JP6941986B2 - 保持装置、位置決め装置及び貼合装置 - Google Patents

Description

本発明は、保持装置、位置決め装置及び貼合装置に関する。

一般的に、液晶ディスプレイや有機ＥＬディスプレイを代表とする平板状の表示装置、いわゆるフラットパネルディスプレイは、表示パネルとその他のワークが筐体に組み込まれて構成されている。その他のワークとしては、操作用のタッチパネル、表面を保護するカバーパネル、バックライト、バックライトの導光板等がある。

これらのワークは、個別にあるいは予め積層された状態で筐体に組み込まれる。例えば、保護カバーにタッチパネルを積層した複合パネルとして構成されたものを用いることもある。

また、表示パネルには、タッチパネルの機能が組み込まれたものが用いられることもある。このように、ワークとしては様々な形態があるが、以下、表示装置を構成するワークを、複数積層したものを、表示装置用部材と呼ぶ。

一般的な平板状のワークを積層する作業は、まず、ワークの一方の面に粘着剤を付着させて、この粘着剤を介して、他のワークを貼り付けることにより行われる。他のワークを貼り合せる際には、一方の保持部材に保持された一方のワークに対して、他方の保持部材に保持された他のワークを位置決めする必要がある。例えば、カバーパネルの印刷枠内に、タッチパネル及び偏光板の機能面の位置、表示パネルの表示面の位置を合わせなければならない。この場合、双方の保持部材に保持されたワークの位置ずれを検出して、一方のワークに対して他方のワークの位置が合うように、少なくとも他方の保持部材の平面方向の位置を調整する。

特開２０１２−１９００４７号公報

以上のような表示装置用部材を使用した電子機器において、筐体側面部分には、機器操作用の機械的なスイッチである物理ボタンが設けられていることが多い。しかし、近年では、柔軟性の高い表示装置用部材を使用して、筐体の表面だけでなく、筐体の側面にも表示領域を延設し、側面部分においても、タッチパネルに触れることによる操作を可能とする製品が存在している。この場合、表示装置用部材の表面から側面にかけては、曲面形状となっている。

このような曲面を有するワークを貼り合せる場合には、曲面に沿った凹面を有する型に一方のワークを保持し、曲面に沿った凸面を有する型に他方のワークを保持し、双方の型によって一対のワークを挟んで圧着することが考えられる。しかしながら、一方の型に保持されたワークに、他方の型に保持されたワークの位置を合わせるために、他方の型の平面方向の位置や角度を変えると、型の凹凸が合致しなくなり、貼り合わせができなくなる。

本発明の目的は、曲面を有するワークを貼り合せる場合のワークの位置決めを可能とする保持装置、位置決め装置及び貼合装置を提供することにある。

上記の目的を達成するために、本発明の保持装置は、曲面を有する第１のワークを保持する保持部と、第２のワークを前記第１のワークの曲面に倣うように押し付ける押付面を有し、押し付けのために前記第１のワークを前記押付面に対向させた前記保持部に対して、押付方向に交差する平面方向の相対位置が不動に設けられた押付部と、前記第２のワークの前記第１のワークに対する前記平面方向の位置を変化させることにより、前記第１のワークに対して前記第２のワークを位置決めする位置決め部と、を有する。

前記位置決め部は、前記平面方向に可動に設けられ、前記第２のワークを保持する第２の保持部と、前記第２の保持部を前記平面方向に駆動する駆動部と、を有していてもよい。

前記第２の保持部は、前記押付面内に設けられていてもよい。

前記第２の保持部は、前記押付面外に設けられていてもよい。

前記第２の保持部は、前記第２のワークが付着する付着部を有していてもよい。

前記付着部は、減圧により前記第２のワークを吸着するバキュームチャックを有していてもよい。

前記付着部は、前記第２のワークを付着させる粘着剤を有していてもよい。

前記第２の保持部は、前記第２のワークの前記平面方向の位置を規制する規制部を有していてもよい。

前記規制部は、前記第２のワークに形成された孔に挿通される突出具を有していてもよい。

前記規制部は、前記第２のワークを挟持する挟持部を有していてもよい。

前記押付面によって前記第２のワークを前記第１のワークに押し付ける前に、前記第２のワークを前記押付面に密着させる圧着部を有していてもよい。

本発明の位置決め装置は、前記保持装置と、前記位置決め部を動作させるために、前記保持部と前記押付部との間における前記第１のワーク及び前記第２のワークの位置ずれを検出する検出装置と、を有する。

前記検出装置は、前記第１のワーク及び前記第２のワークの所定の箇所を撮像する撮像部と、前記撮像部により撮像された画像に基づいて、前記第１のワーク及び前記第２のワークの位置ずれを検出する検出装置と、を有する。

本発明の貼合装置は、前記保持装置と、前記保持部及び前記押付部の一方又は双方を押付方向に付勢することにより、前記第１のワークに前記第２のワークを押し付ける押圧装置と、を有する。

本発明によれば、曲面を有するワークを貼り合せる場合のワークの位置決めを可能とする保持装置、位置決め装置及び貼合装置を提供することができる。

実施形態の保持対象となるワークＷ１を示す斜視図（Ａ）、側面図（Ｂ）である。 実施形態の保持対象となるワークＷ２を示す平面図である。 実施形態が適用される貼合装置を示す概略平面図である。 図３の貼合装置を示す側面図である。 実施形態の保持装置の押付部及び位置決め機構を示す部分断面図である。 実施形態の保持装置を示す斜視図である。 保持装置の押付部及び位置決め機構を示す平面図である。 押付部４０へのワークＷ１の装着を示す斜視図である。 貼合装置の制御装置を示すブロック図である。 押圧装置の真空チャンバ待機時を示す側面図である。 押圧装置の真空チャンバ下降時を示す側面図である。 押圧装置の加圧ヘッドの下降時を示す側面図である。 押圧装置の大気開放時を示す側面図である。 押圧装置の真空チャンバ上昇時を示す側面図である。 貼り合わせ時の圧着部の動作を示す断面図である。 他の実施形態の位置決め部を示す平面図である。

本発明の実施の形態（以下、実施形態と呼ぶ）について、図面を参照して具体的に説明
する。
［ワーク］
本実施形態の保持対象となるワークＷ１及びワークＷ２を説明する。ワークＷ１は、図１（Ａ）に示すように、曲面ＣＳを有する部材である。曲面ＣＳは、後述するワークＷ１が粘着剤ＡＤを介して貼り付けられる貼付面ＢＳの一部を構成している。曲面ＣＳは、ワークＷ１の一部を湾曲又は屈曲することにより伸張した面と反対側の面である。

