JP6916362B1 - 保持部材、照射器具及びプラズマ装置 - Google Patents

Abstract

【課題】組み立てが簡便で外部の物体との間に短絡が生じることを抑制できる照射器具、プラズマ装置及び保持部材を提供する。【解決手段】照射器具１０において、内部電極４の少なくとも一部を、保持部材６の第１部材６ａと第２部材６ｂとが互いに接触して形成される収容空間６ｄに収容した状態で、保持部材６によって内部電極４が保持され、第１部材６ａと第２部材６ｂとの接触面８が、内部電極４の軸線Ｏ１に垂直な面と交差する非垂直接触面８ａを含んでいる。【選択図】図３

Description

本発明は、保持部材、照射器具及びプラズマ装置に関する。

歯科治療等を目的としてプラズマを利用する技術が提案されている（特許文献１）。特許文献１に開示されたプラズマ照射装置用ハンドピースは、先端からプラズマを患部に照射して殺菌を行うものである。特許文献１のプラズマ照射装置用ハンドピースは、電気コネクタに電気的に接続された第２の電極と、前記電極を電気的に絶縁して覆う絶縁チューブと、それら第２の電極と絶縁チューブとを収容する筐体と、を備えている。該絶縁チューブは、第２の電極の根元側を覆うように筒状に形成され、一端が電気コネクタに取り付けられ、他端に硝子支持部材等の部材が取り付けられている。

特開２０１７−３５２８１号公報

電極に絶縁チューブの一端を取り付け、さらに前記絶縁チューブの他端にその他の部材を取り付けてアゼンブリを組み立てる場合、組み立てが煩雑である。プラズマを照射する照射器具の組み立てを簡便にするには、電極を保持する保持部材を分割構造にすることが有効であると考えられる。しかし、後述のように、保持部材に分割構造を採用すると、電極と保持部材の外部の物体との間に短絡が生じるおそれがある。

本発明は、組み立てが簡便で外部の物体との間に短絡が生じることを抑制できる照射器具、プラズマ装置及び保持部材を提供することを目的とする。

本発明は、以下の態様を有する。
［１］プラズマを生成するために電圧が印加される内部電極と、前記内部電極を保持する保持部材と、を備え、
前記保持部材は、第１部材及び第２部材を備え、
前記第１部材と前記第２部材とが接触するように組み合わされ、その内部に形成された収容空間に前記内部電極の少なくとも一部が収容された状態で、前記内部電極が前記保持部材によって保持され、
前記第１部材と前記第２部材との接触面は、前記内部電極の軸線に垂直な面と交差する非垂直接触面を含む、照射器具。
［２］前記非垂直接触面を通る前記軸線への任意の垂線がすべて前記非垂直接触面と交差する、［１］に記載の照射器具。
［３］前記軸線に沿った断面における前記非垂直接触面と前記軸線に垂直な径方向とがなす角度θが４５°超である、［１］又は［２］に記載の照射器具。
［４］前記非垂直接触面は、前記軸線周りに前記内部電極を囲うように形成されている、［１］〜［３］のいずれかに記載の照射器具。
［５］前記非垂直接触面は、第１非垂直接触面と、前記第１非垂直接触面から前記軸線に垂直な径方向に離間した第２非垂直接触面と、を含む、［１］〜［４］のいずれかに記載の照射器具。
［６］前記内部電極は、外部の電力源と接続される端子部を有し、
前記非垂直接触面は、前記軸線に垂直な径方向における前記端子部の外方に位置する、［１］〜［５］のいずれかに記載の照射器具。
［７］前記接触面は、前記軸線に垂直な垂直接触面を含み、
前記垂直接触面は、前記内部電極の軸線方向における前記端子部が位置する領域とは異なる領域に位置する、［６］に記載の照射器具。
［８］前記内部電極は、直径が最も大きい拡径部を有し、
前記非垂直接触面は、前記軸線に垂直な径方向における前記拡径部の外方に位置する、［１］〜［７］のいずれかに記載の照射器具。
［９］前記接触面は、前記軸線に垂直な垂直接触面を含み、
前記垂直接触面は、前記内部電極の軸線方向における前記拡径部が位置する領域とは異なる領域に位置する、［８］に記載の照射器具。
［１０］前記保持部材には、前記内部電極の一部に対向するように外部電極が取り付けられ、
前記非垂直接触面は、前記内部電極の軸線方向において前記外部電極が位置する領域とは異なる領域に位置する、［１］〜［９］のいずれかに記載の照射器具。
［１１］電気的に接地され且つ前記内部電極の全体を収容する外筒部材を備え、
前記非垂直接触面は、前記内部電極と前記外筒部材との間に位置する、［１］〜［１０］のいずれかに記載の照射器具。
［１２］［１１］に記載の照射器具を備える、プラズマ装置。
［１３］プラズマを生成するために電圧が印加される柱状の内部電極を保持する保持部材であって、
前記保持部材は、第１部材及び第２部材を備え、
前記第１部材と前記第２部材とが互いに接触するように組み合わされて、その内部に前記内部電極の一部が収容される収容空間が形成され、
前記第１部材と前記第２部材との接触面は、前記内部電極の軸線に垂直な面と交差する非垂直接触面を含む、保持部材。

本発明によれば、組み立てが簡便で外部の物体との間に短絡が生じることを抑制できる照射器具、プラズマ装置及び保持部材を提供できる。

本発明の第１実施形態に係るプラズマ装置を示す模式図。 本発明の第１実施形態に係るプラズマ装置の概略構成を示すブロック図。 本発明の第１実施形態に係る照射器具の断面図。 図３の照射器具のＩＶ−ＩＶ線に沿った断面図。 図３の照射器具のＶ−Ｖ線に沿った断面図。 本発明の第１実施形態に係る照射器具の部分断面図。 本発明の第１実施形態に係る保持部材の第１部材及び第２部分の斜視図。 参考例に係る照射器具の部分断面図。 本発明の第２実施形態に係る照射器具の断面図。 本発明の第３実施形態に係る照射器具の断面図。 本発明の第４実施形態に係る保持部材の第１部材及び第２部材の斜視図。 本発明の第４実施形態に係る照射器具の断面図。

以下、図面を参照して本発明の実施形態例について説明する。なお、本明細書で説明する図面においては、理解のしやすさの便宜上、適宜縮尺及び縦横の寸法比等を、実物のそれらから変更し誇張してある。

さらに、本明細書において用いる、形状や幾何学的条件並びにそれらの程度を特定する、例えば、「平行」、「垂直」、「同一」等の用語や長さや角度の値等については、厳密な意味に縛られることなく、同様の機能を期待し得る程度の範囲を含めて解釈することとする。

本発明のプラズマ装置は、プラズマジェット照射装置又は活性ガス照射装置である。プラズマジェット照射装置と活性ガス照射装置はいずれも、プラズマを発生させる。プラズマジェット照射装置は、発生したプラズマと活性種とを被照射物に直接照射する。活性種は、プラズマ中の気体又はプラズマ周辺の気体とプラズマとが反応して生成される。活性種は、例えば、活性酸素種や活性窒素種等である。活性酸素種は、例えば、ヒドロキシルラジカル、一重項酸素、オゾン、過酸化水素、スーパーオキシドアニオンラジカル等である。活性窒素種は、例えば、一酸化窒素、二酸化窒素、ペルオキシナイトライト、過酸化亜硝酸、三酸化二窒素等である。活性ガス照射装置は、活性種を含む活性ガスを被照射物に照射する。活性種は、プラズマ中の気体又はプラズマ周辺の気体とプラズマとが反応して生成される。

