JP6969729B2

JP6969729B2 - 液状エポキシ樹脂組成物、半導体封止剤、半導体装置、および液状エポキシ樹脂組成物の製造方法

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Publication number: JP6969729B2
Application number: JP2014252471A
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Inventors: 真鈴木; 東之吉井; 和之小原
Original assignee: Namics Corp
Current assignee: Namics Corp
Priority date: 2014-12-12
Filing date: 2014-12-12
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Description

本発明は、液状エポキシ樹脂組成物に関し、特に、液状半導体封止剤、中でもフリップチップ型半導体装置用の液状半導体封止剤に適した液状エポキシ樹脂組成物に関する。

半導体装置のさらなる配線等の高密度化、高出力化に対応可能な半導体素子の実装方式で、フリップチップボンディングが利用されている。一般的に、フリップチップボンディングでは、半導体素子と基板をバンプで接合し、半導体素子と基板の間隙を、アンダーフィル材と呼ばれる液状半導体封止剤で封止を行う。

近年、半導体装置等の高密度化、高出力化の要求に応えるため、液晶ドライバＩＣ等を搭載する配線パターンのファインピッチ化が進んでいる。このファインピッチ化および狭ギャップ化により、液状半導体封止剤が注入できない箇所が発生する、という問題が発生している。

このように、液状半導体封止剤を、狭ギャップの半導体装置に注入する場合、粘度が高いと注入できない問題が発生するため、信頼性向上のために、フィラー添加量の低減による粘度の低下が試みられたが、フィラー添加量の低減は、吸湿リフローやサーマルサイクルなどの信頼性試験において、信頼性の低下を招いてしまう、という別の問題が発生する。

特開２０１２−１９３２８４号公報

本発明は、ファインピッチの配線パターンを有するフリップチップ型半導体装置への注入性に優れ、かつ硬化後にフィレットクラックを抑制する液状半導体封止剤を提供することを目的とする。

本発明は、以下の構成を有することによって上記問題を解決した液状エポキシ樹脂組成物、半導体封止剤、半導体装置、および液状エポキシ樹脂組成物の製造方法に関する。
〔１〕（Ａ）アミノフェノール型エポキシ樹脂を含む液状エポキシ樹脂、（Ｂ）アミン系硬化剤、（Ｃ）シリカフィラーおよび（Ｄ）シランカップリング剤を含有し、
（Ａ）成分１００質量部に対して、アミノフェノール型エポキシ樹脂を１０．０〜７０質量部を含み、
（Ｂ）成分が、（Ａ）成分：１当量に対して、０．７〜１．２当量の比率であり、
硬化後のガラス転移温度が、１１０〜２００℃であることを特徴とする、液状エポキシ樹脂組成物。
〔２〕（Ａ）成分に含まれるアミノフェノール型エポキシ樹脂が、式（１）：

で表される、上記〔１〕記載の液状エポキシ樹脂組成物。

〔３〕（Ｂ）成分が、化学式（２）〜（４）：

の少なくとも一つで表されるアミン系硬化剤を含む、上記〔１〕または〔２〕記載の液状エポキシ樹脂組成物。
〔４〕（Ｃ）成分の平均粒径が、０．１〜３．０μｍであり、かつ、液状エポキシ樹脂組成物１００質量部に対して、（Ｃ）成分が５５〜７５質量部である、上記〔１〕〜〔３〕のいずれか記載の液状エポキシ樹脂組成物。
〔５〕さらに、（Ｅ）ポリアルキルシロキサンを含む、上記〔１〕〜〔４〕のいずれか記載の液状エポキシ樹脂組成物。
〔６〕さらに、（Ｆ）ブロックコポリマーを含む、上記〔１〕〜〔５〕のいずれか記載の液状エポキシ樹脂組成物。
〔７〕（Ｄ）成分を、アミノフェノール型エポキシ樹脂を除く（Ａ）成分の少なくとも一部に分散させ、マスタバッチとした後、マスタバッチに、アミノフェノール型エポキシ樹脂を含む（Ａ）成分の残部と（Ｂ）成分を混合することにより得られる、上記〔１〕〜〔６〕のいずれか記載の液状エポキシ樹脂組成物。
〔８〕上記〔１〕〜〔７〕のいずれか記載の液状エポキシ樹脂組成物を含む、液状半導体封止剤。
〔９〕上記〔８〕記載の、基板とチップ間のギャップが５〜２５μｍであるフリップチップ型半導体装置用の液状半導体封止剤。
〔１０〕上記〔８〕または〔９〕記載の液状半導体封止剤を用いて封止された、半導体装置。
〔１１〕上記〔１０〕記載の、銅ピラーを備えるフリップチップ型半導体装置。
〔１２〕（Ｄ）成分を、アミノフェノール型エポキシ樹脂を除く（Ａ）成分に分散させ、マスタバッチとした後、マスタバッチに、アミノフェノール型エポキシ樹脂と（Ｂ）成分を混合することを特徴とする、上記〔１〕〜〔７〕のいずれか記載の液状エポキシ樹脂組成物の製造方法。

