JP6912674B2 - プラズマ照射装置 - Google Patents

Description

本発明は、プラズマ照射装置に関する。
本願は、２０１８年９月２０日に、日本に出願された特願２０１８−１７６５８２号に基づき優先権を主張し、その内容をここに援用する。

歯科治療等において創傷等の患部にプラズマやプラズマによって発生した活性ガスを照射して患部の治癒を図るプラズマ照射装置が知られている。プラズマ照射装置としては、プラズマジェット照射装置（例えば、特許文献１参照）および活性ガス照射装置（例えば、特許文献２参照）がある。プラズマジェット照射装置は、プラズマおよびプラズマによって発生した活性種をノズルから吐出し、被照射物に照射する。活性ガス照射装置は、プラズマによって発生した活性種を含む活性ガスをノズルから吐出し、被照射物に照射する。

特許第５４４１０６６号公報 特開２０１７−５０２６７号公報

このようなプラズマ照射装置は、電磁波を発生する。電磁波は人体に悪影響を及ぼすことがあるため、遮蔽する必要がある。プラズマ照射装置では、照射器具が筐体を有するため、電磁波を遮蔽することができる。しかしながら、プラズマ照射装置では、照射器具とプラズマ発生部に電気を供給する給電部等を接続する電気配線は遮蔽されていない。そのため、プラズマ照射装置では、電気配線から電磁波が発生するという課題があった。
電磁波対策として、シールド材を用いて装置の外部に漏れる電磁波を遮蔽する方法は知られている。しかしながら、照射器具を手で持って使用するプラズマ照射装置に関しては、シールド材で電気配線を覆うと、電気配線が硬くなり、操作性が損なわれるという課題があった。
また、プラズマ照射装置から電磁波が発生すると周囲の機器を誤作動させるという課題があった。さらに、シールド材がないと、周囲からの電磁波によりプラズマ照射装置が誤作動するという課題があった。

本発明は、前述した事情に鑑みてなされたものであって、照射器具とプラズマ発生部に電気を供給する給電部等を接続する電気配線から電磁波が発生することを抑えるとともに、操作性を損なうことなく、高い安全性と動作の安定性を有するプラズマ照射装置を提供することを目的とする。

前記課題を解決するために、本発明は以下の手段を提案している。
本発明に係るプラズマ照射装置は、プラズマ発生部を有し、前記プラズマ発生部にて発生したプラズマおよび前記プラズマによって生じる活性ガスの少なくとも一方を吐出する照射器具と、前記プラズマ発生部に電気を供給し、かつ電圧を調整する給電部、および、前記給電部を制御する制御部を有する供給ユニットと、前記照射器具と前記供給ユニットを電気的に接続する電気配線と、前記照射器具、前記供給ユニットおよび前記電気配線の外周をそれぞれ覆う電磁波シールド材と、を備え、前記電気配線の外周を覆う電磁波シールド材は可撓性を有する。

前記電気配線を２本以上備え、該２本以上の電気配線の外周を個別に前記電磁波シールド材で覆っていてもよい。

前記電磁波シールド材は、導電性の繊維または導電性の線材からなる筒状の編物または織物であってもよい。

前記電気配線は、前記電磁波シールド材の上に第１の樹脂シース材を有し、前記照射器具と前記供給ユニットを接続する全ての前記電気配線を前記第１の樹脂シース材で束ねてもよい。

前記第１の樹脂シース材の厚さが０．５ｍｍ〜２．０ｍｍであってもよい。

前記第１の樹脂シース材と前記電気配線の間に空間を有してもよい。

前記第１の樹脂シース材の内部空間の全体積１００％に対して、前記空間の占める体積が３０％〜７０％であってもよい。

前記電磁波シールド材と前記第１の樹脂シース材の内部空間との間に第２の樹脂シース材を有していてもよい。

前記第２の樹脂シース材の厚さが０．１ｍｍ〜２．０ｍｍであってもよい。

前記第２の樹脂シース材における前記電磁波シールド材とは反対側の面に潤滑剤がコーティングされていてもよい。

本発明によれば、照射器具とプラズマ発生部に電気を供給する給電部等を接続する電気配線から電磁波が発生することを抑えるとともに、操作性を損なうことなく、高い安全性を有するプラズマ照射装置を提供することができる。

本発明の一実施形態のプラズマ照射装置を示す模式図である。 本発明の一実施形態のプラズマ照射装置を構成する照射器具の部分断面図である。 図２の照射器具のｘ−ｘ断面図である。 本発明の一実施形態のプラズマ照射装置の概略構成を示すブロック図である。 本発明の第１の変形例に係るプラズマ照射装置を構成する電気配線を示す模式図である。 本発明の第２の変形例に係るプラズマ照射装置を構成する電気配線を示す模式図である。 本発明の第３の変形例に係るプラズマ照射装置を構成する電気配線を示す模式図である。 図７の電気配線および電磁波シールド材のｙ−ｙ断面図である。 本発明の第４の変形例に係るプラズマ照射装置を構成する電気配線を示す模式図である。 本発明の第５の変形例に係るプラズマ照射装置を構成する電気配線を示す模式図である。 本発明の第６の変形例に係るプラズマ照射装置を構成する電気配線を示す模式図である。 本発明の第７の変形例に係るプラズマ照射装置を構成する電気配線を示す模式図である。 本発明の第８の変形例に係るプラズマ照射装置を構成する電気配線を示す模式図である。 本発明の第９の変形例に係るプラズマ照射装置を構成する電気配線を示す模式図である。

本発明のプラズマ照射装置の実施の形態について説明する。
なお、本実施の形態は、発明の趣旨をより良く理解させるために具体的に説明するものであり、特に指定のない限り、本発明を限定するものではない。
本明細書において、「〜」を用いて表される数値範囲は、その数値範囲の両端を含むものとする。

本発明のプラズマ照射装置は、プラズマ発生部とノズルと温度測定部とを備えたものであれば、プラズマジェット照射装置であってもよく、活性ガス照射装置であってもよい。
プラズマジェット照射装置は、プラズマを発生させる。プラズマジェット照射装置は、発生したプラズマと活性種とを被照射物に直接照射する。活性種は、プラズマ中の気体またはプラズマ周辺の気体とプラズマとが反応して生成される。活性種としては、活性酸素種、活性窒素種等を例示できる。活性酸素種としては、ヒドロキシルラジカル、一重項酸素、オゾン、過酸化水素、スーパーオキシドアニオンラジカル等を例示できる。活性窒素種としては、一酸化窒素、二酸化窒素、ペルオキシナイトライト、過酸化亜硝酸、三酸化二窒素等を例示できる。
活性ガス照射装置は、プラズマを発生させる。活性ガス照射装置は、活性種を含む活性ガスを被照射物に照射する。活性種は、プラズマ中の気体またはプラズマ周辺の気体とプラズマとが反応して生成される。

以下、本発明のプラズマ照射装置の一実施形態について説明する。
本実施形態のプラズマ照射装置は、活性ガス照射装置である。
図１に示すように、本実施形態のプラズマ照射装置１００は、照射器具１０（インスツルメント）と、供給ユニット２０と、ガス管路３０と、電気配線４０と、電磁波シールド材と、を備える。
照射器具１０は、照射器具１０内で発生した活性ガスを吐出する。供給ユニット２０は、照射器具１０に電気およびプラズマ発生用ガスを供給する。ガス管路３０は、照射器具１０と供給ユニット２０を接続している。電気配線４０は、照射器具１０と供給ユニット２０を接続している。電磁波シールド材（図示略）は、供給ユニット２０（筐体２１）の外周を覆っている（遮蔽している）。電磁波シールド材５０は、電気配線４０の外周を覆っている（遮蔽している）。

（照射器具）
図２は、照射器具１０における軸線に沿う断面を示す部分断面図である。図３は、図２の照射器具のｘ−ｘ断面図である。
照射器具１０は、長尺状のカウリング２と、カウリング２の先端から突出するノズル１と、カウリング２内に位置するプラズマ発生部１２と、カウリング２の外周面に設けられた操作スイッチ９（操作部）と、を備える。

