JP6941473B2 - ディスプレイの製造方法、ディスプレイ及び液晶テレビ - Google Patents
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Description
実施形態に係るディスプレイ及びディスプレイの製造方法を説明する。まず、ディスプレイ及びディスプレイのパネルの概要を説明する。そして、ディスプレイの製造方法を説明し、その後、ディスプレイの一例として、LCDを説明する。
まず、実施形態に係るディスプレイの概要を説明する。図1は、実施形態に係るディスプレイを例示した斜視図である。図1に示すように、ディスプレイ1は、パネル10を備えている。ディスプレイ1は、パネル10の他、外枠61、支持台62及び図示しない制御装置等を有していてもよい。ディスプレイ1は、例えば、4Kまたは8Kの高性能テレビの表示装置として用いられるが、パソコンのモニタ等、4Kまたは8Kの高性能テレビの表示装置以外に用いられてもよい。
図2は、実施形態に係るディスプレイ1のパネル10を例示した平面図であり、図1の領域10aの拡大図である。図2に示すように、パネル10は、基板11を含んでいる。基板11の表面11a側には、複数の画素12が形成されている。画素12は、表面11aに直交する方向から見て、例えば矩形である。複数の画素12は、基板11の表面11a上にマトリックス状に配置されている。
次に、実施形態に係るディスプレイの製造方法を説明する。まず、レーザ照射装置を説明する。そして、レーザの照射面を説明し、レーザの照射により形成されるpSi膜14を説明する。その後、レーザのエネルギー密度と粒径との関係を導くステップ、エネルギー密度を選定するステップ、及び、レーザを照射するステップを説明する。まず、pSi膜14を形成するためのレーザ照射装置を説明する。
図4は、実施形態に係るレーザ照射装置の概要を例示した斜視図である。図4に示すように、レーザ照射装置70は、光源71、ミラー72、ステージ73、カメラ74、制御部75及び図示しない光学部材を備えている。
図5は、実施形態に係るレーザの照射面の形状を例示した図である。図5に示すように、レーザの照射面77は、矩形状となっている。レーザの照射面77のX軸方向の長さ77xは、例えば、747mmであり、Y軸方向の長さ77yは、288μmである。レーザの照射面77は、エネルギー密度が最大値でほぼ一定の矩形状の照射面78と、外側に向かってエネルギー密度が減少する環状の照射面79を有している。環状の照射面79は、照射面78の周縁に、12〜35μmの幅79y、好ましくは15μmの幅79yで形成されている。なお、照射面77、照射面78及び照射面79の寸法は上記に限らない。また、照射面77、照射面78及び照射面79の形状は、矩形状及び環状に限らない。
次に、基板11上のaSi膜18にレーザを照射して形成したpSi膜14を説明する。図7は、実施形態に係るpSi膜14の表面形状を例示した図である。表面形状は、走査型プローブ顕微鏡(Scanning Probe Microscop、SPMという。)または原子間力顕微鏡(Atomic Force Microscope、AFMという。)で観察したものである。図8は、実施形態に係るpSi膜14の表面形状を例示した図であり、上段は、光学顕微鏡で観察した図を示し、下段は、SPMまたはAFMで観察したものである。
次に、ディスプレイの製造方法において、レーザのエネルギー密度と粒径の大きさとの関係を導くステップ、エネルギー密度を選定するステップ、及び、レーザを照射するステップを説明する。図11は、実施形態に係るディスプレイの製造方法を例示したフローチャート図である。まず、図11のステップS11に示すように、レーザのエネルギー密度と、pSiの粒径の大きさとの関係を導く。
次に、図11のステップS12に示すように、導かれた関係において、所定のエネルギー密度の範囲を選定する。例えば、図7〜図10で示したように、レーザのエネルギー密度と粒径の大きさとの関係において、粒径が、pSi膜14の厚さ以下になるエネルギー密度の範囲から、所定のエネルギー密度の範囲を選定する。例えば、図7〜図8で示したように、エネルギー密度が400mJ/cm2以上では、pSi膜14の粒径はほぼ一定値をとるようになっており、粒径の変動の幅が小さいエネルギー範囲を、レーザのエネルギー密度の範囲として選定する。これにより、一回の照射で、均一な粒径を得ることができる。