本発明〔１〕によれば、ファインピッチの配線パターンを有するフリップチップ型半導体装置への注入性に優れ、かつ硬化後にフィレットクラックを抑制する液状エポキシ樹脂組成物を提供することができる。

本発明〔８〕によれば、ファインピッチの配線パターンへの注入性に優れ、かつ硬化後にフィレットクラックを抑制する液状半導体封止剤を容易に提供することができる。

本発明〔１０〕によれば、ファインピッチの配線パターンに液状半導体封止剤が良好に注入され、かつ硬化後の液状半導体封止剤のフィレットクラックが抑制された高信頼性の半導体装置を容易に提供することができる。

本発明〔１２〕によれば、ファインピッチの配線パターンを有するフリップチップ型半導体装置への注入性に優れ、かつ硬化後にフィレットクラックを抑制する液状エポキシ樹脂組成物を簡便に製造することが可能となる。

樹脂組成物の注入性の評価方法を説明する模式図である。フィレットクラックが発生していない箇所の写真である。本発明を用いてフィレットクラックの発生量を抑制した箇所の写真である。フィレットクラックが多量に発生した箇所の写真である。

〔液状エポキシ樹脂組成物〕
本発明の液状エポキシ樹脂組成物（以下、液状エポキシ樹脂組成物という）は、
（Ａ）アミノフェノール型エポキシ樹脂を含む液状エポキシ樹脂、（Ｂ）アミン系硬化剤、（Ｃ）シリカフィラーおよび（Ｄ）シランカップリング剤を含有し、
（Ａ）成分１００質量部に対して、アミノフェノール型エポキシ樹脂を１０．０〜７０質量部を含み、
（Ｂ）成分が、（Ａ）成分：１当量に対して、０．７〜１．２当量の比率であり、
硬化後のガラス転移温度（Ｔｇ）が、１１０〜２００℃であることを特徴とする。

（Ａ）成分に含有されるアミノフェノール型エポキシ樹脂は、分子量が低いエポキシ樹脂であり、液状エポキシ樹脂組成物を低粘度にし、注入性を良好にする。また、硬化後の液状エポキシ樹脂組成物のフィレットクラックの発生を抑制する。アミノフェノール型エポキシ樹脂は、好ましくは、式（５）：

で表され、２個の官能基がオルト位またはパラ位にあるものがより好ましく、式（１）：

で表されるものが、液状エポキシ樹脂組成物の注入性、硬化性、耐熱性、接着性、硬化後の液状エポキシ樹脂組成物のフィレットクラック抑制等の耐久性、耐マイグレーション性の観点から、特に好ましい。市販品としては、三菱化学製アミノフェノール型エポキシ樹脂（グレード：ＪＥＲ６３０、ＪＥＲ６３０ＬＳＤ）が挙げられる。アミノフェノール型エポキシ樹脂は、単独でも２種以上を併用してもよい。