カウリング２は、胴体部２ｂと、胴体部２ｂの先端を塞ぐヘッド部２ａとを備える。
胴体部２ｂは、管軸Ｏ１方向に延びる円筒状の部材である。胴体部２ｂは、円筒形に限らず、四角筒、六角筒、八角筒等の多角筒形でもよい。

胴体部２ｂの材料としては、特に限定されないが、導電性を有する材料が好ましい。胴体部２ｂは、金属材料で形成されてもよいし、絶縁材料とその表面に金属材料の層を有する多層構造でもよい。
金属材料としては、ステンレス、チタン、アルミニウム等が挙げられる。
このような構成とすることにより、胴体部２ｂは電磁波シールド材として機能する。
胴体部２ｂの大きさは、特に制限はなく、手指で把持しやすい大きさとすることができる。

ヘッド部２ａは、先端に向かい漸次窄んでいる。すなわち、ヘッド部２ａは、円錐形である。ヘッド部２ａは、円錐形に限らず、四角錘、六角錘、八角錘等の多角錘形であってもよい。
ヘッド部２ａは、先端に嵌合孔２ｃを有している。嵌合孔２ｃは、ノズル１を受け入れる孔である。ノズル１は、ヘッド部２ａに着脱可能になっている。ヘッド部２ａは、管軸Ｏ１方向に延びる第１の活性ガス流路７を内部に有している。管軸Ｏ１は、胴体部２ｂの管軸である。

ヘッド部２ａの材料は、特に制限はなく、絶縁性を有していてもよいし、絶縁性を有していなくてもよい。ヘッド部２ａの材料としては、耐摩耗性、耐腐食性に優れる材料が好ましい。
耐摩耗性、耐腐食性に優れる材料としては、ステンレス鋼等の金属を例示できる。ヘッド部２ａと胴体部２ｂとの材料は、同じであってもよく、異なっていてもよい。
ヘッド部２ａの大きさは、プラズマ照射装置１００の用途等を勘案して決定できる。例えば、プラズマ照射装置１００が口腔内用治療器具である場合、ヘッド部２ａの大きさは、口腔内に挿入できる大きさが好ましい。

ノズル１は、嵌合孔２ｃに嵌合する台座部１ｂと、台座部１ｂから突出する照射管１ｃと、を備える。台座部１ｂと照射管１ｃとは一体になっている。ノズル１は、その内部に、第２の活性ガス流路８を有している。ノズル１は、先端に照射口１ａを有している。第２の活性ガス流路８と第１の活性ガス流路７とは、連通している。

ノズル１の材料は、特に制限はなく、絶縁性を有してもよいし、導電性を有してもよい。ノズル１の材料としては、耐摩耗性、耐腐食性に優れる材料が好ましい。耐摩耗性、耐腐食性に優れる材料としては、ステンレス鋼等の金属を例示できる。ノズル１は、衛生上の点から、ディスポーザブル式であってもよい。この場合のノズル１の材料は、ディスポーザブル材料が好ましい。

ノズル１における照射管１ｃ内の流路の長さ（すなわち、距離Ｌ２）は、プラズマ照射装置１００の用途等を勘案して、適宜決定できる。
照射口１ａの開口径は、例えば、０．５ｍｍ〜５ｍｍであることが好ましい。開口径が上記下限値以上であると、活性ガスの圧力損失を抑制できる。開口径が上記上限値以下であると、照射する活性ガスの流速を高めて、患部の治癒等を促進できる。
照射管１ｃは、管軸Ｏ１に対して屈曲している。
照射管１ｃの管軸Ｏ２と管軸Ｏ１とのなす角度θは、プラズマ照射装置１００の用途等を勘案して決定できる。

プラズマ発生部１２は、管状誘電体３と、内部電極４と、外部電極５と、を備える。
管状誘電体３と内部電極４と外部電極５とは、管軸Ｏ１を中心として同心円状に位置している。
内部電極４の外周面と外部電極５の内周面とは、管状誘電体３を挟んで互いに対向している。

管状誘電体３は、管軸Ｏ１方向に延びる円筒状の部材である。管状誘電体３は、管軸Ｏ１方向に延びるガス流路６を内部に有している。第１の活性ガス流路７とガス流路６とは連通している。なお、管軸Ｏ１は、管状誘電体３の管軸と同じである。

管状誘電体３の材料としては、公知のプラズマ装置に使用する誘電体材料を適用できる。管状誘電体３の材料としては、例えば、ガラス、セラミックス、合成樹脂等を例示できる。管状誘電体３の誘電率は低いほど好ましい。

管状誘電体３の内径Ｒは、内部電極４の外径ｄを勘案して、適宜決定できる。内径Ｒは、後述する距離ｓを所望の範囲とするように決定する。

内部電極４は、管軸Ｏ１方向に延びる略円柱状の部材である。内部電極４は、管状誘電体３の内部に位置し、管状誘電体３の内面と離間している。
内部電極４は、管軸Ｏ１方向に延びる軸部と、軸部の外周面のねじ山とを備える。軸部は、中実でもよいし、中空でもよい。軸部は中実が好ましい。軸部が中実であれば、加工が容易であり、かつ機械的な耐久性を高められる。内部電極４のねじ山は、軸部の周方向に周回する螺旋状のねじ山である。内部電極４の形態は、雄ねじと同様の形態である。
内部電極４は、外周面にねじ山を有することで、ねじ山先端部の電界が局所的に強くなり、放電開始電圧が低くなる。このため、低電力でプラズマを生成し、維持できる。
なお、内部電極４は、外周面にねじ山等の凹凸を有しなくてもよい。すなわち、内部電極４は、外周面に凹凸を有しない円柱の部材でもよい。

内部電極４の外径ｄは、プラズマ照射装置１００の用途（すなわち、照射器具１０の大きさ）等を勘案して、適宜決定できる。プラズマ照射装置１００が口腔内用治療器具である場合、外径ｄは、０．５ｍｍ〜２０ｍｍであることが好ましく、１ｍｍ〜１０ｍｍであることがより好ましい。外径ｄが上記下限値以上であると、内部電極４を容易に製造できる。加えて、外径ｄが上記下限値以上であると、内部電極４の表面積が大きくなり、プラズマをより効率的に発生して、治癒等をより促進できる。外径ｄが上記上限値以下であると、照射器具１０を過度に大きくすることなく、プラズマをより効率的に発生し、治癒等をより促進できる。

内部電極４のねじ山の高さｈは、内部電極４の外径ｄを勘案して、適宜決定できる。
内部電極４のねじ山のピッチｐは、内部電極４の長さや外径ｄ等を勘案して、適宜決定できる。ピッチｐは、０．２ｍｍ〜３．０ｍｍであることが好ましく、０．２ｍｍ〜２．５ｍｍであることがより好ましく、０．２ｍｍ〜２．０ｍｍであることがさらに好ましい。

内部電極４の材料は、導電材であれば特に制限はなく、公知のプラズマ装置の電極に使用する金属を適用できる。内部電極４の材料としては、ステンレス鋼、銅、タングステン等の金属、カーボン等を例示できる。

内部電極４としては、ＪＩＳ Ｂ ０２０５：２００１のメートルねじの規格品（Ｍ２、Ｍ２．２、Ｍ２．５、Ｍ３、Ｍ３．５等）、ＪＩＳ Ｂ ２０１６：１９８７のメートル台形ねじの規格品（Ｔｒ８×１．５、Ｔｒ９×２、Ｔｒ９×１．５等）、ＪＩＳ Ｂ ０２０６：１９７３のユニファイ並目ねじの規格品（Ｎｏ．１−６４ＵＮＣ、Ｎｏ．２−５６ＵＮＣ、Ｎｏ．３−４８ＵＮＣ等）等と同等の仕様が好ましい。これらの規格品と同等の仕様であれば、コスト面で優位である。