（第１実施形態）
以下、プラズマ装置、照射器具及び保持部材の一実施形態について説明する。本実施形態のプラズマ装置は、例えば活性ガス照射装置である。図１及び図２に示すように、本実施形態の活性ガス照射装置１００は、照射器具１０と、供給器２０と、照射器具１０と供給器２０とを接続する接続ケーブル３０と、を備える。供給器２０は、供給源７０と、報知部８０と、制御部９０（演算部）と、を備える。接続ケーブル３０内には、電圧供給線３２と、接地線３４と、ガス管路３６と、が収容されている。

照射器具１０は、照射器具１０内で発生した活性ガスを吐出する。照射器具１０は、医師等により操作されるものであり、人間の手で操作しやすい形状、大きさ及び重量を有する。
照射器具１０は、先端部分にノズル１を備える。ノズル１は、外筒部材（カウリング）２の先端に取り付けられている。照射器具１０がノズル１を有する場合、照射器具１０内で発生した活性ガスは、ノズル１の先端に形成されたノズル照射口１ａから吐出される。

供給器２０は、プラズマ発生用ガスを収容している供給源７０を備えている。また、供給器２０は、例えば、１００Ｖの家庭用電源等の電力源から電源供給を受ける。なお、供給器２０は、内部に電力源として充電可能なバッテリを搭載してもよい。
照射器具１０には、電圧供給線３２とガス管路３６を通じて供給器２０から電力及びプラズマ発生用ガスが供給される。

図３は、照射器具１０における、照射器具１０の長さ方向に沿う面の断面（縦断面）図である。図４は、図３の照射器具１０のＩＶ−ＩＶ断面図である。図５は、図３の照射器具１０のＶ−Ｖ断面図である。図６は、照射器具１０における図３の符号ＶＩを付した二点鎖線で囲まれた範囲を示す図である。なお、図３〜５においては、外筒部材２及びノズル１の図示は省略している。

図３〜５に示すように、照射器具１０は、外筒部材２内に収容されているプラズマ発生部１２と、保持部材６と、を備える。プラズマ発生部１２は、管状誘電体３と、内部電極４と、外部電極５と、を備える。管状誘電体３、内部電極４及び外部電極５が保持部材６によって保持されて電極保持体７が形成される。

図６に示すように、外筒部材２は、略筒状の形状を有し、内部に内部電極４の全体を収容する、導電性の部材である。この例では外筒部材２の内部に電極保持体７全体が収容されている。照射器具１０が外筒部材２を備えることによって、照射器具１０が発する電場を抑制し、照射器具１０を扱う使用者の感電を効果的に防ぐことができる。

内部電極４は、プラズマを生成するために電圧が印加される電極である。図３及び図４に示すように、この例の内部電極４は、電圧供給線３２を介して外部の電力源に接続する端子部４ａを有し、外部の電力源によって電圧が印加される。端子部４ａとしては、例えば、内部電極４に電圧供給線３２をはんだ付けした場合のはんだ部分を例示できる。

図３に示すように、内部電極４は柱状の長尺の電極であり、軸線Ｏ１を有する。以下、軸線Ｏ１の延びる方向ｄ１を軸線方向ｄ１とも称する。

内部電極４は、直径が最も大きい、すなわち軸線方向ｄ１に垂直な径方向ｄ２の外方への突出長さが最も大きくなっている拡径部４ｂを後端部分に有している。この例の内部電極４は、拡径部４ｂと、拡径部４ｂから先端側に延びる細部４ｃとを有する。拡径部４ｂ及び細部４ｃは、それぞれ軸線方向ｄ１に延びる略円柱状である。端子部４ａは拡径部４ｂの外周面に設けられている。

内部電極４のうち、外部電極５に対向する部分の外径ｄは、活性ガス照射装置１００の用途（即ち、照射器具１０の大きさ）等を勘案して、適宜決定できる。活性ガス照射装置１００が口腔内用治療器具である場合、外径ｄは、０．５ｍｍ〜２０ｍｍが好ましく、１ｍｍ〜１０ｍｍがより好ましい。外径ｄが前記範囲の下限値以上であれば、内部電極４を容易に製造できる。加えて、内部電極４の表面積が大きくなり、プラズマ発生の効率が向上するため、治癒等の効果をさらに促進できる。外径ｄが前記範囲の上限値以下であれば、照射器具１０を過度に大きくすることなくプラズマを効率的に発生させることができ、治癒等の効果を促進できる。

内部電極４の材料は、導電材であれば特に制限はなく、公知のプラズマ装置の電極に使用できる金属を適用できる。内部電極４の材料としては、ステンレス、銅、タングステン等の金属、カーボン等を例示できる。

内部電極４に印加される電圧は、内部電極４と外部電極５との間でプラズマを生成できる範囲で適宜設定できる。プラズマ発生用ガスとして、窒素を主成分とするガスを用いてプラズマを生成する場合、内部電極４に印加される電圧は、例えば０．５ｋＶｐｐ以上２０ｋＶｐｐ以下である。内部電極４に印加される電圧は、より好ましくは２ｋＶｐｐ以上１８ｋＶｐｐ以下であり、さらに好ましくは５ｋＶｐｐ以上１５ｋＶｐｐ以下である。なお、「ｋＶｐｐ」のうち「ｐｐ」は、ｐｅａｋ ｔｏ ｐｅａｋの略である。

外部電極５は、内部電極４の一部に対向する電極である。図３及び図５に示すように、この例の外部電極５は、内部電極４の一部の周囲を周回する筒状の電極である。外部電極５は、内部電極４の細部４ｃの一部と、径方向ｄ２において対向している。本実施形態では、外部電極５は、接地線３４に接続され、電気的に接地されている。内部電極４と外部電極５との間にプラズマ発生用ガスを供給し、外部電極５と対向する内部電極４に電圧を印加することで、プラズマ発生用ガスを電離させてプラズマを生成することができる。

外部電極５が、軸線方向ｄ１において内部電極４の全体と対向していると、電極同士が対向する面積が大きいため、生成されるプラズマが高温になりやすい。これに対し、外部電極５が内部電極４の一部と対向する形態では、内部電極４に高電圧を印加する場合でも、生成されるプラズマが高温となることを抑制することができる。このため、例えば人や動物の歯や肌等への照射に適した、より低温のプラズマを生成することができる。外部電極５が内部電極４の一部と対向する形態は、特に電極に高電圧を印加する場合に適している。

この例の内部電極４の先端部４ｄは、外部電極５の先端部５ａよりも、照射器具１０の先端側（図３における左側）に突き出ている。これによって、軸線方向ｄ１における外部電極５の全長において、プラズマを安定して発生させることができる。

外部電極５の材料は、導電材であれば特に制限はなく、公知のプラズマ装置の電極に使用する金属を適用できる。外部電極５の材料としては、ステンレス、銅、タングステン等の金属、カーボン等を例示できる。

図３及び図５に示すように、管状誘電体３は、内空部３ａを有する部材である。この例の管状誘電体３は、軸線方向ｄ１に延びる円筒状の部材である。管状誘電体３の内空部３ａには、内部電極４が配置される。この例では、内空部３ａに、内部電極４の細部４ｃの一部が配置されている。

内部電極４は、管状誘電体３の内面と離間して配置されている。また、外部電極５は、管状誘電体３の外面に接するように配置されている。これにより、外部電極５は、内部電極４の外側に、内部電極４と離間して設けられている。

管状誘電体３の材料としては、公知のプラズマ装置に使用する誘電体材料を適用できる。管状誘電体３の材料は、例えば、ガラス、セラミックス、合成樹脂等である。管状誘電体３の誘電率は低いほど好ましい。

管状誘電体３の内径Ｒは、内部電極４における外部電極５と対向する部分の外径ｄを勘案して適宜決定できる。内径Ｒは、内部電極４の外面と管状誘電体３の内面との距離ｓを所望の範囲とするように決定すればよい。