アミノフェノール型エポキシ樹脂以外の（Ａ）成分としては、液状ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂、液状ビスフェノールＦ型エポキシ樹脂、液状ナフタレン型エポキシ樹脂、液状水添ビスフェノール型エポキシ樹脂、液状脂環式エポキシ樹脂、液状アルコールエーテル型エポキシ樹脂、液状環状脂肪族型エポキシ樹脂、液状フルオレン型エポキシ樹脂、液状シロキサン系エポキシ樹脂等が挙げられ、液状ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂、液状ビスフェノールＦ型エポキシ樹脂、液状シロキサン系エポキシ樹脂が、硬化性、耐熱性、接着性、耐久性の観点から好ましい。また、エポキシ当量は、粘度調整の観点から、８０〜２５０ｇ／ｅｑが好ましい。市販品としては、新日鐵化学製ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂（品名：ＹＤＦ８１７０）、新日鐵化学製ビスフェノールＦ型エポキシ樹脂（品名：ＹＤＦ８７０ＧＳ）、ＤＩＣ製ナフタレン型エポキシ樹脂（品名：ＨＰ４０３２Ｄ）、信越化学製シロキサン系エポキシ樹脂（品名：ＴＳＬ９９０６）等が挙げられる。アミノフェノール型エポキシ樹脂以外の（Ａ）成分は、単独でも２種以上を併用してもよい。

アミノフェノール型エポキシ樹脂は、注入性、フィレットクラック抑制の観点から、（Ａ）成分：１００重量部に対して、１０．０〜７０重量部含有される。アミノフェノール型エポキシ樹脂が、１０．０質量部未満であると、注入性が悪くなり、かつフィレットクラックが発生し易くなり、７０質量部を超えると、硬化後の液状エポキシ樹脂組成物のガラス転移点が高くなり過ぎ、フィレットクラックが発生し易くなり、信頼性が低下する。アミノフェノール型エポキシ樹脂が、１０．０〜７０重量部であると、硬化後の液状エポキシ樹脂組成物の架橋密度が上がり、（Ａ）成分の結合の剛直性が維持され、フィレットクラックが伸展しにくくなり、一方、アミノフェノール型エポキシ樹脂が過剰に配合されると、（Ａ）成分の結合の剛直性が弱くなり、硬化後の液状エポキシ樹脂組成物のフィレットクラックが伸展しやすくなる、と考えられる。

（Ｂ）成分は、液状エポキシ樹脂組成物に良好な反応性（硬化速度）、適度な粘性を付与する。（Ｂ）成分としては、エポキシ基と付加反応しうる活性水素を分子内に１個以上有するものであればよい。（Ｂ）成分としては、ジエチレントリアミン、トリエチレンテトラミン、ｎ−プロピルアミン、２−ヒドロキシエチルアミノプロピルアミン、シクロヘキシルアミン、４，４’−ジアミノ−ジシクロヘキシルメタン等の脂肪族アミン化合物；４，４’−ジアミノジフェニルメタン、２−メチルアニリン等の芳香族アミン化合物；イミダゾール、２−メチルイミダゾール、２−エチルイミダゾール、２−イソプロピルイミダゾール等のイミダゾール化合物；イミダゾリン、２−メチルイミダゾリン、２−エチルイミダゾリン等のイミダゾリン化合物等が挙げられ、液状であることと保存安定性の観点から、芳香族アミン化合物が好ましい。

（Ｂ）成分は、化学式（２）〜（４）：

の少なくとも一つで表されるアミン系硬化剤を含むと、液状であることと保存安定性の観点から、好ましい。（Ｂ）成分の市販品としては、ＡＬＢＥＭＡＲＬＥＣｏ．，Ｌｔｄ．製ジエチルトルエンジアミン、（化学式（２）の化合物、品名：エタキュア１００）、日本化薬製アミン系硬化剤（化学式（３）の化合物、品名：ＨＤＡＡ）、ＡＤＥＫＡ製アミン系硬化剤（化学式（４）の化合物、品名：ＥＨ１０５Ｌ）が挙げられる。（Ｂ）成分は、単独でも２種以上を併用してもよい。

