JP7000523B1 - プラズマ装置 - Google Patents
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Abstract
Description
前記プラズマ発生部にプラズマ発生用ガスを供給する供給源と、を備え、
前記プラズマ発生部にて発生したプラズマ及び前記プラズマによって生じる活性ガスの少なくとも一方が前記照射器具から照射され、
前記プラズマ発生部は、
前記プラズマ発生用ガスの流路である内空部を有する管状誘電体と、
前記内空部に配置され、前記管状誘電体の軸線方向に延びる内部電極と、
前記管状誘電体の外周面に沿って前記内部電極に対向する位置に配置される外部電極と、
前記管状誘電体に対して前記外部電極を固定させる固定部材と、を備える、プラズマ装置が提供される。
前記弾性部材を前記外部電極の軸線方向の少なくとも一方の端部に面接触させることにより、前記管状誘電体に対して前記外部電極を固定させてもよい。
前記外部電極は、前記ガラス管の外径よりも大きい内径を有する、中空の円筒状の金属管であってもよい。
前記薄膜部材は、前記接地線と前記金属管との接合箇所を含めて、前記管状誘電体の外周面、前記外部電極の外周面、及び前記外部電極の軸線方向の両端部を覆ってもよい。
カウリング2は、円筒形で中空の胴体部2bと、胴体部2bの先端を塞ぐヘッド部2aとを備える。なお、胴体部2bは、円筒形に限らず、四角筒、六角筒、八角筒等の多角筒形でもよい。
管状誘電体3と外部電極5の組み合わせとしては、例えば、管状誘電体3をガラス管とし、外部電極5をガラス管の外径よりも大きい内径を有する、中空の円筒状の金属管とすることができる。
また、金属管である外部電極5の外周面に接地線31が接合されている場合、図11に示すように、薄膜部材34は、接地線31と外部電極5との接合箇所を含めて、管状誘電体3の外周面、外部電極5の外周面、及び外部電極5の軸線方向の両端部を覆ってもよい。
また、照射器具は、ノズルを備えるものには限定されない。例えば、ヘッド部の先端、すなわちカウリングの先端に形成された照射口からプラズマ及び活性ガスの少なくとも一方を照射する照射器具であってもよい。
9 操作スイッチ
10 照射器具
12 プラズマ発生部
15 検出部
70 供給源
80 報知部
90 制御部(演算部)
100 プラズマ装置(活性ガス照射装置)
Claims (7)
- プラズマ発生部を備える照射器具と、
前記プラズマ発生部にプラズマ発生用ガスを供給する供給源と、を備え、
前記プラズマ発生部にて発生したプラズマ及び前記プラズマによって生じる活性ガスの少なくとも一方が前記照射器具から照射され、
前記プラズマ発生部は、
前記プラズマ発生用ガスの流路である内空部を有する管状誘電体と、
前記内空部に配置され、前記管状誘電体の軸線方向に延びる内部電極と、
前記管状誘電体の外周面に沿って前記内部電極に対向する位置に配置される外部電極と、
前記管状誘電体に対して前記外部電極を固定させる固定部材と、を備え、
前記固定部材は、前記管状誘電体の外周面に密着して配置される弾性部材を有し、
前記弾性部材を前記外部電極の軸線方向の少なくとも一方の端部に面接触させることにより、前記外部電極の軸線方向の両端部にて、前記管状誘電体に対して前記外部電極を固定させる、プラズマ装置。 - 前記固定部材は、前記管状誘電体の外周面に前記外部電極を接触させた状態で、前記管状誘電体に対して前記外部電極を固定させる、請求項1に記載のプラズマ装置。
- 前記固定部材は、前記管状誘電体の外周面から前記外部電極を離隔させた状態で、前記管状誘電体に対して前記外部電極を固定させる、請求項1に記載のプラズマ装置。
- 前記固定部材は、前記管状誘電体の外周面、前記外部電極の外周面、及び前記外部電極の軸線方向の両端部を覆う薄膜部材を備える、請求項1乃至3のいずれか一項に記載のプラズマ装置。
- 前記薄膜部材は、前記管状誘電体の外周面、前記外部電極の外周面、及び前記外部電極の軸線方向の両端部に接着する接着層を備える、請求項4に記載のプラズマ装置。
- 前記管状誘電体は、ガラス管であり、
前記外部電極は、前記ガラス管の外径よりも大きい内径を有する、中空の円筒状の金属管である、請求項1乃至5のいずれか一項に記載のプラズマ装置。 - 前記外部電極の外周面には、接地線が接合されており、
前記薄膜部材は、前記接地線と前記外部電極との接合箇所を含めて、前記管状誘電体の外周面、前記外部電極の外周面、及び前記外部電極の軸線方向の両端部を覆う、請求項4又は5に記載のプラズマ装置。
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