内部電極４と管状誘電体３とを離間して配置する場合において、内部電極４の外面と管状誘電体３の内面との距離ｓは、０．０５ｍｍ〜５ｍｍが好ましく、０．１ｍｍ〜１ｍｍがより好ましい。距離ｓが前記範囲の下限値以上であれば、管状誘電体３の内空部３ａをプラズマ発生用ガスの流路として用いる場合に、所望量のプラズマ発生用ガスを容易に通流できる。距離ｓが前記範囲の上限値以下であれば、プラズマをさらに効率的に発生させ、活性ガスの温度を低くできる。

保持部材６は、電極を保持する部材である。この例の保持部材６は、内部電極４を電気的に絶縁する。また、保持部材６は、図３に示すように、内部電極４に接触して、内部電極４を保持している。また、この例の保持部材６は、内部電極４と接した状態で内部電極４を保持している。換言すれば、保持部材６と内部電極４との間には、少なくとも部分的に他の部材が位置しない領域が形成されている。

図３に示すように、保持部材６は、第１部材６ａ及び第２部材６ｂを備える。第１部材６ａ及び第２部材６ｂが互いに接触するように組み合わされることによって、内部電極４の少なくとも一部を収容する収容空間６ｄが形成される。この例では、内部電極４の後端側の拡径部４ｂが、収容空間６ｄに収容された状態で、内部電極４が保持部材６によって保持されている。

図７は、第１部材６ａ及び第２部材６ｂを示す斜視図である。なお、図７においては、第１部材６ａと第２部材６ｂとを互いに対して固定する際に用いるネジ穴の図示は省略している。図３及び図７に示すように、この例の第１部材６ａ及び第２部材６ｂは、ともに軸線方向ｄ１に延びる略筒状の部材である。第２部材６ｂは、少なくとも一部を第１部材６ａに挿入可能な形状を有している。具体的には、第２部材６ｂは、少なくとも部分的に、第１部材６ａの内径よりも小さな外径を有している。そして、第１部材６ａに第２部材６ｂの一部が挿入されることで、第１部材６ａと第２部材６ｂとが互いに接触し、それらの内部に収容空間６ｄが形成される。図示はしないが、第２部材６ｂに第１部材６ａの少なくとも一部が挿入されることによって、第１部材６ａと第２部材６ｂとが互いに接触し、収容空間６ｄが形成されてもよい。

また、図４に示すように、第２部材６ｂには、ネジを挿入するためのネジ穴６ｂ１が設けられている。また、図示はしないが、第１部材６ａにもネジ穴が設けられている。第１部材６ａと第２部材６ｂとは、第１部材６ａ及び第２部材６ｂのネジ穴に挿入された図示しないネジによって、互いに接触した状態で、互いに対して固定される。

図３に示す例においては、第１部材６ａは、軸線方向ｄ１の後端側（図３における右側）から内部電極４に接触し、内部電極４の軸線方向ｄ１後端側への移動を規制している。また、第２部材６ｂは、軸線方向ｄ１の先端側（図３における左側）から内部電極４に接触し、内部電極４の軸線方向ｄ１の先端側への移動を規制している。なお、図３に示す例において、第２部材６ｂは、Ｏリング９ａを介して、軸線方向ｄ１の先端側から内部電極４の拡径部４ｂに接触している。Ｏリング９ａは、弾力性のある樹脂部材からなる部材であり、拡径部４ｂと第２部材６ｂとによって挟み込まれ、拡径部４ｂ及び第２部材６ｂに密着する。これによって、内部電極４は、軸線方向ｄ１の移動が規制されている状態で保持される。

保持部材６には、外部電極５及び管状誘電体３がさらに取り付けられている。図３に示す例において、保持部材６は、第３部材６ｃをさらに備えている。そして、保持部材６は、第２部材６ｂと第３部材６ｃとによって、さらに外部電極５及び管状誘電体３を保持している。図３に示す例において、第３部材６ｃは、軸線方向ｄ１に延びる略筒状の部材である。図３に示す例において、第２部材６ｂは、少なくとも一部を第３部材６ｃに挿入可能な形状を有している。具体的には、第２部材６ｂは、少なくとも部分的に、第３部材６ｃの内径よりも小さな外径を有している。そして、第３部材６ｃに第２部材６ｂの一部が挿入されることで、第２部材６ｂと第３部材６ｃとが互いに接触し、外部電極５及び管状誘電体３を収容する空間が形成される。図示はしないが、第２部材６ｂに第３部材６ｃの少なくとも一部が挿入されることによって、第２部材６ｂと第３部材６ｃとが互いに接触し、外部電極５及び管状誘電体３を収容する空間が形成されてもよい。

第２部材６ｂは、軸線方向ｄ１の後端側から外部電極５に接触し、外部電極５の軸線方向ｄ１の後端側への移動を規制している。また、第３部材６ｃは、軸線方向ｄ１の先端側から外部電極に接触し、外部電極５の軸線方向ｄ１の先端側への移動を規制している。これによって、外部電極５は、軸線方向ｄ１の移動が規制されている状態で保持される。

さらに、第２部材６ｂは、軸線方向ｄ１の後端側から、Ｏリング９ｂを介して、管状誘電体３に接触し、管状誘電体３の軸線方向ｄ１の後端側への移動を規制している。また、第３部材６ｃは、軸線方向ｄ１の先端側から、Ｏリング９ｃを介して、管状誘電体３に接触し、管状誘電体３の軸線方向ｄ１の先端側への移動を規制している。Ｏリング９ｂ、９ｃは、弾力性のある樹脂部材からなる部材であり、管状誘電体３の外周面に密着するような内径を有する。これによって、管状誘電体３は、軸線方向ｄ１の移動が規制されている状態で保持される。

照射器具１０の先端側（図３における左側）における第３部材６ｃの先端には、照射口６ｃ１が形成されている。図３に示す例において、照射口６ｃ１は、管状誘電体３の内空部３ａを、照射器具１０の外部と通じさせている。

図３及び図４に示す例において、保持部材６は、電圧供給線３２が端子部４ａに接続されるとともに保持部材６の外部へ延び出すことができるように、電圧供給線３２の一部を収容する、電圧供給線収容部６ｅをさらに有する。また、図３及び図５に示す例において、保持部材６は、接地線３４が外部電極５に接続されるとともに保持部材６の外部へ延び出すことができるように、接地線３４の一部を収容する、接地線収容部６ｆをさらに有する。

図３〜７に示す例において、第１部材６ａ、第２部材６ｂ及び第３部材６ｃの形状は、略円筒状である。図示はしないが、第１部材６ａ、第２部材６ｂ及び第３部材６ｃの形状は、四角筒状、六角筒状、八角筒状等の多角筒形状でもよい。

第１部材６ａ、第２部材６ｂ及び第３部材６ｃの材料は、特に制限はないが、絶縁性を有する材料が好ましい。絶縁性の材料は、例えば熱可塑性樹脂、熱硬化性樹脂等である。熱可塑性樹脂は、例えば、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリ塩化ビニル、ポリスチレン、アクリロニトリル−ブタジエン−スチレン樹脂（ＡＢＳ樹脂）、ポリエーテルエーテルケトン（ＰＥＥＫ）、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）、ポリフッ化ビニリデン（ＰＶＤＦ）、ポリエチレンイミン（ＰＥＩ）、ポリアセタール（ＰＯＭ）、変成ポリフェニレンエーテル（ｍＰＰＥ）、等である。熱硬化性樹脂は、例えば、フェノール樹脂、メラミン樹脂、ユリア樹脂、エポキシ樹脂、不飽和ポリエステル樹脂、シリコン樹脂等である。その他に、絶縁性の材料として、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）を主原料に、ガラス短繊維や無機フィラー等を充填複合したものを用いることもできる。このような材料としては、例えばユニチカ株式会社製のユニレート（登録商標）が挙げられる。第１部材６ａ、第２部材６ｂ及び第３部材６ｃの材料としては、ＰＥＥＫ又はｍＰＰＥが、第１部材６ａ、第２部材６ｂ及び第３部材６ｃの材料に適した樹脂の物性を有しているため、より好ましい。

