JP6920430B2 - セリア系複合微粒子分散液、その製造方法及びセリア系複合微粒子分散液を含む研磨用砥粒分散液 - Google Patents
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Description
シャロートレンチ素子分離工程では、酸化ケイ素膜の研磨だけではなく、窒化ケイ素膜の研磨も行われる。素子分離を容易にするためには、酸化ケイ素膜の研磨速度が高く、窒化ケイ素膜の研磨速度が低い事が望ましく、この研磨速度比(選択比)も重要である。
このような仕上げ研磨としての2次研磨に用いる研磨剤に関して、従来、例えば次のような方法等が提案されている。
これは、焼成工程を含むセリア粒子の製造方法(焼成によりセリア粒子の結晶化度が高まる)に比べて、特許文献1に記載の酸化セリウム超微粒子の製法は、焼成工程を含まず、液相(硝酸第一セリウムを含む水溶液)から酸化セリウム粒子を結晶化させるだけなので、生成する酸化セリウム粒子の結晶化度が相対的に低く、また、焼成処理を経ないため酸化セリウムが母粒子と固着せず、酸化セリウムが研磨基材の表面に残留することが主要因であると、本発明者は推定している。
また、これら文献に記載されているセリア粒子は母粒子上に付着されたものであり、強く固着されていないので母粒子から脱落しやすい。
さらに、特許文献2の記載の真球状のシリカ母粒子上に結晶性セリア粒子を形成した砥粒を用いて研磨すると、スクラッチの発生が抑制される点において優れ、また、セリア粒子の研摩時の機械的作用と同時に起こる化学的な反応によりシリカ膜の研磨速度は高いものの、母粒子が真球状であるため砥粒の転がりにより動摩擦係数が低くなりやすいため、より高い研磨速度が必要とされる研磨用途では研磨速度が不足する恐れがある。
本発明は、下記[1]から[3]の特徴を備える平均粒子径50〜350nmのセリア系複合微粒子を含む、セリア系複合微粒子分散液である。
[1]前記セリア系複合微粒子は、母粒子と、前記母粒子の表面上のセリウム含有シリカ層と、前記セリウム含有シリカ層の内部に分散している子粒子とを有すること。
[2]前記母粒子は非晶質シリカを主成分とし、前記子粒子は結晶性セリアを主成分とすること。
[3]前記セリア系複合微粒子は、X線回折に供して測定される前記結晶性セリアの平均結晶子径が10〜25nmであること。
また、本発明の分散液が含む前記セリア系複合微粒子を、以下では「本発明の複合微粒子」ともいう。
[4]前記セリア系複合微粒子は、さらに最外層としての易溶解性のシリカを含む層を有すること。
[5]前記セリア系複合微粒子の質量D2に対する前記易溶解性のシリカを含む層の質量D1の割合D(D=D1/D2×100)が0.08〜30%であること。
[6]前記セリア系複合微粒子は、シリカとセリアとの質量比が100:11〜316であること。
[7]前記セリア系複合微粒子は、X線回折に供するとセリアの結晶相のみが検出されること。
また、このような本発明の第1の複合微粒子を含むセリア系複合微粒子分散液を、以下では「本発明の第1の分散液」ともいう。
[9]前記子粒子が含む結晶性セリアにケイ素原子が固溶し、さらに1種以上の異種原子が固溶していること。
[10]前記セリア系複合微粒子における、セリウム、ケイ素および前記異種原子の各含有量が、(Ce+M)/Si=0.038〜1.11の関係を満たすこと。ここでMは、1種以上の異種原子の合計モル数を意味し、CeおよびSiは、セリウム原子およびケイ素原子のモル数を意味する。
[11]前記セリア系複合微粒子は、X線回折に供すると、(i)セリアの結晶相のみが検出されるか、あるいは(ii)セリアの結晶相と前記異種原子の酸化物の結晶相のみが検出されること。
また、このような本発明の第2の複合微粒子を含むセリア系複合微粒子分散液を、以下では「本発明の第2の分散液」ともいう。
工程1:シリカ系微粒子が溶媒に分散しているシリカ系微粒子分散液を撹拌し、温度を0〜20℃、pHを7.0〜9.0、酸化還元電位を50〜500mVに維持しながら、ここへセリウムの金属塩を連続的又は断続的に添加し、前駆体粒子を含む前駆体粒子分散液を得る工程。
工程2:前記前駆体粒子分散液を乾燥させ、800〜1,200℃で焼成し、得られた焼成体に溶媒を接触させ、pH8.6〜11.5の範囲にて、湿式で解砕処理をして焼成体解砕分散液を得る工程。
工程3:前記焼成体解砕分散液を、相対遠心加速度300G以上にて遠心分離処理を行い、続いて沈降成分を除去することによりセリア系複合微粒子分散液を得る工程。
なお、相対遠心加速度とは、地球の重力加速度を1Gとして、その比で表したものである。
本発明の第1の分散液は、本発明の第1の製造方法によって製造することが好ましい。
工程4:シリカ微粒子が溶媒に分散してなるシリカ微粒子分散液を撹拌し、温度を0〜20℃、pHを7.0〜9.0、酸化還元電位を50〜500mVに維持しながら、ここへセリウムの金属塩と異種原子を含む塩とを別々に、あるいは混合した後に、連続的又は断続的に添加し、前駆体粒子を含む前駆体粒子分散液を得る工程。
工程5:前記前駆体粒子分散液を乾燥させ、800〜1,200℃で焼成し、得られた焼成体に溶媒を接触させ、pH8.6〜10.8の範囲にて湿式で解砕処理して、焼成体解砕分散液を得る工程。
工程6:前記焼成体解砕分散液を、相対遠心加速度300G以上にて遠心分離処理を行い、続いて沈降成分を除去することによりセリア系複合微粒子分散液を得る工程。
なお、相対遠心加速度とは、地球の重力加速度を1Gとして、その比で表したものである。
本発明の第2の分散液は、本発明の第2の製造方法によって製造することが好ましい。
本発明の第1の複合微粒子について説明する。
本発明の第1の複合微粒子は図1に例示する構造を備えている。図1(a)および図1(b)は共に本発明の第1の複合微粒子の断面の模式図である。図1(a)は、全て子粒子が外部に露出していない埋没タイプであり、図1(b)は、子粒子の一部が、セリウム含有シリカ層および易溶解性のシリカを含む層の外部に位置しているタイプである。
図1に示すように、本発明の第1の複合微粒子20は、母粒子10と、母粒子10の表面上のセリウム含有シリカ層12と、セリウム含有シリカ層12または易溶解性のシリカ16の内部に分散している子粒子14と、最外層としての易溶解性のシリカ16を含む層とを備えている。
なお、図1中の▲は、後述するTEM−EDS分析を行う測定点X〜Zの例示である。
例えば、正珪酸四エチル(Si(OC2H5)4)にアンモニアを添加し、加水分解・縮重合の操作を行うことで得たシリカゾルに、セリウム塩の溶解液を添加しながらアルカリを添加し、セリウム塩の溶解液を中和させる。そうすると、シリカゾルの微粒子(シリカ微粒子)の表面に水酸化セリウムやセリウム化合物などが付き、シリカ微粒子の表面と水酸化セリウムとが反応し、水酸化セリウムや珪酸を含むケイ酸セリウム化合物などを経由して、CeO2・SiO2・SiOH等およびCeO2超微粒子(粒径は2.5nm以上)を含む層(以下「CeO2超微粒子含有層」ともいう)が、シリカ微粒子の外側に形成される。この層は水酸化セリウムとの反応でシリカ微粒子の表面が溶け出した後、これが酸素等の影響で固化して形成されたものと推定される。このような反応が進行すると、シリカ微粒子の外側にCeO2超微粒子含有層が形成される。
そして、その後、乾燥し、1,000℃程度で焼成すると、形成されたCeO2超微粒子含有層の内部に存在している、粒径が2.5nm以上のCeO2超微粒子が、この層内に存在しているセリウムイオンを取り込んで粒径を成長させる。そして、最終的には10〜20nm程度の粒径にまで成長した結晶性セリア粒子となる。そのため、結晶性セリア粒子はセリウム含有シリカ層内で分散した状態で存在することとなる。また、このような機構によって形成された結晶性セリア粒子(子粒子)は合着がすくない。さらに、層内には結晶性セリア粒子になりきらなかったセリウム原子が残存することになる。
また、例えば、焼成後に溶媒に分散させ、pHを8.6〜11.5に保って解砕することで、高温焼成により形成された硬質なセリウム含有シリカ層からシリカが溶解し、シリカの溶解と沈着の平衡反応が生じることで、複合微粒子の最外層に易溶解性のシリカを含む層が形成される。
また、例えば、易溶解性のシリカを含む層の厚みを補強する場合は、解砕後や遠心分離後にシリカを含む添加材を添加し10〜98℃で加熱熟成することで、複合微粒子の最外殻にシリカが沈着し、易溶解性のシリカを含む層(以下「易溶解シリカ層」ともいう)が形成される。
ただし、本発明の第1の複合微粒子をアルカリ処理して易溶解シリカ層を除去した後、本発明の第1の複合微粒子の断面についてSTEM−EDS分析を行い、CeとSiの元素濃度を測定すると、図1に示した構造であることを確認することができる。
すなわち、後に詳細に説明する方法によって本発明の第1の複合微粒子をアルカリ処理して易溶解シリカ層を除去した後、走査透過型電子顕微鏡(STEM)によって特定した箇所に電子ビームを選択的に照射するEDS分析を行い、図1に示す本発明の第1の複合微粒子の断面の測定点XにおけるCeとSiとの元素濃度を測定すると、Ceモル濃度とSiモル濃度との合計に対するCeモル濃度の比(百分率)(Ce/(Ce+Si)×100)が3%未満となる。また、測定点ZにおけるCeとSiとの元素濃度を測定すると、Ceモル濃度とSiモル濃度との合計に対するCeモル濃度の比(百分率)(Ce/(Ce+Si)×100)が50%超となる。そして、測定点YにおけるCeとSiとの元素濃度を測定すると、Ceモル濃度とSiモル濃度との合計に対するCeモル濃度の比(百分率)(Ce/(Ce+Si)×100)が3〜50%となる。
したがって、STEM−EDS分析を行って得られる元素マップにおいて、本発明の第1の複合微粒子における母粒子10とセリウム含有シリカ層12とは、Ceモル濃度とSiモル濃度との合計に対するCeモル濃度の比(百分率)(Ce/(Ce+Si)×100)が3%となるラインによって、区別することができる。また、STEM−EDS分析を行って得られる元素マップにおいて、本発明の第1の複合微粒子におけるセリウム含有シリカ層12と子粒子14とは、Ceモル濃度とSiモル濃度との合計に対するCeモル濃度の比(百分率)(Ce/(Ce+Si)×100)が50%となるラインによって、区別することができる。
すなわち、本発明の第1の複合微粒子が水に分散してなる分散液に硝酸または水酸化ナトリウム水溶液を加えてpH9に調整し、イオン交換水を添加して3.0質量%に調整した後、15分間撹拌することで溶解する部分が易溶解シリカ層16である。しかるのちに限外膜付き遠心管に投入し、1820Gで30分処理すると、易溶解シリカ層を構成していたものは限外膜を透過すると考えられる。そこで、限外膜を透過した分離液を回収しSi濃度の測定を行い、上澄み液中に溶解したシリカの質量をD1、セリア系複合微粒子の質量をD2とすると、易溶解シリカ層16を備えた本発明の第1の複合微粒子の場合は、D2に対するD1の割合D(D=D1/D2×100)が0.08〜30%となるので、易溶解シリカ層を有していない複合微粒子と区別することができる。
本発明の第2の複合微粒子について説明する。
本発明の第2の複合微粒子は図2に例示する構造を備えている。図2(a)および図2(b)は共に本発明の第2の複合微粒子の断面の模式図である。図2(a)は、全て子粒子が外部に露出していない埋没タイプであり、図2(b)は、子粒子の一部がセリウム含有シリカ層を含む層の外部に位置しているタイプである。
図2に示すように、本発明の第2の複合微粒子20は、母粒子10と、母粒子10の表面上のセリウム含有シリカ層12と、セリウム含有シリカ層12の内部に分散している子粒子14とを有する。
なお、図2中の▲は、後述するSTEM−EDS分析を行う測定点X〜Zの例示である。
例えば、正珪酸四エチル(Si(OC2H5)4)にアンモニアを添加し、加水分解・縮重合の操作を行うことで得たシリカゾルに、セリウム塩及び異種元素を含む塩の溶解液を添加しながらアルカリを添加し、セリウム塩の溶解液と異種元素を含む塩とを中和させる。そうすると、シリカゾルの微粒子(シリカ微粒子)の表面に水酸化セリウムやセリウム化合物と異種原子の水酸化物や異種原子化合物、及びこれらの複合水酸化物や複合化合物が付き、シリカ微粒子の表面と水酸化セリウムとが反応し、水酸化セリウム、セリウム化合物、珪酸および異種元素化合物を経由して、CeO2・SiO2・SiOHあるいはMOX・CeO2・SiO2・SiOHおよびCeO2超微粒子(粒径は2.5nm以上)を含む層(以下「CeO2超微粒子含有層」ともいう)が、シリカ微粒子の外側に形成される。この際に異種原子はCeO2超微粒子含有層またはCeO2超微粒子の内部に存在する。CeO2超微粒子含有層は、水酸化セリウムとの反応でシリカ微粒子の表面が溶け出した後、これが酸素等の影響で固化して形成されたものと推定される。このような反応が進行すると、異種原子を含んだCeO2超微粒子含有層が形成される。
そして、その後、乾燥し、1,000℃程度で焼成すると、形成されたCeO2超微粒子含有層の内部に存在している、粒径が2.5nm以上のCeO2超微粒子が、この層内に存在しているセリウムイオンを取り込んで粒径を成長させる。そして、最終的には10〜20nm程度の粒径にまで成長した結晶性セリア粒子となる。そのため、結晶性セリア粒子はセリウム含有シリカ層内で分散した状態で存在することとなる。また、このようなプロセスを経ると結晶性セリア粒子の内部にケイ素原子及び異種原子が固溶した状態となる。さらに、このような機構によって形成された結晶性セリア粒子(子粒子)は合着がすくない。さらに、層内には結晶性セリア粒子になりきらなかったセリウム原子が残存することになる。
ただし、本発明の第2の複合微粒子の断面についてSTEM−EDS分析を行い、CeとSiの元素濃度を測定すると、図2に示した構造であることを確認することができる。