例えば、ワークＷ１は方形の板状であり、曲面ＣＳは、ワークＷ１の対向する一対の側辺部ＳＥが湾曲又は屈曲されることにより形成されている。貼付面ＢＳの曲面ＣＳ以外の領域は、平坦面ＦＳである。このため、図１の例では、曲面ＣＳと平坦面ＦＳによって貼付面ＢＳが構成されている。

本実施形態では、ワークＷ１として、表示装置のカバーパネルを用いる。カバーパネルは、表示装置の外装を構成する透光性の基板である。カバーパネルの材質は、例えば、ガラスやアクリルである。カバーパネルの貼付面ＢＳには、遮光性の材料による印刷枠Ｂが形成されている。図１（Ａ）における黒塗りの領域は、印刷枠Ｂの領域である。印刷は、図１（Ｂ）に示すように、貼付面ＢＳ側になされている。

印刷枠Ｂの内縁に囲まれた透光性のある領域は、表示装置の表示部分を外部から視認可能な表示領域Ｄを形成している。表示領域Ｄは、例えば、矩形である。但し、表示領域Ｄは、平坦面ＦＳから曲面ＣＳに及ぶ領域まで形成されている。

貼付面ＢＳには、図１（Ｂ）に示すように、粘着剤ＡＤが貼り付けられている。粘着剤ＡＤの貼り付けは、粘着剤ＡＤが剥離シートに貼り付けられた粘着シートを用いる。ワークＷ１に粘着剤ＡＤを貼り付けた後、剥離シートを剥離することにより、ワークＷ１の貼付面ＢＳに粘着性を持たせることができる。

例えば、粘着剤ＡＤは、剥離シートに貼り付けられたＯＣＡ（Ｏｐｔｉｃａｌ Ｃｌｅａｒ Ａｄｈｅｓｉｖｅ）を用いる。粘着剤ＡＤは、例えば、アクリル系、シリコン系、ウレタン系の合成樹脂である。剥離シートは、シリコーン、その他の樹脂を用いて、粘着剤ＡＤに剥離性を持たせたフィルムである。表示領域Ｄに粘着剤ＡＤの縁部が存在すると、この縁部が視認性を阻害する。このため、粘着剤ＡＤは少なくとも表示領域Ｄを覆う領域に貼り付けられる。

ワークＷ２は、図２に示すように、上記のようなワークＷ１に対して曲面ＣＳに倣うように貼り付けられる平坦なシート状の部材である。本実施形態では、ワークＷ２は、機能部材Ｍと剥離シートＰとを、粘着剤を介して貼り合わせることによって構成されている。機能部材Ｍは、表示装置の機能の一部を担う部材である。機能部材Ｍは、例えば、偏光板、タッチパネル、表示パネルである。偏光板は、入射する方向に応じて光を透過又は遮蔽する板である。タッチパネルは、表示パネルの表示画面を透過して視認でき、表示画面への接触を検知して情報を入力する入力装置である。表示パネルは、液晶パネル（ＬＥＤ）や有機ＥＬパネル（ＯＬＥＤ）などの表示機能を備えたパネルである。機能部材Ｍは、少なくとも表示領域Ｄを覆う大きさを有している。

剥離シートＰ及び粘着剤は、上記の剥離シート及び粘着剤ＡＤと同様である。このようなワークＷ２は、曲面ＣＳに倣う柔軟性を有している。このため、曲面ＣＳに対応する領域では、機能部材Ｍも曲面ＣＳに倣って曲がる。剥離シートＰは、図２に示すように、保持装置に装着する際に用いる一対の孔Ｈを有している。本実施形態では、機能部材Ｍ及び剥離シートＰは方形であり、孔Ｈは、剥離シートＰの一対の対向する辺の近傍に形成されている。例えば、剥離シートＰの短辺の中央に孔Ｈが形成されている。一対の孔Ｈの中心を結ぶ直線は、ワークＷ２のワークＷ１に合わせて湾曲又は屈曲させる辺と平行であり、ワークＷ２の中心を通る。

［貼合装置］
［全体構成］
本実施形態の保持装置を有する貼合装置の全体構成を説明する。貼合装置は、真空中で、ワークＷ１の曲面ＣＳを含む貼付面ＢＳに、粘着剤ＡＤを介して、ワークＷ２を貼り付ける装置である。貼合装置は、図３及び図４に示すように、ターンテーブル１上に、４台の保持装置２を搭載している。貼合装置は、インデックス機構１１０を有する。インデックス機構１１０は、ターンテーブル１を複数のポジションに合わせて、間欠回転させる機構である。本実施形態では、インデックス機構１１０は、モータ等の駆動源によってターンテーブル１を回転させ、４台の保持装置２を、投入取出しポジション１Ａ、位置決めポジション１Ｂ、プラズマ処理ポジション１Ｃ、貼り合せポジション１Ｄに順次停止させる。

保持装置２は、図３及び図４に示すように、ワークＷ１及びワークＷ２を対向させて保持する。位置決めポジション１Ｂには、図５に示すように、ワークＷ１、Ｗ２の位置を検出する検出装置５５が設けられている。この検出装置５５によって検出されたワークＷ１、Ｗ２の位置に基づいて、ワークＷ１に対するワークＷ２の位置決めのための移動量が決定される。

検出装置５５によるワークＷ１、ワークＷ２の位置の検出には、アライメントマークを用いる。アライメントマークは、図示はしないが、仮想的な長方形若しくは正方形の４頂点に対応してワークＷ１、ワークＷ２に設けられたマークである。なお、ワークＷ１、ワークＷ２、表示領域Ｄ、機能部材Ｍの角を、アライメントマークとして用いることもできる。

貼り合せポジション１Ｄには、図４に示すように、押圧装置８が設けられている。押圧装置８は、真空チャンバ８１内の減圧空間において、ワークＷ１を押圧してワークＷ２側に移動させることにより、両者を貼り合わせることができる。以下、各部の構成の詳細を説明する。

［保持装置］
保持装置２は、図６に示すように、ステージ１０、保持部２０、支持部３０、押付部４０、位置決め部５０、圧着部６０を有する。

（ステージ）
ステージ１０は、水平な平坦面を有する台である。ステージ１０は、ターンテーブル１における各ポジションに搭載される。ステージ１０上には、押付部４０、位置決め部５０が設けられる台座１１が固定されている。台座１１は、直方体形状の部材であり、天面が平坦面となっている。