内部電極４の外面と管状誘電体３の内面との距離ｓは、０．０５ｍｍ〜５ｍｍであることが好ましく、０．１ｍｍ〜１ｍｍであることがより好ましい。距離ｓが上記下限値以上であると、所望量のプラズマ発生用ガスを容易に通流できる。距離ｓが上記上限値以下であると、プラズマをさらに効率的に発生し、活性ガスの温度を低くできる。

内部電極４と外部電極５とが対向している領域の長さＬ３は、１ｍｍ〜５０ｍｍであることが好ましく、３ｍｍ〜４０ｍｍであることがより好ましく、５ｍｍ〜３０ｍｍであることがさらに好ましい。長さＬ３が上記下限値以上であれば、プラズマの発生個所を増やして、より効率的にプラズマを発生できる。長さＬ３が上記上限値以下であれば、活性ガスの温度の上昇をより良好に抑制できる。本実施形態において、長さＬ３は、外部電極５の長さと等しい。
なお、外部電極５は、管軸Ｏ１方向に２つ以上に分かれていてもよい。外部電極５が管軸Ｏ１方向に分かれている場合、長さＬ３は、内部電極４と、２つの外部電極の後端から先端までとが対向している領域の長さであり、２つの外部電極の間の距離を含むものとする。

外部電極５は、管状誘電体３の外周面に沿って周回する環状の電極である。外部電極５は、管状誘電体３の外周面の一部に存在する。

外部電極５の材料は、導電材であれば特に制限はなく、公知のプラズマ装置の電極に使用する金属を適用できる。外部電極５の材料としては、ステンレス鋼、銅、タングステン等の金属、カーボン等を例示できる。

内部電極４と外部電極５とが対向している領域の先端Ｑ１からヘッド部２ａの先端Ｑ２までの距離Ｌ１と、先端Ｑ２から照射口１ａまでの距離Ｌ２との合計（すなわち、内部電極４と外部電極５とが対向している領域から照射口１ａまでの道のり）は、プラズマ照射装置１００に求める大きさや、照射した活性ガスが当たる面（被照射面）における温度等を勘案して適宜決定する。距離Ｌ１と距離Ｌ２の合計が長ければ、被照射面の温度を低くできる。距離Ｌ１と距離Ｌ２の合計が短ければ、活性ガスのラジカル密度がさらに高くなり、被照射面における清浄化、賦活化、治癒等の効果がさらに高くなる。なお、先端Ｑ２は、管軸Ｏ１と管軸Ｏ２との交点である。

操作スイッチ９は、使用者が操作することによって、ノズル１からの活性ガスの吐出を開始するための電気信号を発信する。
操作スイッチ９は、例えば、押釦である。操作スイッチ９が押釦である場合、操作スイッチ９は、使用者が押釦を１回押したときに電気信号を１回だけ発信する構成を有してもよく、使用者が押釦を押し続けている間、電気信号を発信し続ける構成を有してもよい。

（供給ユニット）
図４は、プラズマ照射装置１００の概略構成を示すブロック図である。
供給ユニット２０は、給電部６０と、ガス調整部７０と、ガス供給源８０と、制御部９０と、これらを収容する筐体２１と、筐体２１の外周を覆う電磁波シールド材（図示略）と、を備える。
筐体２１は、ガス供給源８０を離脱可能に収容する。これにより、筐体２１に収容されたガス供給源８０内のガスがなくなったとき、ガス供給源８０を交換できる。
電磁波シールド材の材料としては、導電性の材料であれば、特に制限はなく、板状の金属、金属繊維、炭素繊維、プラスチック等の素材に対して、めっきや真空蒸着等のコーティングにより金属膜を形成してなるもの等を例示できる。

給電部６０は、照射器具１０の操作スイッチ９、プラズマ発生部１２および供給ユニット２０内の各構成要素に電気を供給する。
給電部６０は、プラズマ発生部１２の内部電極４と外部電極５との間に印加する電圧および周波数を調整できる。
給電部６０は、例えば、１００Ｖの家庭用電源等の電源（図示略）と接続されている。

ガス調整部７０は、ガス供給源８０とガス管路３０とを接続するガス配管７５を備える。ガス配管７５には、電磁弁７１、圧力レギュレータ７３、流量コントローラ７４（流量調整部）および圧力センサ７２が取り付けられている。

電磁弁７１は、開閉の切り替えによって、ガス供給源８０から照射器具１０へのプラズマ発生用ガスの供給の開始および停止を切り替える。図示例では、電磁弁７１は、弁開度が調節できる構成ではなく、開閉の切り替えのみができる構成である。なお、電磁弁７１は、弁開度が調節できる構成であってもよい。

圧力レギュレータ７３は、電磁弁７１とガス供給源８０との間に配置される。圧力レギュレータ７３は、ガス供給源８０から電磁弁７１に向かうプラズマ発生用ガスの圧力を低下（プラズマ発生用ガスを減圧）させる。

流量コントローラ７４は、電磁弁７１とガス管路３０との間に配置される。流量コントローラ７４は、電磁弁７１を通過したプラズマ発生用ガスの流量（単位時間当たりの供給量）を調整する。流量コントローラ７４は、プラズマ発生用ガスの流量を、例えば、３Ｌ／ｍｉｎに調整する。

圧力センサ７２は、ガス供給源８０内の圧力（残圧）を計測する。圧力センサ７２は、圧力レギュレータ７３とガス供給源８０との間（圧力レギュレータ７３よりも一次側）を通過するプラズマ発生用ガスの圧力（一次圧）を、ガス供給源８０の圧力として計測する。圧力センサ７２としては、例えば、キーエンス社のＡＰ−Ｖ８０シリーズ（具体的には、例えば、ＡＰ−１５Ｓ）等を採用できる。

ガス配管７５のガス供給源８０側の端部には、継手７６が設けられている。継手７６には、ガス供給源８０が着脱可能に装着されている。ガス供給源８０を継手７６に着脱させることで、ガス調整部７０を筐体２１に固定したまま、ガス供給源８０を交換できる。この場合、交換前のガス供給源８０、交換後のガス供給源８０のいずれについても共通のガス調整部７０を使用できる。なお、ガス調整部７０は、ガス供給源８０に固定され、ガス供給源８０と一体的に筐体２１から離脱可能であってもよい。

ガス供給源８０は、プラズマ発生部１２にプラズマ発生用ガスを供給する。ガス供給源８０は、内部にプラズマ発生用ガスが収容された耐圧容器である。ガス供給源８０は、筐体２１内に配置されたガス調整部７０に対して着脱可能に装着されている。

制御部９０には、電磁弁７１、圧力センサ７２、流量コントローラ７４、給電部６０および照射器具１０の操作スイッチ９が電気的に接続されている。
制御部９０は、電磁弁７１、流量コントローラ７４および給電部６０を制御する。
制御部９０は、情報処理装置を用いて構成される。すなわち、制御部９０は、バスで接続されたＣＰＵ（Ｃｅｎｔｒａｌ Ｐｒｏｃｅｓｓｏｒ Ｕｎｉｔ）、メモリおよび補助記憶装置を備える。制御部９０は、プログラムを実行することによって動作する。

制御部９０には、照射器具１０の操作スイッチ９が電気配線４０を介して電気的に接続されている。使用者が操作スイッチ９を操作することによって、操作スイッチ９から制御部９０に電気信号が送られる。制御部９０が操作スイッチ９からの電気信号を受け付けると、制御部９０は、電磁弁７１、流量コントローラ７４および給電部６０を作動させる。

操作スイッチ９が押釦であり、使用者が押釦を１回押したときに電気信号を１回だけ発信する場合は、制御部９０は、例えば、以下のように電磁弁７１、流量コントローラ７４および給電部６０を制御する。
操作スイッチ９からの電気信号を制御部９０が受け付けると、制御部９０が、電磁弁７１を所定時間、開放して電磁弁７１を通過したプラズマ発生用ガスの流量を流量コントローラ７４に調整させる。また、制御部９０が、給電部６０を制御して内部電極４と外部電極５との間に電圧を所定時間、印加する。その結果、ガス供給源８０からプラズマ発生部１２に一定量のプラズマ発生用ガスが供給され、ノズル１から活性ガスが所定時間（例えば、数秒から数十秒程度）、継続して吐出される。