すなわち、走査透過型電子顕微鏡(STEM)によって特定した箇所に電子ビームを選択的に照射するEDS分析を行い、図2に示す本発明の第2の複合微粒子の断面の測定点XにおけるCeとSiとの元素濃度を測定すると、Ceモル濃度とSiモル濃度との合計に対するCeモル濃度の比(百分率)(Ce/(Ce+Si)×100)が3%未満となる。また、測定点ZにおけるCeとSiとの元素濃度を測定すると、Ceモル濃度とSiモル濃度との合計に対するCeモル濃度の比(百分率)(Ce/(Ce+Si)×100)が50%超となる。そして、測定点YにおけるCeとSiとの元素濃度を測定すると、Ceモル濃度とSiモル濃度との合計に対するCeモル濃度の比(百分率)(Ce/(Ce+Si)×100)が3〜50%となる。
したがって、STEM−EDS分析を行って得られる元素マップにおいて、本発明の第2の複合微粒子における母粒子10とセリウム含有シリカ層12とは、Ceモル濃度とSiモル濃度との合計に対するCeモル濃度の比(百分率)(Ce/(Ce+Si)×100)が3%となるラインによって、区別することができる。また、STEM−EDS分析を行って得られる元素マップにおいて、本発明の第2の複合微粒子におけるセリウム含有シリカ層12と子粒子14とは、Ceモル濃度とSiモル濃度との合計に対するCeモル濃度の比(百分率)(Ce/(Ce+Si)×100)が50%となるラインによって、区別することができる。
母粒子について説明する。
前述の通り、本発明の複合微粒子についてSTEM−EDS分析を行い、図1または図2に示した本発明の複合微粒子の断面におけるCeとSiとの元素濃度を測定した場合に、母粒子はCeモル濃度とSiモル濃度との合計に対するCeモル濃度の比(百分率)(Ce/(Ce+Si)×100)が3%未満となる部分である。
平均粒子径が30〜330nmの範囲にあるシリカ系微粒子を原料として用いて得られる本発明の分散液を研磨剤として用いた場合、研磨に伴うスクラッチの発生が少なくなる。母粒子の平均粒子径が30nm未満の場合、その様なシリカ系微粒子を用いて得られた本発明の分散液を研磨剤として用いると、研磨レートが実用的な水準に達さない傾向がある。また、母粒子の平均粒子径が330nmを超える場合も同じく研磨レートが実用的な水準に達さない傾向があり、研磨対象の基板の面精度低下を招く傾向もある。なお、シリカ系微粒子は、単分散性を示すものがより好ましい。
初めにSTEM−EDS分析によって80万倍で観察し、Ceモル濃度とSiモル濃度との合計に対するCeモル濃度の比(百分率)(Ce/(Ce+Si)×100)が3%となるラインを特定することで母粒子を特定する。次に、STEM−EDS分析を行って得られる画像上における、その母粒子の最大径を長軸とし、その長さを測定して、その値を長径(DL)とする。また、長軸上にて長軸を2等分する点を定め、それに直交する直線が粒子の外縁と交わる2点を求め、同2点間の距離を測定し短径(DS)とする。そして、長径(DL)と短径(DS)との幾何平均値を求め、これをその母粒子の粒子径とする。
このようにして50個の母粒子について粒子径を測定し、これを単純平均して得た値を平均粒子径とする。
また、前記母粒子におけるU、Th、Cl、NO3、SO4及びFの各元素(以下、「特定不純物群2」と称する場合がある)の含有率は、それぞれ5ppm以下であることが好ましい。
シリカdry量に対する含有率とは、対象物(母粒子(シリカ系微粒子)または本発明の複合微粒子)に含まれるSi含有率から計算されるSiO2の質量に対する、測定対象物(特定不純物群1または特定不純物群2)の重量の比(百分率)の値を意味するものとする。
なお、ここでSi含有率は、後述する実施例に記した方法、すなわち、1000℃灼熱減量を行って、セリア系複合微粒子分散液の固形分濃度を求め、さらにICP(誘導結合プラズマ発光分析)を用いてCe含有率を測定してCeO2の含有量を計算し、固形分の残部がSiO2であるとして求めた値を意味するものとする。
このようなシリカ微粒子が溶媒に分散してなるシリカ微粒子分散液の場合、イオン交換処理を行って前記特定不純物群1と前記特定不純物群2の含有率を下げることは可能であるが、その場合でも前記特定不純物群1と前記特定不純物群2が合計で数ppmから数百ppm残留する。そのため水硝子を原料としたシリカ粒子を用いる場合は、酸処理等で不純物を低減させることも行われている。
これに対し、アルコキシシランを原料として合成した母粒子(シリカ系微粒子)が溶媒に分散してなるシリカ系微粒子分散液の場合、通常、前記特定不純物群1における各元素の含有率は、それぞれ100ppm以下であり、前記特定不純物群2における各元素と各陰イオンの含有率は、それぞれ5ppm以下である。
・Na及びK:原子吸光分光分析
・Ag、Al、Ca、Cr、Cu、Fe、Mg、Ni、Ti、Zn、U及びTh:ICP(誘導結合プラズマ発光分光分析)
・Cl:電位差滴定法
・NO3、SO4及びF:イオンクロマトグラフ
本発明の第1の複合微粒子に含まれる子粒子について説明する。
前述の通り、本発明の第1の複合微粒子をアルカリ処理して易溶解シリカ層を除去した後、STEM−EDS分析を行い、図1に示した本発明の第1の複合微粒子における易溶解シリカ層が除去された粒子の断面におけるCeとSiの元素濃度を測定した場合に、子粒子はCeモル濃度とSiモル濃度との合計に対するCeモル濃度の比(百分率)(Ce/(Ce+Si)×100)が50%超となる部分である。
初めにSTEM−EDS分析によって80万倍で観察し、Ceモル濃度とSiモル濃度との合計に対するCeモル濃度の比(百分率)(Ce/(Ce+Si)×100)が50%となるラインを特定することで子粒子を特定する。次に、その子粒子の最大径を長軸とし、その長さを測定して、その値を長径(DL)とする。また、長軸上にて長軸を2等分する点を定め、それに直交する直線が粒子の外縁と交わる2点を求め、同2点間の距離を測定し短径(DS)とする。そして、長径(DL)と短径(DS)との幾何平均値を求め、これをその子粒子の粒子径とする。
このようにして100個以上の子粒子について粒子径を測定し、粒子径分布及び個数平均値(100個以上の子粒子の粒子径の平均値)を得ることができる。本願においては、この個数平均値を「幾何平均粒子径」ともいう。
子粒子の幾何平均粒子径が30nmを超える場合、工程2において、そのようなセリア子粒子を有した前駆体粒子は、焼成後に焼結や凝結が生じ解砕も困難となる傾向がある。このようなセリア系複合微粒子分散液は、研磨用途に使用しても研磨対象でのスクラッチ発生を招き、好ましくない。子粒子の幾何平均粒子径が10nm未満の場合、同じく研磨用途に使用すると、実用的に充分な研磨速度を得難い傾向がある。
単結晶であることは、X線回折より得られる平均結晶子径とSTEM−EDS分析により測定される幾何平均粒子径が概ね一致した数値を示すことにより確認できる。また一部に多結晶体(セリア結晶間に異相が存在しない凝集体)を含んでいても構わない。
また、子粒子はセリウム含有シリカ層あるいは易溶解性のシリカを含む層中に埋没していてよいし、セリウム含有シリカ層あるいは易溶解性のシリカを含む層の外部へ部分的に露出していてもよいが、子粒子がセリウム含有シリカ層あるいは易溶解性のシリカを含む層に埋没した場合は、セリア系複合微粒子の表面はよりシリカ表面に近くなるため、保存安定性及び研磨安定性が向上し、さらに研磨後の基板上に砥粒残りが少なくなることから、子粒子はセリウム含有シリカ層あるいは易溶解性のシリカを含む層に埋没している方が望ましい。
また、母粒子の表面に配されたセリウム含有シリカ層内に分散された子粒子は、単分散状態であってもよい。
前記子粒子が結晶性セリアを主成分とすることは、例えば、本発明の分散液を乾燥させた後、得られた固形物を乳鉢を用いて粉砕し、例えば従来公知のX線回折装置(例えば、理学電気株式会社製、RINT1400)を用いてX線分析し、得られたX線回折パターンにおいて、セリアの結晶相のみが検出されることから確認できる。このような場合に、前記子粒子が結晶性セリアを主成分とするものとする。なお、セリアの結晶相としては、特に限定されないが、例えばCerianite等が挙げられる。
ただし、上記のように、本発明の第1の複合微粒子をX線回折に供するとセリアの結晶相のみが検出される。すなわち、セリア以外の結晶相を含んでいたとしても、その含有率は少ない、あるいはセリア結晶中に固溶しているため、X線回折による検出範囲外となる。
初めに、本発明の第1の複合微粒子を、乳鉢を用いて粉砕し、例えば従来公知のX線回折装置(例えば、理学電気(株)製、RINT1400)によってX線回折パターンを得る。そして、各結晶形態に応じた結晶面のピークの半値全幅から結晶子径を求めるが、セリアナイトの場合は、得られたX線回折パターンにおける2θ=28度近傍の(111)面のピークの半値全幅を測定し、下記のScherrerの式により、平均結晶子径を求めることができる。
D=Kλ/βcosθ
D:平均結晶子径(オングストローム)
K:Scherrer定数(本発明ではK=0.94とする)
λ:X線波長(1.5419オングストローム、Cuランプ)
β:半値全幅(rad)
θ:反射角
一般に固溶とは、2種類以上の元素(金属の場合も非金属の場合もある)が互いに溶け合い、全体が均一の固相となっているものを意味し、固溶して得られる固溶体は、置換型固溶体と侵入型固溶体とに分類される。置換型固溶体は、原子半径が近い原子において容易に起こり得るが、CeとSiは原子半径が大きく違うため、少なくとも置換型固溶体は生じ難いと見られる。また、Cerianiteの結晶構造において、Ce中心からみたCeの配位数は8であるが、例えばSiがCeと1対1で置換した場合はCeの配位数は7となるはずである。しかし、本発明の第1の複合微粒子の好適態様の分析結果においてはCe中心からみたCeの平均配位数は8.0で、さらにSiの平均配位数は1.2であることから、本発明の第1の複合微粒子の好適態様は侵入型であると推定している。そのうえ、本発明の第1の複合微粒子の好適態様の分析結果からも、Ce−Siの原子間距離は、Ce−Ceの原子間距離よりも小さいことから、本発明の第1の複合微粒子の好適態様は、侵入型固溶体であると推察される。すなわち、子粒子に含まれるセリウム原子およびケイ素原子について、セリウム−ケイ素原子間距離をR1とし、セリウム−セリウム原子間距離をR2としたときにR1<R2の関係を満たすことが好ましい。
従来、砥粒としてセリア粒子を用いてシリカ膜付基板やガラス基材を研磨すると、他の無機酸化物粒子を用いた場合に比べて、特異的に高い研磨速度を示すことが知られている。セリア粒子がシリカ膜付基板に対して、特に高い研磨速度を示す理由の一つとして、セリア粒子が被研磨基板上のシリカ被膜に対して、高い化学反応性を持つことが指摘されている。
本発明の第1の複合微粒子の好適態様では、その外表面側に存在する子粒子(セリア微粒子)において、Si原子がCeO2結晶に侵入型の固溶をしていると見られる。Si原子の固溶により、CeO2結晶の結晶歪みが生じることで、CeO2の基盤シリカとの化学反応性を助長する結果、上記の高い研磨速度を示すものと推察される。
なお、上記のR1、R2等の、セリウム原子およびケイ素原子の原子間距離は、後述する実施例に説明する方法で測定して得た平均原子間距離を意味するものとする。
本発明の第2の複合微粒子に含まれる子粒子について説明する。
前述の通り、本発明の第2の複合微粒子についてSTEM−EDS分析を行い、図2に示した本発明の第2の複合微粒子の断面におけるCeとSiの元素濃度を測定した場合に、子粒子はCeモル濃度とSiモル濃度との合計に対するCeモル濃度の比(百分率)(Ce/(Ce+Si)×100)が50%超となる部分である。
逆にいえば、上記(i)または(ii)の場合は、子粒子は結晶性セリアを主成分として含むものとする。
また、異種原子は、全部またはその一部が固溶していれば良く、それとは別に、セリア結晶中に固溶せず酸化物として結晶成長しているものが存在していても構わない。
異種原子として具体的には、Al、Fe、Co、Ni、Mn、Zr、ランタノイドなどが挙げられる。
本発明の第2の複合微粒子における子粒子ではSiおよび異種原子がセリア結晶に固溶しているので、原子半径の違いによるセリア結晶の歪みや、価数の違いによって結晶中に酸素欠陥が生じている。したがって、シリカに対して化学的に活性な(反応性の高い)三価のセリウムが生じるため、本発明の第2の複合微粒子を研磨材として用いてシリカ系被膜が形成された基板やガラス基板等を研磨すると、研磨速度がより高い。
さらに、これらの異種元素を導入した場合は、異種元素を導入していない場合と比較して解砕時間が長くなる傾向があることから、セリウム含有シリカ層の硬度の向上効果があると推定している。そのため研磨時に機械的な研磨効果(摩擦効果)が付加され、研磨速度が高くなると推定している。焼成体を研磨に適用した場合も硬度向上効果により研磨速度は向上するが、解砕を行っていないため焼成によって生じる粗大な焼結体(粗大粒子)に起因してスクラッチが多発する。またセリアの平均結晶子径が25nm以下となる適切な温度範囲で焼成すれば、難解砕な粗大焼結体が生じにくく硬度のみが向上するため、研磨速度は高くなるがスクラッチは発生しにくい傾向にある。
ただし、上記のように、本発明の第2の複合微粒子をX線回折に供するとセリアの結晶相のみ、またはセリアの結晶相および前記異種原子の酸化物の結晶相のみが検出される。すなわち、セリアおよび異種原子以外の結晶相を含んでいたとしても、その含有率は少ないため、X線回折による検出範囲外となる。
初めに、本発明の第2の複合微粒子を、乳鉢を用いて粉砕し、例えば従来公知のX線回折装置(例えば、理学電気(株)製、RINT1400)によってX線回折パターンを得る。そして、各結晶形態に応じた結晶面のピークの半値全幅から結晶子径を求めるが、セリアナイトの場合は、得られたX線回折パターンにおける2θ=28度近傍の(111)面のピークの半価全幅を測定し、下記のScherrerの式により、結晶子径を求めることができる。
D=Kλ/βcosθ
D:結晶子径(オングストローム)
K:Scherrer定数(本発明ではK=0.94とする)
λ:X線波長(1.5419オングストローム、Cuランプ)
β:半値全幅(rad)
θ:反射角
本発明の第2の複合微粒子は、その外表面側に存在する子粒子(セリア微粒子)において、Si原子がCeO2結晶に侵入型の固溶をしていると見られる。Si原子の固溶により、CeO2結晶の結晶歪みが生じることで、CeO2の化学反応性を助長する結果、上記の高い研磨速度を示すものと推察される。さらに異種元素が固溶することで、上記作用を助長していると推察される。異種元素の固溶の態様はその種類による。例えば異種原子がZrまたはLaである場合、原子半径がCeと近いことから置換型固溶をしていると考えられ、異種原子がFe、Al、Co、Ni、Mnである場合、Ceとの原子半径差が大きいことから、侵入型固溶をしていると考えられる。