（Ｃ）成分により、液状エポキシ樹脂組成物の線膨張係数を制御することができる。（Ｃ）成分としては、コロイダルシリカ、疎水性シリカ、微細シリカ、ナノシリカ等が挙げられる。また、（Ｃ）成分の平均粒径（粒状でない場合は、その平均最大径）は、特に限定されないが、０．１〜３μｍであると、液状エポキシ樹脂組成物中に（Ｃ）成分を均一に分散させるうえで好ましく、０．３〜２．０μｍだと更に好ましい。また、液状エポキシ樹脂組成物の注入性に優れる等の理由から好ましい。０．１μｍ未満だと、液状エポキシ樹脂組成物の粘度が上昇して、注入性が悪化するおそれがある。３μｍ超だと、液状エポキシ樹脂組成物中に（Ｃ）成分を均一に分散させることが困難になるおそれがある。市販品としては、アドマテックス製高純度合成球状シリカ（品名：ＳＥ２２００ＳＥＥ、平均粒径：０．６μｍ；品名：ＳＥ１０５３ＳＥＯ、平均粒径：０．３μｍ；品名：ＳＥ５２００ＳＥＥ、平均粒径：２．０μｍ；品名：ＳＯ−Ｅ５、平均粒径：２μｍ；品名：ＳＥ−２３００、平均粒径：０．６μｍ）等が挙げられる。なお、（Ｃ）成分は、ブリードの観点から、平均粒径が１０〜１００ｎｍのナノシリカを含むと、より好ましい。ここで、充填剤の平均粒径は、動的光散乱式ナノトラック粒度分析計により測定する。（Ｃ）成分は、単独でも２種以上を併用してもよい。

（Ｄ）成分は、液状エポキシ樹脂組成物に密着性を付与する。（Ｄ）成分としては、３−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、３−アミノプロピルトリメトキシシラン、ビニルトリメトキシシラン、３−トリエトキシシリル−Ｎ−（１，３−ジメチル−ブチリデン）プロピルアミン、ｐ−スチリルトリメトキシシラン、３−メタクリロキシプロピルメチルトリメトキシシラン、３−アクリロキシプロピルトリメトキシシラン、３−ウレイドプロピルトリエトキシシラン、３−メルカプトプロピルトリメトキシシラン、ビス（トリエトキシシリルプロピル）テトラスルフィド、３−イソシアネートプロピルトリエトキシシラン等が挙げられ、３−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、３−アミノプロピルトリメトキシシラン、３−トリエトキシシリル−Ｎ−（１，３−ジメチル−ブチリデン）プロピルアミンが好ましい。市販品としては、信越化学工業製３−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン（品名：ＫＢＭ４０３）、３−アミノプロピルトリエトキシシラン（品名：ＫＢＥ９０３）、３−トリエトキシシリル−Ｎ−（１，３−ジメチル−ブチリデン）プロピルアミン（品名：ＫＢＥ９１０３）等が挙げられる。（Ｄ）成分は、単独でも２種以上を併用してもよい。

（Ｂ）成分は、（Ａ）成分：１当量に対して、０．７〜１．２当量の比率であり、０．７〜１．０当量の比率であると、好ましい。（Ａ）成分の当量はエポキシ当量であり、（Ｂ）成分の当量はアミン当量である。０．７以上であると、反応性、硬化後の液状エポキシ樹脂組成物の耐湿信頼性、耐マイグレーション性が良好であり、一方、１．２以下であると、増粘倍率が高くなり過ぎず、ボイドの発生が抑制される。

（Ｃ）成分は、硬化後の液状エポキシ樹脂組成物の線膨張係数の観点から、液状エポキシ樹脂組成物１００質量部に対して、５５〜７５質量部であると好ましい。

（Ｄ）成分は、（Ａ）成分：１００質量部に対して、好ましくは０．０５〜５．０質量部、より好ましくは０．１〜３．０質量部含有される。０．０５質量部以上であると、液状エポキシ樹脂組成物の密着性が向上し、硬化後の液状エポキシ樹脂組成物の耐湿信頼性がより良好になり、５．０質量部以下であると、液状エポキシ樹脂組成物の発泡が抑制される。

液状エポキシ樹脂組成物は、さらに、（Ｅ）ポリアルキルシロキサン（Ｓｉに結合するアルキル基としては、メチル、ジメチル、エチル等が挙げられる）を含むと、液状エポキシ樹脂組成物の流動特性を改良し、フィレット形状を変化させることができるので、好ましい。（Ｅ）成分としては、ポリアルキルジメチルシロキサンであると、より好ましい。（Ｅ）成分の市販品としては、東レ・ダウコーニング製ポリアルキルジメチルシロキサン（品名：ＳＦ８４２１）が挙げられる。（Ｅ）成分は、単独でも２種以上を併用してもよい。