操作スイッチ９が押釦であり、使用者が押釦を押し続けている間、電気信号を発信し続ける場合は、制御部９０は、例えば、以下のように電磁弁７１、流量コントローラ７４および給電部６０を制御する。
制御部９０が操作スイッチ９からの電気信号を受け付けている間、制御部９０が、電磁弁７１を開放して、電磁弁７１を通過したプラズマ発生用ガスの流量を流量コントローラ７４に調整させる。また、制御部９０が、給電部６０を制御して内部電極４と外部電極５との間に電圧を印加する。その結果、使用者が操作スイッチ９を押し続けている間、ガス供給源８０からプラズマ発生部１２にプラズマ発生用ガスが供給され、ノズル１から活性ガスが継続して吐出される。

（ガス管路）
ガス管路３０は、供給ユニット２０から照射器具１０にプラズマ発生用ガスを供給する経路である。ガス管路３０は、照射器具１０の管状誘電体３の後端部に接続している。ガス管路３０の材料は特に制限はなく、公知のガス管に用いる材料を適用できる。ガス管路３０の材料としては、樹脂製の配管、ゴム製のチューブ等を例示でき、可撓性を有する材料が好ましい。

（電気配線）
電気配線４０は、照射器具１０と供給ユニット２０を電気的に接続する。電気配線４０は、供給ユニット２０の給電部６０から照射器具１０のプラズマ発生部１２に電気を供給する第１の電気配線４０Ａと、照射器具１０をアース接続する第２の電気配線４０Ｂ（アース線）と、を備える。
電気配線４０の材料は特に制限はなく、公知の電気配線に用いる材料を適用できる。電気配線４０の材料としては、絶縁材料で被覆した金属導線等を例示できる。

（電磁波シールド材）
電磁波シールド材５０は、２つの電気配線４０を纏めて、それらの外周を覆っていてもよいが、図１に示すように、２つの電気配線４０の外周を個別に電磁波シールド材５０で覆うことが好ましい。すなわち、第１の電気配線４０Ａの外周を第１の電磁波シールド材５０Ａで覆い、第２の電気配線４０Ｂの外周を第２の電磁波シールド材５０Ｂで覆うことが好ましい。なお、十分な電磁波遮蔽効果を得るためには、第１の電磁波シールド材５０Ａおよび第２の電磁波シールド材５０Ｂの編組密度が８０％以上であることが好ましく、９０％以上であることがより好ましく、９９．９％であることが最も好ましい。
電磁波シールド材５０の材料としては、導電性の材料であれば、特に制限はない。電磁波シールド材５０の材料としては、板状の金属、金属繊維、炭素繊維、プラスチック等の素材に対して、めっきや真空蒸着等のコーティングにより金属膜を形成してなるもの、導電性の繊維または導電性の線材からなる筒状の編物または織物、後述する第２の変形例に示すコイルチューブ、後述する第３の変形例に示すコイルチューブ等を例示できる。なお、導電性の繊維としては、金属繊維、炭素繊維、化学繊維に対して、めっきや真空蒸着等のコーティングにより金属膜を形成してなる繊維等を例示できる。また、導電性の線材としては、金属線材、炭素線材、プラスチック線材に対して、めっきや真空蒸着等のコーティングにより金属膜を形成してなる線材等を例示できる。また、電磁波シールド材５０は、可撓性を有する。これらのなかでも、電磁波シールド材５０で覆われた電気配線４０を軽量化して、照射器具１０の操作性を高める観点から、電磁波シールド材５０としては、導電性の繊維または導電性の線材からなる筒状の編物または織物が好ましい。

（使用方法）
次に、プラズマ照射装置１００の使用方法を説明する。
例えば、医師等の使用者は、照射器具１０を持って移動させ、ノズル１を後述する被照射物に向ける。この状態で操作スイッチ９を押し、供給ユニット２０のガス供給源８０からガス調整部７０およびガス管路３０を介して照射器具１０のプラズマ発生部１２にプラズマ発生用ガスを供給し、供給ユニット２０の給電部６０から照射器具１０のプラズマ発生部１２に電気を供給する。
プラズマ発生部１２に供給したプラズマ発生用ガスは、管状誘電体３の後端部から管状誘電体３の内空部に流入する。プラズマ発生用ガスは、電圧を印加した内部電極４と外部電極５とが対向する位置において電離し、プラズマになる。

本実施形態においては、内部電極４と外部電極５とが、プラズマ発生用ガスの流れる方向と直交する向きに対向している。内部電極４の外周面と外部電極５の内周面とが対向する位置で発生したプラズマは、ガス流路６と、第１の活性ガス流路７と、第２の活性ガス流路８とをこの順に通流する。この間、プラズマは、ガス組成を変化しつつ通流し、ラジカル等の活性種を含む活性ガスとなる。

生じた活性ガスは、ノズル１の照射口１ａから吐出される。吐出された活性ガスは、照射口１ａ近傍の気体の一部をさらに活性化して活性種を生成する。これらの活性種を含む活性ガスを被照射物に照射する。

被照射物としては、例えば、細胞、生体組織、生物個体等を例示できる。
生体組織としては、各器官（内臓等）、体表や体腔の内面を覆う上皮組織、歯周組織（歯肉、歯槽骨、歯根膜、セメント質等）、歯、骨等を例示できる。活性ガスの照射によって処理可能な疾患および症状としては、例えば、歯肉炎、歯周病等の口腔内の疾患、皮膚の創傷等を例示できる。
生物個体としては、哺乳類（ヒト、犬、猫、豚等）、鳥類、魚類等を例示できる。

プラズマ発生用ガスとしては、例えば、希ガス（ヘリウム、ネオン、アルゴン、クリプトン等）、窒素、酸素、空気等を例示できる。これらのガスは、１種を単独で用いてもよいし、２種以上を組み合わせて用いてもよい。
プラズマ発生用ガスは、窒素を主成分とすることが好ましい。ここで、窒素を主成分とするとは、プラズマ発生用ガスにおける窒素の含有量が５０体積％超であることをいう。
すなわち、プラズマ発生用ガスにおける窒素の含有量は、５０体積％超であることが好ましく、７０体積％以上であることがより好ましく、８０体積％〜１００体積％であることがさらに好ましく、９０体積％〜１００体積％であることが特に好ましい。プラズマ発生用ガス中の窒素以外のガス成分としては、例えば、酸素、希ガス等を例示できる。

プラズマ照射装置１００が口腔内用治療器具である場合、管状誘電体３に導入するプラズマ発生用ガスの酸素濃度は、１体積％以下が好ましい。酸素濃度が上限値以下であると、オゾンの発生を低減できる。

管状誘電体３に導入するプラズマ発生用ガスの流量は、１Ｌ／ｍｉｎ〜１０Ｌ／ｍｉｎであることが好ましい。管状誘電体３に導入するプラズマ発生用ガスの流量が上記下限値以上であると、被照射物における被照射面の温度の上昇を抑制しやすい。プラズマ発生用ガスの流量が上記上限値以下であると、被照射物の清浄化、賦活化または治癒をさらに促進できる。

内部電極４と外部電極５との間に印加する交流電圧は、５ｋＶｐｐ以上２０ｋＶｐｐ以下であることが好ましい。ここで、交流電圧を表す単位「Ｖｐｐ（Ｖｏｌｔ ｐｅａｋ ｔｏ ｐｅａｋ）」は、交流電圧波形の最高値と最低値との電位差である。
なお、内部電極４が外周面に凹凸を有しない円柱の部材である場合、内部電極４と外部電極５との間に印加する交流電圧は、１０ｋＶｐｐ以上であることが好ましい。外周面に凹凸を有さない内部電極４を用いる場合、外周面に凹凸を有する内部電極４を用いる場合に比べて、内部電極４と外部電極５との間に印加する交流電圧を高める必要がある。
印加する交流電圧が上記上限値以下であると、発生するプラズマの温度を低く抑えられる。印加する交流電圧が上記下限値以上であると、さらに効率的にプラズマを発生できる。