なお、上記のR1、R2等の、セリウム原子、ケイ素原子および酸素原子の原子間距離は、後述する実施例に説明する方法で測定して得た平均原子間距離を意味するものとする。
初めにSTEM−EDS分析によって80万倍で観察し、Ceモル濃度とSiモル濃度との合計に対するCeモル濃度の比(百分率)(Ce/(Ce+Si)×100)が50%となるラインを特定することで子粒子を特定する。次に、STEM−EDS分析を行って得られる画像上における、その母粒子の最大径を長軸とし、その長さを測定して、その値を長径(DL)とする。また、長軸上にて長軸を2等分する点を定め、それに直交する直線が粒子の外縁と交わる2点を求め、同2点間の距離を測定し短径(DS)とする。そして、長径(DL)と短径(DS)との幾何平均値を求め、これをその子粒子の幾何粒子径とする。
このようにして100個以上の子粒子について幾何粒子径を測定し、その個数平均値を幾何平均粒子径とする。
単結晶であることは、X線回折より得られる平均結晶子径とSTEM−EDS分析により測定される幾何平均粒子径が概ね一致した数値を示すことにより確認できる。また一部に多結晶体(セリア結晶間に異相が存在しない凝集体)を含んでいても構わない。
また、子粒子はセリウム含有シリカ層中に埋没していてもよいし、セリウム含有シリカ層の外部へ部分的に露出していてもよい。埋没したセリア子粒子を被覆しているセリウム含有シリカ層は、研磨時には容易に剥離、脱落、あるいは溶解し、セリアと基板との接触を妨げないため、高い研磨速度を示すからである。子粒子がセリウム含有シリカ層に埋没した場合は、保存中に剥離や脱落などは生じず、セリア系複合微粒子の表面はよりシリカ表面に近くなるため、保存安定性及び研磨安定性が向上し、さらに研磨後の基板上に砥粒残りが少なくなることから、子粒子はセリウム含有シリカ層に埋没している方が望ましい。
本発明の第1の複合微粒子は、前記母粒子の表面上にセリウム含有シリカ層を有する。そして、セリウム含有シリカ層の内部に子粒子が分散している。
なお、セリウム含有シリカ層の平均の厚さは、本発明の第1の複合微粒子をアルカリ処理して易溶解シリカ層を除去した後、母粒子の中心から最外殻まで、任意の12箇所に直線を引き、前述のようにSTEM−EDS分析を行って得た元素マップから特定されるCeモル濃度とSiモル濃度との合計に対するCeモル濃度の比(百分率)(Ce/(Ce+Si)×100)が3%となるラインと、本発明の第1の複合微粒子の最外殻との距離(母粒子の中心を通る線上の距離)を測定し、それらを単純平均して求めるものとする。なお、母粒子の中心は、前述の長軸と短軸との交点を意味するものとする。
本発明の第1の複合微粒子における易溶解性のシリカを含む層は、例えば本発明の第1の製造方法において焼成体解砕分散液を得る際に、あるいは遠心分離した後に、シリカを含む添加材(例えば酸性珪酸液など)を添加し10〜98℃に保ちながら加熱熟成することで複合微粒子の最外層に形成させることができる。
しかし密度が低く軟質なシリカを含む層であるため、複合微粒子と基板との接触面積を増加させる効果を有すると同時に、さらに軟質であるため、基板と砥粒間の付着力(凝着作用)を高める効果、あるいは砥粒の転がりを抑制する効果あると考えられる。その結果、基板と複合微粒子間の摩擦力が増加することで、研磨速度を高める効果があると考えられる。また砥粒表面に形成された易溶解性のシリカを含む層は軟質であるため、基板への応力集中を緩和させ、スクラッチを抑制する効果もある。そのため、本発明の分散液を研磨剤として用いた場合、研磨速度が高く、面精度の悪化やスクラッチの発生が少ないと考えられる。
また、易溶解性のシリカを含む層は、粒子全体を覆っていても良く、その一部が被覆されておらず、セリア子粒子やセリウム含有シリカ層が露出していても構わない。セリア系複合微粒子の質量D2に対する易溶解性のシリカを含む層D1の割合D2が0.08〜30質量%の範囲内であれば、基板と粒子間の凝着作用が発現し、研磨速度が高くなるからである。
子粒子の電位を調節するために、ポリアクリル酸等の高分子有機物による電位調節も可能であるが、本発明では表面にソフトに付着したシリカが電位を調節するので、有機物の使用量が低減され、基盤における有機物起因のディフェクト(有機物の残留等)が生じにくい。
本発明の第2の複合微粒子は、前記母粒子の表面上にセリウム含有シリカ層を有する。そして、セリウム含有シリカ層の内部に子粒子が分散している。
またセリウム含有シリカ層に異種元素として導入したAl、Fe、Co、Ni、Mn、Zr、ランタノイドなどが含まれていても良い。
なお、セリウム含有シリカ層の平均の厚さは、本発明の第2の複合微粒子の母粒子の中心から最外殻まで、任意の12箇所に直線を引き、前述のようにSTEM−EDS分析を行って得た元素マップから特定されるCeモル濃度とSiモル濃度との合計に対するCeモル濃度の比(百分率)(Ce/(Ce+Si)×100)が3%となるラインと、本発明の第2の複合微粒子の最外殻との距離(母粒子の中心を通る線上の距離)を測定し、それらを単純平均して求めるものとする。なお、母粒子の中心は、前述の長軸と短軸との交点を意味するものとする。
さらに異種元素がセリウム含有シリカ層に残存している場合は硬度が向上するが、セリアの結晶子径が10〜25nm以下となる焼成温度を選択すれば、難解砕な粗大粒子は発生せず、十分な硬度向上効果が生じる。
このような構造により、本発明の第2の分散液を研磨剤として用いた場合、研磨速度が高く、面精度やスクラッチの悪化が少ないと考えられる。
子粒子の電位を調節するために、ポリアクリル酸等の高分子有機物による電位調節も可能であるが、本発明では表面にソフトに付着したシリカが電位を調節するので、有機物の使用量が低減され、基盤における有機物起因のディフェクト(有機物の残留等)が生じにくい。
本発明の第1の複合微粒子について説明する。
本発明の第1の複合微粒子は、前述のように、前記セリア系複合微粒子は、母粒子と、前記母粒子の表面上のセリウム含有シリカ層と、前記セリウム含有シリカ層の内部に分散している子粒子と、最外層としての易溶解性のシリカを含む層とを有し、前記母粒子は非晶質シリカを主成分とし、前記子粒子は結晶性セリアを主成分とし、前記セリア系複合微粒子の質量D2に対する易溶解性のシリカを含む層の質量D1の割合D(D=D1/D2×100)が0.08〜30%であり、前記セリア系複合微粒子は、X線回折に供すると、セリアの結晶相のみが検出され、前記セリア系複合微粒子は、X線回折に供して測定される、前記結晶性セリアの平均結晶子径が10〜25nmである。
そして、本発明の第1の複合微粒子は、さらに、前記セリア系複合微粒子は、シリカとセリアとの質量比が100:11〜316であるという特徴を備えている平均粒子径50〜350nmのセリア系複合微粒子である。
なお、上記のシリカ(SiO2)とセリア(CeO2)との質量比を算定する場合の対象となるシリカとは、本発明の第1の複合微粒子に含まれる全てのシリカ(SiO2)を意味する。従って、母粒子を構成するシリカ成分、母粒子の表面に配されたセリウム含有シリカ層に含まれるシリカ成分、および子粒子に含まれ得るシリカ成分の総量を意味する。
次に、所定量の本発明の第1の複合微粒子に含まれるセリウム(Ce)の含有率(質量%)をICPプラズマ発光分析により求め、酸化物質量%(CeO2質量%等)に換算する。ここで、本発明の第1の複合微粒子がプライマー層を備える場合は、このプライマー層を構成する成分の含有率(質量%)についても、同様にICPプラズマ発光分析により求め、酸化物質量%(CeO2質量%等)に換算する。そして、本発明の第1の複合微粒子を構成するCeO2およびプライマー層成分以外の成分はSiO2であるとして、SiO2質量%を算出することができる。
なお、本発明の第1の製造方法においては、シリカとセリアの質量比は、本発明の第1の分散液を調製する際に投入したシリカ源物質とセリア源物質との使用量から算定することもできる。これは、セリアやシリカが溶解し除去されるプロセスとなっていない場合に適用でき、そのような場合はセリアやシリカの使用量と分析値が良い一致を示す。
高い研磨速度が必要とされる場合は、基板との接触面積を高く保つことができ、研磨速度が速いことから、粒子連結型が望ましい。粒子連結型とは、2以上の母粒子同士が各々一部において結合しているもので、連結個数は3以下が好ましい。母粒子同士は少なくとも一方(好ましくは双方)がそれらの接点において溶着し、あるいはセリアが介在することで固化した履歴を備えることで、強固に結合しているものと考えられる。ここで、母粒子同士が結合した後に、その表面にセリウム含有シリカ層が形成された場合の他、母粒子の表面にセリウム含有シリカ層が形成された後、他のものに結合した場合であっても、粒子連結型とする。
連結型であると基板との接触面積を多くとることができるため、研磨エネルギーを効率良く基板へ伝えることができる。そのため、研磨速度が高い。
本発明の第2の複合微粒子について説明する。
本発明の第2の複合微粒子は、上記のように、母粒子、子粒子およびセリア含有シリカ層を有している。
(Ce+M)/Siの値は0.038〜1.11であり、0.0388〜1.0475であることが好ましく、0.0873〜0.8147であることがより好ましく、0.2328〜0.6484がさらに好ましい。
(Ce+M)/Siの値は、母粒子と子粒子とを構成する原子のモル比(子粒子のモル数/母粒子のモル数の比)と同程度と考えられる。
母粒子に対する子粒子の量が少なすぎると、母粒子同士が結合し、粗大粒子が発生する場合がある。この場合に本発明の第2の分散液を含む研磨剤は、研磨基材の表面に欠陥(スクラッチの増加などの面精度の低下)を発生させる可能性がある。また、シリカに対するセリアおよび異種原子の量が多すぎても、コスト的に高価になるばかりでなく、資源リスクが増大する。さらに、粒子同士の融着が進む。その結果、基板表面の粗度が上昇(表面粗さRaの悪化)したり、スクラッチが増加する、更に遊離したセリアが基板に残留する、研磨装置の廃液配管等への付着といったトラブルを起こす原因ともなりやすい。
なお、本発明の第2の複合微粒子におけるシリカの各含有量(モル量)を算定する場合の対象となる珪素とは、次の(I)と(II)及び(III)の少なくとも1つに該当するものである。
(I)母粒子を構成する珪素成分。
(II)母粒子に子粒子(セリア成分)が結合してなる複合微粒子を、覆ってなるセリウム含有シリカ層に含まれる珪素成分。
(III)セリア結晶中に固溶している珪素成分。
まず本発明の第2の分散液の固形分濃度を、1000℃灼熱減量を行って秤量により求める。
次に、所定量の本発明の第2の複合微粒子に含まれるセリウム(Ce)および1種以上の異種原子の含有率(質量%)をICPプラズマ発光分析等により求め、CeO2質量%およびMOX質量%に換算する。そして、本発明の第2の複合微粒子を構成するCeO2およびMOX以外の成分はSiO2であるとして、SiO2質量%を算出し、これら質量%の値をモル比に換算して算出することができる。
なお、本発明の第2の製造方法においては、(Ce+M)/Siの値は、本発明の第2の分散液を調製する際に投入したシリカ源物質、セリア源物質および異種原子との使用量から算定することもできる。これは、セリア、シリカおよび異種原子が溶解し除去されるプロセスとなっていない場合に適用でき、そのような場合はセリア、シリカおよび異種原子の使用量と分析値が良い一致を示す。
本発明の第2の複合微粒子は、その外表面側に存在する子粒子(セリア微粒子)において、Si原子がCeO2結晶に侵入型の固溶をしていると見られる。また、異種原子が侵入型または置換型の固溶をしていると見られる。Si原子の固溶により、CeO2結晶の結晶歪みが生じることで、CeO2の化学反応性を助長する結果、上記の高い研磨速度を示すものと推察される。結晶性セリアにSi原子が侵入型固溶し、さらに異種原子が固溶すると、より高い研磨速度を示すことを、本発明者は見出した。なかでも異種原子がAl、Fe、Co、Ni、Mn、Zrまたはランタノイドであり、これが結晶性セリアに置換型固溶をすると、極めて高い研磨速度を示すことを、本発明者は見出した。
なお、上記のR1、R2等のセリウム原子やケイ素原子の原子間距離は、後述する実施例に説明する方法で測定して得た平均原子間距離を意味するものとする。
連結型であると基板との接触面積を多くとることができるため、研磨エネルギーを効率良く基板へ伝えることができる。そのため、研磨速度が高い。また、粒子当たりの研磨圧力が単粒子よりも低くなるためスクラッチも少ない。
本発明の複合微粒子は、粒子連結型であって、かつ、画像解析法で測定された短径/長径比が0.7未満(好ましくは0.67以下)である粒子の個数割合は45%以上であることが好ましい。
ここで、画像解析法で測定された短径/長径比が0.7未満である粒子は、粒子結合型のものと考えられる。
本発明の複合微粒子の形状は、格別に制限されるものではなく、粒子連結型粒子であっても、単粒子(非連結粒子)であってもよく、通常は両者の混合物である。
ここで、本発明の複合微粒子を含む複合微粒子分散液(本発明の分散液)を研磨用途に使用する場合であって、被研磨基板に対する研磨レート向上を重視する場合は、該複合微粒子の画像解析法で測定された短径/長径比が0.7未満(好ましくは0.67以下)である粒子の個数割合は45%以上(より好ましくは51%以上)であることが好ましい。
また、同じく被研磨基板上の表面粗さが低い水準にあることを重視する場合は、該複合微粒子の画像解析法で測定された短径/長径比が0.7以上(好ましくは0.9以上)である粒子の個数割合は40%以上であることが好ましく、51%以上がより好ましい。
なお、前記粒子連結型粒子とは、粒子間に再分散できない程度の化学結合が生じて粒子が連結してなるもの(凝結粒子)を意味する。また、単粒子とは、複数粒子が連結したものではなく、粒子のモルホロジーに関係なく凝集していないものを意味する。