（保持部）
保持部２０は、ワークＷ１を保持する装置である。保持部２０は、曲面ＣＳを維持した状態でワークＷ１を保持する。曲面を維持した状態とは、曲面が平坦とならない状態をいう。このような保持を行うために、保持部２０は、型２１、支持板２２を有する。

型２１は、ワークＷ１の貼付面ＢＳと反対側の面に沿う凹形状の接触面２１ａを有する部材である。型２１は、接触面２１ａにワークＷ１の貼付面ＢＳの反対側の面に合致する。接触面２１ａには、図示しない粘着部材が貼付されており、粘着チャックが構成されている。

支持板２２は、型２１を支持する部材である。支持板２２は、直方体形状の部材であり、一方の平面に型２１の接触面２１ａと反対側の面が固定されている。型２１が固定された平面は、貼り合わせの際には下方に向かう。支持板２２の一側面には、軸受２２ａが設けられている。軸受２２ａは、支持板２２の一辺に平行な軸孔を有する一対の突出部である。

（支持部）
支持部３０は、保持部２０を、ワークＷ１がワークＷ２に接離する方向に移動可能となるように支持する装置である。本実施形態の支持部３０は、保持部２０を昇降可能に、且つ回動可能に支持する。支持部３０は、支柱３１、規制板３２、シャフト３３を有する。支柱３１は、ステージ１０上に垂直方向に立ち上げられた３本の棒状の部材である。

規制板３２は、支柱３１の上端に水平方向に取り付けられ、支持板２２の回動を規制する板である。シャフト３３は、水平方向の円柱形状の部材であり、２本の支柱３１の上部間に亘って取り付けられている。シャフト３３は、軸受２２ａの軸孔に挿通されることにより、支持板２２がその一辺に平行な軸を中心として回動可能に支持されている。

このシャフト３３に支持された支持板２２は、ワークＷ１を装着するために型２１が略垂直方向に立ち上がる装着位置と、ワークＷ１をワークＷ２に貼り付けるために型２１が略水平方向となる対向位置との間で回動する。そして、規制板３２には、支持板２２が装着位置から回動して対向位置で停止するように、支持板２２の縁部に当たる突出片であるストッパ３２ａが設けられている。

また、支持部３０は、支持板２２とともにステージ１０に昇降可能に設けられている。つまり、支持板２２は、貼り合わせをしない初期位置においては、ステージ１０から離隔した上方にある。そして、回動させて水平状態とした支持板２２は、押圧装置８によって下方に押圧されることにより、支柱部３０とともに下降して、ワークＷ１とワークＷ２との貼り合わせを行う。

なお、支持部３０は、押圧装置８による押圧から解放されると初期位置まで上昇する。このため、図示はしないが、支柱３１には、支柱３１を上方に付勢する付勢部材が接続されている。例えば、支柱３１を付勢部材により常時上方に付勢しておき、押圧装置８により押圧された場合には付勢部材の付勢力に抗して支柱３１が下降し、解放された場合には付勢部材の付勢力により上昇するように構成する。付勢部材としては、例えば、圧縮ばねやシリンダを用いることができる。

（押付部）
押付部４０は、押付面４１を有する部材である。押付面４１は、ワークＷ２をワークＷ１の曲面ＣＳに倣うように押し付ける面である。曲面ＣＳに倣うとは、曲面ＣＳに合致する形状となることをいう。押付部４０は略直方体形状であり、その天面に押付面４１が形成されている。押付面４１は、貼付面ＢＳに沿う形状を有している。貼付面ＢＳに沿う形状とは、貼付面ＢＳに押し付けられることにより貼付面ＢＳに倣う形状をいう。このため、押付面４１は、曲面ＣＳに沿う曲面と、平坦面ＦＳに沿う平坦面を有している。これにより、押付部４０の外観は略蒲鉾形となっている。つまり、押付部４０は、凹形状の型２１に対向する凸形状の型を形成している。

本実施形態では、ワークＷ１とワークＷ２との間には、粘着剤ＡＤが介在し、押付面４１によって押し付けられるワークＷ２は、ワークＷ１の曲面ＣＳとともに平坦面ＦＳにも倣う形で粘着剤ＡＤに密着する。押付部４０には、押付面４１の曲面が形成された辺と平行であり、中心を通る直線状の溝４２が設けられている。溝４２は、図５に示すように、断面が凹形状である。

なお、押し付けるためには、ワークＷ１、ワークＷ２は相対移動すればよい。つまり、ワークＷ１又はワークＷ２の双方又は一方が移動すればよい。本実施形態では、保持部２０とともに型２１が移動することによりワークＷ１が移動して、ステージ１０側に設けられた押付部４０によって、ワークＷ２がワークＷ１に押し付けられる。押付面４１と反対側の面は、台座１１に固定された平坦面となっている。

また、押付部４０は、押し付けのためにワークＷ１を押付面４１に対向させた保持部２０に対して、押付方向に交差する平面方向の位置が不動に設けられている。押付方向とは、保持部２０と押付部４０とが接近及び離隔する方向である。本実施形態では、押付方向は、水平に対向したワークＷ１、ワークＷ２に直交する垂直方向である。以下、この方向をＺ方向とする。

押付方向に交差する平面方向とは、押付方向に交差する平面上の線方向及び回転（θ）方向である。以下、当該平面方向を単に平面方向とする。本実施形態では、平面方向は押付方向に直交する水平面上の線方向及び回転方向である。Ｚ方向の軸を中心として、この軸に直交する放射方向及びθ方向は、平面方向に含まれる。本実施形態の平面方向のうち、押付部４０の曲面が形成された辺と平行な方向をＸ方向、これに直交する方向をＹ方向とする。

押付部４０の平面方向の相対位置が不動とは、押し付けのために対向する位置に来た保持部２０との平面方向の相対位置が一定であることをいう。本実施形態では、押付部４０は、保持部２０の型２１に対向する位置に固定されている。つまり、ステージ１０上に設けられた台座１１の天面に固定されている。押付部４０は、保持部２０に保持されたワークＷ１の貼付面ＢＳに、押付部４０の押付面４１が合致する方向で設置されている。合致するとは、ワークＷ１の縁部と、押付部４０の押付面４１に倣うように保持されたワークＷ２の縁部が衝突することなく、ワークＷ１にワークＷ２が嵌り合うことをいう。