液状エポキシ樹脂組成物は、（Ｆ）ブロックコポリマーを含むと、液状エポキシ樹脂組成物の流動特性を改良し、フィレット形状を変化させることができるので、好ましい。この（Ｆ）成分としては、アクリルコポリマー等のブロックコポリマーが挙げられ、メタクリル酸メチルとアクリル酸ブチルのブロックコポリマーであると、より好ましい。（Ｆ）成分の市販品としては、アルケマ製ブロックコポリマーのアクリルコポリマー、品名：Ｍ５２Ｎ、分子量：８００００〜１０００００が挙げられる。（Ｆ）成分は、単独でも２種以上を併用してもよい。

（Ｅ）成分は、フィレット形状の観点から、液状エポキシ樹脂組成物１００質量部に対して、２〜８質量部であると好ましい。

（Ｆ）成分は、フィレット形状の観点から、液状エポキシ樹脂組成物１００質量部に対して、４〜１０質量部であると好ましい。

本発明の液状エポキシ樹脂組成物には、本発明の目的を損なわない範囲で、更に必要に応じ、硬化促進剤、包接化合物、レベリング剤、イオントラップ剤、消泡剤、搖変剤、酸化防止剤、顔料、染料等の添加剤を配合することができる。

液状エポキシ樹脂組成物は、硬化後のガラス転移温度（Ｔｇ）が、１１０〜２００℃であり、１２０〜２００℃であると好ましい。Ｔｇが１１０℃未満では、高温での強度が低下するため、最高温度が１１０〜１２０℃である環境試験での信頼性に劣ってしまい、Ｔｇが２００℃を超えると、硬くなりすぎて、フレットクラックが発生しやすくなり、また、硬化時の収縮が大きくなることにより、半導体装置に反りが発生し易くなり、吸水率も高くなり易くなってしまう。

液状エポキシ樹脂組成物は、温度：２５℃での粘度が５〜２０Ｐａ・ｓであると、注入性の観点から好ましい。ここで、粘度は、ブルックフィールド製ＨＢＴ型粘度計（型番：ＤＶ−Ｉ）で測定する。

本発明のエポキシ樹脂組成物は、チップと基板の間隙が５〜２５μｍであるファインピッチの配線パターンを有するフリップチップボンディングを利用する液状半導体封止剤に適している。

〔液状エポキシ樹脂組成物の製造方法〕
本発明の液状エポキシ樹脂組成物の製造方法は、（Ｄ）成分を、アミノフェノール型エポキシ樹脂を除く（Ａ）成分に分散させ、マスタバッチとした後、マスタバッチに、アミノフェノール型エポキシ樹脂と（Ｂ）成分を混合することを特徴とする。

（Ｄ）成分を、アミノフェノール型エポキシ樹脂を除く（Ａ）成分に分散させ、マスタバッチとする工程により、液状エポキシ樹脂組成物中での（Ｄ）成分の分離、（Ｄ）成分とアミノフェノール型エポキシ樹脂とのハジキを抑制することができ、全ての原料を同時に混合する場合と比較して、容易に液状エポキシ樹脂組成物を製造することができる。

ここで、マスタバッチを作製するとき、（Ｄ）成分と混合するアミノフェノール型エポキシ樹脂を除く（Ａ）成分は、（Ｃ）成分：１００質量部に対して、１０〜１０００質量部であると好ましく、５０〜５００質量部であると、より好ましい。

マスタバッチを作製するときには、必要により加熱処理を加えながら、撹拌、溶融、混合、分散させることにより得ることができる。これらの混合、撹拌、分散等の装置としては、特に限定されるものではないが、撹拌、加熱装置を備えたライカイ機、３本ロールミル、ボールミル、プラネタリーミキサー、ビーズミル等を使用することができる。また、これら装置を適宜組み合わせて使用してもよい。

マスタバッチに、アミノフェノール型エポキシ樹脂を含む（Ａ）成分の残部と（Ｄ）成分を混合するときに、混合する順序は、特に、限定されない。混合する方法は、マスタバッチを作製する場合と同様でよい。

本発明の液状エポキシ樹脂組成物は、ディスペンサー、印刷等で基板の所望の位置に形成・塗布される。ここで、液状エポキシ樹脂組成物は、フレキシブル配線基板等の基板と半導体素子との間に、少なくとも一部が基板の配線上に接するように形成する。

本発明の液状樹脂組成物の硬化は、９０〜１７０℃、６０〜１８０分間行うことが好ましく、特に１２０分以内で硬化させると、半導体装置に用いる封止剤として生産性向上から好ましい。