前記の被研磨基板に対する研磨レート向上を重視する場合における、本発明の分散液としては、次の態様1を挙げることができる。
[態様1]本発明の複合微粒子が、更に、画像解析法で測定された短径/長径比が0.7未満である粒子の個数割合が45%以上であることを特徴とする、本発明の分散液。
また、前記被研磨基板上の表面粗さが低い水準にあることを重視する場合における、本発明の複合微粒子分散液としては、次の態様2を挙げることができる。
[態様2]本発明の複合微粒子が、更に、画像解析法で測定された短径/長径比が0.7以上である粒子の個数割合が40%以上であることを特徴とする、本発明の分散液。
試料を純水で0.1質量%に希釈調整した後、5mlを採取し、これを従来公知の粗大粒子数測定装置に注入する。そして、0.51μm以上の粗大粒子の個数を求める。この測定を3回行い、単純平均値を求め、その値を1000倍して、0.51μm以上の粗大粒子数の値とする。
まず、乾燥させた試料(0.2g)を測定セルに入れ、窒素ガス気流中、250℃で40分間脱ガス処理を行い、その上で試料を窒素30体積%とヘリウム70体積%の混合ガス気流中で液体窒素温度に保ち、窒素を試料に平衡吸着させる。次に、上記混合ガスを流しながら試料の温度を徐々に室温まで上昇させ、その間に脱離した窒素の量を検出し、予め作成した検量線により、試料の比表面積を測定する。
このようなBET比表面積測定法(窒素吸着法)は、例えば従来公知の表面積測定装置を用いて行うことができる。
本発明において比表面積は、特に断りがない限り、このような方法で測定して得た値を意味するものとする。
本発明の複合微粒子の平均粒子径は、画像解析法で測定された平均粒子径の個数平均値を意味する。
このようにして50個の粒子について粒子径を測定し、それらの個数平均値を算出して得た値を本発明の複合微粒子の平均粒子径とする。
また、本発明の複合微粒子における前記特定不純物群2の各元素の含有率は、それぞれ5ppm以下であることが好ましい。本発明の複合微粒子における特定不純物群1及び前記特定不純物群2それぞれの元素の含有率を低減させる方法は、前述の通りである。
なお、本発明の複合微粒子における前記特定不純物群1および前記特定不純物群2の各々の元素の含有率は、前述の母粒子に含まれる前記特定不純物群1および前記特定不純物群2を測定する場合と同じ方法によって測定することができる。
本発明の分散液について説明する。
本発明の分散液は、上記のような本発明の複合微粒子が分散溶媒に分散しているものである。
ΔPCD/V=(I−C)/V・・・式(1)
C:前記クニックにおける流動電位(mV)
I:前記流動電位曲線の開始点における流動電位(mV)
V:前記クニックにおける前記カチオンコロイド滴定液の添加量(ml)
また、クニックとは、カチオンコロイド滴定によって得られる流動電位曲線において急激に流動電位が変化する点(変曲点)である。そして変曲点における流動電位をC(mV)とし、変曲点におけるカチオンコロイド滴定液の添加量をV(ml)とする。
流動電位曲線の開始点とは、滴定前の本発明の分散液における流動電位である。具体的にはカチオンコロイド滴定液の添加量が0である点を開始点とする。この開始点における流動電位をI(mV)とする。
本発明の第1の製造方法について説明する。
本発明の第1の製造方法は以下に説明する工程1〜工程3を備える。
工程1ではシリカ系微粒子が溶媒に分散してなるシリカ微粒子分散液を用意する。
なお、本発明の第1の製造方法においては「工程1」を「調合工程」という場合もある。
透過型電子顕微鏡により、シリカ系微粒子を倍率30万倍(ないしは50万倍)で写真撮影して得られる写真投影図において、粒子の最大径を長軸とし、その長さを測定して、その値を長径(DL)とする。また、長軸上にて長軸を2等分する点を定め、それに直交する直線が粒子の外縁と交わる2点を求め、同2点間の距離を測定し短径(DS)とする。そして、長径(DL)と短径(DS)との幾何平均値を求め、その粒子の粒子径とする。
このようにして50個の粒子について粒子径を測定し、それらの個数平均値を算出して得た値をシリカ系微粒子の平均粒子径とする。
具体的には、原料であるシリカ系微粒子分散液中のシリカ系微粒子として、次の(a)と(b)の条件を満たすものが好適に使用される。
(a)Na、Ag、Al、Ca、Cr、Cu、Fe、K、Mg、Ni、Ti及びZnの含有率が、それぞれ100ppm以下。
(b)U、Th、Cl、NO3、SO4及びFの含有率が、それぞれ5ppm以下。
なお、このような前駆体粒子であっても、焼成温度を1200℃以上とすることでセリア子粒子の平均結晶子径を10nm以上とすることは可能であるが、この場合は、複合微粒子間の結合が強固となるため、解砕が困難となる点で支障がある。そのため、反応温度を0〜20℃に保ち、液相でのシリカとセリアの反応を適度に抑えることで、乾燥後の前駆体粒子におけるセリアの平均結晶子径を2.5nm以上と大きくする。そのためセリア子粒子の平均結晶子径を10nm以上とするための焼成温度を低くすることができ、焼成により形成されるセリウム含有シリカ層の厚みが過剰に厚膜化せず、解砕が容易となる。
調合段階での子粒子(セリア)の粒子径が2.5nm未満であると、焼成後のセリア粒子径を10nm以上とするために、焼成温度を高くする必要があり、その場合、セリウム含有シリカ層が母粒子を強固に被覆してしまい、解砕が困難となる可能性がある。溶解されやすいシリカ母粒子は、100℃以上で乾燥させた後に原料に供すると溶解性を抑制することができる。
すなわち、工程1では、温度0〜20℃にて処理を行うが、その後に、温度20℃超98℃以下に変更して処理を行って前記前駆体粒子分散液を得ることが好ましい。
このような工程1を行うと、子粒子の粒子径分布における変動係数が好適値である本発明の第1の複合微粒子を含む本発明の分散液を得やすいからである。
なお、温度を20℃超98℃以下として処理する場合のpHおよび酸化還元電位の好適値、調整方法等は、温度0〜20℃にて処理する場合と同様とする。
このような工程1を行うと、焼成後の子粒子の粒子径分布における変動係数が好適値である本発明の第1の複合微粒子を含む本発明の分散液を得やすいからである。
なお、温度を20℃超98℃以下として処理する場合のpHおよび酸化還元電位の好適値、調整方法等は、温度0〜20℃にて処理する場合と同様とする。
また、反応温度を2段階以上で行う場合の0〜20℃で反応させる工程でのセリウム金属塩の添加量は、セリウム金属塩の全添加量に対して10〜90質量%の範囲であることが好ましい。この範囲を超える場合は、サイズの大きい(または小さい)セリア子粒子割合が少なくなるため、粒度分布があまり広くならないからである。
工程2では、前駆体粒子分散液を乾燥させた後、800〜1,200℃(好ましくは950〜1,200℃)で焼成する。
なお、好適には、さらに乾燥前の前駆体粒子分散液のpHを6.0〜7.0とすることが推奨される。乾燥前の前駆体粒子分散液のpHを6.0〜7.0とした場合、表面活性を抑制できるからである。
乾燥後、焼成する温度は800〜1,200℃であるが、950〜1200℃であることが好ましく、1000〜1100℃であることがより好ましく、1000〜1090℃であることがさらに好ましい。このような温度範囲において焼成すると、セリアの結晶化が十分に進行し、また、セリア微粒子が分散しているセリウム含有シリカ層が適度な膜厚となり、セリウム含有シリカ層が母粒子へ強固に結合し、セリウム含有シリカ層に分散した子粒子の脱落が生じにくくなる。この温度が高すぎるとセリアの結晶が異常成長したり、セリウム含有シリカ層が厚くなりすぎたり、母粒子を構成する非晶質シリカが結晶化したり、粒子同士の融着が進む可能性もある。
ここで、焼成体を溶媒へ浸漬させ、その後、解砕装置へ投入したり、焼成体および溶媒を共に解砕装置へ投入することで、これらを接触させることができる。そして、その後、溶媒のpHを調整して解砕する。pHは8.6〜11.5であってよいが、10.9〜11.5であることが好ましい。pHが高めであると易溶解シリカ層が適切な厚さで形成されやすいからである。
湿式で解砕処理する場合の溶媒としては、水及び/又は有機溶媒が使用される。例えば、純水、超純水、イオン交換水のような水を用いることが好ましい。また、焼成体解砕分散液の固形分濃度は、格別に制限されるものではないが、例えば、0.3〜50質量%の範囲にあることが好ましい。
乾式の解砕装置としては従来公知の装置を使用することができるが、例えば、アトライター、ボールミル、振動ミル、振動ボールミル等を挙げることができる。
すなわち、前述の好ましい態様に該当する本発明の第1の分散液が得られる程度に、解砕を行うことが好ましい。前述のように、好ましい態様に該当する本発明の第1の分散液を研磨剤に用いた場合、研磨速度がより向上するからである。これについて本発明者は、本発明の第1の複合微粒子表面におけるセリウム含有シリカ層及び易溶解性のシリカを含む層が適度に薄くなること、及び/又は複合微粒子表面の一部に子粒子が適度に露出することで、研磨速度がより向上し、且つセリアの子粒子の脱落を制御できると推定している。また、セリウム含有シリカ層及び易溶解性のシリカを含む層が薄いか剥げた状態であるため、子粒子が研磨時にある程度脱離しやすくなると推定している。ΔPCD/Vは、−100.0〜−5.0であることがより好ましく、−100.0〜−20.0であることがさらに好ましい。
ここで、シリカを含む添加材は、解砕処理後の粒子の質量(dryベース)に対する比で、好ましくは50ppm〜30質量%、より好ましくは100ppm〜20質量%、さらに好ましくは300ppm〜10質量%添加する。添加量がこの範囲よりも少ない場合は、易溶解性のシリカを含む層が十分に形成されない可能性がある。またこの範囲よりも多い場合は、シリカを含む層が過剰に厚膜化したり、複合微粒子に沈着しない成分が生じる場合がある。
工程3では、工程2において得られた前記焼成体解砕分散液について、相対遠心加速度300G以上にて遠心分離処理を行い、続いて沈降成分を除去し、セリア系複合微粒子散液を得る。
具体的には、前記焼成体解砕分散液について、遠心分離処理による分級を行う。遠心分離処理における相対遠心加速度は300G以上とする。遠心分離処理後、沈降成分を除去し、セリア系複合微粒子分散液を得ることができる。相対遠心加速度の上限は格別に制限されるものではないが、実用上は10,000G以下で使用される。
工程3では、上記の条件を満たす遠心分離処理を備えることが必要である。遠心加速度が上記の条件に満たない場合は、セリア系複合微粒子分散液中に粗大粒子が残存するため、セリア系複合微粒子分散液を用いた研磨材などの研磨用途に使用した際に、スクラッチが発生する原因となる。
本発明の第1の製造方法では、上記の製造方法によって得られるセリア系複合微粒子分散液を、更に乾燥させて、セリア系複合微粒子を得ることができる。乾燥方法は特に限定されず、例えば、従来公知の乾燥機を用いて乾燥させることができる。
ここで、シリカを含む添加材は、解砕処理後の粒子の質量(dryベース)に対する比で、好ましくは50ppm〜30質量%、より好ましくは100ppm〜20質量%、さらに好ましくは300ppm〜10質量%添加する。添加量がこの範囲よりも少ない場合は、易溶解性のシリカを含む層が十分に形成されない可能性がある。またこの範囲よりも多い場合は、シリカを含む層が過剰に厚膜化したり、複合微粒子に沈着しない成分が生じる場合がある。
本発明の第2の製造方法について説明する。
本発明の第2の製造方法は以下に説明する工程4〜工程6を備える。
工程4ではシリカ微粒子が溶媒に分散してなるシリカ微粒子分散液を用意する。
ただし、シリカ系微粒子の平均粒子径は、透過型電子顕微鏡により、シリカ系微粒子を倍率30万倍(ないしは50万倍)で写真撮影して得られる写真投影図において、粒子の最大径を長軸とし、その長さを測定して、その値を長径(DL)とする。また、長軸上にて長軸を2等分する点を定め、それに直交する直線が粒子の外縁と交わる2点を求め、同2点間の距離を測定し短径(DS)とする。そして、長径(DL)と短径(DS)との幾何平均値を求め、これをシリカ系微粒子の平均粒子径とする。
このようにして50個以上のシリカ系微粒子について平均粒子径を測定し、それらの個数平均値を算出する。
なお、具体的には、工程4で使用する原料であるシリカ微粒子分散液中のシリカ微粒子として、次の(a)と(b)の条件を満たすものが好適に使用される。
(a)Na、Ag、Ca、Cr、Cu、K、Mg、TiおよびZnの含有率が、それぞれ100ppm以下。
(b)U、Th、Cl、NO3、SO4及びFの含有率が、それぞれ5ppm以下。
ここで、シリカ微粒子分散液へ、セリウムの金属塩と異種原子を含む塩と共に、シリカ源を、別々に、あるいは混合した後に、連続的又は断続的に添加し、前駆体粒子を含む前駆体粒子分散液を得てもよい。
なお、このような前駆体粒子であっても、焼成温度を1200℃以上とすることでセリア子粒子の平均結晶子径を10nm以上とすることは可能であるが、この場合は、セリウム含有シリカ層がセリア子粒子を強固に被覆する傾向が強まるために、解砕が困難となる点で支障がある。そのため、反応温度を0〜20℃に保ち、液相でのシリカとセリアの反応を適度に抑えることで、乾燥後の前駆体粒子におけるセリアの平均結晶子径を2.5nm以上にでき、解砕しやすい粒子となる。さらに乾燥後の平均結晶子径が大きいため、セリア子粒子の平均結晶子径を10nm以上とするための焼成温度を低くすることができ、焼成により形成されるセリウム含有シリカ層の厚みが過剰に厚膜化せず、解砕が容易となる。
調合段階での子粒子(セリア)の粒子径が2.5nm未満であると、焼成後のセリア粒子径を10nm以上とするために、焼成温度を高くする必要があり、その場合、セリウム含有シリカ層が母粒子を強固に被覆してしまい、解砕が困難となる可能性がある。溶解されやすいシリカ母粒子は、100℃以上で乾燥させた後に原料に供すると溶解性を抑制することができる。
すなわち、工程4では、温度0〜20℃にて処理を行うが、その後に、温度20℃超98℃以下に変更して処理を行って前記前駆体粒子分散液を得ることが好ましい。
このような工程4を行うと、子粒子の粒子径分布が広い本発明の第2の複合微粒子を含む本発明の第2の分散液を得やすくなり、研磨速度が高くなるからである。