なお、押し付けのために保持部２０と押付部４０とが対向した場合に、両者の平面方向の相対位置が不動であればよく、ワークＷ１、ワークＷ２を対向させる前に、保持部２０、押付部４０の平面方向の相対位置が変化してもよい。例えば、保持部２０は、装着位置から対向位置へ回動する際、対向位置から装着位置へ回動する際には、押付部４０に対する平面方向の位置が変化する。また、保持部２０、押付部４０の双方又は一方が、平面方向に移動して対向位置に来る場合には、移動時に平面方向の相対位置が変化する場合がある。

（位置決め部）
位置決め部５０は、ワークＷ２のワークＷ１に対する平面方向の位置を変化させることにより、ワークＷ１に対してワークＷ２を位置決めする装置である。平面方向の位置を変化させるとは、ワークＷ２を平面に沿って移動させることをいい、Ｚ方向に直交する直線方向、蛇行や円弧状等の曲線方向、回動方向の移動を含む。位置決めするとは、ワークＷ１に対するワークＷ２の平面方向のずれがない状態とすることをいう。

位置決め部５０は、図５及び図７に示すように、第２の保持部５１、駆動部５２を有する。第２の保持部５１は、平面方向に可動に設けられ、ワークＷ２を保持する部材である。本実施形態では、第２の保持部５１は、押付部４０及びステージ１０から独立して、水平面上をＸ方向、Ｙ方向及びθ方向に移動可能に設けられている。第２の保持部５１は、付着部５１１、規制部５１２を有する。付着部５１１は、ワークＷ２が付着する部材である。付着部５１１は、押付面４１内に設けられている。つまり、付着部５１１は、直方体形状の棒状の部材であり、押付面４１に形成された溝４２に挿入されている。

図５に示すように、付着部５１１の外側面と溝４２の内側面との間には隙間が設けられていることにより、付着部５１１の平面方向の移動が許容されるとともに、その移動範囲が溝４２の内側面によって規制される。付着部５１１の天面は、押付面４１と等しい高さとなっている。付着部５１１の天面には、図７に示すように、吸着孔５１１ａが形成されている。吸着孔５１１ａは、減圧装置５３（図９参照）に接続され、ワークＷ２を吸着保持するバキュームチャックが構成されている。

規制部５１２は、ワークＷ２の平面方向の位置を規制する部材である。規制部５１２は、図７に示すように、付着部５１１の両端に設けられた方形の平板である。規制部５１２の天面は水平で、押付面４１よりも低い位置に設定されている。規制部５１２は、図５及び図７に示すように、一対の突出具５１２ａを有する。突出具５１２ａは、直立した円柱形状のピンである。

一対の突出具５１２ａの間隔とそれぞれの径は、ワークＷ２の一対の孔Ｈに挿入されてワークＷ２の位置を規制するように設定されている。例えば、一対の突出具５１２ａの軸間の距離が、一対の孔Ｈの中心間の距離と略一致するように設けられ、一対の突出具５１２ａの径と一対の孔Ｈの径を、略一致するように設ける。なお、略一致する径とは、挿入がスムーズになるように、孔Ｈの径が僅かに大きく形成されている場合も含む。また、図７の一点鎖線に示すように、押付面４１の中央を長手方向に貫く直線である中心線と、一対の突出具５１２ａの中心を結ぶ直線とは一致している。

駆動部５２は、図５に示すように、第２の保持部５１を駆動する装置である。駆動部５２としては、ＸＹθテーブルを用いることができる。例えば、水平なリニアガイドに沿って移動するリニアスライダをモータにより回動するボールねじが駆動する構成を、直交する方向に重ねることにより、第２の保持部５１をＸＹ方向に移動させる機構とする。また、モータのダイレクトドライブ又はベルトドライブにより回動する駆動軸により、第２の保持部５１をθ方向に回動させる機構とする。

駆動部５２は、ステージ１０の下部に配置され、駆動軸を構成するシャフト５２１が、溝４２の底面に形成された貫通孔４１ａ、ステージ１０及び台座１１に形成された貫通孔１０ａ、１１ａを貫通して、付着部５１１の底面に接続されている。貫通孔４１ａ、１０ａ、１１ａは、シャフト５２１との間に水平方向の移動を許容する遊びが形成されている。これにより、付着部５１１は、溝４２内を、シャフト５２１とともにＸ方向、Ｙ方向に移動する。また、シャフト５２１の回動により、付着部５１１は、溝４２内を上記のようにθ方向に移動する。なお、駆動部５２は、第２の保持部５１を平面方向に移動させる機構であれば、どのような機構であってもよい。

（圧着部）
圧着部６０は、押付面４１によってワークＷ２をワークＷ１に押し付ける前に、ワークＷ２を押付面４１に密着させる構成部である。押付面４１に密着とは、ワークＷ２のワークＷ１に貼り付けられる面と反対側の面が押付面４１に倣って接することをいう。本実施形態の圧着部６０は、ワークＷ２の対向する両縁部を押さえることにより、ワークＷ２に張力を与えて押付面４１に密着させる。

圧着部６０は、図６に示すように、ローラ６１、６２、軸受部６３、６４、ガイド部６５、押出部６６、第１の付勢部６７、第２の付勢部６８を有する。ローラ６１、６２は、細径の円柱形の部材であり、それぞれ型２１の対向する長辺方向の側面に沿って設けられている。軸受部６３、６４は、ローラ６１、６２の両端を回転可能に支持する部材である。ガイド部６５は、軸受部６３をスライド移動可能に支持する部材である。これにより、ローラ６１、６２は、その軸に直交する方向に移動可能に設けられている。

押出部６６は、支持板２２のローラ６１、６２とは反対側の面に設けられ、押圧装置８の真空チャンバ８１の天井によって押圧されるプレートである。押出部６６は、支持板２２を貫通して、ガイド部６５に接続されたロッド６６ａを有する。ロッド６６ａは円柱形状の部材であり、押出部６６が押圧されると、ローラ６１、６２が支持板２２から離隔する方向に移動する。

第１の付勢部６７は、ローラ６１、６２を互いに接近して閉じる方向に付勢する部材である。第１の付勢部６７としては、例えば、軸受部６３、６４の間に懸架された引張ばねを用いる。第２の付勢部６８は、ローラ６１、６２を支持板２２側に付勢する部材である。第２の付勢部６８としては、例えば、押出部６６と支持板２２との間に挿入された圧縮ばねを用いる。