次に、aSi膜18に対して、レーザを照射する。ここで、レーザを照射して、pSi膜14を形成するステップを、aSi膜18の2つの形態に場合分けして説明する。一つは、基板11上のaSi膜18が、レーザ照射前に、複数の島状のaSi膜18に成形されている場合である。もう一つは、aSi膜18が基板11上に層状に形成された状態でレーザを照射し、aSi膜18をpSi膜14に変化させた後に、層状のpSi膜14を、複数の島状のpSi膜14に成形する場合である。まず、基板11上のaSi膜18が、レーザ照射前に、複数の島状のaSi膜18に成形されている場合から説明する。
×(1秒当たりの照射回数) ・・・(1)
次に、pSi膜14にTFT13を含む半導体装置の製造方法を説明する。図15〜図22は、TFT13を含む半導体装置の製造工程を示す工程断面図である。以下の説明では、逆スタガード(inverted staggered)型のTFT13を有する半導体装置の製造方法について説明する。
その後、所定の工程を経て、ディスプレイ1が製造される。
次に、ディスプレイの一例としてLCDパネルを説明する。図23は、実施形態に係るディスプレイに用いられるLCDパネル20を例示した断面図である。図23に示すように、LCDパネル20は、アレイ基板21、TFT13、スペーサ23、液晶24、アレイ基板側配向膜25、ショートリング配線26、シール材27、カラーフィルタ(CF)28、対向電極29、ブラックマトリクス30、前面側偏光板31、対向基板32、ボンディングパッド33、背面側偏光板34、及びCF基板側配向膜35を備えている。
本実施形態では、基板11上に設けられたaSi膜18に対して、レーザを照射することにより、aSi膜18を多結晶化し、pSi膜14を形成する場合において、レーザのエネルギー密度と、形成されたpSi膜14の粒径の大きさとの関係を導いている。これにより、pSi膜14の粒径が均一となるレーザのエネルギー密度を用いることができるので、生産性を向上させ、粒径を均一化することができる。
10 パネル
10a 領域
11 基板
11a 表面
12 画素
12G、12G、12B、12Y 副画素
13 TFT
14 pSi膜
14a 部分溶融結晶化したpSi膜
14b 準完全溶融結晶化したpSi膜
14c 完全溶融結晶化したpSi膜
18 aSi膜
20 パネル
21 アレイ基板
23 スペーサ
24 液晶
25 アレイ基板側配向膜
26 ショートリング配線
27 シール材
28 カラーフィルタ(CF)
29 対向電極
30 ブラックマトリクス
31 前面側偏光板
32 対向基板
33 ボンディングパッド
34 背面側偏光板
35 CF基板側配向膜
41 ゲート線
42 信号線
43 ソース電極
44 ドレイン電極
45 絶縁膜
46 半導体層
47 ゲート電極
49 蓄積容量電極
51 画素電極
52 蓄積容量配線
61 外枠
62支持台
70 レーザ照射装置
71 光源
72 ミラー
73 ステージ
74 カメラ
75 制御部
76 マーカー
77、78、79 照射面
78a 平坦部
79a スティープネス部
401 ガラス基板
402 ゲート電極
403 ゲート絶縁膜
404 アモルファスシリコン膜
405 ポリシリコン膜
405a ソース領域
405b ドレイン領域
405c チャネル領域
406 層間絶縁膜
406a コンタクトホール
407a ソース電極
407b ドレイン電極
408 平坦化膜
408a コンタクトホール
409 画素電極
L1 レーザ
LX12、LY12、Lx12、L13 長さ
Claims (19)
- (A)基板上に設けられたアモルファスシリコン膜に対してレーザを照射することにより、前記アモルファスシリコン膜を多結晶化し、ポリシリコン膜を形成する場合において、前記レーザのエネルギー密度と、形成された前記ポリシリコン膜の粒径の大きさと、の関係を導くステップと、
(B)導かれた前記関係において、所定の前記エネルギー密度の範囲を選定するステップと、
(C)選定された前記エネルギー密度の範囲を用いて、前記アモルファスシリコン膜を含む第1の領域に対して、前記レーザを照射することにより、前記アモルファスシリコン膜を多結晶化し、前記ポリシリコン膜を形成するステップと、