保持部材６が第１部材６ａ、第２部材６ｂを含み、またさらに第３部材６ｃを含むことによって、保持部材６を複数の部材に分解することが可能となる。このため、保持部材６によって保持されている内部電極４、外部電極５及び管状誘電体３等を、容易に保持部材６から取り外すことができる。また、第１部材６ａ、第２部材６ｂ及び第３部材６ｃを用いて電極保持体７及び照射器具１０を組み立てることも容易になる。

図３に示す照射器具１０は、例えば以下の手順で組み立てることができる。まず、第１部材６ａと第２部材６ｂとが内部電極４を挟んで対向するように、第１部材６ａ、第２部材６ｂ及び内部電極４を配置する。

次に、内部電極４の少なくとも一部が収容空間６ｄに収容されるように、第１部材６ａと第２部材６ｂとを接触させ、互いに対して固定する。特に図３に示す照射器具１０の場合、まず、少なくとも拡径部４ｂが第１部材６ａの内部に位置し、少なくとも細部４ｃの一部が第１部材６ａの外部に位置するように、内部電極４を、拡径部４ｂ側から第１部材６ａの内部に挿入する。これによって、内部電極４と第１部材６ａとが軸線方向ｄ１において接触し、内部電極４の動きが抑制される。次に、内部電極４の細部４ｃ側から第２部材６ｂを近づけ、細部４ｃが第２部材６ｂの内部を通り、第２部材６ｂが拡径部４ｂに被さるように、第１部材６ａと第２部材６ｂとを接触させ、互いに固定する。これによって、内部電極４が第１部材６ａと第２部材６ｂとによって保持された状態となる。

次に、第２部材６ｂと第３部材６ｃとが外部電極５及び管状誘電体３を挟んで対向するように、第３部材６ｃ、外部電極５及び管状誘電体３を配置する。次に、外部電極５及び管状誘電体３が第２部材６ｂと第３部材６ｃとの間に収容されるように、第２部材６ｂと第３部材６ｃとを接触させ、互いに対して固定する。

本実施形態に係る照射器具１０によれば、上記手順の通りに組み立てることができ、第１部材６ａと第２部材６ｂとを接触させる際に内部電極４と第２部材６ｂとが緩衝しにくくなり、組み立て性が良好となる。

ここで、図３及び図４に示すように、第１部材６ａと第２部材６ｂとの接触面８は、軸線Ｏ１に垂直な面と交差する非垂直接触面８ａを含む。すなわち、接触面８は、軸線Ｏ１に対して垂直でない非垂直接触面８ａを含む。図３に示す例において、接触面８は、非垂直接触面８ａとともに、軸線Ｏ１に垂直な垂直接触面８ｂを含む。

図３に示すように、非垂直接触面８ａは、第２部材６ｂの外周面と第１部材６ａの内周面との接触面である。非垂直接触面８ａは、内部電極４に対して、径方向ｄ２の外方に位置している。図３に示す例において、照射器具１０を軸線Ｏ１に沿って切断した断面における非垂直接触面８ａと径方向ｄ２とがなす角度θは、９０°となっている。また、上述の通り、第１部材６ａに第２部材６ｂの一部が挿入されることで第１部材６ａと第２部材６ｂとの接触面８が形成されるため、非垂直接触面８ａは、図４に示すように、軸線Ｏ１を中心として内部電極４を囲っている。

接触面８が非垂直接触面８ａを含むことで以下の作用効果が奏される。
図８は、参考例に係る、電極保持体７と外筒部材２とを備える照射器具１０における、接触面８の周囲を示す断面図である。内部電極４の径方向ｄ２の外方且つ保持部材６の外部には、図８に示す外筒部材２等のように、導電性の物体が配置される場合がある。ここで、参考例に係る接触面８は、軸線Ｏ１に垂直な面と交差する非垂直接触面８ａを有さず、軸線Ｏ１に垂直な面のみからなっている。この場合、軸線Ｏ１への垂線であって、接触面８上に位置する垂線Ｌ１が存在する。この垂線Ｌ１上においては、電圧が印加される内部電極４から保持部材６の外部の物体に向かう電気力線が、第１部材６ａ及び第２部材６ｂのいずれによっても遮られない。このため、内部電極４と保持部材６の外部の物体とが、第１部材６ａと第２部材６ｂとの隙間を介した沿面放電によって短絡する可能性がある。短絡が生ずると、照射器具１０がダメージを受け、故障する懸念がある。

これに対し、本実施形態に係る接触面８は、軸線Ｏ１に垂直な面と交差する非垂直接触面８ａを含む。図３及び図６に示す例において、軸線方向ｄ１における非垂直接触面８ａが存在する領域では、軸線Ｏ１への垂線が非垂直接触面８ａと交わる。接触面８がこのような非垂直接触面８ａを含むことによって、内部電極４の径方向ｄ２の外方に非垂直接触面８ａが位置する箇所では、内部電極４から径方向ｄ２に保持部材６の外部の物体に向かう電気力線が、第１部材６ａ及び第２部材６ｂによって遮られる。このため、内部電極４と保持部材６の外部の物体との間の沿面距離が長くなり、第１部材６ａと第２部材６ｂとの間を介した内部電極４と保持部材６の外部の物体との短絡を抑制できる。特に、保持部材６の分解及び組み立てを容易にしつつ、第１部材６ａと第２部材６ｂとの隙間を介した短絡を抑制できる。

図６に示す例においては、非垂直接触面８ａが、内部電極４と外筒部材２との間に位置する。このため、第１部材６ａと第２部材６ｂとの隙間を介した内部電極４と外筒部材２との短絡を抑制できる。

また、本実施形態において、非垂直接触面８ａを通る軸線Ｏ１への任意の垂線はすべて非垂直接触面８ａと交差する。すなわち、非垂直接触面８ａは、非垂直接触面８ａを通る軸線Ｏ１への任意の垂線が、すべて非垂直接触面Ｏ１と平行にならないように設けられている。さらに言うと、本実施形態においては、非垂直接触面８ａを通る軸線Ｏ１への垂線を引くと必ず非垂直接触面８ａと平行にならず、非垂直接触面８ａと平行な垂線を引くことができないように非垂直接触面８ａが設けられる。これによって、軸線Ｏ１への垂線のうち非垂直接触面８ａを通る線上において、内部電極４から保持部材６の外部の物体に向かう電気力線が、第１部材６ａ及び第２部材６ｂによって遮られる。このため、第１部材６ａと第２部材６ｂとの隙間を介した内部電極４と保持部材６の外部の物体との短絡を抑制できる。

また、内部電極４のうち端子部４ａには、はんだや、電圧供給線３２のうち内部電極４にはんだ付けされる部分等、内部電極４を外部の電力源に接続するための構成要素が配置され得る。このため、端子部４ａにおいては、内部電極４を外部の電力源に接続するための構成要素が配置される分だけ、内部電極４及び内部電極４と電気的に接続されている構成要素と、保持部材６の外部の物体との距離が短くなりやすく、短絡が生じやすいと考えられる。ここで、図３、図４及び図６に示す例において、非垂直接触面８ａは、径方向ｄ２における端子部４ａの外方に位置している。これによって、端子部４ａと保持部材６の外部の物体との短絡を効果的に抑制できる。