内部電極４と外部電極５との間に印加する交流の周波数は、０．５ｋＨｚ以上２０ｋＨｚ未満であることが好ましく、１ｋＨｚ以上１５ｋＨｚ未満であることがより好ましく、２ｋＨｚ以上１０ｋＨｚ未満であることがさらに好ましく、３ｋＨｚ以上９ｋＨｚ未満であることが特に好ましく、４ｋＨｚ以上８ｋＨｚ未満であることが最も好ましい。交流の周波数が上記上限値以下であると、発生するプラズマの温度を低く抑えられる。交流の周波数が上記下限値以上であると、さらに効率的にプラズマを発生できる。

ノズル１の照射口１ａから照射する活性ガスの温度は、５０℃以下であることが好ましく、４５℃以下であることがより好ましく、４０℃以下であることがさらに好ましい。ノズル１の照射口１ａから照射する活性ガスの温度が上記上限値以下であると、被照射面の温度を４０℃以下にしやすい。被照射面の温度を４０℃以下にすることで、被照射部分が患部である場合にも、患部への刺激を低減できる。ノズル１の照射口１ａから照射する活性ガスの温度の下限値は、特に制限はなく、例えば、１０℃である。活性ガスの温度は、照射口１ａにおける活性ガスの温度を熱電対で測定した値である。

照射口１ａから被照射面までの距離（照射距離）は、例えば、１．０ｍｍ〜１０ｍｍであることが好ましい。照射距離が上記下限値以上であると、被照射面の温度を低くし、被照射面への刺激をさらに緩和できる。照射距離が上記上限値以下であると、治癒等の効果をさらに高められる。

照射口１ａから１ｍｍ以上１０ｍｍ以下の距離で離れた位置の被照射面の温度は、４０℃以下が好ましい。被照射面の温度が４０℃以下であると、被照射面への刺激を低減できる。被照射面の温度の下限値は特に制限はないが、例えば、１０℃である。
被照射面の温度は、内部電極４と外部電極５との間に印加する交流電圧、照射する活性ガスの吐出量、内部電極４と外部電極５とが対向している領域の先端Ｑ１から照射口１ａまでの道のり等の組み合わせで調節できる。被照射面の温度は、熱電対を用いて測定できる。

活性ガスに含まれる活性種としては、ヒドロキシルラジカル、一重項酸素、オゾン、過酸化水素、スーパーオキシドアニオンラジカル、一酸化窒素、二酸化窒素、ペルオキシナイトライト、過酸化亜硝酸、三酸化二窒素等を例示できる。活性ガスに含まれる活性種の種類は、例えば、プラズマ発生用ガスの種類等によって調節できる。

活性ガス中におけるヒドロキシルラジカルの密度（ラジカル密度）は、０．１μｍｏｌ／Ｌ〜３００μｍｏｌ／Ｌであることが好ましく、０．１μｍｏｌ／Ｌ〜１００μｍｏｌ／Ｌであることがより好ましく、０．１μｍｏｌ／Ｌ〜５０μｍｏｌ／Ｌであることがさらに好ましい。ラジカル密度が上記下限値以上であると、細胞、生体組織および生物個体から選ばれる被照射物の清浄化、賦活化または異常の治癒を促進しやすい。ラジカル密度が上記上限値以下であると、被照射面への刺激を低減できる。

ラジカル密度は、例えば、以下の方法で測定できる。
ＤＭＰＯ（５，５−ジメチル−１−ピロリン−Ｎ−オキシド）０．２ｍｏｌ／Ｌ溶液０．２ｍＬに対して、活性ガスを３０秒間照射する。この際、照射口１ａから液面までの距離を５．０ｍｍとする。活性ガスを照射した溶液について、電子スピン共鳴（ＥＳＲ）法を利用してヒドロキシルラジカル濃度を測定し、これをラジカル密度とする。

活性ガス中における一重項酸素の密度（一重項酸素密度）は、０．１μｍｏｌ／Ｌ〜３００μｍｏｌ／Ｌであることが好ましく、０．１μｍｏｌ／Ｌ〜１００μｍｏｌ／Ｌであることがより好ましく、０．１μｍｏｌ／Ｌ〜５０μｍｏｌ／Ｌであることがさらに好ましい。一重項酸素密度が上記下限値以上であると、細胞、生体組織および生物個体等の被照射物の清浄化、賦活化または異常の治癒を促進しやすい。上記上限値以下であると、被照射面への刺激を低減できる。

一重項酸素密度は、例えば、以下の方法で測定できる。
ＴＰＣ（２，２，５，５−テトラメチル−３−ピロリン−３−カルボキサミド）０．１ｍｏｌ／Ｌ溶液０．４ｍＬに対して、活性ガスを３０秒間照射する。この際、照射口１ａから液面までの距離を５．０ｍｍとする。活性ガスを照射した溶液について、電子スピン共鳴（ＥＳＲ）法を利用して一重項酸素濃度を測定し、これを一重項酸素密度とする。

照射口１ａから吐出する活性ガスの流量は、１Ｌ／ｍｉｎ〜１０Ｌ／ｍｉｎであることが好ましい。
照射口１ａから吐出する活性ガスの流量が上記下限値以上であると、活性ガスが被照射面に作用する効果を充分に高められる。照射口１ａから吐出する活性ガスの流量が上記上限値以下であると、活性ガスの被照射面の温度が過度に高まることを防止できる。加えて、被照射面が濡れている場合には、被照射面の急速な乾燥を防止できる。さらに、被照射面が患部である場合には、患者への刺激を抑制できる。プラズマ照射装置１００において、照射口１ａから吐出する活性ガスの流量は、管状誘電体３へのプラズマ発生用ガスの供給量で調節できる。

プラズマ照射装置１００によって生じる活性ガスは、外傷や異常の治癒を促進する効果を有する。活性ガスを細胞、生体組織または生物個体に照射することによって、その被照射部分の清浄化、賦活化、またはその被照射部分の治癒を促進できる。

外傷や異常の治癒を促進する目的で活性ガスを照射する場合、その照射頻度、照射回数および照射期間は特に制限はない。例えば、１Ｌ／ｍｉｎ〜５．０Ｌ／ｍｉｎの照射量で活性ガスを患部に照射する場合、１日１回〜５回、毎回１０秒〜１０分、１日〜３０日間、等の照射条件が、治癒を促進する観点から好ましい。

本実施形態のプラズマ照射装置１００は、特に口腔内用治療器具、歯科用治療器具として有用である。また、本実施形態のプラズマ照射装置１００は、動物治療用器具としても好適である。

（作用機序）
以上説明した本実施形態のプラズマ照射装置１００にあっては、第１の電気配線４０Ａの外周および第２の電気配線４０Ｂの外周を電磁波シールド材５０で覆っているため、プラズマ照射装置１００を用いた作業中に、第１の電気配線４０Ａおよび第２の電気配線４０Ｂから電磁波が発生することを抑えられる。したがって、プラズマ照射装置１００の使用者やプラズマの被照射物が電磁波により悪影響を受けることを防止できる。また、本実施形態のプラズマ照射装置１００にあっては、電気配線４０を、可撓性の電磁波シールド材５０で覆うため、照射器具１０の操作性が損なわれることを防止できる。また、本実施形態のプラズマ照射装置１００にあっては、第１の電気配線４０Ａと第２の電気配線４０Ｂを、個別に電磁波シールド材５０で覆うことにより、電磁波シールド材５０の外径が小さく抑えられて、第１の電気配線４０Ａと第２の電気配線４０Ｂが曲がりやすくなり、使用者の作業性が向上する。

＜他の実施形態＞
なお、本発明は、上記の実施形態に限定するものではない。

例えば、図５〜図１４に示すような第１の変形例〜第９の変形例に係るプラズマ照射装置の各構成を採用してもよい。なお、変形例に係るプラズマ照射装置では、前記実施形態における構成と同一の部分については同一の符号を付し、その説明を省略し、異なる点についてのみ説明する。