なお、温度を20℃超98℃以下として処理する場合のpHおよび酸化還元電位の好適値、調整方法等は、温度0〜20℃にて処理する場合と同様とする。
このような工程4を行うと、子粒子の粒子径分布における変動係数が好適値である本発明の第2の複合微粒子を含む本発明の第2の分散液を得やすいからである。
なお、温度を20℃超98℃以下として処理する場合のpHおよび酸化還元電位の好適値、調整方法等は、温度0〜20℃にて処理する場合と同様とする。
異種原子の全部または一部は、シリカ微粒子の表面で凝集沈着する結晶性セリアに固溶する。
工程5では、前駆体粒子分散液を乾燥させた後、800〜1,200℃(好ましくは950〜1,200℃)で焼成する。
なお、好適には、さらに乾燥前の前駆体粒子分散液のpHを6.0〜7.0とすることが推奨される。乾燥前の前駆体粒子分散液のpHを6.0〜7.0とした場合、表面活性を抑制できるからである。
乾燥後、焼成する温度は800〜1200であるが、950〜1200℃であることが好ましく、1000〜1180℃であることがより好ましく、1000〜1150℃であることがさらに好ましい。このような温度範囲において焼成すると、セリアの結晶化とSiおよび異種原子のセリア結晶への固溶が十分に進行し、また、子粒子の表面に存在するセリウム含有シリカ層が適度に厚膜化し、セリウム含有シリカ層が母粒子へ強固に結合し、セリウム含有シリカ層に分散した子粒子の脱落が生じにくくなる。この温度が高すぎると、セリアの結晶が異常成長したり、セリウム含有シリカ層が厚くなりすぎたり、母粒子を構成する非晶質シリカが結晶化したり、粒子同士の融着が進む可能性もある。
ここで、焼成体を溶媒へ浸漬させ、その後、解砕装置へ投入したり、焼成体および溶媒を共に解砕装置へ投入することで、これらを接触させることができる。そして、その後、溶媒のpHを調整して解砕する。pHは8.6〜10.8であってよい。pHが高めであると易溶解シリカ層が適切な厚さで形成されやすい。
湿式で解砕処理する場合の溶媒としては、水及び/又は有機溶媒が使用される。例えば、純水、超純水、イオン交換水のような水を用いることが好ましい。また、焼成体解砕分散液の固形分濃度は、格別に制限されるものではないが、例えば、0.3〜50質量%の範囲にあることが好ましい。
乾式の解砕装置としては従来公知の装置を使用することができるが、例えば、アトライター、ボールミル、振動ミル、振動ボールミル等を挙げることができる。
すなわち、前述の好ましい態様に該当する本発明の第2の分散液が得られる程度に、解砕を行うことが好ましい。前述のように、好ましい態様に該当する本発明の第2の分散液を研磨剤に用いた場合、研磨速度がより向上するからである。これについて本発明者は、本発明の第2の複合微粒子表面におけるセリウム含有シリカ層が適度に薄くなること、及び/又は複合微粒子表面の一部に子粒子が適度に露出することで、研磨速度がより向上し、且つセリアの子粒子の脱落を制御できると推定している。また、セリウム含有シリカ層が薄いか剥げた状態であるため、子粒子が研磨時にある程度脱離しやすくなると推定している。ΔPCD/Vは、−100.0〜−5.0であることがより好ましく、−100.0〜−20.0であることがさらに好ましい。
工程6では、工程5において得られた前記焼成体解砕分散液について、相対遠心加速度300G以上にて遠心分離処理を行い、続いて沈降成分を除去し、セリア系複合微粒子散液を得る。
具体的には、前記焼成体解砕分散液について、遠心分離処理による分級を行う。遠心分離処理における相対遠心加速度は300G以上とする。遠心分離処理後、沈降成分を除去し、セリア系複合微粒子分散液を得ることができる。相対遠心加速度の上限は格別に制限されるものではないが、実用上は10,000G以下で使用される。
工程6では、上記の条件を満たす遠心分離処理を備えることが必要である。遠心加速度が上記の条件に満たない場合は、セリア系複合微粒子分散液中に粗大粒子が残存するため、セリア系複合微粒子分散液を用いた研磨材などの研磨用途に使用した際に、スクラッチが発生する原因となる。
本発明の第2の製造方法では、上記の製造方法によって得られるセリア系複合微粒子分散液を、更に乾燥させて、セリア系複合微粒子を得ることができる。乾燥方法は特に限定されず、例えば、従来公知の乾燥機を用いて乾燥させることができる。
また、シリカ微粒子分散液にセリウムおよび異種原子(好ましくはさらにシリカ)の塩を添加した際に、調合液の還元電位が正の値をとることが望ましい。酸化還元電位が負となった場合、セリウム化合物がシリカ粒子表面に沈着せずに板状・棒状などのセリウム単独粒子やセリウム化合物が生成するからである。酸化還元電位を正に保つ方法として過酸化水素などの酸化剤を添加したり、オゾンや酸素、エアーを吹き込む方法が挙げられるが、これらに限定されるものではない。
本発明の分散液を含む液体は、研磨用砥粒分散液(以下では「本発明の研磨用砥粒分散液」ともいう)として好ましく用いることができる。特にはSiO2絶縁膜が形成された半導体基板の平坦化用の研磨用砥粒分散液として好ましく使用することができる。また、研磨性能を制御するためにケミカル成分を添加し、研磨スラリーとして好適に用いることができる。
本発明の研磨用砥粒分散液に、被研磨材の種類によっても異なるが、必要に応じて従来公知の研磨促進剤を添加することで研磨スラリーとして、使用することができる。この様な例としては、過酸化水素、過酢酸、過酸化尿素など及びこれらの混合物を挙げることができる。このような過酸化水素等の研磨促進剤を含む研磨剤組成物を用いると、被研磨材が金属の場合には効果的に研磨速度を向上させることができる。
本発明の研磨用砥粒分散液の分散性や安定性を向上させるためにカチオン系、アニオン系、ノニオン系、両性系の界面活性剤又は親水性化合物を添加することができる。界面活性剤と親水性化合物は、いずれも被研磨面への接触角を低下させる作用を有し、均一な研磨を促す作用を有する。界面活性剤及び/又は親水性化合物としては、例えば、以下の群から選ばれるものを使用することができる。
本発明の研磨用砥粒分散液を適用する被研磨基材に金属が含まれる場合、金属に不動態層又は溶解抑制層を形成させることで被研磨基材の侵食を抑制するために、本発明の研磨用砥粒分散液へ複素環化合物を含有させても構わない。ここで、「複素環化合物」とはヘテロ原子を1個以上含んだ複素環を有する化合物である。ヘテロ原子として好ましくは、窒素原子、硫黄原子、酸素原子、セレン原子、テルル原子、リン原子、ケイ素原子、及びホウ素原子などを挙げることができるがこれらに限定されるものではない。複素環化合物の例として、イミダゾール、ベンゾトリアゾールなどを挙げることができるが、これらに限定されるものではない。
上記各添加剤の効果を高めるためなどに必要に応じて酸又は塩基およびそれらの塩類化合物を添加して研磨用組成物のpHを調節することができる。
本発明の研磨用砥粒分散液のpH値を一定に保持するために、pH緩衝剤を使用しても構わない。pH緩衝剤としては、例えば、リン酸2水素アンモニウム、リン酸水素2アンモニウム、4ホウ酸アンモ四水和水などのリン酸塩及びホウ酸塩又は有機酸塩などを使用することができる。
初めに、実施例及び比較例における各測定方法及び試験方法の詳細について説明する。各実施例及び比較例について、以下の各測定結果及び試験結果を第1表〜第3表に記す。
[SiO2含有量の測定]
シリカ系微粒子分散液におけるSiO2含有量について、珪酸ナトリウムを原料とした場合は、シリカ系微粒子分散液に1000℃灼熱減量を行い秤量し、得られたものの全てがSiO2であるとして、その含有量を求めた。また、アルコキシシランを原料とした場合は、シリカ系微粒子分散液を150℃で1時間乾燥させた後に秤量し、得られたものの全てがSiO2であるとして、その含有量を求めた。なお、ここでシリカ系微粒子分散液の固形分濃度も求めることができる。
また、セリア系複合微粒子におけるSiO2含有量は、セリア系複合微粒子分散液に1000℃灼熱減量を行い、固形分の質量を求めた後、後述するAl〜Th等の場合と同様に、ICPプラズマ発光分析装置(例えば、SII製、SPS5520)を用いて標準添加法によってCe含有率および異種原子の含有率を測定してCeO2質量%およびMOX質量%を算出し、CeO2およびMOX以外の固形分の成分はSiO2であるとして、SiO2の含有量を求めた。ここでセリア系複合微粒子が異種原子を含まない場合は、MOX質量%がゼロであるとして計算する。
なお、セリア系複合微粒子におけるSiO2含有率、CeO2含有率およびシリカ100質量部に対するセリアの質量部は、ここで求めたCeO2含有量およびSiO2含有量に基づいて算出した。なお、ここでセリア系複合微粒子分散液の固形分濃度も求めることができる。
以下に説明する特定不純物群1および特定不純物群2の含有率の測定では、このようにして求めたSiO2の質量に基づいて、シリカdry量に対する各成分の含有率を求めた。
各元素の含有率は、以下の方法によって測定するものとする。
初めに、セリア系複合微粒子またはセリア系複合微粒子分散液からなる試料約1g(固形分20質量%に調整したもの)を白金皿に採取する。リン酸3ml、硝酸5ml、弗化水素酸10mlを加えて、サンドバス上で加熱する。乾固したら、少量の水と硝酸50mlを加えて溶解させて100mlのメスフラスコにおさめ、水を加えて100mlとする。この溶液でNa、Kは原子吸光分光分析装置(例えば日立製作所社製、Z−2310)で測定する。次に、100mlにおさめた溶液から分液10mlを20mlメスフラスコに採取する操作を5回繰り返し、分液10mlを5個得る。そして、これを用いて、Al、Ag、Ca、Cr、Cu、Fe、Mg、Ni、Ti、Zn、U及びThについてICPプラズマ発光分析装置(例えばSII製、SPS5520)にて標準添加法で測定を行う。ここで、同様の方法でブランクも測定して、ブランク分を差し引いて調整し、各元素における測定値とする。
そして、前述の方法で求めたSiO2の質量に基づいて、シリカdry量に対する各成分の含有率を求めた。
<Cl>
セリア系複合微粒子またはセリア系複合微粒子分散液からなる試料20g(固形分20質量%に調整したもの)にアセトンを加え100mlに調整し、この溶液に、酢酸5ml、0.001モル塩化ナトリウム溶液4mlを加えて0.002モル硝酸銀溶液で電位差滴定法(京都電子製:電位差滴定装置AT−610)で分析を行う。
別途ブランク測定として、アセトン100mlに酢酸5ml、0.001モル塩化ナトリウム溶液4mlを加えて0.002モル硝酸銀溶液で滴定を行った場合の滴定量を求めておき、試料を用いた場合の滴定量から差し引き、試料の滴定量とした。
そして、前述の方法で求めたSiO2の質量に基づいて、シリカdry量に対する各成分の含有率を求めた。
セリア系複合微粒子またはセリア系複合微粒子分散液からなる試料5g(固形分20質量%に調整したもの)を水で希釈して100mlにおさめ、遠心分離機(日立製 HIMAC CT06E)にて4000rpmで20分遠心分離して、沈降成分を除去して得た液をイオンクロマトグラフ(DIONEX製 ICS−1100)にて分析した。
そして、前述の方法で求めたSiO2の質量に基づいて、シリカdry量に対する各成分の含有率を求めた。
なお、シリカ微粒子(母粒子)における各元素又は各陰イオンの含有率は、上記セリア系複合微粒子の分析方法において、試料をセリア系複合微粒子分散液に代えて、シリカ微粒子分散液を用いることにより行った。
実施例及び比較例で得られたセリア系複合微粒子分散液またはシリカ系複合微粒子を従来公知の乾燥機を用いて乾燥し、得られた粉体を乳鉢にて10分粉砕し、X線回折装置(理学電気(株)製、RINT1400)によってX線回折パターンを得て、結晶型を特定した。
また、前述の方法によって、得られたX線回折パターンにおける2θ=28度近傍の(111)面(2θ=28度近傍)のピークの半価全幅を測定し、Scherrerの式により、平均結晶子径を求めた。
実施例及び比較例で得られたシリカ系微粒子分散液及びセリア系複合微粒子分散液について、これに含まれる粒子の平均粒子径は、前述の画像解析法によって測定を行った。
実施例及び比較例で得られたシリカ微粒子分散液及びセリア系複合微粒子分散液が含む各粒子について、透過型電子顕微鏡(Transmission Electron Microscope;日立製作所社製、型番:S−5500)を用いて倍率25万倍(ないしは50万倍)で写真撮影して得られる写真投影図において、粒子の最大径を長軸とし、その長さを測定して、その値を長径(DL)とした。また、長軸上にて長軸を2等分する点を定め、それに直交する直線が粒子の外縁と交わる2点を求め、同2点間の距離を測定し短径(DS)とした。そして、比(DS/DL)を求めた。この測定を任意の50個の粒子について行い、単一粒子としての短径/長径比が0.8以下の粒子の個数比率(%)を求めた。
複合微粒子の粗大粒子数は、Particle sizing system Inc.社製Accusizer 780APSを用いて測定を行った。また測定試料を純水で0.1質量%に希釈調整した後、測定装置に5mLを注入して、以下の条件にて測定を行い、3回測定した後、得られた測定データの0.51μm以上の粗大粒子数の値の平均値を算出した。さらに平均値を1000倍して、セリア系複合微粒子のドライ換算の粗大粒子数とした。なお測定条件は以下の通り。
<System Setup>
・Stir Speed Control / Low Speed Factor 1500 / High Speed Factor 2500
<System Menu>
・Data Collection Time 60 Sec.
・Syringe Volume 2.5ml
・Sample Line Number :Sum Mode
・Initial 2nd-Stage Dilution Factor 350
・Vessel Fast Flush Time 35 Sec.
・System Flush Time / Before Measurement 60 Sec. / After Measurement 60 Sec.
・Sample Equilibration Time 30 Sec./ Sample Flow Time 30 Sec.