また、内部電極４のうち拡径部４ｂは、径方向ｄ２の外方への突出長さが最も大きくなっている部分であるため、保持部材６の外部の物体との距離が短くなりやすく、短絡が生じやすいと考えられる。ここで、図３、図４及び図６に示す例において、非垂直接触面８ａは、径方向ｄ２における拡径部４ｂの外方に位置している。これによって、拡径部４ｂと保持部材６の外部の物体との短絡を効果的に抑制できる。

また、図３に示す例においては、外部電極５が、内部電極４の一部と対向している。内部電極４のうち外部電極５と対向しない部分は、外部電極５と対向する部分と比べて、間に外部電極５が存在しない分だけ保持部材６の外部の物体との短絡が生じやすいと考えられる。ここで、図３に示す例において、非垂直接触面８ａは、軸線方向ｄ１において外部電極５が位置する領域とは異なる領域に位置する。これによって、内部電極４のうち外部電極５と対向していない部分と保持部材６の外部の物体との短絡を効果的に抑制できる。

また、図３に示す例においては、管状誘電体３の内空部３ａに、内部電極４の一部が配置される。ここで、図３に示す例において、非垂直接触面８ａは、軸線方向ｄ１において管状誘電体３が位置する領域とは異なる領域に位置している。

また、図４に示す例においては、上述の通り、非垂直接触面８ａは、軸線Ｏ１を中心として内部電極４を囲っている。このため、軸線Ｏ１を中心とした周方向の全体において、内部電極４と保持部材６の外部の物体との短絡を抑制することができる。

また、図３及び図６に示す例において、接触面８は垂直接触面８ｂを含む。ここで、仮に、軸線方向ｄ１において内部電極４が位置する領域に垂直接触面８ｂが位置する場合について考える。この場合、垂直接触面８ｂが位置する領域においては、内部電極４から径方向ｄ２に延びて保持部材６の外部の物体に向かう電気力線を遮る保持部材６の厚みが、小さくなってしまう。

ここで、図３及び図６に示す例においては、垂直接触面８ｂが、軸線方向ｄ１における端子部４ａが位置する領域とは異なる領域に位置している。このため、端子部４ａが位置する領域における保持部材６の厚みを確保することができる。これによって、例えば特に高電圧を内部電極４に印加した場合においても、端子部４ａと保持部材６の外部の物体とが、保持部材６の厚みが小さい部分を介して短絡してしまうことを抑制できる。

また、図３及び図６に示す例においては、垂直接触面８ｂが、軸線方向ｄ１における拡径部４ｂが位置する領域とは異なる領域に位置している。これによって、拡径部４ｂと保持部材６の外部の物体とが、保持部材６の厚みが小さい部分を介して短絡してしまうことを抑制できる。

なお、図３及び図６に示す例において、内部電極４は、管状誘電体３の内空部３ａに位置する第１部分４ｅと、内空部３ａの外に位置する第２部分４ｆとを有する。そして、垂直接触面８ｂは、軸線方向ｄ１において第２部分４ｆが位置する領域とは異なる領域に位置する。

また、図３及び図６に示す例において、垂直接触面８ｂは、軸線方向ｄ１における内部電極４が位置する領域とは異なる領域に位置する。これによって、内部電極４が位置する領域の全体における保持部材６の厚みを確保することができる。これによって、内部電極４と保持部材６の外部の物体とが、保持部材６の厚みが小さい部分を介して短絡してしまうことを抑制できる。

照射器具１０において、内部電極４と外部電極５との間には、供給器２０からプラズマ発生用ガスが供給される。図３及び図５に示す例においては、内部電極４と管状誘電体３とが離間して配置されている。この場合、管状誘電体３の内空部３ａをプラズマ発生用ガスの流路として用いて、内部電極４と外部電極５との間にプラズマ発生用ガスを供給してもよい。また、図示はしないが、外部電極５が管状誘電体３と離間して配置されている場合、外部電極５と管状誘電体３との間の隙間をプラズマ発生用ガスの流路として用いて、内部電極４と外部電極５との間にプラズマ発生用ガスを供給してもよい。

内部電極４と外部電極５との間にプラズマ発生用ガスを供給する方法は、特に限られない。図示はしないが、内部電極４の内部が中空となっていてもよい。この場合、ガス管路３６を介して照射器具１０に供給されたプラズマ発生用ガスが、内部電極４の内部を通って、外部電極５との対向部に設けられた内部電極４の孔から出ることによって、内部電極４と外部電極５との間に供給される。また、後述する保持部材６に貫通孔が設けられていてもよい。この場合、ガス管路３６を介して照射器具１０に供給されたプラズマ発生用ガスが、保持部材６の貫通孔を介して、内部電極４と外部電極５との間へと供給される。

図１に示すような供給器２０は、照射器具１０に電気およびプラズマ発生用ガスを供給する。供給器２０は、内部電極４と外部電極５との間に印加する電圧及び周波数を調節できる。供給器２０は、供給源７０を収容する筐体２１を備えている。筐体２１は、供給源７０を離脱可能に収容する。これにより、筐体２１に収容された供給源７０内のガスがなくなったとき、プラズマ発生用ガスの供給源７０を交換することができる。

供給源７０は、内部電極４と外部電極５との間にプラズマ発生用ガスを供給する。供給源７０は、内部にプラズマ発生用ガスが収容された耐圧容器である。図２に示すように、供給源７０は、筐体２１内に配置された配管７５に対して着脱可能に装着されている。配管７５は、供給源７０とガス管路３６とを接続している。配管７５には、電磁弁７１、圧力レギュレータ７３、流量コントローラ７４及び圧力センサ７２（残量センサ）が取り付けられている。

電磁弁７１が開状態となると、供給源７０から配管７５及びガス管路３６を介して照射器具１０にプラズマ発生用ガスが供給される。図示の例では、電磁弁７１は、弁開度が調節できる構成ではなく、開閉の切り替えのみができる構成である。なお電磁弁７１は、弁開度が調節できる構成であってもよい。圧力レギュレータ７３は、電磁弁７１と供給源７０との間に配置されている。圧力レギュレータ７３は、供給源７０から電磁弁７１に向かうプラズマ発生用ガスの圧力を低下（プラズマ発生用ガスを減圧）させる。

流量コントローラ７４は、電磁弁７１とガス管路３６との間に配置されている。流量コントローラ７４は、電磁弁７１を通過したプラズマ発生用ガスの流量（単位時間当たりの供給量）を調整する。流量コントローラ７４は、プラズマ発生用ガスの流量を、例えば３Ｌ／ｍｉｎに調整する。

圧力センサ７２は、供給源７０におけるプラズマ発生用ガスの残量Ｖ１を検出する。圧力センサ７２は、残量Ｖ１として、供給源７０内の圧力（残圧）を測定する。圧力センサ７２は、圧力レギュレータ７３と供給源７０との間（圧力レギュレータ７３よりも一次側）を通過するプラズマ発生用ガスの圧力（一次圧）を、供給源７０の圧力として測定する。圧力センサ７２としては、例えば、キーエンス社のＡＰ−Ｖ８０シリーズ（具体的には、例えばＡＰ−１５Ｓ）等を採用することができる。

なお、供給源７０における実際の残量Ｖ１（体積）は、圧力センサ７２が測定する残圧と、供給源７０の容量（内部容積）と、から算出される。供給源７０として、多様な容量の供給源７０を使用する前提の場合、例えば、実際の供給源７０の容量を、図示しない入力部のシステム画面上で選択することで、演算用の容量を設定してもよい。また、供給源７０として、定用量の供給源７０を使用する前提の場合、制御部９０がその容量を予め記憶しておいてもよい。