〔液状半導体封止剤〕
本発明の液状半導体封止剤は、上述の液状エポキシ樹脂組成物を含み、チップと基板の間隙が５〜２５μｍであるフリップチップ型半導体装置用の液状半導体封止剤に適している。

〔半導体装置〕
本発明の半導体装置は、上述の液状半導体封止剤を用いて封止される。半導体素子、基板は、所望のものを使用することができるが、チップと基板の間隙が５〜２５μｍであるフリップチップ型半導体装置であると、本発明の効果を発揮するために適している。また、銅ピラーを備えるフリップチップ型半導体装置に対しても、本発明の効果を発揮することができる。

本発明について、実施例により説明するが、本発明はこれらに限定されるものではない。なお、以下の実施例において、部、％はことわりのない限り、質量部、質量％を示す。

〔実施例１〜１４、比較例１〜６〕
表１〜３に示す配合で原料を混合した後、室温で３本ロールミルを用いて分散し、液状エポキシ樹脂組成物（以下、「樹脂組成物」という）を作製した。なお、実施例１４のみは、（Ｄ）成分を、アミノフェノール型エポキシ樹脂を除く（Ａ）成分と（Ｃ）成分とに、室温で混合した後、３本ロールミルで分散させ、マスタバッチとした後、マスタバッチに、アミノフェノール型エポキシ樹脂と（Ｂ）成分を、室温で混合した後、３本ロールミルで分散することにより作製した。

〔粘度の評価〕
作製した液状エポキシ樹脂組成物の粘度（初期粘度、単位：Ｐａ・ｓ）を、ブルックフィールド社製ＤＶ−１型粘度計／１４号スピンドルを用いて、２５℃、５０ｒｐｍで１分間回転させたときの粘度（表１〜３には、粘度（５０ｒｐｍ）と記載した）を測定した。次に、液状エポキシ樹脂組成物を、ＤＶ−１型粘度計／１４号スピンドルを用いて、２５℃、５０ｒｐｍと５ｒｐｍで１分間回転させたときの粘度を測定した。得られた〔（５０ｒｐｍでの粘度）／（５ｒｐｍでの粘度）〕からチキソトロピック指数（ＴＩ）を求めた。ＴＩは、０．５〜１．１であると好ましい。表１、表２に、結果を示す。

〔注入性の評価〕
図１に、液状エポキシ樹脂組成物の注入性の評価方法を説明する模式図を示す。まず、図１（Ａ）に示すように、基板２０上に、５０μｍまたは２５μｍの間隙４０を設けて、半導体素子の代わりにガラス板３０を固定した試験片を作製した。但し、基板２０としては、フレキシブル基板の代わりにガラス基板を使用した。次に、この試験片を１１０℃に設定したホットプレート上に置き、図１（Ｂ）に示すように、ガラス板３０の一端側に、作製した樹脂組成物１０を塗布し、図１（Ｃ）に示すように、間隙４０が樹脂組成物１１で満たされるまでの時間を測定した。表１〜３に、結果を示す。

〔ガラス転移点（Ｔｇ）の評価〕
動的粘弾性測定（ＤＭＡ）で測定した。支持体上に、幅：４０ｍｍ、長さ：７０ｍｍ、厚さ：２ｍｍに塗布した液状エポキシ樹脂組成物を、１６５℃で１２０分間、加熱硬化させ、支持体から剥離した後、該接着性フィルムから試験片（１０±０．５ｍｍ×５０±１ｍｍ）を切り出し、試験片の幅、厚みを測定した。その後、ＳＩＩ製動的粘弾性測定装置（型番：ＤＭＳ６１００）で測定を行った（３℃／ｍｉｎ２５−３００℃）。ｔａｎＤのピーク温度を読み取り、Ｔｇとした。表１〜３に、結果を示す。

〔フィレットクラック発生率の評価〕
Ｃｕピラーのバンプで、チップサイズが１０ｍｍ□、基板が３０ｍｍ□のＴＥＧを使用した。そのＴＥＧに、液状エポキシ樹脂組成物を塗布し、１６５℃で１２０分間、加熱硬化させた。液状エポキシ樹脂組成物を硬化させたＴＥＧに、−５５℃、３０分間と１２５℃、３０分間を１サイクルとするサーマルサイクルを掛けた。５００サイクル後、フィレットクラックの長さを計測し、チップ周辺の長さ（４０ｍｍ）で割り、フィレットクラック発生率を算出した。フィレットクラック発生率は、６５％以下であると好ましい。図２〜４に、フィレットクラックを説明するための写真を示す。図２は、フィレットクラックが発生していない箇所の写真である。図３は、本発明を用いてフィレットクラックの発生量を抑制した箇所の写真である。図３では、フィレットクラックが発生した箇所（３箇所）を矢印で示す。図４は、フィレットクラックが多量に発生した箇所の写真である。図４では、フィレットクラックが発生した箇所（７箇所）を矢印で示す。

表１〜３からわかるように、実施例１〜１８の全てで、粘度、チキソトロピック係数、注入性、ガラス転移点、フィレットクラック発生率の評価結果が良好であった。なお、表１に記載していないが、（Ｄ）成分を、アミノフェノール型エポキシ樹脂を除く（Ａ）成分とマスタバッチとした後、マスタバッチに、アミノフェノール型エポキシ樹脂をと（Ｂ）成分を、室温で混合した実施例１４は、液状エポキシ樹脂組成物の保存特性が、他の実施例と比較して良好であった。
これに対して、アミノフェノールエポキシ樹脂を含有しない比較例１では、フィレットクラック発生率が高かった。アミノフェノールエポキシ樹脂の含有率が低すぎる比較例２〜４では、２０μｍ間隙での注入性が悪く、フィレットクラック発生率も高かった。アミノフェノールエポキシ樹脂の含有率が高すぎる比較例５では、ガラス転移点が高過ぎ、信頼性が確保できない値であり、かつフィレットクラック発生率も高かった。（Ｂ）成分の当量比が低く、ガラス転移点が低すぎる比較例６は、ガラス転移点が低過ぎ、信頼性が確保できない値であった。

上記のように、本発明の液状エポキシ樹脂組成物は、ファインピッチの配線パターンを有するフリップチップ型半導体装置への注入性に優れ、かつ硬化後にフィレットクラックを抑制することができるため、液状半導体封止剤に適している。

１０、１１液状樹脂組成物
２０基板
３０ガラス板
４０間隙

Claims

（Ａ）アミノフェノール型エポキシ樹脂を含む液状エポキシ樹脂、（Ｂ）アミン系硬化剤、（Ｃ）シリカフィラーおよび（Ｄ）３−グリシドキシプロピルトリメトキシシランであるシランカップリング剤を含有し、
（Ａ）成分１００質量部に対して、アミノフェノール型エポキシ樹脂を１０．０〜７０質量部を含み、
（Ｂ）成分が、（Ａ）成分：１当量に対して、０．７〜１．２当量の比率であり、
（Ｄ）成分を、アミノフェノール型エポキシ樹脂を除く（Ａ）成分の少なくとも一部に分散させ、マスタバッチとした後、マスタバッチに、アミノフェノール型エポキシ樹脂を含む（Ａ）成分の残部と（Ｂ）成分を混合することにより得られる、
１６５℃で１２０分間硬化後に動的粘弾性測定で３℃／ｍｉｎで測定したガラス転移温度が、１２０〜２００℃であることを特徴とする、液状エポキシ樹脂組成物を含む、基板とチップの間隙が５〜２５μｍであるフリップチップ型半導体装置用の液状半導体封止剤。
（Ａ）成分に含まれるアミノフェノール型エポキシ樹脂が、式（１）：

で表される、請求項１記載の液状エポキシ樹脂組成物を含む、基板とチップの間隙が５〜２５μｍであるフリップチップ型半導体装置用の液状半導体封止剤。
（Ｂ）成分が、化学式（２）〜（４）：