<SiO2膜の研磨>
実施例及び比較例の各々において得られたセリア系複合微粒子分散液を含む研磨用砥粒分散液を調整した。ここで固形分濃度は0.6質量%で硝酸を添加してpHは5.0とした。
次に、被研磨基板として、堆積法により作製したSiO2絶縁膜または熱酸化法により作製したSiO2からなる熱酸化膜(いずれも厚み1μm)基板を準備した。
次に、この被研磨基板を研磨装置(ナノファクター株式会社製、NF300)にセットし、研磨パッド(ニッタハース社製「IC−1000/SUBA400同心円タイプ」)を使用し、基板荷重0.5MPa、テーブル回転速度90rpmで研磨用砥粒分散液を50ml/分の速度で1分間供給して研磨を行った。
そして、研磨前後の被研磨基材の重量変化を求めて研磨速度を計算した。
また、研磨基材の表面の平滑性(表面粗さRa)を原子間力顕微鏡(AFM、株式会社日立ハイテクサイエンス社製)を用いて測定した。平滑性と表面粗さは概ね比例関係にあるため、第3表および第8表には表面粗さを記載した。
なお研磨傷の観察は、光学顕微鏡を用いて絶縁膜表面を観察することで行った。
実施例及び比較例の各々において得られたセリア系複合微粒子分散液を含む研磨用砥粒分散液を調整した。ここで固形分濃度は9質量%で硝酸を添加してpHを2.0に調整した。
アルミハードディスク用基板を研磨装置(ナノファクター株式会社製、NF300)にセットし、研磨パッド(ニッタハース社製「ポリテックスφ12」)を使用し、基板負荷0.05MPa、テーブル回転速度30rpmで研磨砥粒分散液を20ml/分の速度で5分間供給して研磨を行い、超微細欠陥・可視化マクロ装置(VISION PSYTEC社製、製品名:Maicro−Max)を使用し、Zoom15にて全面観察し、65.97cm2に相当する研磨処理された基板表面に存在するスクラッチ(線状痕)の個数を数えて合計し、次の基準に従って評価した。
線状痕の個数 評価
50個未満 「非常に少ない」
50個から80個未満 「少ない」
80個以上 「多い」
*少なくとも80個以上で総数をカウントできないほど多い 「※」
<高純度113nmシリカ微粒子分散液の調整>
<< シリカ微粒子分散液(シリカ微粒子の平均粒子径63nm)の調製 >>
エタノール12,090gと正珪酸エチル6,363.9gとを混合し、混合液a1とした。
次に、超純水6,120gと29%アンモニア水444.9gとを混合し、混合液b1とした。
次に、超純水192.9gとエタノール444.9gとを混合して敷き水とした。
そして、敷き水を撹拌しながら75℃に調整し、ここへ、混合液a1及び混合液b1を、各々10時間で添加が終了するように、同時添加を行った。添加が終了したら、液温を75℃のまま3時間保持して熟成させた後、固形分濃度を調整し、SiO2固形分濃度19質量%、画像解析法による平均粒子径63nmのシリカ微粒子が溶媒に分散してなるシリカゾルを9,646.3g得た。なお、ここで画像解析法は、前述のシリカ系微粒子の平均粒子径を求める際に適用する画像解析法を意味する。以下の準備工程において画像解析法は、同様の意味とする。
メタノール2,733.3gと正珪酸エチル1,822.2gとを混合し、混合液a2とした。
次に、超純水1,860.7gと29%アンモニア水40.6gとを混合し、混合液b2とした。
次に、超純水59gとメタノール1,208.9gとを混合して敷き水として、前工程で得た平均粒子径63nmのシリカ微粒子が溶媒に分散してなるシリカゾル922.1gを加えた。
そして、シリカゾルを含んだ敷き水を撹拌しながら65℃に調整し、ここへ、混合液a2及び混合液b2を、各々18時間で添加が終了するように、同時添加を行った。添加が終了したら、液温を65℃のまま3時間保持して熟成させた後、限外膜、ロータリーエバポレーターで濃縮し、固形分濃度(SiO2固形分濃度)を19質量%に調整し、3,600gの高純度シリカ微粒子分散液を得た。
この高純度シリカ微粒子分散液に含まれる粒子の平均粒子径は113nmであった。また、Na、Ag、Al、Ca、Cr、Cu、Fe、K、Mg、Ni、Ti、Zn、Zr、U、Th、Cl、NO3、SO4及びFの含有率は何れも1ppm以下であった。
得られたシリカ微粒子分散液に超純水を加えて、SiO2固形分濃度3質量%のA液5994g(SiO2 dryで179.8g)を得た。
<高純度珪酸液の調製>
珪酸ナトリウム水溶液(シリカ濃度24.06質量%、Na2O濃度7.97質量%)に純水を加えて、珪酸ナトリウム水溶液(シリカ濃度5質量%)を得た。
得られた珪酸ナトリウム水溶液18kgを、6Lの強酸性陽イオン交換樹脂(SK1BH、三菱化学社製)に、空間速度3.0h-1で通液させ、酸性珪酸液18kg(シリカ濃度4.6質量%、pH2.7)を得た。次いで、得られた酸性珪酸液18kgを6Lのキレート型イオン交換樹脂(三菱化学社製CR−11)に、空間速度3.0h-1で通液させ、高純度珪酸液18kg(シリカ濃度4.5質量%、pH2.7)を得た。
《シリカ微粒子分散液(シリカ微粒子の平均粒子径:25nm)》の調製
純水42gに高純度珪酸液を攪拌しながら514.5g添加し、次いで15%のアンモニア水を1,584.6g添加し、その後83℃に昇温して30分保持した。
次に高純度珪酸液13,700gを18時間かけて添加し、添加終了後に83℃を保持したまま熟成を行い、画像解析法による平均粒子径が25nmのシリカ微粒子分散液を得た。
得られたシリカ微粒子分散液を40℃まで冷却し、限外ろ過膜(旭化成製SIP1013)にてSiO2濃度を12質量%まで濃縮した。
純水991gに攪拌しながら12質量%の25nmシリカ微粒子分散液を963g加えた。次いで15%アンモニア水1,414gを添加し、その後87℃に昇温して30分保持した。
次に高純度珪酸液12,812gを18時間かけて添加し、添加終了後に87℃を保持したまま熟成を行い、画像解析法による平均粒子径が45nmのシリカ微粒子分散液を得た。
得られたシリカ微粒子分散液を40℃まで冷却し、限外ろ過膜(旭化成製SIP1013)にてSiO2濃度を12質量%まで濃縮した。
純水705gを攪拌しながら、ここへ、画像解析法による平均粒子径が45nmのシリカ微粒子が溶媒に分散してなるシリカ微粒子分散液(SiO2濃度12質量%)を705g加えた。次いで15%アンモニア水50gを添加し、その後87℃に昇温して30分保持した。
次に高純度珪酸液7,168gを18時間かけて添加し、添加終了後に87℃を保持したまま熟成を行い、画像解析法による平均粒子径が70nmのシリカ微粒子が溶媒に分散してなるシリカ微粒子分散液を得た。
得られたシリカ微粒子分散液を40℃まで冷却し、限外ろ過膜(旭化成製SIP1013)にてSiO2濃度を12質量%まで濃縮した。
純水1,081gに攪拌しながら平均粒子径70nmのシリカ微粒子が溶媒に分散してなる分散液(SiO2濃度:12質量%)を1,081g加えた。次いで15%アンモニア水50gを添加し、その後87℃に昇温して30分保持した。
次に高純度珪酸液6,143gを18時間かけて添加し、添加終了後に87℃を保持したまま熟成を行った。画像解析法で測定された平均粒子径96nmのシリカ微粒子が溶媒に分散してなるシリカ微粒子分散液を得た。
得られたシリカ微粒子分散液を40℃まで冷却し、限外ろ過膜(旭化成製SIP1013)にてSiO2濃度を12質量%まで濃縮した。濃縮後のシリカ微粒子分散液に陰イオン交換樹脂 三菱化学社製 SANUP Bを添加して陰イオンを除去した。
準備工程1で得られた高純度113nmシリカ微粒子分散液に超純水を加えて、SiO2固形分濃度3質量%のA−1液6,000gを得た。
次に、硝酸セリウム(III)6水和物(関東化学社製、4N高純度試薬)にイオン交換水を加え、CeO2換算で2.5質量%のB−1液を得た。
次に、A−1液(6,000g)を10℃に調整して、撹拌しながら、ここへB−1液(8,453g、SiO2の100質量部に対して、CeO2が117.4質量部に相当)を18時間かけて添加した。この間、液温を10℃に維持しておき、また、必要に応じて3%アンモニア水を添加して、pH8.7〜8.8を維持するようにした。なおB−1液の添加中及び熟成中は調合液にエアーを吹き込みながら調合を行い、酸化還元電位を50〜500mVに保った。
そして、B−1液の添加が終了したら、液温が10℃のまま4時間熟成を行った。熟成後に、限外膜にてイオン交換水を補給しながら洗浄を行った。洗浄を終了して得られた前駆体粒子分散液は、固形分濃度が4.9質量%、pHが6.3(25℃にて)、電導度が70μs/cm(25℃にて)であった。
次に得られた前駆体粒子分散液に5質量%酢酸水溶液を加えてpHを6.5に調整して、100℃の乾燥機中で16時間乾燥させた後、1021℃のマッフル炉を用いて2時間焼成を行い、粉状の焼成体を得た。
準備工程3で得られたシリカ微粒子分散液(シリカ微粒子の平均粒子径:96nm)に超純水を加えて、SiO2固形分濃度3質量%のA−2液を得た。
次に、硝酸セリウム(III)6水和物(関東化学社製、4N高純度試薬)にイオン交換水を加え、CeO2換算で3.0質量%のB−2液を得た。
次にA−2液6,000g(dry180g)を10℃に調整して、撹拌しながら、ここへB−2液7186.7g(dry215.6g)を18時間かけて添加した。この間、液温を10℃に維持しておき、また、必要に応じて3%アンモニア水を添加して、pHを7.6に維持するようにした。そして添加終了後に、液温10℃を保ったまま4時間熟成をおこなった。なおB−2液添加中および熟成中は調合液にエアーを吹き込みながら調合を行い、酸化還元電位を100〜200mVに保った。熟成終了後に室温に放置することで放冷し、室温まで冷却した後に、限外膜にてイオン交換水を補給しながら洗浄を行い、洗浄分散液(前駆体粒子分散液)を得た。
次に洗浄分散液(前駆体粒子分散液)に5質量%の酢酸水溶液を加えてpHを6.5に調整して、100℃の乾燥機中で16時間乾燥させたのち、1042℃のマッフル炉を用いて2時間焼成を行い、粉状の焼成体を得た。
準備工程4で得られた焼成体310gと、イオン交換水430gとを、1Lの柄付きビーカーに入れ、そこへ3%アンモニア水溶液を加え、撹拌しながら超音波浴槽中で10分間超音波を照射し、pH10(温度は25℃)の懸濁液を得た。
次に、事前に設備洗浄と水運転を行った粉砕機(アシザワファインテック株式会社製、LMZ06)にφ0.25mmの石英ビーズ595gを投入し、さらに上記の懸濁液を粉砕機のチャージタンクに充填した(充填率85%)。なお、粉砕機の粉砕室及び配管中に残留したイオン交換水を考慮すると、解砕時の濃度は25質量%である。そして、粉砕機におけるディスクの周速を12m/sec、パス回数を25回、及び1パス当たりの滞留時間を0.43分間とする条件で湿式解砕を行った。また、解砕時の懸濁液のpHを10に維持するように、パス毎に3%アンモニア水溶液を添加した。このようにして、固形分濃度22質量%の焼成体解砕分散液を得た。
次に、上記の固形分濃度22質量%の焼成体解砕分散液にイオン交換水を加え、0.5質量%の希釈液(以下、C−1液ともいう)を得た。C−1液10,000g(dry50g)を室温で撹拌しながら、上記の0.2質量%の希釈高純度珪酸液15g(dry0.03g)を添加し、添加終了後も10分間撹拌を継続した。その後、1質量%のアンモニア水を添加して、pHを9.5に調整し、50℃に昇温して撹拌を続けながら24時間温度を保った。その後室温まで冷却し、ローターリーエバポレーターで3.0質量%に濃縮した。
次いで得られた微粒子分散液を遠心分離装置(日立工機株式会社製、型番「CR21G」)にて、相対遠心加速度675Gで1分間遠心分離処理し、沈降成分を除去し、セリア系複合微粒子分散液を得た。
なお、原料としたシリカ系微粒子分散液に含まれるシリカ系微粒子(母粒子)の平均粒子径、不純物の含有率を第1表に示す。また、セリア系複合微粒子分散液に含まれる不純分含有率(セリア系複合微粒子dryに対する不純分含有率)を第2表に示す。また、セリア系複合微粒子分散液に含まれるシリカ含有率とセリア含有率(及びシリカ100質量部に対するセリアの質量部)、焼成温度、セリア系複合微粒子の平均結晶子径、結晶型、比表面積、セリア系複合微粒子の平均粒子径、複合微粒子の易溶解層割合(複合微粒子dryあたりの溶解割合)、研磨性能の測定結果を第3表に示す。以降の実施例、比較例も同様である。
準備工程4で得られた焼成体310gと、イオン交換水430gとを、1Lの柄付ビーカーに入れ、そこに3%アンモニア水溶液を加え、撹拌しながら超音波浴槽中で10分間超音波を照射し、pH10.5の懸濁液を得た。
次に、事前に設備洗浄と水運転を行った粉砕機(アシザワファインテック株式会社製、LMZ06)にφ0.25mmの石英ビーズ595gを投入し、さらに上記の懸濁液を粉砕機のチャージタンクに充填した(充填率85%)。なお、粉砕機の粉砕室及び配管中に残留したイオン交換水を考慮すると、解砕時の濃度は25質量%である。そして、粉砕機におけるディスクの周速を10m/sec、パス回数を69回で湿式解砕を行った。また、解砕時の懸濁液のpHを10.5に維持するように、パス毎に3%アンモニア水溶液を添加した。このようにして、固形分濃度22質量%の解砕液を得た。
上記の準備工程1によって得られたA液(シリカ系微粒子分散液に超純水を加えて、SiO2固形分濃度3質量%の分散液5994g(SiO2 dry179.8g))を用意した。このA液を、実施例3ではA−1液とする。
次に、硝酸セリウム(III)6水和物(関東化学社製、4N高純度試薬)にイオン交換水を加え、CeO2換算で3.0質量%の硝酸セリウム水溶液(B−2液)を得た。
次に、A−1液(6,000g)を10℃に保ち、撹拌しながら、ここへB−2液(7,186.7g、CeO2 dry215.6g)を18時間かけて添加した。この間、液温を10℃に維持しておき、また、必要に応じて3%アンモニア水を添加して、pH8.6から8.8を維持するようにした。そして、添加終了後に、液温10℃で4時間熟成を行った。なお、B−2液の添加中および熟成中は調合液にエアーを吹き込みながら調合を行い、酸化還元電位を100〜200mVに保った。
その後、限外膜にてイオン交換水を補給しながら洗浄を行った。洗浄を終了して得られた前駆体粒子分散液は、固形分濃度が4.7質量%、pHが8.8(25℃にて)、電導度が44μs/cm(25℃にて)であった。
そして、解砕後に44メッシュの金網を通してビーズを分離した。得られた分散液Xの固形分濃度は9.3質量%で重量は937gであった。なお、解砕中にはアンモニア水溶液を添加してpHを8.8〜9.0に保った。
そして分散液Xにイオン交換水を添加して、0.5質量%に調整した溶液10,000g(dry50g)を室温で撹拌しながら0.2質量%のD−1液100g(dry0.2g)を添加して、添加終了後も10分間撹拌を継続した。その後1質量%のアンモニア水を添加して、pHを9.5に調整し、50℃に昇温して撹拌を続けながら24時間温度を保った。その後室温まで冷却し、ローターリーエバポレーターで3.0質量%に濃縮した。
次いで得られた濃縮液(焼成体解砕分散液)を遠心分離装置(日立工機株式会社製、型番「CR21G」)にて、相対遠心加速度675Gで1分間遠心分離処理し、沈降成分を除去し、セリア系複合微粒子分散液を得た。
実施例3では、分散液X10,000gにD−1液100gを添加したが、実施例4では分散液X10,000g(dry50g)にD−1液200g(dry0.4g)を添加した以外は実施例3と同様の操作を行い、同様の評価を行った。