配管７５の供給源７０側の端部には、継手７６が設けられている。継手７６には、供給源７０が着脱可能に装着されている。供給源７０を継手７６に着脱させることで、電磁弁７１、圧力レギュレータ７３、流量コントローラ７４及び圧力センサ７２（以下、「電磁弁７１等」という。）を筐体２１に固定したまま、プラズマ発生用ガスの供給源７０を交換することができる。この場合、交換前の供給源７０、交換後の供給源７０のいずれについても共通の電磁弁７１等を使用することができる。なお電磁弁７１等は、供給源７０に固定され、供給源７０と一体的に筐体２１から離脱可能であってもよい。

図１に示すように、ガス管路３６は、供給器２０から照射器具１０にプラズマ発生用ガスを供給する経路である。ガス管路３６は、照射器具１０の管状誘電体３の後端部に接続している。ガス管路３６の材料は特に制限はなく、公知のガス管に用いる材料を適用できる。ガス管路３６の材料としては、例えば、樹脂製の配管、ゴム製のチューブ等を例示でき、可撓性を有する材料が好ましい。

電圧供給線３２は、供給器２０から照射器具１０に電圧を供給する配線である。電圧供給線３２は、上述の通り照射器具１０の内部電極４に接続しているとともに、不図示のフットスイッチに接続している。電圧供給線３２の材料は特に制限はなく、公知の電圧供給線に用いる材料を適用できる。電圧供給線３２の材料としては、絶縁材料で被覆した金属導線等を例示できる。

図２に示すような制御部９０は、情報処理装置を用いて構成される。すなわち、制御部９０は、バスで接続されたＣＰＵ（Central Processor Unit）、メモリ及び補助記憶装置を備える。制御部９０は、プログラムを実行することによって動作する。制御部９０は、例えば、供給器２０に内蔵されていてもよい。制御部９０は、照射器具１０、供給器２０および報知部８０を制御する。

制御部９０には、不図示のフットスイッチが電気的に接続されている。照射器具１０の使用者によりフットスイッチが操作されると、フットスイッチから制御部９０に電気信号が送られる。制御部９０が電気信号を受け付けると、制御部９０は電磁弁７１及び流量コントローラ７４を作動させ、かつ内部電極４に電圧を印加する。

本実施形態では、使用者がフットスイッチを１回押したときに、制御部９０が電気信号を受け付ける。すると制御部９０が、電磁弁７１を所定の時間、開放して電磁弁７１を通過したプラズマ発生用ガスの流量を流量コントローラ７４に調整させ、かつ内部電極４に電圧を所定の時間、印加する。その結果、供給源７０から内部電極４と外部電極５との間に一定量のプラズマ発生用ガスが供給され、ノズル照射口１ａから活性ガスが一定時間（例えば、数秒から数十秒程度、本実施形態では３０秒）、継続して吐出される。

すなわち、本実施形態では、使用者によるフットスイッチを１回押下するあたりの活性ガスの吐出量が定まっている。このような、所定の吐出量の活性ガスを吐出する操作を単位操作と呼ぶ。本実施形態では、単位操作が、使用者によるフットスイッチの１回の押下である。単位操作１回あたりの活性ガスの吐出量（単位操作１回あたりの供給源７０から内部電極４と外部電極５との間へのプラズマ発生用ガスの供給量）は、予め設定された固定値であってもよく、図示しない操作盤の操作等により設定可能な変動値であってもよい。

制御部９０は、プラズマ発生用ガスの残回数Ｎ及び残時間Ｔのうちの少なくとも一方を残存情報として演算する。本実施形態では、制御部９０は、残回数Ｎ及び残時間Ｔのうちの残回数Ｎのみを残存情報として演算する。残回数Ｎは、供給源７０に残存するプラズマ発生用ガスによって、供給源７０から内部電極４と外部電極５との間にプラズマ発生用ガスを供給することができる残りの単位操作の回数である。残時間Ｔは、供給源７０に残存するプラズマ発生用ガスによって、供給源７０から内部電極４と外部電極５との間にプラズマ発生用ガスを供給することができる残りの時間である。

残回数Ｎ及び残時間Ｔはいずれも、供給源７０におけるプラズマ発生用ガスの残量Ｖ１から算出することができる。残回数Ｎは、残量Ｖ１と、フットスイッチの単位操作１回あたりのプラズマ発生用ガスの供給量Ｖ２と、に基づいて演算（Ｎ＝Ｖ１／Ｖ２）することができる。また、直近数回のプラズマ発生用ガスの使用量（供給量）の平均値Ｖ２（平均値）を演算し、その平均値Ｖ２（平均値）をプラズマ発生用ガスの残量Ｖ１で除することにより、残回数Ｎを算出する。残時間Ｔは、残量Ｖ１と、供給源７０から内部電極４と外部電極５との間に単位時間あたり供給されるプラズマ発生用ガスの供給量Ｖ３と、に基づいて演算（Ｔ＝Ｖ１／Ｖ３）することができる。

報知部８０は、残回数Ｎおよび残時間Ｔのうちの少なくとも一方を報知する。本実施形態では、報知部８０は、残回数Ｎを表示する。報知部８０は、制御部９０が演算した残回数Ｎを数字で表示する。報知部８０として、例えば、任意の数字を表示可能なディスプレイ装置を採用してもよく、機械式のカウンタを採用してもよい。

なお図示の例では、報知部８０は、筐体２１の外面に、筐体２１と一体に設けられているが、供給器２０から独立して設けられていてもよい。また報知部８０は、残回数Ｎを数字とは異なる形態により表示してもよい。例えば報知部８０として、文字盤及び針により形成されるアナログ表示をする構成を採用してもよい。さらに例えば、報知部８０が、色の表示態様や、光の点灯の態様により残回数Ｎを報知してもよい。

さらに報知部８０は、音声によって残回数Ｎを報知してもよい。この場合、報知部８０としては、例えばスピーカ等を採用することができる。

本実施形態のように、使用者がフットスイッチを押したときに、供給源７０から内部電極４と外部電極５との間に一定量のプラズマ発生用ガスが供給される場合には、残時間Ｔを報知することよりも残回数Ｎを報知することの方が使用者の利便性を高めることができる。

次に、活性ガス照射装置１００の使用方法を説明する。例えば医師等の使用者は、照射器具１０を持って移動させ、ノズル照射口１ａを後述する被照射物に向ける。この状態で使用者がフットスイッチを押し、供給源７０から照射器具１０に電気及びプラズマ発生用ガスを供給する。照射器具１０に供給したプラズマ発生用ガスは、管状誘電体３の後端部から管状誘電体３の内空部３ａに流入する。プラズマ発生用ガスは、内部電極４と外部電極５とが対向する位置において電離し、プラズマになる。

本実施形態においては、内部電極４と外部電極５とが、プラズマ発生用ガスの流れる方向と直交する向きに対向している。内部電極４の外周面と外部電極５の内周面とが対向する位置で発生したプラズマは、この間、プラズマは、管状誘電体３の内空部３ａを通流しつつガス組成を変化させ、ラジカル等の活性種を含む活性ガスとなる。

生じた活性ガスはノズル照射口１ａから吐出される。吐出された活性ガスは、ノズル照射口１ａ近傍の気体の一部をさらに活性化して活性種を生成する。これらの活性種を含む活性ガスは被照射物に照射される。

被照射物としては、例えば、細胞、生体組織、生物個体等を例示できる。生体組織としては、内蔵等の各器官、体表や体腔の内面を覆う上皮組織、歯肉、歯槽骨、歯根膜及びセメント質等の歯周組織、歯、骨等を例示できる。生物個体としては、ヒト、犬、猫、豚等の哺乳類；鳥類；魚類等のいずれでもよい。