を備え、
前記関係において、前記粒径と相関関係にあるライフタイム測定におけるピーク値が、最大値を示す前記エネルギー密度よりも大きい前記エネルギー密度の範囲であって、前記エネルギー密度を変化させた場合に、前記最大値で規格化した前記ピーク値の変化率が5%以下の略一定値となる前記エネルギー密度の範囲から、前記所定の前記エネルギー密度の範囲を選定する、
ディスプレイの製造方法。 - 前記関係において、前記粒径が、前記ポリシリコン膜の厚さ以下になる前記エネルギー密度の範囲から、前記所定の前記エネルギー密度の範囲を選定する、
請求項1に記載のディスプレイの製造方法。 - (A)基板上に設けられたアモルファスシリコン膜に対してレーザを照射することにより、前記アモルファスシリコン膜を多結晶化し、ポリシリコン膜を形成する場合において、前記レーザのエネルギー密度と、形成された前記ポリシリコン膜の粒径の大きさと、の関係を導くステップと、
(B)導かれた前記関係において、所定の前記エネルギー密度の範囲を選定するステップと、
(C)選定された前記エネルギー密度の範囲を用いて、前記アモルファスシリコン膜を含む第1の領域に対して、前記レーザを照射することにより、前記アモルファスシリコン膜を多結晶化し、前記ポリシリコン膜を形成するステップと、
を備え、
前記関係において、前記粒径と相関関係にあるライフタイム測定におけるピーク値が、最大値を示す前記エネルギー密度よりも大きい前記エネルギー密度の範囲であって、前記エネルギー密度を変化させた場合に、前記最大値で規格化した前記ピーク値の変化率が5%以下の略一定値となる前記エネルギー密度の範囲から、前記所定の前記エネルギー密度の範囲を選定し、
前記第1の領域は、レーザ照射後に、複数の島状の前記ポリシリコン膜がマトリックス状に配置される前記基板において、複数の前記ポリシリコン膜が成形される前記アモルファスシリコン膜を含み、
前記レーザは、
矩形状の照射面を有し、選定された範囲内のエネルギー密度のプロファイルを示す平坦部と、
前記平坦部の前記照射面の周縁に形成される照射面を有し、前記平坦部のプロファイル以外のプロファイルであって、外側に向けて減少するプロファイルを示すスティープネス部と、
を含み、
前記平坦部は、前記第1の領域における前記アモルファスシリコン膜を含む部分を照射し、
前記スティープネス部は、前記第1の領域における前記アモルファスシリコン膜以外の部分を照射する、
ディスプレイの製造方法。 - 前記第1の領域における前記アモルファスシリコン膜を照射した後で、前記第1の領域以外の第2の領域における前記アモルファスシリコン膜を照射するステップと、
をさらに備え、
前記複数の島状の前記ポリシリコン膜は、一方向及び前記一方向に交差する他方向に前記マトリックス状に配置され、
前記一方向に隣り合った前記島状の前記ポリシリコン膜間の間隔は、前記他方向に隣り合った前記島状の前記ポリシリコン膜間の間隔よりも小さく、
前記第2の領域は、前記第1の領域の他方向側に隣接する、
請求項3に記載のディスプレイの製造方法。 - (A)基板上に設けられたアモルファスシリコン膜に対してレーザを照射することにより、前記アモルファスシリコン膜を多結晶化し、ポリシリコン膜を形成する場合において、前記レーザのエネルギー密度と、形成された前記ポリシリコン膜の粒径の大きさと、の関係を導くステップと、
(B)導かれた前記関係において、所定の前記エネルギー密度の範囲を選定するステップと、
(C)選定された前記エネルギー密度の範囲を用いて、前記アモルファスシリコン膜を含む第1の領域に対して、前記レーザを照射することにより、前記アモルファスシリコン膜を多結晶化し、前記ポリシリコン膜を形成するステップと、
を備え、
前記関係において、前記粒径と相関関係にあるライフタイム測定におけるピーク値が、最大値を示す前記エネルギー密度よりも大きい前記エネルギー密度の範囲であって、前記エネルギー密度を変化させた場合に、前記最大値で規格化した前記ピーク値の変化率が5%以下の略一定値となる前記エネルギー密度の範囲から、前記所定の前記エネルギー密度の範囲を選定し、
前記第1の領域は、複数の島状の前記アモルファスシリコン膜がマトリックス状に配置された前記基板における複数の前記アモルファスシリコン膜を含み、
