JP6943046B2 - シリコン単結晶製造装置 - Google Patents
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Description
1a 原料ロッドの直胴部
1b 原料ロッドのテーパー部
1c 原料ロッドの溝
2 シリコン単結晶
3 溶融帯域
4 種結晶
10 シリコン単結晶製造装置
11 上軸
12 上軸駆動機構
13 誘導加熱コイル(ヒーター)
14 下軸
15 下軸駆動機構
16 パージガス供給ノズル
17 CCDカメラ
18 画像処理部
19 制御部
20 取り付け治具
21 原料ロッド保持部材
22 第1の嵌合部材
22a 第1の嵌合部材の貫通孔
22b 第1の嵌合部材のフランジ部
23 第2の嵌合部材
23a 第2の嵌合部材のヘッド部
23b 第2の嵌合部材のシャフト部
23c 第2の嵌合部材のテーパー部
24 補強部材
26 上側支持プレート
26b 連結ネジ
27 下側支持プレート
27a 爪部
28 軸ズレ調整機構
28x1,28x2 X軸調整ネジ
28y1,28y2 Y軸調整ネジ
30 チャンバー
40 変位測定装置
41 投光部
42 受光部
Db 原料ロッドの直胴部の上端部の振れ幅
Dt 原料ロッドの直胴部の上端部の振れ幅
Dx X軸方向の振れ幅
Dy Y軸方向の振れ幅
O1 上軸の中心軸
O2 原料ロッドの中心軸
Claims (8)
- 原料ロッドを支持する上軸と、
前記上軸を回転させる上軸駆動機構と、
前記原料ロッドを加熱する誘導加熱コイルと、
前記原料ロッドの下方においてシリコン単結晶を支持する下軸と、
前記上軸の下端部に前記原料ロッドを取り付けるための取り付け治具とを備え、
前記取り付け治具は、
前記原料ロッドの上端部を保持する原料ロッド保持部材と、
前記上軸の中心軸に対する前記原料ロッド保持部材の中心軸の水平方向の位置を調整する軸ズレ調整機構を含み、
前記原料ロッド保持部材は、
上側支持プレートと、
前記上側支持プレートと略平行に設けられた下側支持プレートと、
前記上側支持プレートと前記下側支持プレートとを連結する複数の連結ネジとを有し、
前記上側支持プレート、前記下側支持プレート及び前記複数の連結ネジは、前記下側支持プレートの下面側に取り付けられた前記原料ロッドの中心軸の傾きを調整する傾き調整機構を構成しており、
前記連結ネジを回転させることで、前記上側支持プレートに対する前記下側支持プレートの角度と共に、前記原料ロッドの中心軸の傾きが調整されることを特徴とするシリコン単結晶製造装置。 - 前記原料ロッド保持部材は、
前記下側支持プレートの下面側に取り付けられ、前記原料ロッドの上端部の外周をチャッキングする爪部を有し、
前記上側支持プレート及び前記下側支持プレートの平面サイズは、前記原料ロッドの断面サイズよりも大きく、
前記爪部は前記原料ロッドの上端部の外周面に形成された溝に係合して前記原料ロッドの外周をチャッキングする、請求項1に記載のシリコン単結晶製造装置。 - 前記軸ズレ調整機構は、
水平面内のX軸方向に進退移動して当該X軸方向における前記原料ロッド保持部材の位置を調整するX軸調整ネジ部と、
前記X軸方向と直交する前記水平面内のY軸方向に進退移動して当該Y軸方向おける前記原料ロッド保持部材の位置を調整するY軸調整ネジ部とを有する、請求項1又は2に記載のシリコン単結晶製造装置。 - 前記上軸と共に前記原料ロッドを回転させたときの当該原料ロッドの振れ幅を測定する変位測定装置をさらに備える、請求項1乃至3のいずれか一項に記載のシリコン単結晶製造装置。
- 前記変位測定装置は、前記原料ロッドの直胴部の上端部及び下端部を含む2箇所以上で前記振れ幅を測定する、請求項4に記載のシリコン単結晶製造装置。
- 前記上軸及び前記原料ロッドの周囲を取り囲むチャンバーをさらに備え、前記変位測定装置は、前記チャンバー又は前記チャンバーに取り付けられた構造物に対して着脱自在に構成されている、請求項4又は5に記載のシリコン単結晶製造装置。
- 前記取り付け治具は、
前記上軸の下端に取り付けられ、中心部に貫通孔が設けられた第1の嵌合部材と、
前記原料ロッド保持部材を前記第1の嵌合部材に連結させる第2の嵌合部材とを含み、
前記第2の嵌合部材は下方に向かって縮径する外周面からなるテーパー部を有し、
前記第の2嵌合部材は前記貫通孔に挿入されており、
前記テーパー部は前記貫通孔の内周部で支持される、請求項1乃至6のいずれか一項に記載のシリコン単結晶製造装置。 - 原料ロッドを支持する上軸と、
前記上軸を回転させる上軸駆動機構と、
前記原料ロッドを加熱する誘導加熱コイルと、
前記原料ロッドの下方においてシリコン単結晶を支持する下軸と、
前記上軸の下端部に前記原料ロッドを取り付けるための取り付け治具とを備え、
前記取り付け治具は、
前記原料ロッドの上端部を保持する原料ロッド保持部材と、
前記上軸の中心軸に対する前記原料ロッド保持部材の中心軸の水平方向の位置を調整する軸ズレ調整機構と、
前記上軸の下端に取り付けられ、中心部に貫通孔が設けられた第1の嵌合部材と、
前記原料ロッド保持部材を前記第1の嵌合部材に連結させる第2の嵌合部材とを含み、
前記第2の嵌合部材は下方に向かって縮径する外周面からなるテーパー部を有し、
前記第の2嵌合部材は前記貫通孔に挿入されており、
前記テーパー部は前記貫通孔の内周部で支持されることを特徴とするシリコン単結晶製造装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2017135345A JP6943046B2 (ja) | 2017-07-11 | 2017-07-11 | シリコン単結晶製造装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2017135345A JP6943046B2 (ja) | 2017-07-11 | 2017-07-11 | シリコン単結晶製造装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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JP2019014641A JP2019014641A (ja) | 2019-01-31 |
JP6943046B2 true JP6943046B2 (ja) | 2021-09-29 |
Family
ID=65356428
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2017135345A Active JP6943046B2 (ja) | 2017-07-11 | 2017-07-11 | シリコン単結晶製造装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP6943046B2 (ja) |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2842488B2 (ja) * | 1991-11-28 | 1999-01-06 | 信越半導体株式会社 | シリコン多結晶棒保持具 |
JP2004345909A (ja) * | 2003-05-22 | 2004-12-09 | Furukawa Co Ltd | 単結晶成長装置の原料棒保持装置 |
-
2017
- 2017-07-11 JP JP2017135345A patent/JP6943046B2/ja active Active
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JP2019014641A (ja) | 2019-01-31 |
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