［検出装置］
検出装置５５は、図５に示すように、位置決め部５０を動作させるために、保持部２０と押付部４０との間におけるワークＷ１及びワークＷ２の位置ずれを検出する装置である。撮像部５６、アーム５７、移動機構５８（図９参照）を有する。撮像部５６は、ワークＷ１及びワークＷ２の所定の箇所を撮像する装置である。所定の箇所は、上記のように、アライメントマークである。撮像部５６は、カメラ５６１、鏡筒５６２を有する。カメラ５６１は、受光素子を撮像デバイスとして用いたイメージセンサにより、光学信号を電気信号に変換する装置である。鏡筒５６２は、上下の２方向からの光を受けて、カメラ５６１に出射する装置である。これにより、カメラ５６１は、矢印で示すように、上下の２視野の撮像が可能となる。

アーム５７は、撮像部５６を支持する長尺の部材である。移動機構５８は、駆動源等を有し、アーム５７を移動させることにより、撮像部５６を撮像位置に案内する。例えば、移動機構５８は、撮像部５６をＸＹθ方向に移動させることにより、保持装置２に離隔して保持されたワークＷ１とワークＷ２との間に、撮像部５６を出し入れ可能に設けられるともに、アライメントマークの撮像が可能な位置に位置決めされる。

［プラズマ処理装置］
プラズマ処理装置は、図示は省略するが、プラズマ処理ポジション１Ｃに配置される装置で、ワークＷ１とワークＷ２の互いに貼り合わされる面のうち少なくとも一方の面をプラズマ処理して表面改質する。プラズマ処理装置は、窒素、酸素、アルゴン等の処理用のガスを高電圧が印加された電極間に導入し、放電によって活性化されたガスを処理対象表面に吹き付ける。活性化されたガスが吹き付けられたワークＷ１、Ｗ２の表面は改質され、例えば、接着剤との密着性が向上する。本実施形態では、ワークＷ２にプラズマ処理する例とする。

［押圧装置］
押圧装置８は、図４に示すように、保持部２０を押付方向に付勢することにより、ワークＷ１にワークＷ２を押し付ける装置である。押圧装置８は、真空チャンバ８１、加圧ヘッド８２、昇降機構８３及び押圧機構８４を有する。真空チャンバ８１は、ステージ１０の平坦面を覆うことにより、内部に真空室を形成する容器である。真空チャンバ８１は、貼り合わされるワークＷ１、ワークＷ２の周囲を覆い、ステージ１０との間を密閉することにより真空室を構成する。つまり、本実施形態は、真空中で、ワークＷ１に粘着剤ＡＤを介してワークＷ２を貼り付けるための真空室を有する。

真空チャンバ８１の天井は、下降することにより、圧着部６０の押出部６６を付勢することにより、ローラ６１、６２を下降させる。真空チャンバ８１には、減圧装置８１ａ（図９参照）が接続されている。減圧装置８１ａは、真空室を減圧することにより真空とする装置である。減圧装置８１ａは、図示はしないが、配管、真空ポンプ及びバルブを有する。配管は一端が真空室に連通し、他端が真空ポンプに接続されている。真空ポンプは、真空室内から排気する排気装置である。

加圧ヘッド８２は、真空チャンバ８１内に設けられ、保持装置２の支持部３０を下方に押圧する装置である。加圧ヘッド８２は、平板状であり、対向位置となった支持板２２を下方に付勢することにより、支持部３０とともに下降させる。

昇降機構８３は、真空チャンバ８１を加圧ヘッド８２とともに昇降させる機構である。昇降機構８３は、例えば、垂直方向のガイドレールと駆動源により回動するボールねじによって垂直方向に移動するブロックを有し、このブロックに真空チャンバ８１が接続されている。なお、真空チャンバ８１がステージ１０に接して封止する位置まで下降すると、その内部の天井が押出部６６に接して圧着部６０の押出部６６を押圧することにより、ローラ６１、６２を下降させる（図１１参照）。

押圧機構８４は、加圧ヘッド８２を真空チャンバ８１とは独立して昇降させる機構である。押圧機構８４は、例えば、シリンダにより垂直方向に進退する駆動ロッドを有し、この駆動ロッドに加圧ヘッド８２が接続されている。加圧ヘッド８２が下降すると、保持装置２の支持板２２が押圧されて下降する（図１２参照）。すなわち、加圧ヘッド８２は、離間して配置される一対の押出部６６の間に進入し、支持板２２に当接して押圧する。

［制御装置］
制御装置９は、上記の貼合装置の各部の動作の制御を行う装置である。制御装置９は、例えば、専用の電子回路若しくは所定のプログラムで動作するコンピュータ等によって構成できる。制御装置９には、各部の制御内容がプログラムされており、ＰＬＣやＣＰＵなどの処理装置により実行される。

このような制御装置９の構成を、仮想的な機能ブロック図である図９を参照して説明する。すなわち、制御装置９は、機構制御部９１、検出部９２、記憶部９３、入出力制御部９４を有する。

機構制御部９１は、貼合装置の各部の機構を制御する処理部である。例えば、機構制御部９１は、インデックス機構１１０の間欠回転動作、位置決め部５０の駆動部５２の動作、減圧装置５３の動作、撮像部５６の撮像、移動機構５８の動作、減圧装置８１ａの動作、昇降機構８３の動作、押圧機構８４の動作を制御する。

検出部９２は、撮像部５６により撮像された画像に基づいて、ワークＷ１とワークＷ２のずれを補正する補正量を検出する。検出部９２は、抽出部９２１、算出部９２２を有する。抽出部９２１は、撮像部５６により撮像された画像から、ワークＷ１、ワークＷ２の各アライメントマークの位置を特定する１点の座標を抽出する。アライメントマークの抽出は、一般的な画像処理によって実現できる。

算出部９２２は、抽出されたアライメントマークの座標に基づいて、ワークＷ１とワークＷ２の位置ずれの補正量を算出する。例えば、ワークＷ１とワークＷ２のそれぞれの４点のアライメントマークのうち、対角２点の中点を、ワークＷ１とワークＷ２の重心座標として算出する。また、ワークＷ１とワークＷ２のそれぞれの４点のアライメントマークのうち、長辺又は短辺の２点を結ぶ直線の傾きをワークＷ１とワークＷ２の傾きとして算出する。

そして、算出部９２２は、ワークＷ１とワークＷ２の重心座標と傾きが一致するワークＷ２の移動量を求める。つまり、ワークＷ１の重心座標にワークＷ２の重心座標を一致させるための駆動部５２のＸ方向及びＹ方向の動作量を算出する。また、ワークＷ１とワークＷ２の傾きを一致させるための駆動部５２のθ方向の動作量を算出する。この動作量に基づいて、機構制御部９１は駆動部５２を動作させる。

