500の構成を示す図である。図1を参照して、半導体製造装置500は、液体吐出ノズル100と、ステージ30とを含む。
以上説明したように、本実施の形態によれば、ノズル10は、導電性を有する。ノズル10は、吸引処理が行われる期間において、当該導電性を利用して、当該ノズル10の開口H1b側に存在する液体である滞留液体が、当該ノズル10の当該開口H1b側に付着する力である付着力を小さくする構造X1を有する。
以下においては、本変形例の構成を「構成Ctm1」ともいう。構成Ctm1では、ノズル10が、構造X1aを有する。構成Ctm1は、実施の形態1の液体吐出ノズル100に適用される。また、構成Ctm1は、実施の形態1の半導体製造装置500に適用される。構成Ctm1が適用された半導体製造装置500は、構成Ctm1が適用された液体吐出ノズル100(図3参照)を含む。
以上説明したように、本変形例によれば、ノズル10が導電性を有し、かつ、滞留部10a(ノズル10)に、滞留液体3の極性と同じ極性の電圧が印加される。これにより、滞留部10a(ノズル10)の内面の極性は、滞留液体3の極性と同じになる。そのため、吐出処理が終了した後に、ノズル10(端部10b)の内面に付着している滞留液体3は、当該内面から離れる。
Claims (4)
- ノズルの開口から液体を吐出する吐出処理が終了した後、当該ノズルの当該開口側に存在する当該液体を吸い上げるための吸引処理が行われる当該ノズルを含む液体吐出ノズルであって、
前記ノズルは、導電性を有し、
前記ノズルは、前記吸引処理が行われる期間において、前記導電性を利用して、当該ノズルの前記開口側に存在する前記液体である滞留液体が、当該ノズルの当該開口側に付着する力である付着力を小さくする構造を有し、
前記構造では、前記吸引処理が行われる期間において、前記ノズルに電圧が印加される
液体吐出ノズル。 - 前記構造では、前記ノズルに、前記滞留液体の極性と同じ極性の前記電圧が印加される
請求項1に記載の液体吐出ノズル。 - 前記ノズルは、当該ノズルの一部である滞留部を含み、
前記滞留部は、前記吸引処理が行われる期間において、前記滞留液体が滞留するための部分であり、
前記構造では、前記滞留部に前記電圧が印加される
請求項1または2に記載の液体吐出ノズル。 - 請求項1から3のいずれか1項に記載の前記液体吐出ノズルを備え、
前記吐出処理を行った後、前記吸引処理を行う
半導体製造装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018190164A JP6971949B2 (ja) | 2018-10-05 | 2018-10-05 | 液体吐出ノズルおよび半導体製造装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018190164A JP6971949B2 (ja) | 2018-10-05 | 2018-10-05 | 液体吐出ノズルおよび半導体製造装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2020058962A JP2020058962A (ja) | 2020-04-16 |
JP6971949B2 true JP6971949B2 (ja) | 2021-11-24 |
Family
ID=70220630
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018190164A Active JP6971949B2 (ja) | 2018-10-05 | 2018-10-05 | 液体吐出ノズルおよび半導体製造装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6971949B2 (ja) |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4989370B2 (ja) * | 2006-10-13 | 2012-08-01 | 大日本スクリーン製造株式会社 | ノズルおよびそれを備える基板処理装置 |
JP6496171B2 (ja) * | 2015-03-30 | 2019-04-03 | 株式会社Screenホールディングス | 基板処理装置 |
JP6685197B2 (ja) * | 2016-07-26 | 2020-04-22 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理装置およびノズル |
JP6702082B2 (ja) * | 2016-08-18 | 2020-05-27 | 東京エレクトロン株式会社 | 液処理装置及び配管の監視方法 |
-
2018
- 2018-10-05 JP JP2018190164A patent/JP6971949B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2020058962A (ja) | 2020-04-16 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US20080173327A1 (en) | Two-fluid nozzle, substrate processing apparatus, and substrate processing method | |
TWI327488B (ja) | ||
KR101746346B1 (ko) | 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법 | |
JP3573504B2 (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
KR20180116113A (ko) | 애닐록스 롤의 자동 세정 장치와 그 세정 방법 | |
JP6971949B2 (ja) | 液体吐出ノズルおよび半導体製造装置 | |
JP4808147B2 (ja) | 塗布用ダイの清掃装置 | |
US6497240B1 (en) | Ultrasound cleaning device and resist-stripping device | |
JP2002110512A (ja) | 成膜方法及び成膜装置 | |
KR101812707B1 (ko) | 챔버 세정 시스템 | |
JP2018160701A5 (ja) | 基板洗浄システム、基板洗浄方法および記憶媒体 | |
JP6491816B2 (ja) | スリットノズル洗浄装置、及びワーク用塗布装置 | |
JP2005019991A (ja) | 基板処理装置 | |
KR20170014774A (ko) | 배관유닛 및 이를 구비하는 세정장치 | |
JP6643954B2 (ja) | 薬液ノズルおよび回転塗布装置 | |
JP2007073649A (ja) | レジスト剥離洗浄装置、レジスト剥離洗浄方法および基板製造方法 | |
JP2004113954A (ja) | ダイヘッド、塗工方法及び塗工装置 | |
KR970000385Y1 (ko) | 반도체 코팅장비의 웨이퍼 후면 잔류 세척액 건조장치 | |
KR101645393B1 (ko) | 플라즈마 세정 장치 | |
KR101856197B1 (ko) | 약액 공급 장치 | |
JP5363204B2 (ja) | 塗布装置のスリットノズルの洗浄方法 | |
KR20190004451A (ko) | 펄스신호를 이용하는 유체 분사 장치 | |
JP2019155310A (ja) | ドクターチャンバーコーター | |
JPH0639330A (ja) | 薬液塗布装置 | |
JP2012066244A (ja) | プライミング処理方法及びプライミング処理装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20201026 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20210715 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20210727 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20210914 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20211005 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20211102 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6971949 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |