JP2020047530A - プラズマ照射装置 - Google Patents

Abstract

【課題】第１端子と第２端子とを着脱する際に第１端子と第２端子との間に火花が発生するのを抑制したプラズマ照射装置を提供する。【解決手段】プラズマ照射装置１は、第１端子４６が設けられたプラズマ発生部を有し、第１端子に印加された電力に基づいてプラズマ発生部にて発生したプラズマ及びプラズマによって生じる活性ガスの少なくとも一方を吐出する照射器具と、第１端子に着脱可能な第２端子２５と、第１端子及び第２端子が互いに接触している第１接触状態Ｐ１１のときに第１端子と第２端子との間に電力を印加し、第１端子及び第２端子が、互いに離間している第１離間状態と第１接触状態との間で切り替わるときに第１端子と第２端子との間に電力を印加しない供給部６０と、を備える。【選択図】図５

Description

本発明は、プラズマ照射装置に関する。

従来、例えば、歯科治療等の医療を用途とするプラズマ照射装置が知られている。
プラズマ照射装置は、創傷等の患部にプラズマ又は活性ガスを照射することで、患部を治癒する。前記活性ガスは、プラズマ照射装置内でプラズマによって発生させられる。

例えば、特許文献１は、歯科治療を行うプラズマジェット照射装置を開示している。前記プラズマジェット照射装置は、プラズマジェット照射手段を有する照射器具を備えている。前記プラズマジェット照射装置は、発生したプラズマと、活性種と、を被照射物に照射する。前記活性種は、プラズマ中の気体又はプラズマ周辺の気体とプラズマとが反応して生成される。
特許文献２は、照射器具内部で活性ガス（活性種）を発生させ、その活性ガスをノズルから吐出して患部に照射するプラズマ照射装置を開示している。前記活性ガスは、例えば、活性酸素や活性窒素等である。

特許第５４４１０６６号公報 特開２０１７−５０２６７号公報

しかしながら、この種のプラズマ照射装置では、プラズマ発生部でプラズマ及び活性ガスの少なくとも一方を発生するには、プラズマ発生部に例えば１万Ｖ（ボルト）程度の高い電圧を印加する必要がある。この高い電圧を伝送する経路を構成する第１端子及び第２端子を着脱すると、第１端子と第２端子との間に火花（スパーク）が発生する恐れがある。

本発明は、このような問題点に鑑みてなされたものであって、第１端子と第２端子とを着脱する際に第１端子と第２端子との間に火花が発生するのを抑制したプラズマ照射装置を提供することを目的とする。

上記課題を解決するために、この発明は以下の手段を提案している。
本発明のプラズマ照射装置は、第１端子が設けられたプラズマ発生部を有し、前記第１端子に印加された電力に基づいて前記プラズマ発生部にて発生したプラズマ及び前記プラズマによって生じる活性ガスの少なくとも一方を吐出する照射器具と、前記第１端子に着脱可能な第２端子と、前記第１端子及び前記第２端子が互いに接触している第１接触状態のときに前記第１端子と前記第２端子との間に電力を印加し、前記第１端子及び前記第２端子が、互いに離間している第１離間状態と前記第１接触状態との間で切り替わるときに前記第１端子と前記第２端子との間に電力を印加しない供給部と、を備えることを特徴としている。

この発明によれば、第１端子及び第２端子が第１接触状態のときには、供給部により、第１端子と第２端子との間に電力が印加される。そして、第１端子に電力が印加されたプラズマ発生部から、プラズマ及び活性ガスの少なくとも一方が吐出される。
一方で、第１端子及び第２端子が第１離間状態と第１接触状態との間で切り替わるときに、供給部は第１端子と第２端子との間に電力を印加しないため、第１端子と第２端子とを着脱する際に、第１端子と第２端子との間に火花が発生するのを抑制することができる。

また、上記のプラズマ照射装置において、前記供給部は、前記第１端子及び前記第２端子が、前記第１接触状態から前記第１離間状態に切り替わるよりも前に、前記第１端子と前記第２端子との間の電力の印加を停止してもよい。
この発明によれば、第１端子及び第２端子が第１接触状態から第１離間状態に切り替わる際に、第１端子と第２端子との間に火花が発生するのをより確実に抑制することができる。

また、上記のプラズマ照射装置において、前記プラズマ発生部には第３端子が設けられ、前記プラズマ発生部は、前記第１端子と前記第３端子との間に印加された電力に基づいて前記プラズマ発生部にて発生した前記プラズマ及び前記活性ガスの少なくとも一方を吐出し、前記第３端子に着脱可能な第４端子を備え、前記供給部は、前記第１端子及び前記第２端子が前記第１接触状態であり、かつ前記第３端子及び前記第４端子が互いに接触している第２接触状態のときに、前記第１端子及び前記第３端子を介して、前記第２端子と前記第４端子との間に電力を印加し、前記第３端子及び前記第４端子が互いに離間している状態を第２離間状態としたときに、前記第１端子及び前記第２端子が前記第１離間状態と前記第１接触状態との間で切り替わるときに前記第２端子と前記第４端子との間に電力を印加しないこと、及び、前記第３端子及び前記第４端子が前記第２離間状態と前記第２接触状態との間で切り替わるときに前記第２端子と前記第４端子との間に電力を印加しないこと、の少なくとも一方を行ってもよい。

この発明によれば、第１端子から第４端子が第１、第２接触状態のときには、供給部により、第１端子及び第３端子を介して、第２端子と第４端子との間に電力が印加される。そして、第１端子と第３端子との間に電力が印加されたプラズマ発生部から、プラズマ及び活性ガスの少なくとも一方が吐出される。
一方で、供給部は、第１端子及び第２端子が第１離間状態と第１接触状態との間で切り替わるときに第２端子と第４端子との間に電力を印加しないこと、及び、第３端子及び第４端子が第２離間状態と第２接触状態との間で切り替わるときに第２端子と第４端子との間に電力を印加しないこと、の少なくとも一方を行う。このため、第１，第３端子と第２，第４端子とを着脱する際に、第１，第３端子と第２，第４端子との間に火花が発生するのを抑制することができる。

本発明のプラズマ照射装置によれば、第１端子と第２端子とを着脱する際に、第１端子と第２端子との間に火花が発生するのを抑制することができる。

本発明の第１実施形態の活性ガス照射装置を示す模式図である。 同活性ガス照射装置の概略構成を示すブロック図である。 同活性ガス照射装置を構成する照射器具の縦断面図である。 図３の照射器具の切断線Ａ１−Ａ１による断面図である。 同活性ガス照射装置の配線側コネクタと筐体側コネクタとが互いに接続された状態の要部を模式的に示す断面図である。 同活性ガス照射装置の筐体側コネクタから配線側コネクタが引き抜かれる途中の状態の要部を模式的に示す断面図である。 同活性ガス照射装置の筐体側コネクタから配線側コネクタが引き抜かれた状態の要部を模式的に示す断面図である。 本発明の第２実施形態の活性ガス照射装置における配線側コネクタと筐体側コネクタとが互いに接続された状態の要部を模式的に示す断面図である。 同活性ガス照射装置の筐体側コネクタから配線側コネクタが引き抜かれる途中の状態の要部を模式的に示す断面図である。 同活性ガス照射装置の筐体側コネクタから配線側コネクタが引き抜かれた状態の要部を模式的に示す断面図である。 本発明の第３実施形態の活性ガス照射装置における供給ユニットと電気配線との接続部分の斜視図である。 同活性ガス照射装置の配線側コネクタと筐体側コネクタとが互いに接続された状態の要部を模式的に示す断面図である。 同活性ガス照射装置の筐体側コネクタから配線側コネクタが引き抜かれた状態の要部を模式的に示す断面図である。 本発明の第３実施形態の変形例の活性ガス照射装置における配線側コネクタと筐体側コネクタとが互いに接続された状態の要部を模式的に示す断面図である。 同活性ガス照射装置における筐体側コネクタから配線側コネクタが引き抜かれた状態の要部を模式的に示す断面図である。

（第１実施形態）
以下、本発明に係るプラズマ照射装置の第１実施形態を、図１から図７を参照しながら説明する。
本実施形態のプラズマ照射装置は、プラズマジェット照射装置又は活性ガス照射装置である。
プラズマジェット照射装置は、プラズマを発生させる。プラズマジェット照射装置は、発生したプラズマと、活性種と、を被照射者（被照射物）に直接照射する。前記活性種は、プラズマ中の気体又はプラズマ周辺の気体とプラズマとが反応して生成される。活性種としては、活性酸素種や活性窒素種を例示できる。活性酸素種としては、ヒドロキシルラジカル、一重項酸素、オゾン、過酸化水素、スーパーオキシドアニオンラジカル等を例示できる。活性窒素種としては、一酸化窒素、二酸化窒素、ペルオキシナイトライト、過酸化亜硝酸、三酸化二窒素等を例示できる。
一方で、活性ガス照射装置は、プラズマを発生させる。活性ガス照射装置は、活性種を含む活性ガスを被照射者に照射する。前記活性種は、プラズマ中の気体又はプラズマ周辺の気体とプラズマとが反応して生成される。
以下、プラズマ照射装置が活性ガス照射装置である場合を例にとって説明する。

図１及び図２に示すように、本実施形態の活性ガス照射装置１は、照射器具１０と、供給ユニット２０と、ガス供給部３０と、連結部材４０と、電力供給部（供給部）６０（図５参照）と、制御部７０と、を備えている。

照射器具１０は、照射器具１０内で発生した活性ガスを吐出する。
供給ユニット２０は、照射器具１０に電力及びプラズマ発生用ガスを供給する。プラズマ発生用ガスとしては、例えば、ヘリウム、ネオン、アルゴン、クリプトン等の希ガス；窒素；等を例示できる。これらのガスは、１種単独で供給されてもよいし、２種以上を組み合わせて供給されてもよい。
プラズマ発生用ガスは、窒素を主成分とすることが好ましい。ここで、窒素を主成分とするとは、プラズマ発生用ガスにおける窒素の含有量が５０体積％超であることをいう。

供給ユニット２０は、ガス供給部３０を収容している。ガス供給部３０は、プラズマ発生用ガスを収容している。
連結部材４０は、ガス管路４１と、電気配線４２と、を備えている。
ガス管路４１は、照射器具１０と供給ユニット２０とを連結している。電気配線４２は、照射器具１０と供給ユニット２０とを連結している。
本実施形態において、ガス管路４１と電気配線４２とは、各々独立しているが、ガス管路４１と電気配線４２とは一体でもよい。

図１に示すように、ガス管路４１は、供給ユニット２０から照射器具１０にプラズマ発生用ガスを供給する経路である。ガス管路４１は、照射器具１０に接続されている。
ガス管路４１の材料は特に制限はなく、公知のガス管に用いる材料を適用できる。ガス管路４１の材料としては、例えば、樹脂製の配管、ゴム製のチューブ等を例示でき、可撓性を有する材料が好ましい。

電気配線４２は、供給ユニット２０から照射器具１０に電力を供給する配線である。
電気配線４２の材料は特に制限はなく、公知の電気配線に用いる材料を適用できる。電気配線４２の材料としては、絶縁材料で被覆した金属製の導線等を例示できる。図５に示すように、電気配線４２は、第１導線４２ａ及び第３導線４２ｂを備えている。

電気配線４２における供給ユニット２０に接続された端部には、配線側コネクタ４４が固定されている。例えば、配線側コネクタ４４は、コネクタ本体４５と、第１端子４６と、第３端子４７と、を備えている。
コネクタ本体４５は、樹脂等の電気的な絶縁性を有する材料で所定の方向に延びる軸状に形成されている。この例では、コネクタ本体４５は直方体状であるが、コネクタ本体４５の形状はこれに限定されず、円柱状等でもよい。
コネクタ本体４５には、それぞれが前記所定の方向に延び、かつ外部に露出する第１外面４５ａ、第２外面４５ｂが形成されている。第１外面４５ａ及び第２外面４５ｂは、コネクタ本体４５における互いに反対側となる面である。第１外面４５ａと第２外面４５ｂとは、前記所定の方向に直交する方向に互いに離間している。
電気配線４２は、コネクタ本体４５の前記所定の方向における第１の側の端部に固定されている。
第２外面４５ｂにおける、前記所定の方向における第１の側とは反対の第２の側の端部には、前記第２の側に向かうに従い漸次、第１外面４５ａに近づくように傾斜した傾斜面４５ｃが形成されている。

第１端子４６及び第３端子４７は、コネクタ本体４５の第１外面４５ａに固定されている。端子４６，４７における外部に露出する接触面は、それぞれ前記所定の方向に延びている。端子４６，４７は、導電性を有する材料で形成されている。
端子４６，４７の間は、電気的に絶縁されている。端子４６，４７は、それぞれの接触面が第１外面４５ａに面一になるように配置されている。
第１端子４６には電気配線４２の第１導線４２ａが電気的に接続され、第３端子４７には第３導線４２ｂが電気的に接続されている。

図３は、照射器具１０における軸線に沿う面の断面（縦断面）図である。
図３に示すように、照射器具１０は、長尺状のカウリング１１と、カウリング１１内に位置するプラズマ発生部１２と、カウリング１１の先端から突出するノズル１６と、を備えている。
カウリング１１は、円筒形の胴体部１１ｂと、胴体部１１ｂの先端を塞ぐヘッド部１１ａとを備えている。なお、胴体部１１ｂは、円筒形に限らず、四角筒、六角筒、八角筒等の多角筒形でもよい。

胴体部１１ｂの材料は、特に制限はないが、絶縁性を有する材料が好ましい。胴体部１１ｂは、電気絶縁性の材料のみで形成されてもよいし、電気絶縁性の材料とその表面に金属材料の層を有する多層構造でもよい。
絶縁性の材料としては、熱可塑性樹脂、熱硬化性樹脂等を例示できる。熱可塑性樹脂としては、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリ塩化ビニル、ポリスチレン、アクリロニトリル−ブタジエン−スチレン樹脂（ＡＢＳ樹脂）等を例示できる。熱硬化性樹脂としては、フェノール樹脂、メラミン樹脂、ユリア樹脂、エポキシ樹脂、不飽和ポリエステル樹脂、シリコン樹脂等を例示できる。
金属材料としては、ステンレス、チタン、アルミニウム等が挙げられる。
胴体部１１ｂの大きさは、特に制限はなく、手指で把持しやすい大きさとすることができる。
胴体部１１ｂは、外周面に操作スイッチ１１ｅ（操作部）を備えている。なお、操作スイッチ１１ｅは、照射器具１０に設けられず、供給ユニット２０に設けられたり、フットスイッチとして設けられたりしてもよい。

ヘッド部１１ａは、先端に向かい漸次窄んでいる。即ち、本実施形態におけるヘッド部１１ａは、円錐形である。なお、ヘッド部１１ａは、円錐形に限らず、四角錘、六角錘、八角錘等の多角錘形でもよい。
ヘッド部１１ａは、管軸Ｏ１方向に延びる第１の活性ガス流路１１ｃを内部に有している。管軸Ｏ１は、胴体部１１ｂの管軸である。
ヘッド部１１ａは、先端に嵌合孔１１ｄを有している。嵌合孔１１ｄは、ノズル１６を受け入れる孔である。嵌合孔１１ｄの内径は、第１の活性ガス流路１１ｃの内径よりも大きい。ノズル１６は、ヘッド部１１ａに着脱可能になっている。
ヘッド部１１ａの材料は、特に制限はなく、絶縁性を有してもよいし、絶縁性を有しなくてもよい。ヘッド部１１ａと胴体部１１ｂとの材料は、同じでもよく、異なってもよい。
ヘッド部１１ａの材料は、耐摩耗性、耐腐食性に優れる材料が好ましい。耐摩耗性、耐腐食性に優れる材料としては、ステンレス等の金属を例示できる。

図３及び図４に示すように、プラズマ発生部１２は、管状誘電体１３（誘電体）と、内部電極１４と、外部電極１５とを備えている。
管状誘電体１３は、管軸Ｏ１方向に延びる円筒状の部材である。管状誘電体１３は、管軸Ｏ１方向に延びるガス流路１３ａを内部に有している。ガス流路１３ａと第１の活性ガス流路１１ｃとは連通している。なお、管軸Ｏ１は、管状誘電体１３の管軸と同じである。
管状誘電体１３の材料としては、公知のプラズマ装置に使用する誘電体材料を適用できる。管状誘電体１３の材料としては、例えば、ガラス、セラミックス、合成樹脂等を例示できる。管状誘電体１３の誘電率は低いほど好ましい。

管状誘電体１３は、内部に内部電極１４を備えている。内部電極１４は、管軸Ｏ１方向に延びる略円柱状の部材である。内部電極１４は、管状誘電体１３の内面と離間している。
内部電極１４は、管軸Ｏ１方向に延びる軸部と、軸部の外周面のねじ山とを備える。軸部は、中実でもよいし、中空でもよい。中でも、軸部は中実が好ましい。軸部が中実であれば、加工が容易であり、かつ機械的な耐久性を高められる。
内部電極１４のねじ山は、軸部の周方向に周回する螺旋状のねじ山である。内部電極１４の形態は、雄ねじと同様の形態である。
内部電極１４は、外周面にねじ山を有することにより、ねじ山先端部の電界が局所的に強くなり、放電開始電圧が低くなる。このため、低電力でプラズマを生成し、維持できる。
なお、内部電極１４は、外周面にねじ山等の凹凸を有しなくてもよい。即ち、内部電極１４は、外周面に凹凸を有しない円柱の部材でもよい。

内部電極１４の材料は、導電材であれば特に制限はなく、公知のプラズマ装置の電極に使用できる金属を適用できる。内部電極１４の材料としては、ステンレス、銅、タングステン等の金属、カーボン等を例示できる。

管状誘電体１３の外周面の一部には、内部電極１４に沿う外部電極１５を備えている。外部電極１５は、管状誘電体１３の外周面に沿って周回する環状の電極である。
外部電極１５の材料は、導電材であれば特に制限はなく、公知のプラズマ装置の電極に使用する金属を適用できる。外部電極１５の材料としては、ステンレス、銅、タングステン等の金属、カーボン等を例示できる。

図４に示すように、管状誘電体１３と内部電極１４と外部電極１５とは、管軸Ｏ１を中心として同心円状に位置している。
本実施形態において、内部電極１４の外周面と外部電極１５の内周面とは、管状誘電体１３を挟んで互いに対向している。

例えば、前述の第１導線４２ａは、操作スイッチ１１ｅを介して内部電極１４に電気的に接続されている。第３導線４２ｂは、外部電極１５に電気的に接続されている。すなわち、プラズマ発生部１２には、導線４２ａ，４２ｂを介して端子４６，４７が接続されている。

プラズマ発生部１２は、カウリング１１から離脱可能である。プラズマ発生部１２は、例えば、カウリング１１から管軸Ｏ１方向に引き抜かれる。例えば、カウリング１１をヘッド部１１ａと胴体部１１ｂとに分解した後、プラズマ発生部１２が、胴体部１１ｂに対して前側に引き抜かれるようにプラズマ発生部１２を構成してもよい（なお、管軸Ｏ１方向に沿ってヘッド部１１ａ側を前側とする）。
例えば、プラズマ発生部１２が破損した場合などには、カウリング１１からプラズマ発生部１２を離脱させた後、新たなプラズマ発生部１２をカウリング１１に装着することができる。このとき、新たなプラズマ発生部１２は、カウリング１１に対して管軸Ｏ１方向に差し込むことができる。

図３に示すように、ノズル１６は、嵌合孔１１ｄに嵌合する台座部１６ａと、台座部１６ａから突出する照射管１６ｂと、を備えている。照射管１６ｂは、管軸Ｏ１に対して傾斜している。台座部１６ａと照射管１６ｂとは一体になっている。
ノズル１６は、その内部に、第２の活性ガス流路１６ｃを有している。第２の活性ガス流路１６ｃは、ノズル１６の前側の端部で開口している。第２の活性ガス流路１６ｃと、ヘッド部１１ａの第１の活性ガス流路１１ｃとは、互いに連通している。
ノズル１６の材料は、特に制限はなく、絶縁性を有してもよいし、導電性を有してもよい。ノズル１６の材料としては、耐摩耗性、耐腐食性に優れる材料が好ましい。耐摩耗性及び耐腐食性に優れる材料としては、ステンレス鋼等の金属を例示できる。

図１に示すような供給ユニット２０は、照射器具１０に電力及びプラズマ発生用ガスを供給する。
供給ユニット２０は、ガス供給部３０を収容する筐体２１を備えている。例えば、筐体２１は、外形が直方体の箱状に形成されている。筐体２１は、ガス供給部３０を離脱可能に収容する。これにより、筐体２１に収容されたガス供給部３０内のプラズマ発生用ガスがなくなったとき、ガス供給部３０を交換することができる。

ガス供給部３０は、プラズマ発生部１２にプラズマ発生用ガスを供給する。ガス供給部３０は、内部にプラズマ発生用ガスが収容された耐圧容器である。図２に示すように、ガス供給部３０は、筐体２１内に配置された配管３５に対して着脱可能に装着されている。配管３５は、ガス供給部３０とガス管路４１とを接続している。
配管３５には、電磁弁３１、圧力レギュレータ３２、及び流量コントローラ３３が取り付けられている。

電磁弁３１が開状態となると、ガス供給部３０から配管３５及びガス管路４１を介して照射器具１０にプラズマ発生用ガスが供給される。図示の例では、電磁弁３１は、弁開度が調節できる構成ではなく、開閉の切り替えのみができる構成である。なお電磁弁３１は、弁開度が調節できる構成であってもよい。
圧力レギュレータ３２は、電磁弁３１とガス供給部３０との間に配置されている。圧力レギュレータ３２は、ガス供給部３０から電磁弁３１に向かうプラズマ発生用ガスの圧力を低下（プラズマ発生用ガスを減圧）させる。

流量コントローラ３３は、電磁弁３１とガス管路４１との間に配置されている。流量コントローラ３３は、電磁弁３１を通過したプラズマ発生用ガスの流量（単位時間当たりの供給量）を調整する。流量コントローラ３３は、プラズマ発生用ガスの流量を、例えば３Ｌ／ｍｉｎに調整する。

配管３５のガス供給部３０側の端部には、継手３４が設けられている。継手３４には、ガス供給部３０が着脱可能に装着されている。ガス供給部３０を継手３４に着脱させることで、電磁弁３１、圧力レギュレータ３２、及び流量コントローラ３３（以下、「電磁弁３１等」という。）を筐体２１に固定したまま、ガス供給部３０を交換することができる。
この場合、交換前のガス供給部３０、交換後のガス供給部３０のいずれについても共通の電磁弁３１等を使用することができる。なお電磁弁３１等は、ガス供給部３０に固定され、ガス供給部３０と一体的に筐体２１から離脱可能であってもよい。

図５に示すように、筐体２１には筐体側コネクタ２３が取付けられるとともに、電力供給部６０が内蔵されている。
筐体側コネクタ２３は、コネクタ本体２４と、第２端子２５と、第４端子２６と、を備えている。コネクタ本体２４は、筐体２１に形成された開口（符号省略）に取付けられている。コネクタ本体２４は、筐体２１の外面から配線側コネクタ４４のコネクタ本体４５に対応する形状に凹んでいる。コネクタ本体２４には、それぞれが前記所定の方向に延び、かつコネクタ本体２４内に露出する第１内面２４ａ、第２内面２４ｂが形成されている。第１内面２４ａ及び第２内面２４ｂは、コネクタ本体２４における互いに対向する内面である。第１内面２４ａと第２内面２４ｂとは、前記所定の方向に直交する方向に互いに離間している。第１内面２４ａと第２内面２４ｂとの距離は、配線側コネクタ４４の第１外面４５ａと第２外面４５ｂとの距離よりも長い。

第２端子２５及び第４端子２６は、コネクタ本体２４の第１内面２４ａに固定されている。端子２５，２６におけるコネクタ本体２４内に露出する接触面は、それぞれ前記所定の方向に延びている。端子２５，２６は、導電性を有する材料で形成されている。端子２５，２６の間は、電気的に絶縁されている。
端子２５，２６の前記所定の方向の長さ、及び端子４６，４７の前記所定の方向の長さは、互いに同程度である。

配線側コネクタ４４のコネクタ本体４５の先端面が、コネクタ本体２４の凹部の底面に接触しているときには、配線側コネクタ４４の第１端子４６は筐体側コネクタ２３の第２端子２５に接触し、配線側コネクタ４４の第３端子４７は筐体側コネクタ２３の第４端子２６に接触している。以下では、
第１端子４６及び第２端子２５が互いに接触している状態を、第１接触状態Ｐ１１と言う。第３端子４７及び第４端子２６が互いに接触している状態を、第２接触状態Ｐ２１と言う。
一方で、図７に示すように、コネクタ本体２４内からコネクタ本体４５を引き抜くことにより、筐体側コネクタ２３から配線側コネクタ４４を取り外し、端子２５，２６から端子４６，４７を離間させることができる。以下では、第１端子４６及び第２端子２５が互いに離間している状態を、第１離間状態Ｐ１２と言う。第３端子４７及び第４端子２６が互いに離間している状態を、第２離間状態Ｐ２２と言う。
第１端子４６、第３端子４７は、第２端子２５、第４端子２６に着脱可能である。

図５に示すように、筐体２１内において、第２内面２４ｂにおける筐体２１の開口から離間した端部には、収容部２８が形成されている。収容部２８は、コネクタ本体２４内と連通している。

電力供給部６０は、電力を出力可能な電力供給源６１と、接触検出部６２と、を備えている。
電力供給源６１は、例えば、１００Ｖ（ボルト）の家庭用電源等の電源（不図示）と接続される。電力供給源６１は、入力された電圧を、例えば１万Ｖ程度の高い電圧に昇圧する。電力供給源６１は、符号を省略した出力端子及び入力端子を備えている。電力供給源６１は、昇圧した電圧による電力を出力端子から出力する。

電力供給源６１の入力端子には、Ｈｉｇｈの状態（電圧が高い）又はＬｏｗの状態（電圧が低い）の信号が入力される。電力供給源６１から電力が出力されるのは、入力端子にＨｉｇｈの状態の信号が入力されたときだけである。
電力供給源６１と第２端子２５とは、第２導線６４ａにより電気的に接続されている。電力供給源６１と第４端子２６とは、第４導線６４ｂにより電気的に接続されている。
電力供給源６１は制御部７０に接続され、制御部７０により制御される。

接触検出部６２は、いわゆる機械的な方式により端子４６，４７，２５，２６の接触を検出するセンサであり、支持部６２ａと、接触部６２ｂと、を備えている。
支持部６２ａは、収容部２８の内面に固定されている。支持部６２ａには、図示しないリミットスイッチ及び付勢部材が内蔵されている。リミットスイッチは、支持部６２ａに対する接触部６２ｂの位置に応じて、Ｈｉｇｈの状態又はＬｏｗの状態の信号を出力する。リミットスイッチは、リード線６５により電力供給源６１の入力端子に電気的に接続されている。
接触部６２ｂは、リミットスイッチに接続されている。接触部６２ｂは、コネクタ本体４５の第２外面４５ｂに接触した状態で、付勢部材により第２外面４５ｂに向かって付勢されている。
コネクタ本体２４の凹部の底面と接触部６２ｂとの前記所定の方向のピッチは、端子４６，４７，２５，２６の前記所定の方向の長さよりも短い。

図５に示すように、筐体側コネクタ２３と配線側コネクタ４４とが接続されていて、端子４６，４７，２５，２６が接触状態Ｐ１１，Ｐ２１のときには、接触部６２ｂは付勢部材の付勢力に抗して支持部６２ａ側に押し込まれている。このとき、リミットスイッチは、Ｈｉｇｈの状態の信号を出力する。
電力供給部６０は、端子４６，４７，２５，２６が接触状態Ｐ１１，Ｐ２１のときに、第１端子４６及び第３端子４７を介して、第２端子２５と第４端子２６との間に電力を印加する。

図２に示すような制御部７０は、情報処理装置を用いて構成される。すなわち、制御部７０は、バスで接続されたＣＰＵ（Ｃｅｎｔｒａｌ Ｐｒｏｃｅｓｓｏｒ Ｕｎｉｔ）、メモリ、及び補助記憶装置を備える。制御部７０は、プログラムを実行することによって動作する。
制御部７０は、例えば、供給ユニット２０に内蔵されていてもよい。制御部７０は、照射器具１０及び供給ユニット２０を制御する。

制御部７０には、照射器具１０の操作スイッチ１１ｅが電気的に接続されている。操作スイッチ１１ｅが操作されると、操作スイッチ１１ｅから制御部７０に電気信号が送られる。制御部７０が前記電気信号を受け付けると、制御部７０は電磁弁３１及び流量コントローラ３３を作動させ、かつ内部電極１４と外部電極１５との間に電圧を印加する。

本実施形態では、操作スイッチ１１ｅが押釦であり、例えば医師等の使用者が操作スイッチ１１ｅを１回押したときに、制御部７０が前記電気信号を受け付ける。
すると制御部７０が、電磁弁３１を所定の時間、開放して電磁弁３１を通過したプラズマ発生用ガスの流量を流量コントローラ３３に調整させ、かつ内部電極１４と外部電極１５との間に電圧を所定の時間、印加する。その結果、ガス供給部３０からプラズマ発生部１２に一定量のプラズマ発生用ガスが供給され、照射器具１０から活性ガスが一定時間（例えば、数秒から数十秒程度、本実施形態では３０秒）、継続して吐出される。

次に、以上のように構成された活性ガス照射装置１の使用方法について説明する。
なお、活性ガス照射装置１を使用する被照射物としては、例えば、細胞、生体組織、生物個体等を例示できる。
生体組織としては、各器官（内蔵等）、体表や体腔の内面を覆う上皮組織、歯周組織（歯肉、歯槽骨、歯根膜、セメント質等）、歯、骨等を例示できる。活性ガスの照射によって処理可能な疾患及び症状としては、例えば、歯肉炎、歯周病等の口腔内の疾患、皮膚の創傷等を例示できる。
生物個体としては、哺乳類（ヒト、犬、猫、豚等）、鳥類、魚類等を例示できる。
標識組成物を塗布する領域（塗布領域）は、治療対象となる領域である。即ち、塗布領域は、患部の一部又は全部の領域、患部を含む広範囲の領域である。
以下では、被照射物が犬であり、犬の歯周組織の治療をする場合を例にとって説明する。

獣医師等である使用者は、例えば台の上に犬を載せる。このとき、犬の口を開いた状態にしておく。予め、端子４６，４７，２５，２６は接触状態Ｐ１１，Ｐ２１になっている。
使用者は、照射器具１０を手に持ち、照射器具１０の操作スイッチ１１ｅを押す。すると、電力供給源６１は第２端子２５と第４端子２６との間に電力を印加し、電力供給源６１から端子２５，２６に接触している端子４６，４７、及び導線４２ａ，４２ｂを介して、照射器具１０に電力が印加される。ガス供給部３０から配管３５及びガス管路４１を介して、照射器具１０にプラズマ発生用ガスが供給される。
照射器具１０に供給したプラズマ発生用ガスは、プラズマ発生部１２の管状誘電体１３の後端部から管状誘電体１３の内空部に流入する。プラズマ発生用ガスは、内部電極１４と外部電極１５とが対向する位置において電離し、プラズマが発生する。プラズマ発生部１２は、端子４６，４７に供給された電力に基づいてプラズマ発生部１２にて発生したプラズマを吐出する。

本実施形態においては、内部電極１４と外部電極１５とが、プラズマ発生用ガスの流れる方向と直交する向きに対向している。内部電極１４の外周面と外部電極１５の内周面とが対向する位置で発生したプラズマは、ガス流路１３ａと、第１の活性ガス流路１１ｃとをこの順に通流する。この間、プラズマは、ガス組成を変化しつつ通流し、プラズマによってラジカル等の活性種を含む活性ガスが生じる。
照射器具１０は、プラズマ及び活性ガス（以下、プラズマ等と言う）をノズル１６の第２の活性ガス流路１６ｃら外部に吐出する。

使用者は、照射器具１０のノズル１６の先端部を犬の口に入れて、ノズル１６の先端部を歯周組織に対向させる。歯周組織の所定の部分に一定時間、プラズマ等を当てて治療を行う。所定の部分の治療が終わったら、歯周組織の他の部分に一定時間、プラズマ等を当てる。こうして、犬の口内の歯周組織全体にわたって治療を行う。

治療中等において、使用者が電気配線４２に引っ掛かる等の原因で、供給ユニット２０の筐体側コネクタ２３から電気配線４２の配線側コネクタ４４が引き抜かれる場合がある。
このとき、図６に示すように、筐体側コネクタ２３から配線側コネクタ４４が前記所定の方向に引き抜かれるに従い、接触検出部６２の接触部６２ｂがコネクタ本体４５の第２外面４５ｂ及び傾斜面４５ｃに接触した状態で移動し、付勢部材の付勢力により接触部６２ｂは支持部６２ａから突出する。

リミットスイッチはＬｏｗの状態の信号を出力し、電力供給源６１は配線側コネクタ４４の第２端子２５と第４端子２６との間の電力の印加を停止する。この時点では、端子４６，４７，２５，２６は接触状態Ｐ１１，Ｐ２１である。
すなわち、電力供給部６０は、端子４６，４７，２５，２６が、接触状態Ｐ１１，Ｐ２１から離間状態Ｐ１２，Ｐ２２に切り替わるよりも前に、端子４６，４７と端子２５，２６との間の電力の印加を停止する。

そして図７に示すように、筐体側コネクタ２３から配線側コネクタ４４が完全に引き抜かれると、第１端子４６と第２端子２５とが離間し、第３端子４７と第４端子２６とが離間する。端子４６，４７，２５，２６は、接触状態Ｐ１１，Ｐ２１から離間状態Ｐ１２，Ｐ２２に切り替わる。
電力供給源６１による電力の印加が停止された後で端子４６，４７，２５，２６が離間状態Ｐ１２，Ｐ２２になるため、第１端子４６と第２端子２５との間、及び第３端子４７と第４端子２６との間に火花が発生するのが抑制される。

一方で、供給ユニット２０の筐体側コネクタ２３に電気配線４２の配線側コネクタ４４を接続する場合には、以下の工程を行う。
すなわち、図６に示すように、筐体側コネクタ２３に配線側コネクタ４４を前記所定の方向に挿入していくと、第１端子４６は第２端子２５に接触し、第３端子４７は第４端子２６に接触する。端子４６，４７，２５，２６は、離間状態Ｐ１２，Ｐ２２から接触状態Ｐ１１，Ｐ２１に切り替わる。このとき、コネクタ本体４５に傾斜面４５ｃが形成されているため、接触検出部６２の接触部６２ｂが確実に傾斜面４５ｃに接触させることができる。

図７に示すように、筐体側コネクタ２３に配線側コネクタ４４をさらに挿入していくと、接触検出部６２の接触部６２ｂがコネクタ本体４５の第２外面４５ｂに接触し、接触部６２ｂは付勢部材の付勢力に抗して支持部６２ａ側に押し込まれる。リミットスイッチはＨｉｇｈの状態の信号を出力し、電力供給源６１は第２端子２５と第４端子２６との間に電力を印加する。照射器具１０は、プラズマ等をノズル１６から外部に吐出する。

なお、電力供給部６０は、第１端子４６及び第２端子２５が第１離間状態Ｐ１２と第１接触状態Ｐ１２との間で切り替わるときに、第２端子２５と第４端子２６との間に電力を印加しないこと、及び、第３端子４７及び第４端子２６が第２離間状態Ｐ２２と第２接触状態Ｐ２１との間で切り替わるときに、第２端子２５と第４端子２６との間に電力を印加しないこと、の少なくとも一方を行う。ここで言う第１端子４６及び第２端子２５が第１離間状態Ｐ１２と第１接触状態Ｐ１２との間で切り替わるときとは、例えば、第２端子２５に対して離間していた第１端子４６が、前記所定の方向に相対的に移動して第２端子２５に接触を開始した位置（図７に示す位置Ｑ）から、前記所定の方向の両側に所定の距離Ｌ１ずつとなる範囲内に位置していることを意味する。この場合、所定の距離Ｌ１は、例えば１ｃｍであり、３ｃｍであることがより好ましく、５ｃｍであることがさらに好ましい
第３端子４７及び第４端子２６が第２離間状態Ｐ２２と第２接触状態Ｐ２１との間で切り替わるときについても、同様のこと意味する。

端子４６，４７，２５，２６が離間状態Ｐ１２，Ｐ２２で、かつ第２端子２５と第４端子２６との間に電力が印加されている状態から、端子４６，４７，２５，２６を接触状態Ｐ１１，Ｐ２１に切り替えると、端子４６，４７，２５，２６間に火花が発生する虞がある。このため、電力供給部６０は、この切り替え時に電力を印加しないようにしている。

以上説明したように、本実施形態の活性ガス照射装置１によれば、端子４６，４７，２５，２６が接触状態Ｐ１１，Ｐ２１のときには、電力供給部６０により、第１端子４６及び第３端子４７を介して、第２端子２５と第４端子２６との間に電力が印加される。そして、第１端子４６と第３端子４７との間に電力が印加されたプラズマ発生部１２から、プラズマ等が吐出される。
一方で、電力供給部６０は、
端子２５，４６が第１離間状態Ｐ１２と第１接触状態Ｐ１２との間で切り替わるときに第２端子２５と前記第４端子２６との間に電力を印加しないこと、及び、
端子２６，４７が第２離間状態Ｐ２２と第２接触状態Ｐ２１との間で切り替わるときに第２端子２５と前記第４端子２６との間に電力を印加しないこと、の少なくとも一方を行う。このため、端子４６，４７と端子２５，２６とを着脱する際に、端子４６，４７と端子２５，２６との間に火花が発生するのを抑制することができる。

電力供給部６０は、端子４６，４７，２５，２６が接触状態Ｐ１１，Ｐ２１から離間状態Ｐ１２，Ｐ２２に切り替わるよりも前に、第２端子２５と第４端子２６との間の電力の印加を停止する。
従って、端子４６，４７，２５，２６が接触状態Ｐ１１，Ｐ２１から離間状態Ｐ１２，Ｐ２２に切り替わる際に、端子４６，４７と端子２５，２６との間に火花が発生するのをより確実に抑制することができる。

（第２実施形態）
次に、本発明の第２実施形態について図８から図１０を参照しながら説明するが、前記実施形態と同一の部位には同一の符号を付してその説明は省略し、異なる点についてのみ説明する。
図８に示すように、本実施形態の活性ガス照射装置２は、第１実施形態の活性ガス照射装置１の電力供給部６０に代えて電力供給部８０を備えている。電力供給部８０は、電力供給部６０の接触検出部６２に代えて、接触検出部８１を備えている。

本実施形態では、配線側コネクタ４４Ａのコネクタ本体４５に、傾斜面４５ｃに代えて突起４５ｄが形成されている。突起４５ｄは、コネクタ本体４５の前記所定の方向における第２の側の端面に形成されている。突起４５ｄの前記所定の方向の長さは、端子２５，２６，４６，４７の前記所定の方向の長さよりも短い。突起４５ｄの先端は、コネクタ本体２４の凹部の底面に接触している。
接触検出部８１は、いわゆる光学的な方式により端子４６，４７，２５，２６の接触を検出するセンサであり、投光部８１ａと、受光部８１ｂと、を備えている。

投光部８１ａは、例えば発光ダイオードであり、可視光線等の電磁波Ｌを、前記底面に沿って発する。なお、電磁波Ｌは可視光線以外にも赤外線等でもよいし、電磁波Ｌに代えて超音波等を用いてもよい。
受光部８１ｂは、例えばフォトダイオードであり、電磁波Ｌを検出する。受光部８１ｂは電磁波Ｌを検出したときに、Ｌｏｗの状態の信号を出力する。一方で、受光部８１ｂは電磁波Ｌを検出しないときに、Ｈｉｇｈの状態の信号を出力する。
投光部８１ａは、コネクタ本体２４の凹部の底面に配置されている。受光部８１ｂは、収容部２８の内面に固定されている。投光部８１ａ及び受光部８１ｂは、コネクタ本体４５の突起４５ｄを挟むように配置されている。

筐体側コネクタ２３に配線側コネクタ４４Ａが接続されている状態では、投光部８１ａが発する電磁波Ｌは突起４５ｄに遮られるため、受光部８１ｂは電磁波Ｌを検出しない。
受光部８１ｂは、リード線６５により電力供給源６１の入力端子に電気的に接続されている。

次に、以上のように構成された活性ガス照射装置２の使用方法について、電力供給部８０に重点をおいて説明する。
図９に示すように、筐体側コネクタ２３から配線側コネクタ４４Ａが引き抜かれるに従い、配線側コネクタ４４Ａの突起４５ｄが投光部８１ａと受光部８１ｂとの間から移動し、受光部８１ｂは電磁波Ｌを検出する。このとき、受光部８１ｂは、Ｌｏｗの状態の信号を出力し、電力供給源６１は筐体側コネクタ２３の第２端子２５と第４端子２６との間の電力の印加を停止する。この時点では、端子４６，４７，２５，２６は接触状態Ｐ１１，Ｐ２１である。

そして図１０に示すように、筐体側コネクタ２３から配線側コネクタ４４Ａが完全に引き抜かれると、第１端子４６と第２端子２５とが離間し、第３端子４７と第４端子２６とが離間し、端子４６，４７，２５，２６は接触状態Ｐ１１，Ｐ２１から離間状態Ｐ１２，Ｐ２２に切り替わる。
一方で、供給ユニット２０の筐体側コネクタ２３に電気配線４２の配線側コネクタ４４Ａを接続する場合には、上記と順序が逆の工程が行われる。その工程の間に、投光部８１ａから発せられた電磁波Ｌが突起４５ｄに遮られて受光部８１ｂが電磁波Ｌを検出しなくなることにより、受光部８１ｂがＨｉｇｈの状態の信号を出力する。電力供給源６１は第２端子２５と第４端子２６との間に電力を印加し、照射器具１０はプラズマ等をノズル１６から外部に吐出する。

以上説明したように、本実施形態の活性ガス照射装置２によっても、第１実施形態の活性ガス照射装置１と同様の効果を奏することができる。

（第３実施形態）
次に、本発明の第３実施形態について図１１から図１５を参照しながら説明するが、前記実施形態と同一の部位には同一の符号を付してその説明は省略し、異なる点についてのみ説明する。
図１１及び図１２に示すように、本実施形態の活性ガス照射装置３は、第１実施形態の活性ガス照射装置１の電力供給部６０に代えて、カバー機構９０及び電力供給部１００を備えている。

本実施形態では、電気配線４２とコネクタ本体４５とが接続している部分に鍔部８６が固定されている。鍔部８６は、円環状である。鍔部８６の外径は、電気配線４２の外径及びコネクタ本体４５の外径よりもそれぞれ大きい。
この例では、電気配線４２に固定された配線側コネクタ４４Ｂにおいて、端子４６，４７はコネクタ本体４５の先端から突出している（図１２参照）。

カバー機構９０は、下カバー９１と、上カバー９２と、ガイドレール９３と、を備えている。
下カバー９１及び上カバー９２は、それぞれ板状に形成されている。カバー９１，９２の外縁には、カバー９１，９２の厚さ方向に見たときに半円状の切欠き（符号省略）がそれぞれ形成されている。カバー９１，９２は、互いの前記外縁を突き合わせた状態に配置されている。このとき、カバー９１，９２に形成された一対の切欠きは、全体として円状になる。この円状になった一対の切欠きの内径は、電気配線４２の外径及びコネクタ本体４５の外径よりもそれぞれ大きく、鍔部８６の外径よりも小さい。
カバー９１，９２は、筐体２１に形成された開口を覆っている。カバー９１，９２の厚さ方向は、水平面に沿う方向である。
この例では、下カバー９１は筐体２１に固定されている。

上カバー９２は、下カバー９１上に下カバー９１に接触した状態で配置されている。上カバー９２は、筐体２１に固定されたガイドレール９３により、下カバー９１上に配置された位置に対して上方に移動可能である。
なお、筐体２１に対して上カバー９２が固定されるとともに下カバー９１が下方に移動可能に構成されてもよいし、筐体２１に対してカバー９１，９２がともに上下方向に移動可能に構成されてもよい。

電力供給部１００は、電力供給部６０の接触検出部６２に代えて、接触検出部１０１を備えている。接触検出部１０１は、いわゆる磁気的な方式により端子４６，４７，２５，２６の接触を検出するセンサであり、マグネット１０２と、ホール素子１０３と、を備えている。
マグネット１０２は、例えば永久磁石であり、下カバー９１の前記外縁に固定されている。
ホール素子１０３は、上カバー９２の前記外縁に固定されている。ホール素子１０３は、マグネット１０２に接触又は対向するように配置されている。ホール素子１０３は、マグネット１０２から発せられる磁気を検出することにより、上カバー９２が下カバー９１に近づいているか否かを検出する。ホール素子１０３は、リード線６５により電力供給源６１の入力端子に電気的に接続されている（図１２参照）。
ホール素子１０３は、上カバー９２が下カバー９１に近づいていることを検出したときに、Ｈｉｇｈの状態の信号を出力する。一方で、ホール素子１０３は、上カバー９２が下カバー９１から離間していることを検出したときに、Ｌｏｗの状態の信号を出力する。

図１２に示すように、この例では、筐体２１に筐体側コネクタ２３Ｂが取付けられている。筐体側コネクタ２３Ｂでは、コネクタ本体２４の底面から端子２５，２６が筐体２１の開口に向かって突出している。配線側コネクタ４４Ｂの第１端子４６は筐体側コネクタ２３Ｂの第２端子２５に接触し、配線側コネクタ４４Ｂの第３端子４７は筐体側コネクタ２３Ｂの第４端子２６に接触している。端子４６，４７，２５，２６は、接触状態Ｐ１１，Ｐ２１である。
このとき、配線側コネクタ４４Ｂの鍔部８６はカバー９１，９２よりもコネクタ本体２４の底面側に配置され、鍔部８６がカバー９１，９２における切欠きの周縁部に接触している。このため、鍔部８６がカバー９１，９２に係止することにより、筐体側コネクタ２３Ｂから配線側コネクタ４４Ｂを引き抜くことができない。

なお、この例では、鍔部８６がカバー９１，９２に対してコネクタ本体２４の底面とは反対側に配置されているときに、端子２５，２６に端子４６，４７が接触しないように構成されていることが好ましい。

次に、以上のように構成された活性ガス照射装置３の使用方法について、電力供給部１００に重点をおいて説明する。
使用者は、図１３に示すように、上カバー９２を下カバー９１に対して上方に移動させた状態で保持する。このとき、鍔部８６が上カバー９２に係止されてなくなることにより、筐体側コネクタ２３Ｂから配線側コネクタ４４Ｂを引き抜くことができる。第１端子４６及び第２端子２５が互いに離間し、かつ第３端子４７及び第４端子２６が互いに離間し、端子４６，４７，２５，２６が離間状態Ｐ１２，Ｐ２２になる。
なお、この例では、端子４６，４７，２５，２６が離間状態Ｐ１２，Ｐ２２のときに、上カバー９２を保持することを止めて、上カバー９２を下カバー９１上に配置する。ホール素子１０３が、上カバー９２が下カバー９１に近づいていることを検出してＨｉｇｈの状態の信号を出力する。電力供給源６１は第２端子２５と第４端子２６との間に電力を印加し、照射器具１０はプラズマ等をノズル１６から外部に吐出可能な状態になる。

以上説明したように、本実施形態の活性ガス照射装置３によっても、第１実施形態の活性ガス照射装置１と同様の効果を奏することができる。
なお、本実施形態では、ホール素子１０３に代えて、マグネット１０２とは別の第２マグネットを用いてもよい。この場合、第２マグネットの位置を検出するセンサを備え、その検出結果を電力供給源６１に送信してもよい。

また、本実施形態では、図１４に示すように、活性ガス照射装置３は第２マグネット１０６及び第２ホール素子１０７を備えてもよい。なお、図１４及び後述する図１５では、マグネット１０２及びホール素子１０３を示していない。
第２マグネット１０６は、鍔部８６における第４端子２６側の面に固定されている。第２ホール素子１０７は、上カバー９２の内側の面に固定されている。第２ホール素子１０７は、下カバー９１に接触した状態の上カバー９２において、第２マグネット１０６に隣接する位置に固定されている。
第２ホール素子１０７は、図示しない第２リード線により電力供給源６１の第２入力端子に電気的に接続されている。
第２ホール素子１０７は、鍔部８６が上カバー９２に近づいていることを検出したときに、Ｈｉｇｈの状態の信号を出力する。一方で、第２ホール素子１０７、鍔部８６が上カバー９２から離間していることを検出したときに、Ｌｏｗの状態の信号を出力する。
電力供給源６１は、入力端子及び第２入力端子にそれぞれＨｉｇｈの状態の信号が入力されたときだけ、電力を出力する。

このように構成された活性ガス照射装置３では、使用者は、図１５に示すように、上カバー９２を下カバー９１に対して上方に移動させ、筐体側コネクタ２３Ｂから配線側コネクタ４４Ｂを引き抜く。第２ホール素子１０７は、鍔部８６が上カバー９２から離間していることを検出して、Ｌｏｗの状態の信号を出力する。電力供給源６１は、電力の出力を停止する。
この状態で、上カバー９２を下方に移動させて下カバー９１に接触させても、第２ホール素子１０７は鍔部８６が上カバー９２から離間していることを検出してＬｏｗの状態の信号を出力しているため、電力供給源６１は、電力を出力しない。

以上、本発明の第１実施形態から第３実施形態について図面を参照して詳述したが、具体的な構成はこの実施形態に限られるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲の構成の変更、組み合わせ、削除等も含まれる。さらに、各実施形態で示した構成のそれぞれを適宜組み合わせて利用できることは、言うまでもない。
例えば、前記第１実施形態から第３実施形態では、第１端子及び第３端子は、照射器具１０（プラズマ発生部１２）に設けられ、第２端子及び第４端子は、電気配線４２における照射器具１０に連結された端部に設けられてもよい。第１端子〜第４端子は、活性ガス照射装置における他の電気的な接続部分に設けられてもよい。本実施形態の第１端子〜第４端子は、高い電圧が通る電気経路に設けられると特に効果的である。

電力供給部は、端子４６，４７，２５，２６が接触状態Ｐ１１，Ｐ２１から離間状態Ｐ１２，Ｐ２２に切り替わると同時に、第２端子２５と第４端子２６との間への電力の印加を停止してもよい。この場合、例えば第１実施形態では、コネクタ本体２４の凹部の底面と接触部６２ｂとの前記所定の方向のピッチ、及び端子４６，４７，２５，２６の前記所定の方向の長さを、互いに同程度にする。
接触検出部は、機械的な方式、光学的な方式、及び磁気的な方式以外にも、例えばコンデンサを用いた電気的な方式等により端子４６，４７，２５，２６の接触を検出してもよい。
接触検出部は、第１端子４６と第２端子２５との接触を、近接センサを用いて検出してもよい。近接センサとしては、例えば誘導型近接センサ、静電容量型近接センサ、磁気近接センサが挙げられる。
照射器具１０がプラズマ及び活性ガスの一方のみを吐出するように構成してもよい。

供給ユニットから電気配線を引き抜いたときに、第３端子から第１端子が取り外されるが、第２端子は第４端子に接触したままになるように構成してもよい。この場合、例えば、電気配線を第１電気配線と、第２電気配線と、に分けて構成し、第１電気配線の端部に第１端子を設け、第２電気配線の端部に第２端子を設け、供給ユニット２０に第３端子及び第４端子を設ける。

活性ガス照射装置が第３端子及び第４端子を備えないように構成してもよい。この場合、照射器具１０と電力供給源６１とは、グラウンドを介して電気的に接続されてもよい。この場合、電力供給部は、第１端子及び第２端子が互いに接触している第１接触状態のときに第１端子と第２端子との間に電力を印加し、第１端子及び第２端子が、互いに離間している第１離間状態と第１接触状態との間で切り替わるときに第１端子と第２端子との間に電力を印加しない。
このように構成すると、第１端子及び第２端子が第１接触状態のときには、供給部により、第１端子と第２端子との間に電力が印加される。そして、第１端子に電力が印加されたプラズマ発生部１２からプラズマ等が吐出される。
一方で、第１端子及び第２端子が第１離間状態と第１接触状態との間で切り替わるときに、供給部は第１端子と第２端子との間に電力を印加しないため、第１端子と第２端子とを着脱する際に、第１端子と第２端子との間に火花が発生するのを抑制することができる。

以上説明したプラズマ照射装置は、動物や人間の治療、美容等の用途に好適に用いることができる。

１，２，３ 活性ガス照射装置（プラズマ照射装置）
１０ 照射器具
１２ プラズマ発生部
２５ 第２端子
２６ 第４端子
４６ 第１端子
４７ 第３端子
６０，８０，１００ 電力供給部（供給部）
Ｐ１１ 第１接触状態
Ｐ１２ 第１離間状態
Ｐ２１ 第２接触状態
Ｐ２２ 第２離間状態

Claims (3)

1. 第１端子が設けられたプラズマ発生部を有し、前記第１端子に印加された電力に基づいて前記プラズマ発生部にて発生したプラズマ及び前記プラズマによって生じる活性ガスの少なくとも一方を吐出する照射器具と、
   前記第１端子に着脱可能な第２端子と、
   前記第１端子及び前記第２端子が互いに接触している第１接触状態のときに前記第１端子と前記第２端子との間に電力を印加し、前記第１端子及び前記第２端子が、互いに離間している第１離間状態と前記第１接触状態との間で切り替わるときに前記第１端子と前記第２端子との間に電力を印加しない供給部と、
   を備えるプラズマ照射装置。
2. 前記供給部は、前記第１端子及び前記第２端子が、前記第１接触状態から前記第１離間状態に切り替わるよりも前に、前記第１端子と前記第２端子との間の電力の印加を停止する請求項１に記載のプラズマ照射装置。
3. 前記プラズマ発生部には第３端子が設けられ、
   前記プラズマ発生部は、前記第１端子と前記第３端子との間に印加された電力に基づいて前記プラズマ発生部にて発生した前記プラズマ及び前記活性ガスの少なくとも一方を吐出し、
   前記第３端子に着脱可能な第４端子を備え、
   前記供給部は、
   前記第１端子及び前記第２端子が前記第１接触状態であり、かつ前記第３端子及び前記第４端子が互いに接触している第２接触状態のときに、前記第１端子及び前記第３端子を介して、前記第２端子と前記第４端子との間に電力を印加し、
   前記第３端子及び前記第４端子が互いに離間している状態を第２離間状態としたときに、前記第１端子及び前記第２端子が前記第１離間状態と前記第１接触状態との間で切り替わるときに前記第２端子と前記第４端子との間に電力を印加しないこと、及び、前記第３端子及び前記第４端子が前記第２離間状態と前記第２接触状態との間で切り替わるときに前記第２端子と前記第４端子との間に電力を印加しないこと、の少なくとも一方を行う請求項１又は２に記載のプラズマ照射装置。

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