JP6934305B2 - ウエーハの保持方法 - Google Patents
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Description
W ウエーハ
4 静電チャック
41 保持面
40 細孔(吸引保持手段)
43 吸引源(吸引保持手段)
44 電極(静電気保持手段)
B 気泡
D 凹凸
D1 凹凸面
Claims (1)
- 一方の面にテープを貼着したウエーハを静電チャックで保持するウエーハの保持方法であって、
該静電チャックは、保持面に形成した複数の細孔を吸引源に連通させウエーハを吸引保持する吸引保持手段と、内部に配設した電極に供給した直流電力によって静電気を発生させ該保持面でウエーハを吸着保持する静電気保持手段と、を備え、
ウエーハの一方の面にはテープが予め貼着され、ウエーハを該静電チャックに搬送する搬送手段が保持するウエーハの該テープの表面全面に、たわしまたはスポンジを接触させて凹凸を形成する凹凸面形成工程と、
該凹凸面形成工程の後、該細孔を吸引源に連通させ該テープの該凹凸と該保持面との間の隙間を該細孔に連通させ、該隙間の気泡を除去して該テープを吸引保持する吸引保持工程と、
該吸引保持工程の後、該電極に供給した直流電力により静電気を発生させ該保持面で該テープを介してウエーハを静電力保持する静電力保持工程と、を備えたウエーハを保持方法。
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