記憶部９３は、本実施形態の処理に必要な情報を記憶する。このような情報として、撮像部５６によって撮像された画像、アライメントマークの座標、重心座標、傾き、駆動部５２の動作量を含む。

入出力制御部９４は、制御対象となる各部との間での信号の変換や入出力を制御するインタフェースである。

さらに、制御装置９は、入力装置９５、出力装置９６を有する。入力装置９５は、オペレータが本実施形態の処理に必要な情報や記憶部９３に記憶される情報を入力するためのスイッチ、タッチパネル、キーボード、マウス等の装置である。出力装置９６は、オペレータが本実施形態の状態を確認するためのディスプレイ、ランプ、メータ等の装置である。例えば、ディスプレイの画面に、撮像部５６によって撮像された画像、アライメントマークの座標、重心座標、傾き、駆動部５２の動作量を表示してもよい。

［動作］
以上のような本実施形態による貼合動作を、以下に説明する。なお、以下に説明する手順で貼合装置を制御する方法及び制御装置を動作させるコンピュータプログラムも、本発明の一態様である。

（ワークＷ１の装着）
作業者は、図３に示す投入取出しポジション１Ａにおいて、ワークＷ１を型２１に装着する。つまり、ワークＷ１の伸張した側の面（曲面ＣＳを備える面とは反対側の面）を、型２１の位置に合わせて押し付けることにより、粘着チャックによって、ワークＷ１を型２１に保持させる（図６参照）。なお、ワークＷ１の装着時に、治具を用いて位置決めすることができる。例えば、ワークＷ１の短辺方向（図６の状態におけるＺ方向）の位置は、ワークＷ１を押し付けるに従って曲面ＣＳによって位置決めされるので、ワークＷ１の長辺方向（図６の状態におけるＸ方向）の位置決めに治具を用いるとよい。ワークＷ１の貼付面ＢＳに剥離シートとともに粘着剤ＡＤが貼り付けられている場合、剥離シートを剥離する。

（ワークＷ２の装着）
また、作業者は、図７に示すように、ワークＷ２を押付部４０に装着する。この装着は、図８に示すように、ワークＷ２の機能部材Ｍを上にして、位置決め部５０の規制部５１２に設けられた突出具５１２ａを、孔Ｈに挿入することにより行う。これにより、ワークＷ２が付着部５１１に対して位置決めされ、押付部４０に対して第１段階の位置決めがされる。

（支持板の回動）
作業者は、支持板２２の縁部にストッパ３２ａが当接するまで保持部２０を回動させて、対向位置とする。これにより、図５に示すように、型２１及びこれに装着されたワークＷ１が、水平状態でワークＷ２に対向する。ワークＷ２は、図７に示すように、規制部５１２に装着されていることにより、ワークＷ１に対する基本的な位置決めがなされているとともに、ワークＷ１に対する位置ずれが防止されている。

（ワークの位置決め）
上記のようにワークＷ１、ワークＷ２を保持した保持装置２が、ターンテーブル１の回転によって位置決めポジション１Ｂに来る。そして、減圧装置５３によって、付着部５１１の天面の吸着孔５１１ａが負圧となりバキュームチャックが機能するため、ワークＷ２が吸着保持される。

そして、図５に示すように、移動機構５８（図９参照）によってアーム５７を移動させることにより、撮像部５６を、互いに対向するワークＷ１、ワークＷ２の間に挿入し、アライメントマークを撮像可能な位置に順次停止させる。この停止毎に、撮像部５６は、ワークＷ１、ワークＷ２のアライメントマークを撮像する。撮像された画像は、制御装置９に入力される。

検出部９２の抽出部９２１は、撮像した画像からアライメントマークの座標を抽出する。算出部９２２は、抽出されたアライメントマークの座標から、ワークＷ１に対するワークＷ２の位置の補正量を算出する。

機構制御部９１は、算出された補正量に基づく動作を、駆動部５２に指示する。これにより、駆動部５２が、図７に示すように、補正量に応じたＸ方向、Ｙ方向の移動量及びθ方向の回動量で動作する。このため、付着部５１１に吸着されたワークＷ２は、ワークＷ１に対するずれが補正されるように位置が変化する。これにより、ワークＷ１に対してワークＷ２が位置決めされる。

（プラズマ処理）
上記のようにワークＷ１、ワークＷ２の位置決めが成された保持装置２が、ターンテーブル１の回転によってプラズマ処理ポジション１Ｃに来る。そして、不図示のプラズマ処理装置が、互いに対向するワークＷ１、ワークＷ２の間に進入し、ワークＷ２の上面、より詳細には、機能部材Ｍの上面をプラズマ処理する。

（貼り合わせ）
次に、ワークＷ１、ワークＷ２を保持した保持装置２が、ターンテーブル１の回転によって、貼り合せポジション１Ｄに来る。これにより、図１０に示すように、保持装置２は、押圧装置８の上昇した真空チャンバ８１の下方に来る。

押圧装置８の昇降機構８３は、図１１に示すように、真空チャンバ８１をステージ１０に接して密閉する位置まで下降させる。すると、真空チャンバ８１の天井が圧着部６０の押出部６６を押圧するので、図１５（Ａ）に示すように、型２１の側面に接していたローラ６１、６２が、第２の付勢部６８の付勢力に抗して下降する。

これにより、図１５（Ｂ）に示すように、ローラ６１、６２は、回動しながら型２１の側面から下方に外れる。さらに、ローラ６１、６２は、押付部４０の押付面４１上のワークＷ２を圧着しながら、押付部４０の側面に移動する。ローラ６１、６２は、第１の付勢部６７の付勢力によって互いに近接する方向に付勢されているので、押付部４０の両側面を挟むように圧力を加えながら下方に移動する。これにより、ワークＷ２の両端側を引っ張るように張力が与えられて、ワークＷ２が押付面４１に密着する。なお、ローラ６１、６２が接近し過ぎると、例えば、互いに接触するまで閉じてしまうと、押し下げるだけでは押付部４０を挟むように下降できない。このため、ローラ６１、６２は、第１の付勢部６７で近接する方向に付勢されているが、不図示のストッパによって互いの間隔が押付部４０の幅よりも所定量狭い間隔で停止するようになっている。所定量狭いとは、ローラ６１、６２が、それぞれ押付部４０における曲面ＣＳに対応する曲面に対向する位置にある状態である。