図５に示す第１の変形例のように、電磁波シールド材２００は、導電性の繊維または導電性の線材からなる筒状の編物または織物であってもよい。図５に示す第１の変形例では、２つの電気配線４０を纏めて、それらの外周を筒状の編物または織物からなる電磁波シールド材２００で覆ってもよいが、２つの電気配線４０の外周を個別に筒状の編物または織物からなる電磁波シールド材２００で覆うことが好ましい。すなわち、第１の電気配線４０Ａの外周を筒状の編物または織物からなる第１の電磁波シールド材２００Ａで覆い、第２の電気配線４０Ｂの外周を筒状の編物または織物からなる第２の電磁波シールド材２００Ｂで覆うことが好ましい。電磁波シールド材２００は、導電性の繊維または導電性の線材からなる筒状の編物または織物であるため、可撓性を有する。

電磁波シールド材２００を構成する導電性の繊維は、導電性の材料からなるものであれば、特に制限はなく、金属繊維、炭素繊維、化学繊維に対して、めっきや真空蒸着等のコーティングにより金属膜を形成してなる繊維等を例示できる。
電磁波シールド材２００を構成する導電性の繊維の太さは、電気配線４０から発生する電磁波を遮蔽することができれば、特に制限はない。
電磁波シールド材２００の編組密度（単位長さ当たりの糸打ち込み本数、単位長さ当たりのコース数・ウェール数）は、電気配線４０から発生する電磁波を遮蔽することができれば、特に制限はない。
電磁波シールド材２００を構成する導電性の線材は、導電性の材料からなるものであれば、特に制限はなく、金属製の線材、炭素製の線材、プラスチック製の線材に対して、めっきや真空蒸着等のコーティングにより金属膜を形成してなる線材等を例示できる。
電磁波シールド材２００を構成する金属線の太さは、電気配線４０から発生する電磁波を遮蔽することができれば、特に制限はないが、例えば、０．０４ｍｍ〜０．２ｍｍであることが好ましい。

第１の変形例にあっては、第１の電気配線４０Ａの外周および第２の電気配線４０Ｂの外周を筒状の編物または織物からなる電磁波シールド材２００で覆っているため、プラズマ照射装置１００を用いた作業中に、第１の電気配線４０Ａおよび第２の電気配線４０Ｂから電磁波が発生することを抑えられる。また、第１の変形例にあっては、電気配線４０を、可撓性の電磁波シールド材２００で覆っているため、照射器具１０の操作性が損なわれることを防止できる。また、第１の変形例にあっては、第１の電気配線４０Ａと第２の電気配線４０Ｂを、個別に筒状の編物または織物からなる電磁波シールド材２００で覆うことにより、電磁波シールド材２００の外径が小さく抑えられて、第１の電気配線４０Ａと第２の電気配線４０Ｂが曲がりやすくなり、使用者の作業性が向上する。

図６に示す第２の変形例のように、電磁波シールド材３００は、導電性の線材３０１を同心円状かつ螺旋状に巻き回してなるコイルチューブであってもよい。図６に示す第２の変形例では、２つの電気配線４０を纏めて、それらの外周をコイルチューブからなる電磁波シールド材３００で覆ってもよいが、２つの電気配線４０の外周を個別にコイルチューブからなる電磁波シールド材３００で覆うことが好ましい。すなわち、第１の電気配線４０Ａの外周をコイルチューブからなる第１の電磁波シールド材３００Ａで覆い、第２の電気配線４０Ｂの外周をコイルチューブからなる第２の電磁波シールド材３００Ｂで覆うことが好ましい。コイルチューブからなる電磁波シールド材３００は、線材３０１同士が隙間なく密接しているものの、線材３０１同士がずれやすくなっているため、可撓性を有する。

電磁波シールド材３００を構成する導電性の線材３０１は、導電性の材料からなるものであれば、特に制限はなく、金属製の線材、炭素製の線材、プラスチック製の線材に対して、めっきや真空蒸着等のコーティングにより金属膜を形成してなる線材等を例示できる。
電磁波シールド材３００を構成する導電性の線材３０１の太さは、電気配線４０から発生する電磁波を遮蔽することができれば、特に制限はない。

第２の変形例にあっては、第１の電気配線４０Ａの外周および第２の電気配線４０Ｂの外周をコイルチューブからなる電磁波シールド材３００で覆っているため、プラズマ照射装置１００を用いた作業中に、第１の電気配線４０Ａおよび第２の電気配線４０Ｂから電磁波が発生することを抑えられる。また、第２の変形例にあっては、電気配線４０を、可撓性の電磁波シールド材３００で覆っているため、照射器具１０の操作性が損なわれることを防止できる。また、第２の変形例にあっては、第１の電気配線４０Ａと第２の電気配線４０Ｂを、個別にコイルチューブからなる電磁波シールド材３００で覆うことにより、電磁波シールド材３００の外径が小さく抑えられて、第１の電気配線４０Ａと第２の電気配線４０Ｂが曲がりやすくなり、使用者の作業性が向上する。

図７および図８に示す第３の変形例のように、電磁波シールド材４００は、導電性の線材４１０を同心円状かつ螺旋状に巻き回してなるコイルチューブであってもよい。図７および図８に示す第３の変形例では、２つの電気配線４０を纏めて、それらの外周をコイルチューブからなる電磁波シールド材４００で覆ってもよいが、２つの電気配線４０の外周を個別にコイルチューブからなる電磁波シールド材４００で覆うことが好ましい。すなわち、第１の電気配線４０Ａの外周をコイルチューブからなる第１の電磁波シールド材４００Ａで覆い、第２の電気配線４０Ｂの外周をコイルチューブからなる第２の電磁波シールド材４００Ｂで覆うことが好ましい。コイルチューブからなる電磁波シールド材４００は、線材４１０同士が隙間なく密接しているものの、線材４１０同士がずれやすくなっているため、可撓性を有する。

線材４１０は、電気配線４０の表面（外周面）４０ａを基準とする厚さが大きい第１の部位４１１と、電気配線４０の表面（外周面）４０ａを基準とする厚さが小さい第２の部位４１２と、を有する。
第２の部位４１２の一端部（第１の部位４１１とは反対側の端部）は、線材４１０の厚さ方向に突出する係合凸部４１２ａをなしている。
第１の部位４１１の一端部（第２の部位４１２側の端部）の内側には、第２の部位４１２の係合凸部４１２ａを係合する係合凹部４１１ａが設けられている。
隣接する線材４１０同士において、第２の部位４１２の係合凸部４１２ａを、第１の部位４１１の係合凹部４１１ａに係合することにより、線材４１０同士が隙間なく密接している。また、線材４１０において、第１の部位４１１よりも厚さが小さい第２の部位４１２を設けて、第２の部位４１２を介して、隣接する線材４１０同士を接合することにより、電磁波シールド材４００は、第２の部位４１２において、曲がりやすくなる。

また、第２の部位４１２は厚さが小さいため、第１の部位４１１よりも電磁波の遮蔽性が劣ることが懸念される場合には、第２の部位４１２を電磁波の遮蔽性に優れる材料で形成してもよい。

電磁波シールド材４００を構成する導電性の線材４１０は、導電性の材料からなるものであれば、特に制限はなく、金属製の線材、炭素製の線材、プラスチック製の線材に対して、めっきや真空蒸着等のコーティングにより金属膜を形成してなる線材等を例示できる。
電磁波シールド材４００を構成する導電性の線材４１０の厚さは、電気配線４０から発生する電磁波を遮蔽することができれば、特に制限はない。

第３の変形例にあっては、第１の電気配線４０Ａの外周および第２の電気配線４０Ｂの外周をコイルチューブからなる電磁波シールド材４００で覆っているため、プラズマ照射装置１００を用いた作業中に、第１の電気配線４０Ａおよび第２の電気配線４０Ｂから電磁波が発生することを抑えられる。また、第３の変形例にあっては、電気配線４０を、可撓性の電磁波シールド材４００で覆っているため、照射器具１０の操作性が損なわれることを防止できる。また、第３の変形例にあっては、第１の電気配線４０Ａと第２の電気配線４０Ｂを、個別にコイルチューブからなる電磁波シールド材４００で覆うことにより、電磁波シールド材４００の外径が小さく抑えられて、第１の電気配線４０Ａと第２の電気配線４０Ｂが曲がりやすくなり、使用者の作業性が向上する。