和光純薬製試薬用の塩化ランタン七水和物(97%)にイオン交換水を添加して0.2質量%のLa2O3溶液140gを調整し、ついで0.2質量%の高純度珪酸液60gを添加することでLa2O3とSiO2の混合液(D−2液)100gを得た。
実施例3では、分散液X10,000gにD−2液100gを添加したが、実施例5では分散液X10,000gにD−2液200g(dry0.4g)を添加した以外は実施例3と同様の操作を行い、同様の評価を行った。
オキシ塩化ジルコニウム八水和物(太陽鉱工株式会社製工業用ZrO2 36%)にイオン交換水を添加して、0.2質量%の希釈ZrO2溶液70gを調整し、ついで0.2質量%の高純度珪酸液30gを添加することでZrO2とSiO2の混合液(D−3液)100gを得た。
次に、事前に設備洗浄と水運転を行った粉砕機(アシザワファインテック株式会社製、LMZ06)にφ0.25mmの石英ビーズ595gを投入し、さらに上記の懸濁液を粉砕機のチャージタンクに充填した(充填率85%)。なお、粉砕機の粉砕室及び配管中に残留したイオン交換水を考慮すると、解砕時の濃度は25質量%である。そして、粉砕機におけるディスクの周速を12m/sec、パス回数を25回、及び1パス当たりの滞留時間を0.43分間とする条件で湿式解砕を行った。また、解砕時の懸濁液のpHを10に維持するように、パス毎に3%アンモニア水溶液を添加した。このようにして、固形分濃度22質量%の分散液Yを得た。
次いで得られた濃縮液(焼成体解砕分散液)を遠心分離装置(日立工機株式会社製、型番「CR21G」)にて、相対遠心加速度675Gで1分間遠心分離処理し、沈降成分を除去し、セリア系複合微粒子分散液を得た。
準備工程5で得られた焼成体310gと、イオン交換水430gとを、1Lの柄付きビーカーに入れ、そこへ3%アンモニア水溶液を加え、撹拌しながら超音波浴槽中で10分間超音波を照射し、pH10.5(温度は25℃)の懸濁液を得た。
次に、事前に設備洗浄と水運転を行った粉砕機(アシザワファインテック株式会社製、LMZ06)にφ0.25mmの石英ビーズ595gを投入し、さらに上記の懸濁液を粉砕機のチャージタンクに充填した(充填率85%)。なお、粉砕機の粉砕室及び配管中に残留したイオン交換水を考慮すると、解砕時の濃度は25質量%である。そして、粉砕機におけるディスクの周速を12m/sec、パス回数を25回、及び1パス当たりの滞留時間を0.43分間とする条件で湿式解砕を行った。また、解砕時の懸濁液のpHを10.5を維持するように、パス毎に3%アンモニア水溶液を添加した。このようにして、固形分濃度22質量%の焼成体解砕分散液を得た。
次いで得られた濃縮液(焼成体解砕分散液)を遠心分離装置(日立工機株式会社製、型番「CR21G」)にて、相対遠心加速度675Gで1分間遠心分離処理し、沈降成分を除去し、セリア系複合微粒子分散液を得た。
実施例1で得られたセリア系複合微粒子(固形分濃度3.0質量%)に、硝酸アンモニウムとイオン交換水を添加して、固形分濃度1.0質量%で、硝酸アンモニウム濃度1000ppmの研磨スラリーを調製し、それ以外は実施例1と同様に行った。
実施例8では硝酸アンモニウムを用いたが、実施例9では酢酸アンモニウムを用いた。それ以外は実施例8と同様に行った。
実施例1で得られたセリア系複合微粒子(固形分濃度3.0質量%)に、ポリアクリル酸アンモニウム(和光純薬株式会社製 和光1級 平均分子量薬5,000)及びイオン交換水を添加して、固形分濃度1.0質量%でポリアクリル酸アンモニウム濃度500ppmとなるように調整し、添加後に超音波で分散させた。得られた研磨スラリーを用いて実施例1と同様に行った。
準備工程1で得られた113nm高純度シリカ微粒子分散液に超純水を加えて、SiO2固形分濃度3質量%のA−1液6,000gを得た。
次に、硝酸セリウム(III)6水和物(関東化学社製、4N高純度試薬)にイオン交換水を加え、CeO2換算で2.5質量%のB−1液を得た。
次に、A−1液(6,000g)を50℃まで昇温して、撹拌しながら、ここへB−1液(8,453g、SiO2の100質量部に対して、CeO2が117.4質量部に相当)を18時間かけて添加した。この間、液温を50℃に維持しておき、また、必要に応じて3%アンモニア水を添加して、pH7.8を維持するようにした。なおB−1液の添加中及び熟成中は調合液にエアーを吹き込みながら調合を行い、酸化還元電位は正の値を保った。
そして、B−1液の添加が終了したら、液温を93℃に上げて4時間熟成を行った。熟成終了後に室内に放置することで放冷し、室温まで冷却した後に、限外膜にてイオン交換水を補給しながら洗浄を行った。洗浄を終了して得られた前駆体粒子分散液は、固形分濃度が7質量%であった。
次に得られた前駆体粒子分散液に5質量%酢酸水溶液を加えてpHを6.5に調整して、100℃の乾燥機中で16時間乾燥させた後、1090℃のマッフル炉を用いて2時間焼成を行い、粉状の焼成体を得た。
得られた焼成体310gと、イオン交換水430gとを、1Lの柄付きビーカーに入れ、そこへ3%アンモニア水溶液を加え、撹拌しながら超音波浴槽中で10分間超音波を照射し、pH8.4(温度は25℃)の懸濁液を得た。
次に、事前に設備洗浄と水運転を行った粉砕機(アシザワファインテック株式会社製、LMZ06)にφ0.25mmの石英ビーズ595gを投入し、さらに上記の懸濁液を粉砕機のチャージタンクに充填した(充填率85%)。なお、粉砕機の粉砕室及び配管中に残留したイオン交換水を考慮すると、解砕時の濃度は25質量%である。そして、粉砕機におけるディスクの周速を12m/sec、パス回数を25回、及び1パス当たりの滞留時間を0.43分間とする条件で湿式解砕を行った。また、解砕時の懸濁液のpHを8.4を維持するように、パス毎に3%アンモニア水溶液を添加した。このようにして、固形分濃度22質量%の焼成体解砕分散液を得た。
次いで得られた濃縮液(焼成体解砕分散液)を遠心分離装置(日立工機株式会社製、型番「CR21G」)にて、相対遠心加速度675Gで1分間遠心分離処理し、沈降成分を除去し、セリア系複合微粒子分散液を得た。
準備工程4で得られた焼成体310gと、イオン交換水430gとを、1Lの柄付ビーカーに入れ、そこに3%アンモニア水溶液を加え、撹拌しながら超音波浴槽中で10分間超音波を照射し、pH10.5の懸濁液を得た。
次に、事前に設備洗浄と水運転を行った粉砕機(アシザワファインテック株式会社製、LMZ06)にφ0.25mmの石英ビーズ595gを投入し、さらに上記の懸濁液を粉砕機のチャージタンクに充填した(充填率85%)。なお、粉砕機の粉砕室及び配管中に残留したイオン交換水を考慮すると、解砕時の濃度は25質量%である。そして、粉砕機におけるディスクの周速を10m/sec、パス回数を69回で湿式解砕を行った。また、解砕時の懸濁液のpHを10.5に維持するように、パス毎に3%アンモニア水溶液を添加した。このようにして、固形分濃度22質量%の解砕液を得た。
次に沈降成分にイオン交換水を添加して10質量%に調整し、スパチュラで沈降成分をほぐした後、超音波バス浴槽中で20分間超音波を照射することで沈降成分分散液(沈降成分分散液(α))を得た。この沈降成分分散液(α)をセリア系複合微粒子として、評価を行った。
準備工程5で得られた焼成紛体134gを(株)アイシンナノテクノロジーズ社製ナノジェットマイザーNJ−50にて、処理量2g/min、押込み圧1.5MPa、粉砕圧0.4MPaの条件にて、乾式粉砕を行い、121gの粉体を得た。そしてこの粉体をセリア系複合微粒子として、評価を行った。
0.7質量%のアンモニア水3.63kgを準備し、これを93℃に昇温した(A液)。次いでCeO2として1.6質量%の硝酸セリウム溶液5.21kg(B液)を準備し、A液にB液を1時間かけて添加した。添加終了後は93℃を保持して3時間熟成を行った。熟成後の溶液のpHは8.4であった。熟成した溶液を冷却後、相対遠心加速度:5000Gで遠心分離し、上澄み液を除去した。そして、沈殿したケーキにイオン交換水を加えて撹拌してレスラリーを行い、再度、相対遠心加速度:5000Gで遠心分離を行う処理を、スラリーの電導度が100μS/cm以下になるまで繰り返した。電導度が100μS/cm以下となったスラリーを固形分濃度6.0質量%に調整して超音波で分散し、セリア微粒子分散液を得た。
得られたセリア微粒子分散液の平均粒子径は117nmであった。
またX線で結晶子径、結晶型を測定したところ、結晶子径は18nmで、Cerianiteの結晶型を示した。
このセリア微粒子分散液を硝酸でpHを5.0に調整し、固形分濃度0.6質量の研磨用砥粒分散液を得た。この研磨用砥粒分散液で熱酸化膜の研磨を行った。結果を第1表〜第3表に示す。
[易溶解性のシリカを含む層の定量]
各実施例及び比較例で得られたセリア系複合微粒子にイオン交換水を添加して3.3質量%に調整した溶液を81.8g(dry2.7g)準備し、撹拌しながら0.1質量%の希釈水酸化ナトリウム水溶液または6%硝酸を用いて、pHを9.0に調整し、さらにイオン交換水を添加して合計90g(dry2.7g)とした。
15分撹拌を継続した後、限外膜付きの遠心管sartorius社製の型番VIVASPIN20に溶液20gを投入し、遠心分離装置(KOKUSAN社製H−38F)にて1820Gで30分処理した。処理後に限外膜を透過した分離液を回収し、分離液中のSiO2濃度を測定した。易溶解層割合(複合微粒子dry当りの溶解割合)の算出は以下の計算式で求めた。
易溶解層割合(%)=SiO2濃度(ppm)÷1,000,000×87.3g÷2.7g×100
結果を第3表に示す。
実施例1、3、5、6及び比較例3、4で得られた各セリア系複合微粒子分散液について、流動電位の測定及びカチオンコロイド滴定を行った。滴定装置として、流動電位滴定ユニット(PCD−500)を搭載した自動滴定装置AT−510(京都電子工業製)を用いた。
まず、固形分濃度を1質量%に調整したセリア系複合微粒子分散液へ0.05%の塩酸水溶液を添加してpH6に調整した。次に、その液の固形分として0.8gに相当する量を100mlのトールビーカーに入れ、流動電位の測定を行った。次にカチオンコロイド滴定液(0.001Nポリ塩化ジアリルジメチルアンモニウム溶液)を5秒間隔、1回の注入量0.2ml、注入速度2秒/mlで20mlを添加して滴定を行った。そして、カチオンコロイド滴定液の添加量(ml)をX軸、セリア系複合微粒子分散液の流動電位(mV)をY軸にプロットして、流動電位曲線の開始点における流動電位I(mV)、ならびにクニックにおける流動電位C(mV)及びカチオンコロイド滴定液の添加量V(ml)を求め、ΔPCD/V=(I−C)/Vを算出した。結果を第4表に示す。また流動電位曲線を図7に示す。
[Si固溶状態の測定]
実施例2及び比較例4で調製したセリア系複合微粒子分散液及びセリア微粒子分散液について、X線吸収分光測定装置(Rigaku社製のR−XAS Looper)を用いて、CeL III吸収端(5727eV近傍)におけるX線吸収スペクトルを測定し、そのX線吸収スペクトルに現れるEXAFS振動を得た。解析にはRigaku製ソフトウエアREX−2000を使用し、セリウム周辺の酸素及びセリウムの平均配位原子数N、平均原子間距離Rを得た。結果を第5表に示す。なお、本明細書において、単に「原子間距離」と記した場合、上記のようにして得られた「平均原子間距離」を意味するものとする。
第5表の結果から、実施例2ではセリウムの周辺には酸素、ケイ素およびセリウムが存在し、セリウム−酸素原子間距離は2.5Åで、セリウム―セリウム原子間距離は3.9Åであるのに対して、セリウム−ケイ素の原子間距離は3.2Åであることが確認された。またXRDの分析結果から、セリウムはCerianiteの結晶型でCeO2として存在していることから、酸化セリウム中にSiが固溶していると考えられる。それに対して比較例4ではCe中心のSi配位は検出されなかった。
<実施例11>
硝酸セリウム(III)6水和物(関東化学社製、4N高純度試薬)にイオン交換水を加え、CeO2換算で3.0質量%のセリア溶解液を得た。
また塩化ランタン七水和物(和光純薬社製)にイオン交換水を加え、La2O3換算で3.0質量%の酸化ランタン溶解液を得た。
次にセリア溶解液6903.3g(CeO2 dryで207.1g)に酸化ランタン溶解液363.3g(La2O3 dryで10.9g)を添加し、更に準備工程2で得られた高純度珪酸液48.4g(SiO2 dryで2.18g)を添加して、固形分濃度3.0質量%のB液7315g(dry220.18g)を得た。
熟成終了後は、限外膜にてイオン交換水を補給しながら洗浄を行った。洗浄を終了して得られた前駆体粒子分散液は、固形分濃度が7質量%、pHが6.5(25℃にて)、電導度が120μs/cm(25℃にて)であった。
さらに焼成体解砕分散液を遠心分離装置(日立工機株式会社製、型番「CR21G」)にて、2000Gで180秒処理し、沈降成分を除去し、残った軽液を回収し、回収した軽液をセリア系複合微粒子分散液とした。
以下、実施例11〜実施例14及び実施例16〜実施例20にて、それぞれ得られたセリア系複合微粒子分散液に含まれるセリア系複合微粒子について、後記の実施例15と同様にSEM像とTEM像を確認し、いずれも母粒子の表面にセリア含有シリカ層が存在し、その層内に子粒子(セリア結晶粒子)が分散して存在していることを確認した。
次にセリア系複合微粒子分散液を用いて研磨試験を行った。
さらに研磨性能(熱酸化膜の研磨速度、表面粗さ、熱酸化膜の研磨後の研磨傷の観察結果、アルミハードディスクの研磨におけるスクラッチ個数)の測定結果を第8表に示す。以降の実施例、比較例も同様である。
実施例11のB液の調製において、3.0質量%のセリア溶解液6176.7g(CeO2 dryで185.3g)に3.0質量%の酸化ランタン溶解液1090g(La2O3 dryで32.7g)を添加し、更に高純度珪酸液48.4g(SiO2 dryで2.18g)を添加して、固形分濃度3.0質量%のB液7315.1g(dry220.18g)を得た。
次に、上記の準備工程1によって得られたA液5994g (SiO2 dry179.82g)を10℃に冷却して、撹拌しながら、ここへB液を添加したことと、乾燥粉体焼成時のマッフル炉の温度を1135℃とした以外は、実施例11と同様に行った。結果を第6表〜第8表に示す。
オキシ塩化ジルコニウム(太陽鉱工株式会社社製)にイオン交換水を加え、ZrO2換算で3.0質量%のジルコニア溶解液を得た。
次に、3.0質量%のセリア溶解液6903.3g(CeO2 dryで207.1g)に3.0質量%のジルコニア溶解液363.3g(ZrO2 dryで10.9g)を添加し、更に高純度珪酸液48.4g(SiO2 dryで2.18g)を添加して、固形分濃度3.0質量%のB液7315g(dry220.18g)を得た。
次に、上記の準備工程1によって得られたA液5994g (SiO2 dry179.82g)を10℃に冷却して、撹拌しながら、ここへB液を添加したことと、乾燥粉体焼成時のマッフル炉の温度を1050℃とした以外は、実施例11と同様に行った。結果を第6表〜第8表に示す。
セリア溶解液6903.3g(CeO2 dryで207.1g)に酸化ランタン溶解液363.3g(La2O3 dryで10.9g)を添加して、固形分濃度3.0質量%のB液7266.6g(dry218g)を得た。
次に、上記の準備工程1によって得られたA液6066.7g(SiO2 dry182g)を10℃に冷却して、撹拌しながら、ここへB液を添加した以外は、実施例11と同様に行った。結果を第6表〜第8表に示す。