プラズマ発生用ガスとしては、例えば、ヘリウム、ネオン、アルゴン、クリプトン等の希ガス；窒素；等である。これらのガスは、１種単独で用いてもよいし、２種以上を組み合わせて用いてもよい。プラズマ発生用ガスは、窒素を主成分とすることが好ましい。ここで、窒素を主成分とするとは、プラズマ発生用ガスにおける窒素の含有量が５０体積％超であることをいう。即ち、プラズマ発生用ガスにおける窒素の含有量は、５０体積％超が好ましく、７０体積％以上がさらに好ましく、９０体積％〜１００体積％が特に好ましい。プラズマ発生用ガス中、窒素以外のガス成分は、特に制限はなく、例えば、酸素、希ガス等を例示できる。

プラズマ発生用ガスが窒素を主成分とする場合、プラズマを生成するために、特に高電圧が必要となる。ここで、本実施の形態に係る発明は、上述の通り、本実施の形態に係る発明は、外部電極５が内部電極４の一部に対向するため、特に電極に高電圧を印加する場合に適している。このため、本実施の形態に係る発明は、特にプラズマ発生用ガスが窒素ガスを主成分とする場合に適していると言える。

活性ガス照射装置１００が口腔内用治療器具である場合、管状誘電体３に導入するプラズマ発生用ガスの酸素濃度は、１体積％以下が好ましい。酸素濃度が上限値以下であれば、オゾンの発生を低減できる。

管状誘電体３に導入するプラズマ発生用ガスの流量は、１Ｌ／ｍｉｎ〜１０Ｌ／ｍｉｎが好ましい。管状誘電体３に導入するプラズマ発生用ガスの流量が下限値以上であると、被照射物における被照射面の温度の上昇を抑制しやすい。プラズマ発生用ガスの流量が上限値以下であると、被照射物の清浄化、賦活化又は治癒をさらに促進できる。

ノズル照射口１ａから照射する活性ガスの温度は、５０℃以下が好ましく、４５℃以下がより好ましく、４０℃以下がさらに好ましい。ノズル照射口１ａから照射する活性ガスの温度が上限値以下であると、被照射面の温度を４０℃以下にしやすい。被照射面の温度を４０℃以下にすることで、被照射部分が患部である場合にも、患部への刺激を低減できる。ノズル照射口１ａから照射する活性ガスの温度の下限値は、特に制限はなく、例えば、１０℃以上である。活性ガスの温度は、ノズル照射口１ａにおける活性ガスの温度を熱電対で測定した値である。

ノズル照射口１ａから被照射面までの距離（照射距離）は、例えば、０．０１ｍｍ〜１０ｍｍが好ましい。照射距離が前記範囲の下限値以上であれば、被照射面の温度を低くし、被照射面への刺激をさらに緩和できる。照射距離が前記範囲の上限値以下であれば、治癒等の効果をさらに高められる。

ノズル照射口１ａから１ｍｍ以上１０ｍｍ以下の距離で離れた位置の被照射面の温度は、４０℃以下が好ましい。被照射面の温度が４０℃以下であれば、被照射面への刺激を低減できる。被照射面の温度の下限値は特に制限はないが、例えば１０℃以上である。被照射面の温度は、内部電極４と外部電極５との間に印加する交流電圧、照射する活性ガスの吐出量、内部電極４の先端部４ｄからノズル照射口１ａまでの道のり等の組み合わせで調節できる。被照射面の温度は、熱電対を用いて測定できる。

活性ガスに含まれる活性種（ラジカル等）としては、ヒドロキシルラジカル、一重項酸素、オゾン、過酸化水素、スーパーオキシドアニオンラジカル、一酸化窒素、二酸化窒素、ペルオキシナイトライト、過酸化亜硝酸、三酸化二窒素等を例示できる。活性ガスに含まれる活性種の種類は、例えば、プラズマ発生用ガスの種類等にさらに調節できる。

活性ガス中におけるヒドロキシラジカルの密度（ラジカル密度）は、０．１μｍｏｌ／Ｌ〜３００μｍｏｌ／Ｌが好ましい。ラジカル密度が下限値以上であると、細胞、生体組織及び生物個体から選ばれる被照射物の清浄化、賦活化又は異常の治癒を促進しやすい。ラジカル密度が上限値以下であると、被照射面への刺激を低減できる。

ラジカル密度は、例えば、以下の方法で測定できる。ＤＭＰＯ（５，５−ジメチル−１−ピロリン−Ｎ−オキシド）０．２ｍｏｌ／Ｌ溶液０．２ｍＬに対して、活性ガスを３０秒間照射する。この際、ノズル照射口１ａから液面までの距離を５．０ｍｍとする。活性ガスを照射した溶液について、電子スピン共鳴（ＥＳＲ）法を利用してヒドロキシルラジカル濃度を測定し、これをラジカル密度とする。

活性ガス中における一重項酸素の密度（一重項酸素密度）は、０．１μｍｏｌ／Ｌ〜３００μｍｏｌ／Ｌが好ましい。一重項酸素密度が下限値以上であると、細胞、生体組織及び生物個体等の被照射物の清浄化、賦活化又は異常の治癒を促進しやすい。上限値以下であると、被照射面への刺激を低減できる。

一重項酸素密度は、例えば、以下の方法で測定できる。ＴＰＣ（２，２，５，５−テトラメチル−３−ピロリン−３−カルボキサミド）０．１ｍｏｌ／Ｌ溶液０．４ｍＬに対して、活性ガスを３０秒間照射する。この際、ノズル照射口１ａから液面までの距離を５．０ｍｍとする。活性ガスを照射した溶液について、電子スピン共鳴（ＥＳＲ）法を利用して一重項酸素濃度を測定し、これを一重項酸素密度とする。

ノズル照射口１ａから照射する活性ガスの流量は、１Ｌ／ｍｉｎ〜１０Ｌ／ｍｉｎが好ましい。ノズル照射口１ａから照射する活性ガスの流量が下限値以上であると、活性ガスが被照射面に作用する効果を充分に高められる。ノズル照射口１ａから照射する活性ガスの流量が上限値未満であると、活性ガスの被照射面の温度が過度に高まることを防止できる。加えて、被照射面が濡れている場合には、被照射面の急速な乾燥を防止できる。さらに、被照射面が患部である場合には、患者への刺激を抑制できる。なお、活性ガス照射装置１００において、ノズル照射口１ａから照射する活性ガスの流量は、管状誘電体３へのプラズマ発生用ガスの供給量で調節できる。

活性ガス照射装置１００によって生じる活性ガスは、外傷や異常の治癒を促進する効果を有する。活性ガスを細胞、生体組織又は生物個体に照射することによって、その被照射部分の清浄化、賦活化、又はその被照射部分の治癒を促進できる。

外傷や異常の治癒を促進する目的で活性ガスを照射する場合、その照射頻度、照射回数及び照射期間は特に制限はない。例えば、１Ｌ／ｍｉｎ〜５．０Ｌ／ｍｉｎの照射量で活性ガスを患部に照射する場合、１日１回〜５回、毎回１０秒〜１０分、１日〜３０日間、等の照射条件が、治癒を促進する観点から好ましい。

本実施形態の活性ガス照射装置１００は、特に口腔内用治療器具、歯科用治療器具として有用である。また、本実施形態の活性ガス照射装置１００は、動物治療用器具としても好適である。

以上において、具体例を参照しながら一実施の形態を説明してきたが、上述した具体例が一実施の形態を限定することを意図していない。上述した一実施の形態は、その他の様々な具体例で実施されることが可能であり、その要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。

以下、図面を参照しながら、他の実施形態例について説明する。以下の説明及び以下の説明で用いる図面では、上述した具体例と同様に構成され得る部分について、上述の具体例における対応する部分に対して用いた符号と同一の符号を用いるとともに、重複する説明を省略する。