図９に示す第４の変形例のように、第１の電気配線４０Ａの外周を第１の電磁波シールド材５０Ａで覆い、第２の電気配線４０Ｂの外周を第２の電磁波シールド材５０Ｂで覆い、さらに、第１の電気配線４０Ａ、第２の電気配線４０Ｂおよびガス管路３０を、第１の樹脂シース材５００で束ねていることが好ましい。すなわち、第１の電気配線４０Ａ、第２の電気配線４０Ｂおよびガス管路３０を、それらの外周から第１の樹脂シース材５００で覆うことが好ましい。これにより、図９に示すように、第１の電気配線４０Ａと第２の電気配線４０Ｂとガス管路３０は、それぞれの外周で接している。また、第１の樹脂シース材５００と第１の電気配線４０Ａ、第２の電気配線４０Ｂおよびガス管路３０の間に空間５１０を形成していることが好ましい。なお、第１の樹脂シース材５００の内部に形成される全ての空間を「内部空間（大空間）」と言い、第１の樹脂シース材５００と、第１の電気配線４０Ａ、第２の電気配線４０Ｂおよびガス管路３０の間に形成される空間を「空間（小空間）」と言う。第１の電磁波シールド材５０Ａで覆った第１の電気配線４０Ａ、第２の電磁波シールド材５０Ｂで覆った第２の電気配線４０Ｂおよびガス管路３０を、第１の樹脂シース材５００で束ねているものの、第１の樹脂シース材５００と第１の電気配線４０Ａ、第２の電気配線４０Ｂおよびガス管路３０の間に空間５１０を形成しているため、第１の電気配線４０Ａ、第２の電気配線４０Ｂおよびガス管路３０が互いの動きを妨げ難くなっており、第１の樹脂シース材５００で束ねた第１の電気配線４０Ａ、第２の電気配線４０Ｂおよびガス管路３０は、可撓性に優れる。

第１の樹脂シース材５００の内部空間の全体積１００％に対して、空間５１０の占める体積は３０％〜７０％であることが好ましい。空間５１０の占める体積が上記下限値以上であると、第１の電気配線４０Ａと第２の電気配線４０Ｂが曲がりやすくなり、使用者の作業性が向上する。空間５１０の占める体積が上記上限値以下であると、第１の電気配線４０Ａ第２の電気配線４０Ｂおよび第１の樹脂シース材５００を含むケーブルの外径が大きくなりすぎることも、前記のケーブルの重量が重くなりすぎることもないため、照射器具１０の操作性が損なわれることを防止できる。

第１の樹脂シース材５００を構成する樹脂は、絶縁性であれば、特に制限はない。
第１の樹脂シース材５００の厚さは、第１の電気配線４０Ａ、第２の電気配線４０Ｂおよびガス管路３０を束ねた状態で、可撓性が損なわなければ、特に制限はない。第１の樹脂シース材５００の厚さは、０．５ｍｍ〜２．０ｍｍであることが好ましい。第１の樹脂シース材５００の厚さが上記下限値以上であると、第１の電気配線４０Ａおよび第２の電気配線４０Ｂの美観を保つことができるとともに、第１の樹脂シース材５００の耐久性に優れる。第１の樹脂シース材５００の厚さが上記上限値以下であると、第１の電気配線４０Ａ第２の電気配線４０Ｂおよび第１の樹脂シース材５００を含むケーブルの重量が重くなりすぎることがないため、照射器具１０の操作性が損なわれることを防止できる。

第４の変形例にあっては、第１の電気配線４０Ａの外周および第２の電気配線４０Ｂの外周を電磁波シールド材５０で覆っているため、プラズマ照射装置１００を用いた作業中に、第１の電気配線４０Ａおよび第２の電気配線４０Ｂから電磁波が発生することを抑えられる。また、第４の変形例にあっては、電気配線４０を、可撓性の電磁波シールド材５０で覆っているため、照射器具１０の操作性が損なわれることを防止できる。また、第４の変形例にあっては、第１の電磁波シールド材５０Ａで覆った第１の電気配線４０Ａ、第２の電磁波シールド材５０Ｂで覆った第２の電気配線４０Ｂおよびガス管路３０を、第１の樹脂シース材５００で束ねているものの、第１の樹脂シース材５００と第１の電気配線４０Ａ、第２の電気配線４０Ｂおよびガス管路３０の間に空間５１０を形成しているため、第１の電気配線４０Ａ、第２の電気配線４０Ｂおよびガス管路３０が互いの動きを妨げ難くなっており、照射器具１０の操作性が損なわれることを防止できる。

図１０に示す第５の変形例のように、第１の電気配線４０Ａ、第２の電気配線４０Ｂおよびガス管路３０を電磁波シールド材６００で束ねるようにして覆い、さらに、電磁波シールド材６００を、第１の樹脂シース材５００で覆っていることが好ましい。すなわち、第１の電気配線４０Ａ、第２の電気配線４０Ｂおよびガス管路３０を、それらの外周から電磁波シールド材６００で覆い、その電磁波シールド材６００を、第１の樹脂シース材５００で覆っていることが好ましい。また、電磁波シールド材６００を介して第１の樹脂シース材５００と第１の電気配線４０Ａ、第２の電気配線４０Ｂおよびガス管路３０の間に空間６１０を形成していることが好ましい。第１の電気配線４０Ａ、第２の電気配線４０Ｂおよびガス管路３０を、電磁波シールド材６００および第１の樹脂シース材５００で束ねているものの、電磁波シールド材６００と第１の電気配線４０Ａ、第２の電気配線４０Ｂおよびガス管路３０の間に空間６１０を形成しているため、第１の電気配線４０Ａ、第２の電気配線４０Ｂおよびガス管路３０が互いの動きを妨げ難くなっており、電磁波シールド材６００および第１の樹脂シース材５００で束ねた第１の電気配線４０Ａ、第２の電気配線４０Ｂおよびガス管路３０は、可撓性に優れる。

第１の樹脂シース材５００の内部空間の全体積１００％に対して、空間６１０の占める体積は３０％〜７０％であることが好ましい。空間６１０の占める体積が上記下限値以上であると、第１の電気配線４０Ａと第２の電気配線４０Ｂが曲がりやすくなり、使用者の作業性が向上する。空間６１０の占める体積が上記上限値以下であると、第１の電気配線４０Ａ第２の電気配線４０Ｂおよび第１の樹脂シース材５００を含むケーブルの外径が大きくなりすぎることも、前記のケーブルの重量が重くなりすぎることもないため、照射器具１０の操作性が損なわれることを防止できる。

電磁波シールド材６００としては、電磁波シールド材５０と同様のものを用いることができる。

第５の変形例にあっては、第１の電気配線４０Ａおよび第２の電気配線４０Ｂを電磁波シールド材６００で覆っているため、プラズマ照射装置１００を用いた作業中に、第１の電気配線４０Ａおよび第２の電気配線４０Ｂから電磁波が発生することを抑えられる。また、第５の変形例にあっては、電気配線４０を、可撓性の電磁波シールド材６００および第１の樹脂シース材５００で覆っているため、照射器具１０の操作性が損なわれることを防止できる。また、第５の変形例にあっては、第１の電気配線４０Ａ、第２の電気配線４０Ｂおよびガス管路３０を、電磁波シールド材６００および第１の樹脂シース材５００で束ねているものの、電磁波シールド材６００を介して、第１の樹脂シース材５００と第１の電気配線４０Ａ、第２の電気配線４０Ｂおよびガス管路３０の間に空間６１０を形成しているため、第１の電気配線４０Ａ、第２の電気配線４０Ｂおよびガス管路３０が互いの動きを妨げ難くなっており、照射器具１０の操作性が損なわれることを防止できる。