減圧装置８１ａは、真空室を減圧することにより真空とする。押圧機構８４は、図１２に示すように、加圧ヘッド８２を下降させることにより、保持部２０の支持板２２を押圧する。すると、図１５（Ｃ）に示すように、支持板２２とともに型２１が下降して、押付部４０の押付面４１に沿うので、ワークＷ１の曲面ＣＳを含む貼付面ＢＳに倣うように、粘着剤ＡＤを介して、ワークＷ２が貼り付けられる。

貼り合せ後、図示しない弁等により真空引きを解除、大気開放して、図１３に示すように、昇降機構８３が真空チャンバ８１を上昇させる。このとき、押圧機構８４は加圧ヘッド８２による加圧を維持する。すると、圧着部６０の押出部６６への押圧が解除されるので、第２の付勢部６８の付勢力によってローラ６１、６２が上昇する。ローラ６１、６２は、図１５（Ｄ）に示すように、押付部４０の側面から型２１の側面に移動して、ワークＷ２に対する圧着を解除する。

押圧機構８４は、図１４に示すように、加圧ヘッド８２を上昇させることにより、保持部２０の支持板２２に対する押圧を解除する。そして、支持部３０の支柱３１が上昇することにより、支持板２２が上昇する。すると、図１５（Ｅ）に示すように、型２１とともに、ワークＷ１及びこれに貼り合わされたワークＷ２も上昇する。なお、この後、再び昇降機構８３が駆動して、真空チャンバ８１を最初の位置まで上昇させる。

（ワークの取り出し）
上記のように、貼り合わされたワークＷ１、ワークＷ２を保持した保持装置２が、ターンテーブル１の回転によって投入取出しポジション１Ａに来ると、作業者は、ワークＷ１、Ｗ２を型２１から取り外す。

［作用効果］
（１）曲面ＣＳを有するワークＷ１を保持する保持部２０と、ワークＷ２をワークＷ１の曲面に倣うように押し付ける押付面４１を有し、押し付けのためにワークＷ１を押付面４１に対向させた保持部２０に対して、押付方向に交差する平面方向の相対位置が不動に設けられた押付部４０と、ワークＷ２のワークＷ１に対する平面方向の位置を変化させることにより、ワークＷ１に対してワークＷ２を位置決めする位置決め部５０とを有する。

このため、ワークＷ１に対して、押付部４０を平面方向に動作させることなく、ワークＷ２のみを平面方向に動作させて位置決めすることができるので、曲面ＣＳを有するワークＷ１に対して押付部４０を動作させることによる凹凸のずれが生じない。

（２）位置決め部５０は、平面方向に可動に設けられ、ワークＷ２を保持する第２の保持部と、前記第２の保持部を平面方向に駆動する駆動部と、を有する。

このため、ワークＷ２を保持した第２の保持部５１が、押付部４０とは独立に平面方向に移動することにより、ワークＷ１に対してワークＷ２を位置決めすることができる。

（３）第２の保持部５１は、ワークＷ２が付着する付着部５１１を有する。このため、付着部５１１にワークＷ２を付着させた状態で、第２の保持部５１が移動することにより、ワークＷ１に対してワークＷ２を位置決めできる。

（４）付着部５１１は、減圧によりワークＷ２を吸着するバキュームチャック（吸着孔５１１ａ）を有する。このため、バキュームチャックによって、ワークＷ２を第２の保持部５１に強く保持することができ、第２の保持部５１からのずれを防止できる。

（５）第２の保持部５１は、押付面４１内に設けられている。このため、押付面４１にワークＷ２を保持することができ、押付面４１からのワークＷ２の意図していないずれが生じることを防止できる。

（６）第２の保持部５１は、ワークＷ２の平面方向の位置を規制する規制部５１２を有する。このため、規制部５１２によって、ワークＷ２のワークＷ１に対する位置決めの前に、押付部４０に対するワークＷ２の第１段階の位置決めを行うことができる。さらに、押付部４０に装着されたワークＷ２の平面方向のずれが防止される。

（７）規制部５１２は、ワークＷ２に形成された孔Ｈに挿通される突出具５１２ａを有する。このため、作業者は、ワークＷ２の孔Ｈに突出具５１２ａを挿入することによって、ワークＷ２を押付部４０に簡単に位置決めすることができるとともに、その後の押付部４０に対するずれの発生を防止できる。

（８）押付面４１によってワークＷ２をワークＷ１に押し付ける前に、ワークＷ２を押付面４１に密着させる圧着部６０を有する。このため、ワークＷ１に押し付けられる前のワークＷ２が、押付面４１に倣うように密着するため、ワークＷ１の貼付面ＢＳに対して、ワークＷ２を隙間や撚れがなく倣うように沿わせることができる。

（９）保持装置２を有するとともに、位置決め部５０を動作させるために、保持部２０と押付部４０との間におけるワークＷ１及びワークＷ２の位置ずれを検出する検出装置５５とを有する。このため、検出装置５５により検出されたワークＷ１及びワークＷ２の位置ずれに基づいて、位置決め部５０を動作させて、ワークＷ１に対してワークＷ２を位置決めできる。

（１０）検出装置５５は、ワークＷ１及びワークＷ２の所定の箇所を撮像する撮像部５６と、撮像部５６により撮像された画像に基づいて、ワークＷ１とワークＷ２のずれを補正する補正量を検出する検出部９２と、を有する。このため、補正量に基づいて、位置決め部５０を動作させることにより、ワークＷ１及びワークＷ２を正確に位置決めすることができる。

（１１）保持装置２と、保持部２０を押付方向に付勢することにより、ワークＷ１にワークＷ２を押し付ける押圧装置８とを有する。このため、ワークＷ１に対するワークＷ２の位置決め後、押圧装置８によって両者を貼り合わせることができる。

［他の実施形態］
本発明は、上記のような実施形態に限定されるものではない。
（１）付着部５１１は、押付面４１外に設けられていてもよい。例えば、図１６に示すように、規制部５１２の平板に吸着孔５１１ａを形成することによりバキュームチャックを構成してもよい。これにより、押付面４１の表面の連続性が維持される。ワークＷ２として、押付面４１に溝等の間隙がある場合に押しムラが生じやすい部材を用いたとしても、貼り合わせ面の押しムラが生じ難くすることができる。また、押付面４１外に付着部５１１を設けるとともに、さらに上記の実施形態のように、付着部５１１を押付面４１内に設けてもよい。なお、この場合、規制部５１２の上面は、押付面４１の平坦な面と同じ高さにすることが好ましい。

（２）規制部５１２は、ワークＷ２を挟持する挟持部を有していてもよい。例えば、突出具５１２ａに代えて又は突出具５１２ａとともに、ワークＷ２の縁部を挟んで保持する挟持部を設けて、ワークＷ２の押付面４１に対する位置ずれを防止してもよい。