前記レーザは、
矩形状の照射面を有し、選定された範囲内のエネルギー密度のプロファイルを示す平坦部と、
前記平坦部の前記照射面の周縁に形成される照射面を有し、前記平坦部のプロファイル以外のプロファイルであって、外側に向けて減少するプロファイルを示すスティープネス部と、
を含み、
前記平坦部は、前記第1の領域における前記アモルファスシリコン膜を含む部分を照射し、
前記スティープネス部は、前記第1の領域における前記アモルファスシリコン膜以外の部分を照射する、
ディスプレイの製造方法。 - 前記第1の領域における前記複数の前記アモルファスシリコン膜を同時に照射した後で、前記第1の領域以外の第2の領域における前記複数の前記アモルファスシリコン膜を同時に照射するステップと、
をさらに備えた請求項5に記載のディスプレイの製造方法。 - 前記複数の島状のアモルファスシリコン膜は、一方向及び前記一方向に交差する他方向に前記マトリックス状に配置し、
前記一方向に隣り合った前記島状のアモルファスシリコン膜間の間隔は、前記他方向に隣り合った前記島状のアモルファスシリコン膜間の間隔よりも小さく、
前記第2の領域は、前記第1の領域の他方向側に隣接する、
請求項6に記載のディスプレイの製造方法。 - ポリシリコン膜を有する複数の薄膜トランジスタがマトリックス状に配置されたディスプレイの製造方法であって、
(I)アモルファスシリコン膜を照射するレーザのエネルギー密度と、前記アモルファスシリコン膜から形成された前記ポリシリコン膜の平均粒径との関係を導くステップと、
(II)前記(I)のステップで導かれた前記関係に基づいて、第1のレーザの第1のエネルギー密度を選定するステップと、
(III)基板上の第1の領域における前記アモルファスシリコン膜に対して前記第1のレーザを照射して前記ポリシリコン膜を形成するステップと、
を備え、
前記アモルファスシリコン膜を多結晶化する際には、前記アモルファスシリコン膜の厚さ方向の全体を溶融し、
前記ポリシリコン膜の粒径が前記ポリシリコン膜の厚さ以下の前記ポリシリコン膜を形成する、
ディスプレイの製造方法。 - 前記第1のレーザは、前記第1の領域を一回だけ照射する、
請求項8に記載のディスプレイの製造方法。 - 前記第1のレーザは、前記第1の領域を複数回照射する、
請求項8に記載のディスプレイの製造方法。 - 前記基板上には複数の領域が設けられ、
既に前記レーザで照射された領域以外の領域を順次照射する
請求項1〜9のいずれか一項に記載のディスプレイの製造方法。 - 前記基板上には複数の領域が設けられ、
前記基板上には少なくとも1つ以上のマーカーが設けられ、
前記マーカーを基準にして、各前記領域に前記レーザを照射する、
請求項1〜11のいずれか一項に記載のディスプレイの製造方法。 - 前記基板上には複数の領域が設けられ、
前記レーザで照射される領域以外の領域を覆うマスクをさらに備えた、
請求項1〜12のいずれか一項に記載のディスプレイの製造方法。 - 前記基板に、軟化点700℃以下のガラス基板を用いる、
請求項1〜13のいずれか一項に記載のディスプレイの製造方法。 - 前記エネルギー密度を、400mJ/cm2以上とし、
前記ポリシリコン膜の厚さを、50nm以上とし、
前記ポリシリコン膜の粒径を、50nm以下とする、
請求項1〜14のいずれか一項に記載のディスプレイの製造方法。 - 基板上にマトリックス状に配置された複数の島状のポリシリコン膜と、
各前記ポリシリコン膜に形成された薄膜トランジスタと、
を備え、
前記ポリシリコン膜の粒径は、前記ポリシリコン膜の厚さ以下であり、
前記ポリシリコン膜の厚さは、50nm以上であり、
前記粒径は、50nm以下であり、
前記ポリシリコン膜の移動度は、5〜10cm2/Vsである、
ディスプレイ。 - 前記ポリシリコン膜の前記基板との界面から、前記ポリシリコン膜の表面まで達する結晶粒界には、他の前記結晶粒界が交差する、
請求項16に記載のディスプレイ。 - 前記基板は、軟化点700℃以下のガラス基板である、
請求項16または17に記載のディスプレイ。 - 請求項16〜18のいずれか一項に記載のディスプレイを備えた液晶テレビ。
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