（第２実施形態）
第１実施形態では、照射器具１０の軸線Ｏ１に沿って切断した断面における非垂直接触面８ａと径方向ｄ２とがなす角度θが９０°の例について説明した。しかしながら、非垂直接触面８ａと径方向ｄ２とがなす角度θは、９０°には限られない。図９に示すように、角度θが９０°にはなっていなくてもよい。また、第２実施形態における接触面８は垂直接触面８ｂを含まない。この場合の非垂直接触面８ａと径方向ｄ２とがなす角度θは、４５°超であることが好ましい。これにより、角度θが４５°以下の場合に比べて、内部電極４と保持部材６の外部の物体との間の沿面距離をさらに長くすることができる。

（第３実施形態）
図１０は、第３実施形態に係る照射器具１０を示す断面図である。図１０に示す例において、非垂直接触面８ａは、第１非垂直接触面８ａ１と、第１非垂直接触面８ａ１から径方向ｄ２に離間した第２非垂直接触面８ａ２と、を含む。本実施形態においては、第１非垂直接触面８ａ１及び第２非垂直接触面８ａ２のそれぞれが、軸線Ｏ１を中心として内部電極４を囲っている。非垂直接触面８ａが第１非垂直接触面８ａ１と第２非垂直接触面８ａ２とを含むことによって、内部電極４と保持部材６の外部の物体との間の沿面距離をさらに長くすることができる。

（第４実施形態）
上述の実施形態では、非垂直接触面８ａが、軸線Ｏ１を中心として内部電極４を囲っている例について説明した。しかしながら、非垂直接触面８ａの形態は、これに限られない。図１１は、第４実施形態に係る第１部材６ａ及び第２部材６ｂの斜視図である。図１２は、第４実施形態に係る照射器具１０を、端子部４ａを通る軸線Ｏ１に垂直な面で切断した断面図である。

図１１及び図１２に示す例における保持部材６においては、第１部材６ａと第２部材６ｂとを接触させた際に、軸線Ｏ１を中心とした周方向の一部に、非垂直接触面８ａが形成される。図１２に示す例において、非垂直接触面８ａは、径方向ｄ２における端子部４ａの外方に位置する。この場合、非垂直接触面８ａによって、端子部４ａと保持部材６の外部の物体との短絡を効果的に抑制できる。

（第５実施形態）
上述の実施形態では、第１部材６ａ及び第２部材６ｂが略筒状の形状を有し、第１部材６ａと第２部材６ｂとを接触させて収容空間６ｄを形成する際には第１部材６ａと第２部材６ｂとが軸線方向ｄ１に並ぶ例について説明した。しかしながら、第１部材６ａ及び第２部材６ｂの形態は、互いに接触することによって、収容空間６ｄと、非垂直接触面８ａを含む接触面８とを形成する限り、特に限られない。一例として、第１部材６ａと第２部材６ｂとは、ともに半円筒形状を有する。この場合、第１部材６ａと第２部材６ｂとを接触させることによって円筒形状を形成することができ、該円筒形状の内部を収容空間６ｄとすることができる。

（第６実施形態）
上述の実施形態では、外部電極５が電気的に接地されている例について説明した。しかしながら、外部電極５の形態はこれに限られず、外部電極５にも電圧が印加されてもよい。一例として、内部電極４と外部電極５とに、半周期だけずらされた交流が印加される。この場合、上述した内部電極４と接触面８との位置関係は、特に矛盾しない限り、外部電極５と接触面８との位置関係に適用されてもよい。

本発明の態様は、上述した個々の実施形態に限定されるものではなく、当業者が想到しうる種々の変形も含むものであり、本発明の効果も上述した内容に限定されない。すなわち、特許請求の範囲に規定された内容およびその均等物から導き出される本発明の概念的な思想と趣旨を逸脱しない範囲で種々の追加、変更および部分的削除が可能である。
本発明の照射器具は、外部電極を備えずに、内部電極への電圧印加でプラズマを生成するものであってもよい。

１…ノズル、２…外筒部材、３…管状誘電体、３ａ…内空部、４…内部電極、４ａ…端子部、４ｂ…拡径部、５…外部電極、６…保持部材、６ａ…第１部材、６ｂ…第２部材、６ｃ…第３部材、６ｄ…収容空間、７…電極保持体、８…接触面、８ａ…非垂直接触面、８ｂ…垂直接触面、１０…照射器具、２０…供給器、３０…接続ケーブル、３２…電圧供給線、３４…接地線、３６…ガス管路、７０…供給源、８０…報知部、９０…制御部（演算部）、１００…プラズマ装置（活性ガス照射装置）

Claims (12)

1. プラズマを生成するために電圧が印加される柱状の内部電極と、前記内部電極を保持する保持部材と、を備え、
   前記保持部材は、第１部材及び第２部材を備え、
   前記第１部材と前記第２部材とが接触するように組み合わされ、その内部に形成された収容空間に前記内部電極の少なくとも一部が収容された状態で、前記内部電極の前記収容空間に収容された部分が前記内部電極の軸線方向において前記第１部材と前記第２部材とで挟まれることにより前記保持部材によって保持され、
   前記第１部材と前記第２部材との接触面は、前記内部電極の軸線に垂直な面と交差する非垂直接触面を含む、照射器具。
2. 前記軸線に沿った断面における前記非垂直接触面と前記軸線に垂直な径方向とがなす角度θが４５°超である、請求項１に記載の照射器具。
3. 前記非垂直接触面は、前記軸線周りに前記内部電極を囲うように形成されている、請求項１又は２に記載の照射器具。
4. 前記非垂直接触面は、第１非垂直接触面と、前記第１非垂直接触面から前記軸線に垂直な径方向に離間した第２非垂直接触面と、を含む、請求項１〜３のいずれか一項に記載の照射器具。
5. 前記内部電極は、外部の電力源と接続される端子部を有し、
   前記非垂直接触面は、前記軸線に垂直な径方向における前記端子部の外方に位置する、請求項１〜４のいずれか一項に記載の照射器具。
6. 前記接触面は、前記軸線に垂直な垂直接触面を含み、
   前記垂直接触面は、前記内部電極の軸線方向における前記端子部が位置する領域とは異なる領域に位置する、請求項５に記載の照射器具。
7. 前記内部電極は、直径が最も大きい拡径部を有し、
   前記非垂直接触面は、前記軸線に垂直な径方向における前記拡径部の外方に位置する、請求項１〜６のいずれか一項に記載の照射器具。
8. 前記接触面は、前記軸線に垂直な垂直接触面を含み、
   前記垂直接触面は、前記内部電極の軸線方向における前記拡径部が位置する領域とは異なる領域に位置する、請求項７に記載の照射器具。
9. 前記保持部材には、前記内部電極の一部に対向するように外部電極が取り付けられ、
   前記非垂直接触面は、前記内部電極の軸線方向において前記外部電極が位置する領域とは異なる領域に位置する、請求項１〜８のいずれか一項に記載の照射器具。
10. 電気的に接地され且つ前記内部電極の全体を収容する外筒部材を備え、
    前記非垂直接触面は、前記内部電極と前記外筒部材との間に位置する、請求項１〜９のいずれか一項に記載の照射器具。
11. 請求項１０に記載の照射器具を備える、プラズマ装置。
12. プラズマを生成するために電圧が印加される柱状の内部電極を保持する保持部材であって、
    前記保持部材は、第１部材及び第２部材を備え、
    前記第１部材と前記第２部材とが互いに接触するように組み合わされて、その内部に前記内部電極の一部が収容される収容空間が形成され、
    前記収容空間に前記内部電極の少なくとも一部を収容した状態で、前記内部電極の前記収容空間に収容した部分を前記内部電極の軸線方向において前記第１部材と前記第２部材とで挟み込んで保持し、
    前記第１部材と前記第２部材との接触面は、前記内部電極の軸線に垂直な面と交差する非垂直接触面を含む、保持部材。

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