3.0質量%のセリア溶解液6176.7g(CeO2 dryで185.3g)に3.0質量%のジルコニア溶液1090g(ZrO2 dryで32.7g)を添加して固形分濃度3.0質量%のB液7266.7g(dry218g)を得た。
上記の準備工程1によって得られたA液6066.7g(SiO2 dry182g)に、B液を添加したことと、乾燥粉体焼成時のマッフル炉の温度を1080℃とした以外は実施例11と同様に実施した。
また、図8からは、セリア系複合微粒子の最表面に、薄いシリカ被膜が覆うように存在し、子粒子の表面にシリカ被膜が存在することが観察された。
3.0質量%のセリア溶解液6903.3g(CeO2 dryで207.1g)に3.0質量%のジルコニア溶液363.3g(ZrO2 dryで10.9g)を添加して固形分濃度3.0質量%のB液7266.6g(dry218g)を得た。
上記の準備工程1によって得られたA液6066.7g(SiO2 dry182g)に、B液を添加したことと、乾燥粉体焼成時のマッフル炉の温度を1050℃とした以外は実施例11と同様に実施した。
塩化鉄(III)六水和物(関東化学社製)にイオン交換水を加え、Fe2O3として3.0質量%の酸化鉄溶解液を得た。
次に3.0質量%のセリア溶解液6176.7g(CeO2 dryで185.3g)に3.0質量%のジルコニア溶解液1017.3g(ZrO2 dryで30.52g)および3.0質量%の酸化鉄溶解液72.7g(Fe2O3 dryで 2.18g)を添加して固形分濃度3.0質量%のB液7266.7g(dry218g)を得た。
次に、上記の準備工程1によって得られたA液6066.7g(SiO2 dry182g)を10℃に冷却して、撹拌しながら、ここへB液を添加したことと、乾燥粉体焼成時のマッフル炉の温度を1080℃とした以外は、実施例11と同様に行った。結果を第6表〜第8表に示す。
塩化ニッケル(II)六水和物(関東化学社製)にイオン交換水を加え、NiOとして3.0質量%の酸化ニッケル溶解液を得た。
実施例11のB液の調製において、3.0質量%のセリア溶解液6176.7g(CeO2 dryで185.3g)に3.0質量%のジルコニア溶解液1017.3g(ZrO2 dryで30.52g)および3.0質量%の酸化ニッケル溶解液72.7g(NiO dryで2.18g)を添加して固形分濃度3.0質量%のB液7266.7g(dry218g)を得た。
次に、上記の準備工程1によって得られたA液6066.7g(SiO2 dry182g)を10℃に冷却して、撹拌しながら、ここへB液を添加したことと、乾燥粉体焼成時のマッフル炉の温度を1080℃とした以外は、実施例11と同様に行った。結果を第6表〜第8表に示す。
塩化コバルト(II)六水和物(関東化学社製)にイオン交換水を加え、CoOとして3.0質量%の酸化コバルト溶解液を得た。
実施例11のB液の調製において、3.0質量%のセリア溶解液6176.7g(CeO2 dryで185.3g)に3.0質量%のジルコニア溶解液1017.3g(ZrO2 dryで30.52g)および3.0質量%の酸化コバルト溶解液72.7g(CoO dryで2.18g)を添加して固形分濃度3.0質量%のB液7266.7g(218g)を得た。
次に、上記の準備工程1によって得られたA液6066.7g(SiO2 dry182g)を10℃に冷却して、撹拌しながら、ここへB液を添加したことと、乾燥粉体焼成時のマッフル炉の温度を1080℃とした以外は、実施例11と同様に行った。結果を第6表〜第8表に示す。
3.0質量%のセリア溶解液6176.7g(CeO2 dryで185.3g)に3.0質量%のジルコニア溶解液1017.3g(ZrO2 dryで30.52g)および3.0質量%の酸化ランタン溶解液72.7g(La2O3 dryで2.18g)を添加して固形分濃度3.0質量%のB液7266.7(dry218g)gを得た。
次に、上記の準備工程1によって得られたA液6066.7g(SiO2 dry182g)を10℃に冷却して、撹拌しながら、ここへB液を添加したことと、乾燥粉体焼成時のマッフル炉の温度を1135℃とした以外は、実施例11と同様に行った。結果を第6表〜第8表に示す。
実施例11で得られたセリア系複合微粒子に、硝酸アンモニウムとイオン交換水を添加して、固形分濃度1.0質量%で、硝酸アンモニウム濃度1000ppmの研磨スラリーを調製し、それ以外は実施例11と同様に行った。
実施例21では研磨スラリー調整に硝酸アンモニウムを用いたが、実施例22では酢酸アンモニウムを用いた。それ以外は実施例21と同様に行った。
実施例11で得られたセリア系複合微粒子に、ポリアクリル酸(和光純薬株式会社製 和光1級 平均分子量薬5,000)及びイオン交換水を添加して、固形分濃度1.0質量%でポリアクリル酸濃度500ppmとなるように調整し、添加後に超音波で分散させた。得られた研磨スラリーを用いて実施例11と同様に行った。
準備工程1で得られた高純度シリカ系微粒子分散液1,053gに陽イオン交換樹脂(三菱化学社製SK−1BH)114gを徐々に添加し、30分間攪拌し樹脂を分離した。この時のpHは5.1であった。
次に、このシリカ系微粒子分散液に超純水を加えて、SiO2固形分濃度3質量%の分散液6,000g(SiO2 dry180g)(以下、A−3液ともいう)を得た。
そして、B液の添加が終了したら、液温を93℃へ上げて4時間熟成を行った。熟成終了後に室内に放置することで放冷し、室温まで冷却した後に、限外膜にてイオン交換水を補給しながら洗浄を行った。洗浄を終了して得られた前駆体粒子分散液は、固形分濃度が7質量%、pHが9.1(25℃にて)、電導度が67μs/cm(25℃にて)であった。
次に、事前に設備洗浄と水運転を行った粉砕機(アシザワファインテック株式会社製、LMZ06)にφ0.25mmの石英ビーズ595gを投入し、さらに上記の懸濁液を粉砕機のチャージタンクに充填した(充填率85%)。なお、粉砕機の粉砕室及び配管中に残留したイオン交換水を考慮すると、解砕時の濃度は25質量%である。そして、粉砕機におけるディスクの周速を12m/sec、パス回数を25回、及び1パス当たりの滞留時間を0.43分間とする条件で湿式解砕を行った。また、解砕時の懸濁液のpHを10に維持するように、パス毎に3%アンモニア水溶液を添加した。このようにして、固形分濃度22質量%のセリア系複合微粒子分散液を得た。
次いで得られた微粒子分散液を遠心分離装置(日立工機株式会社製、型番「CR21G」)にて、相対遠心加速度675Gで1分間遠心分離処理し、沈降成分を除去し、セリア系複合微粒子分散液を得た。
上記の準備工程1によって得られたA液を用いて、実施例11と同様の測定を行った。
結果を第6表、第7表および第8表に示す。
[Siおよび異種原子の固溶状態の測定]
実施例11、13、20の各実施例と比較例5で調製したセリア系複合微粒子分散液を、X線吸収分光測定装置(Rigaku社製のR−XAS Looper)を用いて、CeL III吸収端(5727eV)におけるX線吸収スペクトルを測定し、そのX線吸収スペクトルに現れるEXAFS振動を得た。解析にはRigaku製ソフトウエアREX−2000を使用し、セリウム周辺のセリウム、ケイ素または異種原子の平均配位原子数(N)と、セリウム原子−ケイ素原子の原子間距離(R1)、セリウム原子−セリウム原子の原子間距離(R2)、セリウム原子−異種原子の原子間距離(R3)を第9表に示す。
第9表の結果から、各実施例では、子粒子のセリア成分に、それぞれケイ素原子と異種原子が固溶していることがわかる。なお、各実施例で得られたセリア系複合微粒子における該異種原子の種類は次のとおり。[実施例の番号に続いて、括弧内に異種原子を記した] 実施例11(La)、実施例12(La)、実施例13(Zr)、実施例14(La)、実施例15(Zr)、実施例16(Zr)、実施例17(Zr及びFe)、実施例18(Zr及びNi)、実施例19(Zr及びCo)、実施例20(La及びZr)。
Claims (19)
- 下記[1]から[3]の特徴を備える平均粒子径50〜350nmのセリア系複合微粒子を含む、セリア系複合微粒子分散液。
[1]前記セリア系複合微粒子は、母粒子と、前記母粒子の表面上のセリウム含有シリカ層と、前記セリウム含有シリカ層の内部に分散している子粒子とを有すること。
[2]前記母粒子は非晶質シリカを主成分とし、前記子粒子は結晶性セリアを主成分とすること。
[3]前記セリア系複合微粒子は、X線回折に供して測定される前記結晶性セリアの平均結晶子径が10〜25nmであること。 - さらに、下記[4]から[7]の特徴を備える前記セリア系複合微粒子を含む、請求項1に記載のセリア系複合微粒子分散液。
[4]前記セリア系複合微粒子は、さらに最外層としての易溶解性のシリカを含む層を有すること。
[5]前記セリア系複合微粒子の質量D2に対する前記易溶解性のシリカを含む層の質量D1の割合D(D=D1/D2×100)が0.08〜30%であること。
[6]前記セリア系複合微粒子は、シリカとセリアとの質量比が100:11〜316であること。
[7]前記セリア系複合微粒子は、X線回折に供するとセリアの結晶相のみが検出されること。 - 前記子粒子の粒子径分布における変動係数(CV値)が10〜60%である、請求項1または2に記載のセリア系複合微粒子分散液。
- さらに、下記[8]の特徴を備える、請求項1または2に記載のセリア系複合微粒子分散液。
[8]前記子粒子の主成分である結晶性セリアにケイ素原子が固溶していること。 - pH値が3〜8の範囲である場合のカチオンコロイド滴定前の流動電位がマイナスの電位であることを特徴とする、請求項1または2に記載のセリア系複合微粒子分散液。
- カチオンコロイド滴定を行った場合に、下記式(1)で表される流動電位変化量(ΔPCD)と、クニックにおけるカチオンコロイド滴定液の添加量(V)との比(ΔPCD/V)が−110.0〜−15.0となる流動電位曲線が得られる、請求項1または2に記載のセリア系複合微粒子分散液。
ΔPCD/V=(I−C)/V・・・式(1)
C:前記クニックにおける流動電位(mV)
I:前記流動電位曲線の開始点における流動電位(mV)
V:前記クニックにおける前記カチオンコロイド滴定液の添加量(ml) - さらに、下記[9]から[11]の特徴を備える前記セリア系複合微粒子を含む、請求項1に記載のセリア系複合微粒子分散液。
[9]前記子粒子が含む結晶性セリアにケイ素原子が固溶し、さらに1種以上の異種原子が固溶していること。
[10]前記セリア系複合微粒子における、セリウム、ケイ素および前記異種原子の各含有量が、(Ce+M)/Si=0.038〜1.11の関係を満たすこと。ここでMは、1種以上の異種原子の合計モル数を意味し、CeおよびSiは、セリウム原子およびケイ素原子のモル数を意味する。
[11]前記セリア系複合微粒子は、X線回折に供すると、(i)セリアの結晶相のみが検出されるか、あるいは(ii)セリアの結晶相と前記異種原子の酸化物の結晶相のみが検出されること。 - 前記異種原子が金属原子であることを特徴とする、請求項7に記載のセリア系複合微粒子分散液。
- 前記子粒子に含まれるセリウム原子およびケイ素原子について、隣接するセリウム―ケイ素原子間距離をR1とし、隣接するセリウム―セリウム原子間距離をR2とした時に、R1<R2の関係を満たす、請求項2または7に記載のセリア系複合微粒子分散液。
- 前記子粒子の幾何平均粒子径が10〜30nmである、請求項2または7に記載のセリア系複合微粒子分散液。
- 請求項2または7に記載のセリア系複合微粒子分散液を含む研磨用砥粒分散液。
- シリカ膜が形成された半導体基板の平坦化に用いることを特徴とする請求項11に記載の研磨用砥粒分散液。
- 下記の工程1〜工程3を含むことを特徴とするセリア系複合微粒子分散液の製造方法。
工程1:シリカ系微粒子が溶媒に分散しているシリカ系微粒子分散液を撹拌し、温度を0〜20℃、pHを7.0〜9.0、酸化還元電位を50〜500mVに維持しながら、ここへセリウムの金属塩を連続的又は断続的に添加し、前駆体粒子を含む前駆体粒子分散液を得る工程。
工程2:前記前駆体粒子分散液を乾燥させ、800〜1,200℃で焼成し、得られた焼成体に溶媒を接触させ、pH8.6〜11.5の範囲にて、湿式で解砕処理をして焼成体解砕分散液を得る工程。
工程3:前記焼成体解砕分散液を、相対遠心加速度300G以上にて遠心分離処理を行い、続いて沈降成分を除去することによりセリア系複合微粒子分散液を得る工程。 - 前記工程2が、
前記前駆体粒子分散液を乾燥させ、800〜1,200℃で焼成し、得られた焼成体に溶媒を接触させ、pH8.6〜11.5の範囲にて、湿式で解砕処理をした後、シリカを含む添加材を添加し、10〜98℃で加熱熟成して前記焼成体解砕分散液を得る工程である、請求項13に記載のセリア系複合微粒子分散液の製造方法。 - 前記工程3が、
前記焼成体解砕分散液を、相対遠心加速度300G以上にて遠心分離処理を行い、続いて沈降成分を除去した後、シリカを含む添加材を添加し、10〜98℃で加熱熟成して前記セリア系複合微粒子分散液を得る工程である、請求項13または14に記載のセリア系複合微粒子分散液の製造方法。 - 下記の工程4〜工程6を含むことを特徴とするセリア系複合微粒子分散液の製造方法。
工程4:シリカ微粒子が溶媒に分散してなるシリカ微粒子分散液を撹拌し、温度を0〜20℃、pHを7.0〜9.0、酸化還元電位を50〜500mVに維持しながら、ここへセリウムの金属塩と異種原子を含む塩とを別々に、あるいは混合した後に、連続的又は断続的に添加し、前駆体粒子を含む前駆体粒子分散液を得る工程。
工程5:前記前駆体粒子分散液を乾燥させ、800〜1,200℃で焼成し、得られた焼成体に溶媒を接触させ、pH8.6〜10.8の範囲にて湿式で解砕処理して、焼成体解砕分散液を得る工程。
工程6:前記焼成体解砕分散液を、相対遠心加速度300G以上にて遠心分離処理を行い、続いて沈降成分を除去することによりセリア系複合微粒子分散液を得る工程。 - 前記工程4が、前記シリカ微粒子分散液へ、前記セリウムの金属塩と、前記異種原子を含む塩と、さらにシリカ源とを、別々に、あるいは混合した後に、添加して、前記前駆体粒子分散液を得る工程である、請求項16に記載のセリア系複合微粒子分散液の製造方法。
- 前記工程4が、前記シリカ微粒子分散液を撹拌し、温度を0〜20℃、pHを7.0〜9.0、酸化還元電位を50〜500mVに維持しながら、ここへ前記セリウムの金属塩と異種原子を含む塩とを別々に、あるいは混合した後に、連続的又は断続的に添加し、その後、温度を20℃超98℃以下、pHを7.0〜9.0、酸化還元電位を50〜500mVに維持しながら、ここへ前記セリウムの金属塩と異種原子を含む塩とを別々に、あるいは混合した後に、連続的又は断続的に添加し、前記前駆体粒子分散液を得る工程である、請求項16または17に記載のセリア系複合微粒子分散液の製造方法。
- 前記工程4が、前記シリカ微粒子分散液を撹拌し、温度を20℃超98℃以下、pHを7.0〜9.0、酸化還元電位を50〜500mVに維持しながら、ここへ前記セリウムの金属塩と異種原子を含む塩とを別々に、あるいは混合した後に、連続的又は断続的に添加し、その後、温度を0〜20℃、pHを7.0〜9.0、酸化還元電位を50〜500mVに維持しながら、ここへ前記セリウムの金属塩と異種原子を含む塩とを別々に、あるいは混合した後に、連続的又は断続的に添加し、前記前駆体粒子分散液を得る工程である、請求項16または17に記載のセリア系複合微粒子分散液の製造方法。
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