図１１に示す第６の変形例のように、第１の電磁波シールド材５０Ａと第１の樹脂シース材５００の内部空間（空間５１０）との間に第２の樹脂シース材５２０を有していることが好ましい。また、第２の電磁波シールド材５０Ｂと第１の樹脂シース材５００の内部空間（空間５１０）との間に第２の樹脂シース材５３０を有していることが好ましい。すなわち、図１１に示すように、第１の電気配線４０Ａを覆う第１の電磁波シールド材５０Ａの外周を、さらに、第２の樹脂シース材５２０で覆っていてもよい。また、第２の電気配線４０Ｂを覆う第２の電磁波シールド材５０Ｂの外周を、さらに、第２の樹脂シース材５３０で覆っていてもよい。これにより、第１の電磁波シールド材５０Ａと第２の電磁波シールド材５０Ｂが擦れ合って、第１の電気配線４０Ａと第２の電気配線４０Ｂの耐久性が低下することを防止できる。

第２の樹脂シース材５２０，５３０の厚さは、０．１ｍｍ〜０．５ｍｍであることが好ましい。第２の樹脂シース材５２０，５３０の厚さが上記下限値以上であると、第２の樹脂シース材５２０，５３０の耐久性に優れる。第２の樹脂シース材５２０，５３０の厚さが上記上限値以下であると、第２の樹脂シース材５２０，５３０で覆われた第１の電気配線４０Ａ第２の電気配線４０Ｂおよび第１の樹脂シース材５００を含むケーブルの重量が重くなりすぎることがないため、照射器具１０の操作性が損なわれることを防止できる。

図１２に示す第７の変形例のように、電磁波シールド材６００と第１の樹脂シース材５００の内部空間（空間６１０）との間に第２の樹脂シース材５４０を有していてもよい。すなわち、図１２に示すように、電磁波シールド材６００の内周を、さらに、第２の樹脂シース材５４０で覆っていてもよい。これにより、第１の電気配線４０Ａ第２の電気配線４０Ｂおよび第１の樹脂シース材５００を含むケーブルを屈曲させた後も、電磁波シールド材６００の形状が元通りに復元するため、照射器具１０の操作性が損なわれることを防止できる。

第２の樹脂シース材５４０の厚さは、０．５ｍｍ〜２．０ｍｍであることが好ましい。第２の樹脂シース材５４０の厚さが上記下限値以上であると、第２の樹脂シース材５４０の耐久性に優れ、電磁波シールド材６００の形状が元通りに復元し易くなる。第２の樹脂シース材５４０の厚さが上記上限値以下であると、第２の樹脂シース材５４０で覆われた第１の電気配線４０Ａ第２の電気配線４０Ｂおよび第１の樹脂シース材５００を含むケーブルの重量が重くなりすぎることがないため、照射器具１０の操作性が損なわれることを防止できる。

図１３に示す第８の変形例のように、第２の樹脂シース材５２０における第１の電磁波シールド材５０Ａとは反対側の面、および第２の樹脂シース材５３０における第２の電磁波シールド材５０Ｂとは反対側の面に潤滑剤７００がコーティングされていることが好ましい。また、ガス管路３０の外周に潤滑剤７００がコーティングされていることが好ましい。この潤滑剤７００により、第１の樹脂シース材５００内において、第１の電気配線４０Ａと第２の電気配線４０Ｂとが動きやすくなる。その結果、１の電気配線４０Ａ第２の電気配線４０Ｂおよび第１の樹脂シース材５００を含むケーブルは、可撓性に優れる。

図１４に示す第９の変形例のように、第２の樹脂シース材５４０における電磁波シールド材６００とは反対側の面に潤滑剤７００がコーティングされていることが好ましい。また、第１の電気配線４０Ａ、第２の電気配線４０Ｂおよびガス管路３０の外周に潤滑剤７００がコーティングされていることが好ましい。この潤滑剤７００により、第１の樹脂シース材５００内において、第１の電気配線４０Ａと第２の電気配線４０Ｂとが動きやすくなる。その結果、１の電気配線４０Ａ第２の電気配線４０Ｂおよび第１の樹脂シース材５００を含むケーブルは、可撓性に優れる。

操作スイッチ９が、上記の実施形態と異なっていてもよい。例えば、照射器具１０に操作スイッチ９を設けることに代えて、供給ユニット２０に足踏みペダルを設けてもよい。
この場合、足踏みペダルを操作部とし、例えば使用者が足踏みペダルを踏んだときに、供給源８０からプラズマ発生用ガスをプラズマ発生部１２に供給する構成を採用すること等ができる。

上述の本実施形態の内部電極４の形状は、ねじ状である。しかしながら、内部電極は、外部電極との間にプラズマを発生できれば、内部電極の形状は限定されない。
内部電極は、表面に凹凸を有してもよいし、表面に凹凸を有していなくてもよい。内部電極としては、外周面に凹凸を有する形状が好ましい。
例えば、内部電極の形状は、コイル状でもよいし、外周面に突起、穴、貫通孔が複数形成された棒形状または筒形状でもよい。内部電極の断面形状は、特に限定されず、例えば、真円形、楕円形等の円形、四角形、六角形等の多角形を例示できる。

その他、本発明の趣旨に逸脱しない範囲で、前記実施形態における構成要素を周知の構成要素に置き換えることは適宜可能であり、また、前記した変形例を適宜組み合わせてもよい。

本発明のプラズマ照射装置は、口腔内の治療、歯科の治療、動物の治療等の用途に有用である。活性ガスの照射によって処理可能な疾患および症状としては、例えば、歯肉炎、歯周病等の口腔内の疾患、皮膚の創傷等を例示できる。
本発明の治療方法は、生体組織の治癒促進に有効である。本発明の治療方法は、ヒトのみならず、ヒトを除く動物の治療にも有効である。

１ ノズル
１０ 照射器具
１２ プラズマ発生部
２０ 供給ユニット
４０ 電気配線
５０，２００，３００，４００，６００ 電磁波シールド材
６０ 給電部
９０ 制御部
１００ プラズマ照射装置
５００ 第１の樹脂シース材
５１０，６１０ 空間
５２０，５３０，５４０ 第２の樹脂シース材
７００ 充填剤

Claims (6)

1. プラズマ発生部を有し、前記プラズマ発生部にて発生したプラズマおよび前記プラズマによって生じる活性ガスの少なくとも一方を吐出する照射器具と、
   前記プラズマ発生部を制御する制御部を有する供給ユニットと、
   前記照射器具と前記供給ユニットを電気的に接続する電気配線と、
   前記照射器具、前記供給ユニットおよび前記電気配線の外周をそれぞれ被覆する電磁波シールド材と、を備え、
   前記電気配線の外周を被覆する電磁波シールド材は可撓性を有し、
   前記電磁波シールド材の外周が第２の樹脂シース材で被覆されており、
   前記照射器具と前記供給ユニットを接続する全ての前記電気配線が第１の樹脂シース材で束ねられ、
   前記第１の樹脂シース材の厚さが０．５ｍｍ〜２．０ｍｍであり、
   前記第２の樹脂シース材の厚さが０．１ｍｍ〜０．５ｍｍであるプラズマ照射装置。
2. 前記電気配線を２本以上備え、該２本以上の電気配線の外周が個別に前記電磁波シールド材で被覆されている請求項１に記載のプラズマ照射装置。
3. 前記電気配線の外周を被覆する電磁波シールド材は、導電性の繊維または導電性の線材からなる筒状の編物または織物である請求項１または２に記載のプラズマ照射装置。
4. 前記第１の樹脂シース材と前記電気配線の間に空間を有し、前記空間は中空である請求項１〜３のいずれか１項に記載のプラズマ照射装置。
5. 前記第１の樹脂シース材の内部に形成される全ての空間である内部空間に、少なくとも前記電気配線、前記電磁波シールド材および前記第２の樹脂シース材が配置され、前記内部空間の全体積１００％に対して、前記空間の占める体積が３０％〜７０％である請求項４に記載のプラズマ照射装置。
6. 前記第２の樹脂シース材における前記電磁波シールド材とは反対側の面に潤滑剤がコーティングされている請求項１〜５のいずれか１項に記載のプラズマ照射装置。

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