（３）付着部５１１は、ワークＷ２を付着させる粘着剤を有していてもよい。つまり、バキュームチャックではなく、上記のような付着部５１１の天面に粘着剤を設けることによりワークＷ２を保持する構成とすることもできる。また、規制部５１２の平板に粘着剤を設けることにより付着部５１１としてもよい。このように粘着剤を用いる場合、バキュームチャックよりも機構が簡素となる。

（４）ワークＷ１、ワークＷ２の貼り合わせのために、保持部２０及び押付部４０は相対的に移動すればよく、一方又は双方を押付方向に付勢すればよい。保持部２０と押付部４０の上下関係は逆であってもよい。

（５）押付部４０の押付面４１の表面に、型２１の接触面２１ａの表面に、ゴム、スポンジ等の弾性体を貼り付けてもよい。例えば、複数のワークを貼り合わせて積層して行く場合、層が増える度に変化する高さを、弾性体によって吸収することができるので、押しムラを防止する効果がある。

（６）貼り合わせポジション１Ｄで、ローラ６１、６２が下降する前に、ワークＷ２を押付面４１で吸着保持しても良い。これによって、ワークＷ２がより押付面４１に密着する。

（７）上記の態様では、ワークＷ１に粘着剤ＡＤが貼り付けられているが、ワークＷ２に粘着剤ＡＤが貼り付けている場合もある。例えば、ワークＷ１に粘着剤ＡＤを貼り付ける場合、ワークＷ２の機能部材Ｍの代わりに粘着剤ＡＤ（両面テープ）が貼り付けられて、ワークＷ１に貼り付けられる。

（８）ワークＷ１、ワークＷ２の曲面は、角のない湾曲した面には限定されず、角を有する屈曲面であってもよい。

以上、本発明の実施形態及び各部の変形例を説明したが、この実施形態や各部の変形例は、一例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。上述したこれら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明に含まれる。

Ｗ１ ワーク
Ｗ２ ワーク
ＡＤ 粘着剤
Ｂ 印刷枠
ＢＳ 貼付面
ＣＳ 曲面
Ｄ 表示領域
ＦＳ 平坦面
Ｐ 剥離シート
ＳＥ 側辺部
Ｈ 孔
１０ ステージ
１０ａ 貫通孔
１１ 台座
１１ａ 貫通孔
２０ 保持部
２１ 型
２１ａ 接触面
２２ 支持板
２２ａ 軸受
３０ 支持部
３１ 支柱
３２ 規制板
３３ シャフト
４０ 押付部
４１ 押付面
４１ａ 貫通孔
４２ 溝
５０ 位置決め部
５１ 第２の保持部
５１１ 付着部
５１１ａ 吸着孔
５１２ 規制部
５１２ａ 突出具
５２ 駆動部
５２１ シャフト
５５ 検出装置
５６ 撮像部
５６１ カメラ
５６２ 鏡筒
５７ アーム
５８ 移動機構
６０ 圧着部
６１、６２ ローラ
６３、６４ 軸受部
６５ ガイド部
６６ 押出部
６７ 第１の付勢部
６８ 第２の付勢部
８ 押圧装置
８１ 真空チャンバ
８１ａ 減圧装置
８２ 加圧ヘッド
８３ 昇降機構
８４ 押圧機構
９ 制御装置
９１ 機構制御部
９２ 検出部
９２１ 抽出部
９２２ 算出部
９３ 記憶部
９４ 入出力制御部
９５ 入力装置
９６ 出力装置

Claims (14)

1. 曲面を有する第１のワークを保持する保持部と、
   第２のワークを前記第１のワークの曲面に倣うように押し付ける押付面を有し、押し付けのために前記第１のワークを前記押付面に対向させた前記保持部に対して、押付方向に交差する平面方向の相対位置が不動に設けられた押付部と、
   前記第２のワークの前記第１のワークに対する前記平面方向の位置を変化させることにより、前記第１のワークに対して前記第２のワークを位置決めする位置決め部と、
   を有することを特徴とする保持装置。
2. 前記位置決め部は、
   前記平面方向に可動に設けられ、前記第２のワークを保持する第２の保持部と、
   前記第２の保持部を前記平面方向に駆動する駆動部と、
   を有することを特徴とする請求項１記載の保持装置。
3. 前記第２の保持部は、前記第２のワークが付着する付着部を有することを特徴とする請求項２記載の保持装置。
4. 前記付着部は、減圧により前記第２のワークを吸着するバキュームチャックを有することを特徴とする請求項３記載の保持装置。
5. 前記付着部は、前記第２のワークを付着させる粘着剤を有することを特徴とする請求項３又は請求項４記載の保持装置。
6. 前記付着部は、前記押付面内に設けられていることを特徴とする請求項３乃至５のいずれかに記載の保持装置。
7. 前記付着部は、前記押付面外に設けられていることを特徴とする請求項３乃至６のいずれかに記載の保持装置。
8. 前記第２の保持部は、前記第２のワークの前記平面方向の位置を規制する規制部を有することを特徴とする請求項２乃至７のいずれかに記載の保持装置。
9. 前記規制部は、前記第２のワークに形成された孔に挿通される突出具を有することを特徴とする請求項８記載の保持装置。
10. 前記規制部は、前記第２のワークを挟持する挟持部を有することを特徴とする請求項８又は請求項９記載の保持装置。
11. 前記押付面によって前記第２のワークを前記第１のワークに押し付ける前に、前記第２のワークを前記押付面に密着させる圧着部を有することを特徴とする請求項１乃至１０のいずれかに記載の保持装置。
12. 請求項１乃至１１のいずれかに記載の保持装置と、
    前記位置決め部を動作させるために、前記保持部と前記押付部との間における前記第１のワーク及び前記第２のワークの位置ずれを検出する検出装置と、
    を有することを特徴とする位置決め装置。
13. 前記検出装置は、
    前記第１のワーク及び前記第２のワークの所定の箇所を撮像する撮像部と、
    前記撮像部により撮像された画像に基づいて、前記第１のワークと前記第２のワークのずれを補正する補正量を検出する検出部と、
    を有することを特徴とする請求項１２記載の位置決め装置。
14. 請求項１乃至１１のいずれかに記載の保持装置と、
    前記保持部及び前記押付部の一方又は双方を押付方向に付勢することにより、前記第１のワークに前記第２のワークを押し付ける押圧装置と、
    を有することを特徴とする貼合装置。

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