の少なくとも一つで表されるアミン系硬化剤を含む、請求項１または２記載の液状エポキシ樹脂組成物を含む、基板とチップの間隙が５〜２５μｍであるフリップチップ型半導体装置用の液状半導体封止剤。
（Ｃ）成分の平均粒径が、０．１〜３．０μｍであり、かつ、液状エポキシ樹脂組成物１００質量部に対して、（Ｃ）成分が５５〜７５質量部である、請求項１〜３のいずれか１項記載の液状エポキシ樹脂組成物を含む、基板とチップの間隙が５〜２５μｍであるフリップチップ型半導体装置用の液状半導体封止剤。
さらに、（Ｅ）ポリアルキルシロキサンを含む、請求項１〜４のいずれか１項記載の液状エポキシ樹脂組成物を含む、基板とチップの間隙が５〜２５μｍであるフリップチップ型半導体装置用の液状半導体封止剤。
（Ａ）アミノフェノール型エポキシ樹脂を含む液状エポキシ樹脂、（Ｂ）アミン系硬化剤、（Ｃ）シリカフィラー、（Ｄ）３−グリシドキシプロピルトリメトキシシランであるシランカップリング剤および（Ｆ）ブロックコポリマーのアクリルコポリマーを含有し、
（Ａ）成分１００質量部に対して、アミノフェノール型エポキシ樹脂を１０．０〜７０質量部を含み、
（Ｂ）成分が、（Ａ）成分：１当量に対して、０．７〜１．２当量の比率であり、
（Ｄ）成分を、アミノフェノール型エポキシ樹脂を除く（Ａ）成分の少なくとも一部に分散させ、マスタバッチとした後、マスタバッチに、アミノフェノール型エポキシ樹脂を含む（Ａ）成分の残部と（Ｂ）成分を混合することにより得られる、
１６５℃で１２０分間硬化後に動的粘弾性測定で３℃／ｍｉｎで測定したガラス転移温度が、１２０〜２００℃である、液状エポキシ樹脂組成物。
請求項６記載の液状エポキシ樹脂組成物を含む、液状半導体封止剤。
請求項７記載の、基板とチップの間隙が５〜２５μｍであるフリップチップ型半導体装置用の液状半導体封止剤。
請求項１〜５のいずれか１項記載の基板とチップの間隙が５〜２５μｍであるフリップチップ型半導体装置用の液状半導体封止剤、請求項７または８記載の液状半導体封止剤を用いて封止された、半導体装置。
請求項９記載の、銅ピラーを備えるフリップチップ型半導体装置。
（Ａ）アミノフェノール型エポキシ樹脂を含む液状エポキシ樹脂、（Ｂ）アミン系硬化剤、（Ｃ）シリカフィラーおよび（Ｄ）３−グリシドキシプロピルトリメトキシシランであるシランカップリング剤を含有し、
（Ａ）成分１００質量部に対して、アミノフェノール型エポキシ樹脂を１０．０〜７０質量部を含み、
（Ｂ）成分が、（Ａ）成分：１当量に対して、０．７〜１．２当量の比率であり、
（Ｄ）成分を、アミノフェノール型エポキシ樹脂を除く（Ａ）成分の少なくとも一部に分散させ、マスタバッチとした後、マスタバッチに、アミノフェノール型エポキシ樹脂を含む（Ａ）成分の残部と（Ｂ）成分を混合することにより得られる、
１６５℃で１２０分間硬化後に動的粘弾性測定で３℃／ｍｉｎで測定したガラス転移温度が、１２０〜２００℃である液状エポキシ樹脂組成物の製造方法であって、
（Ｄ）成分を、アミノフェノール型エポキシ樹脂を除く（Ａ）成分に分散させ、マスタバッチとした後、マスタバッチに、アミノフェノール型エポキシ樹脂と（Ｂ）成分を混合することを特徴とする、液状エポキシ樹脂組成物の製造方法。
（Ａ）成分に含まれるアミノフェノール型エポキシ樹脂が、式（１）：

で表される、請求項１１記載の液状エポキシ樹脂組成物の製造方法。
（Ｂ）成分が、化学式（２）〜（４）：

の少なくとも一つで表されるアミン系硬化剤を含む、請求項１１または１２記載の液状エポキシ樹脂組成物の製造方法。
（Ｃ）成分の平均粒径が、０．１〜３．０μｍであり、かつ、液状エポキシ樹脂組成物１００質量部に対して、（Ｃ）成分が５５〜７５質量部である、請求項１１〜１３のいずれか１項記載の液状エポキシ樹脂組成物の製造方法。
さらに、（Ｅ）ポリアルキルシロキサンを含む、請求項１１〜１４のいずれか１項記載の液状エポキシ樹脂組成物の製造方法。
さらに、（Ｆ）ブロックコポリマーのアクリルコポリマーを含む、請求項１１〜１５のいずれか１項記載の液状エポキシ樹脂組成物の製造方法。